JP5696063B2 - 多結晶シリコン棒搬出冶具および多結晶シリコン棒の刈取方法 - Google Patents
多結晶シリコン棒搬出冶具および多結晶シリコン棒の刈取方法 Download PDFInfo
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Description
板状部材270を抜き差しするための挿入部275のクリアランスは、板状部材270が下方からローラ310で押されることで容易に本体からの抜き出しができる値に設計されている。なお、板状部材270の多結晶シリコン棒11を支持する面には、ゴムなどの弾性部材が貼付されていてもよい。
2 のぞき窓
3 冷媒入口
4 冷媒出口
5 ベースプレート
6 冷媒入口
7 冷媒出口
8 反応排ガス出口
9 ガスノズル
10 金属電極
11 多結晶シリコン棒
11a、11b 柱部
11c 梁部
12 シリコン芯線
13 カーボンヒータ
14 芯線ホルダ
15 電源
16 電力供給回路
100 反応炉
200 搬出治具
210 筒状部材
220 エアバッグ
230 ワイヤ
240 フック
250 板状の弾性部材
260 底板
270 板状部材
275 板状部材の挿入部
280 板状部材
290 バックル
300、305 ローラ付き台車
310 ローラ
Claims (7)
- 鳥居型に組まれたシリコン芯線上に多結晶シリコンを成長させたシリコン棒を反応炉外に取り出す際に用いる多結晶シリコン棒搬出冶具であって、
前記多結晶シリコン棒を内部に収容するための筒状部材と、
該筒状部材内に設けられたエアバッグと、を備え、
前記エアバッグは、内部へのガス注入により膨らんだ状態で、前記鳥居型の両柱部を含む平面に垂直な方向から前記多結晶シリコン棒の側面を押圧して前記筒状部材内にホールドする、多結晶シリコン棒搬出冶具。 - 前記筒状部材の内周面は互いに対向する2平面を少なくとも1対有しており、該2平面の双方に前記エアバッグが設けられている、請求項1に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 前記筒状部材の内周面は互いに対向する2平面を少なくとも1対有しており、該2平面の一方に前記エアバッグが設けられている、請求項1に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 前記2平面の他方には、前記多結晶シリコン棒が前記筒状部材内にホールドされた状態で前記多結晶シリコン棒の側面に接する弾性部材が設けられている、請求項3に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- さらに、内部に前記多結晶シリコン棒をホールドした状態の前記筒状部材を吊上げ移動するための懸垂用治具を備えている、請求項1乃至4の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 前記筒状部材の下部に着脱可能な底板が設けられている、請求項1乃至5の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 請求項1乃至6の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具を用い、
前記筒状部材の内部に多結晶シリコン棒を収容し、前記エアバッグの内部にガス注入して膨らませて前記多結晶シリコン棒を前記筒状部材内にホールドした状態で前記反応炉外に取り出す、多結晶シリコン棒の刈取方法。
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