WO2020235264A1 - 搬出治具、搬出方法及びシリコンロッドの製造方法 - Google Patents

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WO2020235264A1
WO2020235264A1 PCT/JP2020/016505 JP2020016505W WO2020235264A1 WO 2020235264 A1 WO2020235264 A1 WO 2020235264A1 JP 2020016505 W JP2020016505 W JP 2020016505W WO 2020235264 A1 WO2020235264 A1 WO 2020235264A1
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silicon rod
string
silicon
support portion
carry
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PCT/JP2020/016505
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Inventor
純也 阪井
一博 川口
Original Assignee
株式会社トクヤマ
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon
    • C01B33/021—Preparation
    • C01B33/027—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
    • C01B33/035—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds in the presence of heated filaments of silicon, carbon or a refractory metal, e.g. tantalum or tungsten, or in the presence of heated silicon rods on which the formed silicon is deposited, a silicon rod being obtained, e.g. Siemens process

Definitions

  • the present invention relates to a carry-out jig, a carry-out method, and a method for manufacturing a silicon rod.
  • a carry-out jig for carrying out the silicon rod to the outside of the reactor is known as a conventional technique.
  • a tubular member for accommodating a silicon rod inside and an air provided in the tubular member and holding the silicon rod in the tubular member by pressing the side surface of the silicon rod is disclosed.
  • Patent Document 1 the contact between the tubular member and the airbag to the silicon rod increases. Therefore, when the silicon rod is carried out of the reactor, there is a problem that the silicon rod may be damaged due to the shaking of the tubular member. Further, there is a problem that the polycrystalline silicon rod is contaminated when the contact with the silicon rod is increased.
  • One aspect of the present invention is intended to sufficiently reduce contact with the silicon rod and reduce damage to the silicon rod.
  • the carry-out jig is lifted to carry out a silicon rod having a straight body portion, and the silicon rod is sandwiched by sandwiching the tip end portion of the silicon rod.
  • the carry-out method is for lifting a support portion used for supporting the silicon rod in order to carry out the silicon rod having a straight body portion, and the number of the silicon rods and the number of the silicon rods.
  • the step of holding the silicon rod by winding the second string connected to the first string around the silicon rod is included.
  • both ends are connected to the silicon core wire.
  • a silicon rod having a straight body portion Used to deposit silicon on the silicon core wire by energization to obtain a silicon rod having a straight body portion, and to support the silicon rod in order to carry out the silicon rod from the reactor.
  • the process includes a step of supporting the silicon rod by sandwiching the tip end portion of the rod, and a step of holding the silicon rod by winding a second string connected to the first string around the silicon rod.
  • the contact with the silicon rod can be sufficiently reduced, and the damage to the silicon rod can be reduced.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a carry-out jig 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing a detailed configuration of a support portion 20 included in the carry-out jig 1 shown in FIG.
  • the reactor 90 is composed of a bottom portion on which the silicon rod 10 is arranged and a lid portion that can be attached to and detached from the bottom portion.
  • FIG. 1 shows the bottom portion of the reactor 90 and is a reactor.
  • the lid of 90 is omitted. 3 to 5 omit the reactor 90.
  • the direction in which the straight body portions 11 of the silicon rod 10 are arranged is in the X direction
  • the direction in which the two plate portions 21 and 22 of the support portion 20 are arranged is in the Y direction
  • the direction from the support portion 20 to the silicon rod 10 is directed.
  • the direction is the Z direction.
  • the Z direction is the upward direction.
  • the X, Y, and Z directions are perpendicular to each other.
  • the X, Y, and Z directions shown in FIGS. 2 to 5 are the same directions as the X, Y, and Z directions shown in FIG. 1, respectively.
  • the carry-out jig 1 is used when the silicon rod 10 is carried out from the reactor 90.
  • the unloading jig 1 includes a support portion 20, a first string 30, a second string 40, a fixing member 50, a first string connecting portion 60, and a third string 70.
  • the silicon rod 10 carried out from the reactor 90 has a U-shape in which two straight body portions 11 are connected at the upper part. Specifically, the upper ends of the two straight body portions 11 are connected to each other via the bridge portion 12.
  • the reactor 90 is provided with at least one pair of electrodes 80. With the lid of the reactor 90 attached to the bottom of the reactor 90, the raw material gas for silicon precipitation is supplied into the reactor 90. In this case, by energizing the silicon core wire 14 whose both ends are connected to the electrode 80, silicon is deposited on the silicon core wire 14 to obtain the silicon rod 10 having the straight body portion 11 and the bridging portion 12 ( The process of acquiring a silicon rod).
