JP2013159504A - 多結晶シリコン棒搬出冶具および多結晶シリコン棒の刈取方法 - Google Patents
多結晶シリコン棒搬出冶具および多結晶シリコン棒の刈取方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】筒状部材210の内周面の互いに対向する2平面の双方にエアバッグ220A、220Bが設けられている。多結晶シリコン棒11の刈取作業の際、搬出治具200の筒状部材210を(一対の)多結晶シリコン棒11に上から被せるなどして内部に収容し、エアバッグ220の内部にガスを注入して膨らませると、このエアバッグ220が鳥居型の両柱部を含む平面に垂直な方向から多結晶シリコン棒11の側面を押圧し筒状部材210内にホールドする。そして、このホールド状態で、多結晶シリコン棒11を反応炉外に取り出す。多結晶シリコン棒11に亀裂が生じていたとしても、外部からの衝撃等はエアバッグ220により吸収されるため崩落等が回避される。
【選択図】図5
Description
板状部材270を抜き差しするための挿入部275のクリアランスは、板状部材270が下方からローラ310で押されることで容易に本体からの抜き出しができる値に設計されている。なお、板状部材270の多結晶シリコン棒11を支持する面には、ゴムなどの弾性部材が貼付されていてもよい。
2 のぞき窓
3 冷媒入口
4 冷媒出口
5 ベースプレート
6 冷媒入口
7 冷媒出口
8 反応排ガス出口
9 ガスノズル
10 金属電極
11 多結晶シリコン棒
11a、11b 柱部
11c 梁部
12 シリコン芯線
13 カーボンヒータ
14 芯線ホルダ
15 電源
16 電力供給回路
100 反応炉
200 搬出治具
210 筒状部材
220 エアバッグ
230 ワイヤ
240 フック
250 板状の弾性部材
260 底板
270 板状部材
275 板状部材の挿入部
280 板状部材
290 バックル
300、305 ローラ付き台車
310 ローラ
Claims (9)
- 鳥居型に組まれたシリコン芯線上に多結晶シリコンを成長させたシリコン棒を反応炉外に取り出す際に用いる多結晶シリコン棒搬出冶具であって、
前記多結晶シリコン棒を内部に収容するための筒状部材と、
該筒状部材内に設けられたエアバッグと、を備え、
前記エアバッグは、内部へのガス注入により膨らんだ状態で、前記鳥居型の両柱部を含む平面に垂直な方向から前記多結晶シリコン棒の側面を押圧して前記筒状部材内にホールドする、多結晶シリコン棒搬出冶具。 - 前記筒状部材の内周面は互いに対向する2平面を少なくとも1対有しており、該2平面の双方に前記エアバッグが設けられている、請求項1に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 前記筒状部材の内周面は互いに対向する2平面を少なくとも1対有しており、該2平面の一方に前記エアバッグが設けられている、請求項1に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 前記2平面の他方には、前記多結晶シリコン棒が前記筒状部材内にホールドされた状態で前記多結晶シリコン棒の側面に接する弾性部材が設けられている、請求項3に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- さらに、内部に前記多結晶シリコン棒をホールドした状態の前記筒状部材を吊上げ移動するための懸垂用治具を備えている、請求項1乃至4の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 前記筒状部材の下部に着脱可能な底板が設けられている、請求項1乃至5の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 前記筒状部材の互いに対向する2つの内周平面のうちの少なくとも一方の外周面は平滑面である、請求項2乃至6の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 前記外周面は、前記筒状部材本体から分離可能である、請求項7に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具。
- 請求項1乃至8の何れか1項に記載の多結晶シリコン棒搬出冶具を用い、
前記筒状部材の内部に多結晶シリコン棒を収容し、前記エアバッグの内部にガス注入して膨らませて前記多結晶シリコン棒を前記筒状部材内にホールドした状態で前記反応炉外に取り出す、多結晶シリコン棒の刈取方法。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016514666A (ja) * | 2013-04-10 | 2016-05-23 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG | 反応器から多結晶質シリコンロッドを取り出す装置及び方法 |
JP2016150885A (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-22 | 信越化学工業株式会社 | 多結晶シリコン棒とその製造方法およびfzシリコン単結晶 |
JP2017503747A (ja) * | 2014-01-22 | 2017-02-02 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG | 多結晶シリコンの製造方法 |
JP2017524632A (ja) * | 2014-11-10 | 2017-08-31 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG | 多結晶シリコンロッド対および多結晶シリコンの作製方法 |
WO2018164197A1 (ja) * | 2017-03-08 | 2018-09-13 | 株式会社トクヤマ | 多結晶シリコン加工品の製造方法 |
JP2019104917A (ja) * | 2019-01-23 | 2019-06-27 | 信越化学工業株式会社 | 樹脂材料、ビニール製袋、多結晶シリコン棒、多結晶シリコン塊 |
JP2020172646A (ja) * | 2020-06-17 | 2020-10-22 | 信越化学工業株式会社 | 樹脂材料、ビニール製袋、多結晶シリコン棒、多結晶シリコン塊 |
WO2020235264A1 (ja) | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 株式会社トクヤマ | 搬出治具、搬出方法及びシリコンロッドの製造方法 |
KR20220010472A (ko) | 2019-05-21 | 2022-01-25 | 가부시끼가이샤 도꾸야마 | 반출 지그, 반출 방법 및 실리콘 로드의 제조 방법 |
US11230796B2 (en) | 2015-09-15 | 2022-01-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resin material, vinyl bag, polycrystalline silicon rod, polycrystalline silicon mass |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5751748B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2015-07-22 | 信越化学工業株式会社 | 多結晶シリコン塊群および多結晶シリコン塊群の製造方法 |
DE102013219070A1 (de) * | 2013-09-23 | 2015-03-26 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silicium |
JP6200857B2 (ja) * | 2014-06-03 | 2017-09-20 | 信越化学工業株式会社 | 多結晶シリコンロッドの製造方法、多結晶シリコンロッド、および、多結晶シリコン塊 |
