JP2019104917A - 樹脂材料、ビニール製袋、多結晶シリコン棒、多結晶シリコン塊 - Google Patents
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Abstract
Description
3ppmw以下である。
が重要である。
よび金属元素を抽出する。そして、この抽出液を、例えば、PについてはICP−MS/
MS分析装置(米国Agilent社製、ICP-QQQ)で、その他の元素についてはICP−MS分析装置(米国Agilent社製、ICP-7500)で定量測定する。
塊を取り扱う際に用いるビニール製手袋(C)、多結晶シリコン塊の酸洗浄に用いる洗浄槽、配管、ポンプ部品を構成する樹脂部材(D)、酸洗浄後の多結晶シリコン塊をリンス洗浄する際の洗浄槽を構成する樹脂部材(E)、リンス洗浄後の多結晶シリコン塊を取り扱う際に用いるビニール製手袋(F)、多結晶シリコン塊を梱包するビニール製袋(G)である。
に接触した多結晶シリコンの表面の不純物濃度となる。つまり、多結晶シリコンの表面を清浄に維持するためには、これに接触する樹脂材料の表面の不純物濃度を低く抑える必要があり、鉄(Fe)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、ナトリウム(Na)、亜鉛(Zn)の6元素の合計が80pptw以下、リチウム(Li)、カリウム(K)、カルシウム(Ca)、チタン(Ti)、マンガン(Mn)、コバルト(Co)、モリブデン(Mo)、錫(Sn)、タングステン(W)、鉛(Pb)の10元素の合計が100pptw以下とすれば、多結晶シリコン表面の清浄性は概ね良好であると言える。
ついて定量分析を行った。
多結晶シリコン棒の育成後からCZ単結晶シリコン製造用原料である多結晶シリコン塊を製造するプロセスにおいて、一貫して洗浄なしの樹脂材料を用いて製造した多結晶シリコン塊を原料とした場合と、一貫して洗浄ありの樹脂材料を用いて製造した多結晶シリコン塊を原料とした場合とで、最終的に得られるCZ単結晶シリコンのバルク中の不純物濃度を比較した。その結果を表2に示す。
多結晶シリコン棒の育成後からこの多結晶シリコン棒を用いてFZ単結晶シリコンロッドを製造するプロセスにおいて、一貫して洗浄なしの樹脂材料を用いて製造した多結晶シリコン棒を原料とした場合と、一貫して洗浄ありの樹脂材料を用いて製造した多結晶シリコン棒を原料とした場合とで、最終的に得られるFZ単結晶シリコンのバルク中の不純物濃度を比較した。その結果を表3に示す。
Claims (10)
- 表面の不純物を、1wt%の硝酸水溶液を抽出液としてICP質量分析法で定量分析して得られた値が、リン(P)濃度が50pptw以下、ヒ素(As)濃度が2pptw以下、ボロン(B)濃度が20pptw以下、アルミニウム(Al)濃度が10pptw以下、鉄(Fe)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、ナトリウム(Na)、亜鉛(Zn)の6元素の合計が80pptw以下、リチウム(Li)、カリウム(K)、カルシウム(Ca)、チタン(Ti)、マンガン(Mn)、コバルト(Co)、モリブデン(Mo)、錫(Sn)、タングステン(W)、鉛(Pb)の10元素の合計が100pptw以下である、樹脂材料。
- バルク不純物濃度が、リン(P)濃度が3ppmw以下、ヒ素(As)濃度が1ppmw以下、ボロン(B)濃度が4ppmw以下、アルミニウム(Al)濃度が3ppmw以下である、請求項1に記載の樹脂材料。
- 前記樹脂材料はプラスチック材料である、請求項1または2に記載の樹脂材料。
- 前記プラスチック材料はビニール材料である、請求項3に記載の樹脂材料。
- ビニール材料からなる袋であって、
該袋の内側表面の不純物を、1wt%の硝酸水溶液を抽出液としてICP質量分析法で定量分析して得られた値が、リン(P)濃度が50pptw以下、ヒ素(As)濃度が2pptw以下、ボロン(B)濃度が20pptw以下、アルミニウム(Al)濃度が10pptw以下、鉄(Fe)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、ナトリウム(Na)、亜鉛(Zn)の6元素の合計が80pptw以下、リチウム(Li)、カリウム(K)、カルシウム(Ca)、チタン(Ti)、マンガン(Mn)、コバルト(Co)、モリブデン(Mo)、錫(Sn)、タングステン(W)、鉛(Pb)の10元素の合計が100pptw以下である、ビニール製袋。 - バルク不純物濃度が、リン(P)濃度が3ppmw以下、ヒ素(As)濃度が1ppmw以下、ボロン(B)濃度が4ppmw以下、アルミニウム(Al)濃度が3ppmw以下である、請求項5に記載のビニール製袋。
- シーメンス法により合成された多結晶シリコン棒を、請求項5または6に記載のビニール製袋内に前記多結晶シリコン棒を収容した状態で取り扱う工程を含む、多結晶シリコン棒の製造方法。
- シーメンス法により合成された多結晶シリコン棒から多結晶シリコン塊を製造するに際し、請求項1〜4の何れか1項に記載の樹脂材料からなる治具を用いる工程を含む、多結晶シリコン塊の製造方法。
- 請求項5または6に記載のビニール製袋に梱包された、シーメンス法により合成された多結晶シリコン棒。
- 請求項5または6に記載のビニール製袋に梱包された、シーメンス法により合成された多結晶シリコン棒を破砕して得られた多結晶シリコン塊。
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