  • the raw material gas for silicon precipitation supplied into the reactor 90 for example, a gas of a silane compound such as trichlorosilane or monosilane is used. Both ends of the silicon core wire 14 are made of carbon core wire holding member 13.
  • the present invention is not limited in the scope of application when the silicon deposited on the silicon core wire 14 is polycrystalline silicon, and is also applied when the silicon deposited on the silicon core wire 14 is single crystal silicon. It is a thing.
  • the support portion 20 is lifted to carry out the silicon rod 10, and supports the silicon rod 10 by sandwiching the tip portion 15 of the silicon rod 10 (step of supporting the silicon rod).
  • the support portion 20 is used to support the silicon rod 10.
  • the support portion 20 is made of resin, for example.
  • the resin is not particularly limited, but polyamide resin, polyester resin, acrylic resin, methacrylic resin, polyurethane resin, epoxy resin, polycarbonate resin, polyolefin resin and the like can be used.
  • the view surrounded by the dotted line L1 is a plan view of the support portion 20
  • the view surrounded by the dotted line L2 is a front view of the support portion 20.
  • the support portion 20 is in a state where two U-shaped tip portions 15 of the silicon rod 10 are sandwiched by the support portion 20.
  • Two openings 23 are formed into which each of the two tips 15 fits.
  • Each of the two openings 23 has a shape in which the same direction (X direction) as the direction in which the two tip portions 15 are lined up is the longitudinal direction.
  • the two tip portions 15 of the silicon rod 10 can be easily fitted into the two openings 23, respectively. it can. Therefore, it is not necessary to prepare a plurality of carry-out jigs having different distances between the two openings 23, and the workability of carrying out the silicon rod 10 can be improved.
  • the size of the two openings 23 is such that the distance between the two tips 15 is allowed so as to correspond to various silicon rods 10 having different distances between the two tips 15. It may be the size.
  • the support portion 20 is composed of two plate portions 21 and 22 that sandwich the two tip portions 15. With the two plate portions 21 and 22 sandwiching the two tip portions 15, the fixing member 50 is fitted into one end side of the two plate portions 21 and 22 from the X direction, and the two plate portions 21, Another fixing member 50 is fitted to the other end side of 22 from the direction opposite to the X direction.
  • the two fixing members 50 are arranged so as to surround the two plate portions 21 and 22 from the outside, and fix the distance between the two plate portions 21 and 22. According to the above configuration, since the distance between the two plate portions 21 and 22 is fixed by the fixing member 50, the silicon rod 10 can be fixed to the support portion 20.
  • the recess formed in the plate portion 21 and the recess formed in the plate portion 22 are arranged so as to face each other.
  • the opening 23 is formed by these recesses.
  • Two holes 26 for passing the first string 30 are formed in each of the two plate portions 21 and 22. That is, four holes 26 are formed in the support portion 20.
  • the opening 23 corresponds to the straight line corresponding to the portion indicated by the line SL and the portion indicated by the line SC when viewed from the direction opposite to the Z direction. It is formed from a semicircle. That is, the two openings 23 are each formed of two straight lines and two semicircles. The two openings 23 may be formed from an ellipse having the X direction as the longitudinal direction. When the silicon rod 10 is lifted, the points where a force in the Z direction is applied to the silicon rod 10 are defined as two tip portions 15.
  • Each of the two openings 23 has at least a portion of the support portion 20 that tapers from the first surface 24 on the side supporting the silicon rod 10 toward the second surface 25 on the side opposite to the first surface 24. It is formed on the support portion 20 so as to have.
  • the two openings 23 have an inclined surface 231 as a portion that tapers from the first surface 24 toward the second surface 25.
  • the opening 23 is formed only by the inclined surface 231.
  • a part of the opening 23 tapers from the first surface 24 to the second surface 25. It may be formed in such a shape.
  • the silicon rod 10 can be firmly supported by the support portion 20.
  • the portion where the silicon rod 10 and the support portion 20 come into contact with each other can be reduced by forming an inclined portion having a tapered shape. Therefore, the amount of scraping of the support portion 20 and the like can be reduced. As a result, it is possible to suppress the mixing of impurities into silicon.
  • the support portion 20 may be prepared in which the smaller the diameter of the straight body portion 11 is, the larger the inclination angle ⁇ of the inclined surface 231 with respect to the second surface 25 is. As a result, the silicon rod 10 can be supported more firmly by the support portion 20.