CN104003398B (zh) * | 2014-06-11 | 2016-04-06 | 陕西天宏硅材料有限责任公司 | 一种多晶硅硅棒气动取棒系统 |
CN106315588A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-11 | 亚洲硅业(青海)有限公司 | 一种多晶硅还原炉取棒装置 |
EP3984954A4 (en) * | 2019-06-17 | 2024-01-24 | Tokuyama Corp | ROD-SHAPED BODY, CLAMPING DEVICE, RELEASE METHOD AND METHOD FOR PRODUCING A SILICON ROD |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03218933A (ja) * | 1990-01-22 | 1991-09-26 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン単結晶の取り出し運搬装置 |
JP2002210355A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-07-30 | Sumitomo Titanium Corp | ロッド解体機 |
JP2010254539A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコン製造装置 |
JP2011068553A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-04-07 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコンの製造方法、製造装置及び多結晶シリコン |
JP2011195441A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Wacker Chemie Ag | 亀裂のない多結晶シリコンロッドの製造方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2213629A (en) * | 1937-05-12 | 1940-09-03 | Robert A Fontaine | Brick stack grab |
DE2600290A1 (de) * | 1976-01-07 | 1977-07-14 | Seifert & Co Rich | Verfahren und vorrichtung zum greifen eines gegenstandes |
FR2492911A1 (fr) * | 1980-10-24 | 1982-04-30 | Petroles Cie Francaise | Pince douce de retenue a element gonflable |
FR2649087B1 (fr) * | 1989-06-28 | 1991-10-11 | Aerospatiale | Dispositif pour la prehension d'une charge en bout en vue de sa manutention et installation de manutention pourvue d'un tel dispositif de prehension |
US4989909A (en) * | 1989-08-17 | 1991-02-05 | Franks Casing Crew And Rental Tools, Inc. | Friction grip for tubular goods |
US5372786A (en) * | 1993-07-02 | 1994-12-13 | Abbott Laboratories | Method of holding a sample container |
US6488323B1 (en) * | 1996-04-18 | 2002-12-03 | Frank's Casing Crew And Rental Tools, Inc. | Apparatus for gripping oilfield tubulars without causing damage to such tubulars |
US6382576B1 (en) * | 1999-06-08 | 2002-05-07 | Hill-Rom Services, Inc. | Clamping apparatus |
DE102004039661A1 (de) * | 2004-08-16 | 2006-02-23 | Siemens Ag | Lastaufnahmemittel zur Handhabung von Stückgut |
DE102005038965A1 (de) * | 2004-08-18 | 2006-02-23 | Cetex Chemnitzer Textilmaschinenentwicklung Ggmbh | Lastaufnahmemittel |
WO2007050469A1 (en) * | 2005-10-24 | 2007-05-03 | Shell Internationale Research Maatschappij B.V. | Temperature limited heater with a conduit substantially electrically isolated from the formation |
US7816232B2 (en) * | 2007-11-27 | 2010-10-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor substrate and semiconductor substrate manufacturing apparatus |
US7947570B2 (en) * | 2008-01-16 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method and manufacturing apparatus of semiconductor substrate |
CN101624724B (zh) * | 2008-08-22 | 2012-07-25 | 江西赛维Ldk光伏硅科技有限公司 | 多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件 |
DE102009027830B3 (de) * | 2009-07-20 | 2011-01-13 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Entnahme von Siliciumstäben aus einem Reaktor |
JP5415914B2 (ja) * | 2009-11-26 | 2014-02-12 | 信越化学工業株式会社 | 炭素電極および多結晶シリコン棒の製造装置 |
US8906453B2 (en) * | 2011-03-18 | 2014-12-09 | MEMC Electronics Materials, S.p.A. | Tool for harvesting polycrystalline silicon-coated rods from a chemical vapor deposition reactor |
-
2012
- 2012-02-02 JP JP2012021015A patent/JP5696063B2/ja active Active
-
2013
- 2013-01-29 US US14/376,257 patent/US20150003952A1/en not_active Abandoned
- 2013-01-29 MY MYPI2014702090A patent/MY171058A/en unknown
- 2013-01-29 WO PCT/JP2013/000457 patent/WO2013114858A1/ja active Application Filing