  • the opening 23 may have a curved surface instead of the inclined surface 231 as a portion having a shape that tapers from the first surface 24 toward the second surface 25.
  • the first string 30 is for lifting the support portion 20.
  • the first string 30 is connected to the support portion 20 and the first string connecting portion 60, and is present at least as many as the number of silicon rods 10.
  • the number of silicon rods 10 to be carried out is one, there is one or more first strings 30.
  • at least one first string needs to be present, and it is preferable that two or more first strings are present.
  • the upper limit of the number of the first string 30 is preferably four times the number of the straight body portion 11 from the viewpoint of work efficiency, work stability and reduction of the contact portion, and the straight body portion 11 It is more preferably twice, and further preferably the same number as the straight body portion 11.
  • first string 30, the second string 40, and the third string 70 are each made of resin.
  • the resin is not particularly limited, but polyamide resin, polyester resin, acrylic resin, methacrylic resin, polyurethane resin, epoxy resin, polycarbonate resin, polyolefin resin and the like can be used.
  • the number of the silicon rods 10 to be carried out is one, the straight body portion 11 constituting the silicon rod 10 exists at two places, and the number of the first string 30 is two.
  • the first string 30 is connected to the support portion 20 (step of connecting the first string to the support portion).
  • the first string 30 is arranged outside the silicon rod 10 in the direction in which the straight body portions 11 of the silicon rod 10 are lined up. Further, the first string 30 extends in a direction parallel to the Z direction.
  • the first string connecting portion 60 is formed with four holes, a first hole, a second hole, a third hole, and a fourth hole (none of which are shown).
  • the first end thereof is passed through the first hole and is connected to the portion of the first string 30 between the support portion 20 and the first string connecting portion 60. Will be done.
  • the first end of the first string 30 is connected to the first string connecting portion 60.
  • the second end of the first string 30 opposite to the first end is passed through one hole 26 formed in the plate portion 21 and passed through one hole 26 formed in the plate portion 22.
  • the second end is passed through the second hole and is tied and connected to a portion of the first string 30 between the support portion 20 and the first string connecting portion 60.
  • the first string 30 is connected to the support portion 20 and the first string connecting portion 60.
  • the other first string 30 is also passed through the third hole and the fourth hole, and is also formed in one hole 26 and the plate portion 22 formed in the plate portion 21, similarly to the one first string 30. It is connected to the support portion 20 and the first string connecting portion 60 by being passed through one of the holes 26. Therefore, when the number of silicon rods 10 is one (the straight body portion 11 is at two locations) and there are two first strings 30, the two first strings 30 are supported as described above. It is connected to the portion 20 and the first string connecting portion 60.
  • the number of silicon rods 10 is one, there are two straight body portions 11 constituting the silicon rod 10, and four first strings 30 are present.
  • the connection between the first string 30 and the first string connecting portion 60 is the same as the connection described above.
  • the first end thereof is connected to the first string connecting portion 60.
  • the second end of the first string 30 opposite to the first end is passed through the hole 26 of any of the plate portions 21 and 22, and the support portion 20 and the first of the first string 30 are passed. It may be connected to a portion between the string connecting portion 60.
  • the four first strings 30 are connected to the support portion 20 and the first string connecting portion 60 as described above.
  • the form in which the first string 30 is connected to the support portion 20 and the first string connecting portion 60 is not limited to the form described above. That is, the number of the first string 30, the connection method between the first string 30 and the support portion 20, and the connection method between the first string 30 and the first string connection portion 60 can carry out the silicon rod 10. If there is, it may be changed as appropriate. The same applies to the form in which the third string 70 is connected to the first string connecting portion 60.
  • the silicon rod has an I-shape composed of the straight body portion 11. That is, the number of silicon rods is one, and the straight body portion is also one place.
  • one first string 30 may be present, and one silicon rod having an I-shape can be carried out by using the carry-out jig 1.
  • the second string 40 is connected to the first string 30 and holds the silicon rod 10 by winding around the silicon rod 10.
  • a plurality of the second string 40 may exist, and the second string 40 is tied to and connected to the first string 30, and is wound around the straight body portion 11 of the silicon rod 10.
  • the silicon rod 10 is carried out from the reactor 90, the silicon rod 10 is held by winding the second string 40 around the silicon rod 10 (step of holding the silicon rod).
  • the first string connecting portion 60 is arranged above the silicon rod 10, and the plurality of first strings 30 are arranged so that the plurality of first strings 30 are parallel to the long axis direction of the straight body portion 11. It is connected.
  • the first string connecting portion 60 is arranged on the Z direction side with respect to the silicon rod 10. Further, the plurality of first strings 30 are connected to the first string connecting portion 60 so as to be parallel to the Z direction, which is the long axis direction of the straight body portion 11.
  • the carry-out jig 1 since the carry-out jig 1 includes the first string connecting portion 60, the silicon rod 10 can be stably carried. In addition, since it becomes easy to tie the second string 40 and the like, the work becomes easy. Specifically, since it is conceivable to move the silicon rod 10 in a state of being suspended by a crane (not shown), the carry-out jig 1 is provided with the first string connecting portion 60 to stabilize the silicon rod 10. Can be transported. Further, by providing the carry-out jig 1 with the first string connecting portion 60, it is possible to prevent the first string 30 and the second string 40 from being entangled with each other. As a result, the work efficiency can be improved and the work time can be shortened.
  • the third string 70 is connected to the first string connecting portion 60.
  • the support portion 20 is lifted by lifting the third string 70 with a crane while the silicon rod 10 is supported by the support portion 20 (step of lifting the support portion).
  • the carry-out jig 1 does not have to include the third string 70.
  • the first string 30 is connected to the first string connecting portion 60, and the support portion 20 is lifted by lifting the first string 30 with a crane above the first string connecting portion 60.
  • the number of the second string may be appropriately determined according to the size of the silicon rod 10.
  • the number of the second strings is preferably more than or equal to the number of the first strings and 10 times or less than the number of the first strings. It is more preferable that the number of strings is at least 5 times the number of the first string.
  • the silicon rod 10 comes into contact with is the support portion 20 and the second string 40, and the support portion 20 comes into contact with the tip portion 15 of the silicon rod 10 which has few parts used as a material. Therefore, the contact with the silicon rod 10 can be sufficiently reduced. Further, by holding the silicon rod 10 by the second string 40, it is possible to reduce the shaking of the silicon rod 10 when the support portion 20 is lifted. Therefore, damage to the silicon rod 10 can be reduced. In addition, the silicon rod 10 can be carried out safely and in a short time.
  • FIG. 3 is a diagram showing how the second string 40 holds the silicon rod 10 via the protective member 16 in the carry-out jig 1 shown in FIG. This will be specifically described below.
  • the protective member 16 between the silicon rod 10 and the second string 40, the force concentrated on the second string 40 can be dispersed, and the cracking of the silicon rod 10 can be reduced.
  • the second string 40 which holds the silicon rod 10 at the highest position as compared with the other second string 40, holds the silicon rod 10 via the protective member 16.
  • the location of the second string 40 at the highest position is the location where the heaviest weight or force is applied, and at this location, the protective member 16 can effectively reduce the cracking of the silicon rod 10.
  • the protective member 16 may be cloth-like, mesh-like, and cloth-like.
  • the material of the protective member 16 is preferably an organic polymer material (made of resin). If the protective member 16 has a mesh shape, even if the material of the protective member 16 is a metal material, the contact portion between the silicon rod 10 and the protective member 16 can be reduced, so that the protective member 16 is used. be able to.
  • the material of the protective member 16 is an organic polymer material (made of resin), even if the silicon rod 10 comes into contact with the protective member 16, metal impurities adhere to the silicon rod 10 very little.
  • the organic polymer material (made of resin) is not particularly limited, and polyamide resin, polyester resin, acrylic resin, methacrylic resin, polyurethane resin, epoxy resin, polycarbonate resin, polyolefin resin and the like can be used.
  • FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a carry-out jig 1A according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a carry-out jig 1B different from the carry-out jig 1A shown in FIG.
  • the unloading jig 1A does not have the first string connecting portion 60 and the third string 70 as compared with the unloading jig 1, and the relationship between the unloading jig 1A and other members in the first string 30. Gender is different.
  • the first end of one of the first strings 30 is lifted by a crane (not shown).
  • the second end opposite to the first end is passed through one hole 26 formed in the plate portion 21, one hole 26 formed in the plate portion 22, and the first end. Is connected with.
  • the first string 30 is connected to the support portion 20.
  • the other first string 30 is also connected to the support portion 20 and lifted by a crane in the same manner as the one first string 30.
  • the connection portion CN1 between the first string 30 and the support portion 20 is arranged outside the silicon rod 10 in the direction in which the straight body portions 11 of the silicon rod 10 are lined up.