- 2013-01-29 EP EP13742858.7A patent/EP2810919B1/en active Active
- 2013-01-29 CN CN201380006275.XA patent/CN104066677A/zh active Pending
- 2013-01-29 KR KR1020147019665A patent/KR20140122711A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03218933A (ja) * | 1990-01-22 | 1991-09-26 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン単結晶の取り出し運搬装置 |
JP2002210355A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-07-30 | Sumitomo Titanium Corp | ロッド解体機 |
JP2010254539A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコン製造装置 |
JP2011068553A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-04-07 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコンの製造方法、製造装置及び多結晶シリコン |
JP2011195441A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Wacker Chemie Ag | 亀裂のない多結晶シリコンロッドの製造方法 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10576436B2 (en) | 2013-04-10 | 2020-03-03 | Wacker Chemie Ag | Device and method for the removal of polycrystalline silicon rods from a reactor |
KR101829966B1 (ko) | 2013-04-10 | 2018-02-19 | 와커 헤미 아게 | 반응기로부터 다결정 실리콘 로드를 회수하기 위한 장치 및 방법 |
US10974216B2 (en) | 2013-04-10 | 2021-04-13 | Wacker Chemie Ag | Device and method for the removal of polycrystalline silicon rods from a reactor |
JP2016514666A (ja) * | 2013-04-10 | 2016-05-23 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG | 反応器から多結晶質シリコンロッドを取り出す装置及び方法 |
JP2017503747A (ja) * | 2014-01-22 | 2017-02-02 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG | 多結晶シリコンの製造方法 |
US10077192B2 (en) | 2014-01-22 | 2018-09-18 | Wacker Chemie Ag | Method for producing polycrystalline silicon |
JP2017524632A (ja) * | 2014-11-10 | 2017-08-31 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG | 多結晶シリコンロッド対および多結晶シリコンの作製方法 |
US10301181B2 (en) | 2014-11-10 | 2019-05-28 | Wacker Chemie Ag | Method for deinstallation of rod pairs of polysilicon produced by the Siemens process |
JP2016150885A (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-22 | 信越化学工業株式会社 | 多結晶シリコン棒とその製造方法およびfzシリコン単結晶 |
US10343922B2 (en) | 2015-02-19 | 2019-07-09 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polycrystalline silicon rod, production method therefor, and FZ silicon single crystal |
US11230796B2 (en) | 2015-09-15 | 2022-01-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resin material, vinyl bag, polycrystalline silicon rod, polycrystalline silicon mass |
JPWO2018164197A1 (ja) * | 2017-03-08 | 2020-01-23 | 株式会社トクヤマ | 多結晶シリコン加工品の製造方法 |
JP6998936B2 (ja) | 2017-03-08 | 2022-01-18 | 株式会社トクヤマ | 多結晶シリコン加工品の製造方法 |
WO2018164197A1 (ja) * | 2017-03-08 | 2018-09-13 | 株式会社トクヤマ | 多結晶シリコン加工品の製造方法 |
US11332377B2 (en) | 2017-03-08 | 2022-05-17 | Tokuyama Corporation | Method for producing polycrystalline silicon processed article |
JP2019104917A (ja) * | 2019-01-23 | 2019-06-27 | 信越化学工業株式会社 | 樹脂材料、ビニール製袋、多結晶シリコン棒、多結晶シリコン塊 |
JP7097309B2 (ja) | 2019-01-23 | 2022-07-07 | 信越化学工業株式会社 | 樹脂材料、ビニール製袋、多結晶シリコン棒、多結晶シリコン塊 |
WO2020235264A1 (ja) | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 株式会社トクヤマ | 搬出治具、搬出方法及びシリコンロッドの製造方法 |
KR20220010472A (ko) | 2019-05-21 | 2022-01-25 | 가부시끼가이샤 도꾸야마 | 반출 지그, 반출 방법 및 실리콘 로드의 제조 방법 |
US11958723B2 (en) | 2019-05-21 | 2024-04-16 | Tokuyama Corporation | Unloading jig, unloading method, and method for producing silicon rod |
JP2020172646A (ja) * | 2020-06-17 | 2020-10-22 | 信越化学工業株式会社 | 樹脂材料、ビニール製袋、多結晶シリコン棒、多結晶シリコン塊 |
JP7023325B2 (ja) | 2020-06-17 | 2022-02-21 | 信越化学工業株式会社 | 樹脂材料、ビニール製袋、多結晶シリコン棒、多結晶シリコン塊 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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Publication | Publication Date | Title |
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