  • the connection point CN2 above the silicon rod 10 in the first string 30 substantially coincides with the center position MP of the silicon rod 10 when viewed from the direction opposite to the Z direction.
  • the stretching direction of the first string 30 is not a direction parallel to the Z direction, but a direction inclined with respect to a direction parallel to the Z direction. That is, when the number of silicon rods 10 is one and two first strings 30 are present, the two first strings 30 are connected to the support portion 20 and the crane is connected as described above. Is lifted by.
  • the carry-out jig 1B does not have the first string connecting portion 60 and the third string 70 as compared with the carry-out jig 1, the number of the first string 30 and the support.
  • the difference is that the portion 20 is changed to the support portion 20B.
  • the support portion 20B is composed of two plate portions 21B and 22B.
  • first string 30 is connected to the support portion 20B.
  • the other three first strings 30 are also connected to the support portion 20B and lifted by a crane in the same manner as the one first string 30.
  • the two outer first strings 30 are arranged outside the silicon rod 10 in the direction in which the straight body portions 11 of the silicon rod 10 are lined up.
  • the two inner first strings 30 are arranged inside the silicon rod 10 in the direction in which the straight body portions 11 of the silicon rod 10 are lined up. That is, when the number of silicon rods 10 is one and four first strings 30 are present, the four first strings 30 are connected to the support portion 20B and the crane is connected as described above. Is lifted by.
  • the carry-out jig is a support portion that is lifted to carry out a silicon rod having a straight body portion and supports the silicon rod by sandwiching the tip portion of the silicon rod, and the support portion.
  • the number of the silicon rods is at least the same as the number of the silicon rods, and the first string for lifting the support portion and the first string connected to the first string and wound around the silicon rods are used.
  • a second string for holding the silicon rod is provided.
  • the support portion and the second string what the silicon rod comes into contact with is the support portion and the second string, and the support portion contacts the tip portion of the silicon rod, which has few parts used as a material. Therefore, the contact with the silicon rod can be sufficiently reduced. Further, by holding the silicon rod by the second string, it is possible to reduce the shaking of the silicon rod when the support portion is lifted. Therefore, damage to the silicon rod can be reduced.
  • the silicon rod to be carried out has a U-shape in which two straight body portions are joined at the upper part, and the support portion is supported by two U-shaped tip portions of the silicon rod. By being sandwiched by the portions, two openings into which the two tips are fitted are formed, and the two openings are each in the same direction as the two tips are lined up. It may have a shape whose direction is the longitudinal direction.
  • the two tips of the silicon rods can be easily fitted into the two openings, respectively. Therefore, it is not necessary to prepare a plurality of carry-out jigs having different distances between the two openings, and the workability of carrying out the silicon rod can be improved.
  • the support portion has at least a portion of the support portion that tapers from the first surface of the support portion on the side that supports the silicon rod toward the second surface on the side opposite to the first surface. It may be formed in a portion.
  • the silicon rod can be firmly supported by the support portion.
  • the portion where the silicon rod and the support portion come into contact with each other can be reduced by forming an inclined portion having a tapered shape. Therefore, the amount of scraping of the support portion can be reduced. As a result, it is possible to suppress the mixing of impurities into silicon.
  • the support portion is composed of two plate portions that sandwich the tip portion, and the carry-out jig may further include a fixing member that fixes the distance between the two plate portions. According to the above configuration, since the distance between the two plate portions is fixed by the fixing member, the silicon rod can be fixed to the support portion.
  • the carry-out jig is arranged above the silicon rod, and the plurality of first strings are connected so that the plurality of the first strings are parallel to the long axis direction of the straight body portion.
  • the first string connecting portion may be further provided.
  • the silicon rod can be stably transported by providing the carry-out jig with the first string connecting portion. Moreover, since it becomes easy to tie the second string or the like, the work becomes easy. Specifically, since it is conceivable to move the silicon rod in a state of being suspended by a crane, the silicon rod can be stably transported by providing the carry-out jig with the first string connecting portion. Further, by providing the carry-out jig with the first string connecting portion, it is possible to prevent the first string and the second string from being entangled with each other. As a result, the work efficiency can be improved and the work time can be shortened.
  • a plurality of the second strings may exist, and at least one of the second strings may hold the silicon rod via a protective member.
  • the protective member between the silicon rod and the second string, the force concentrated on the second string can be dispersed, and the cracking of the silicon rod can be reduced.
  • the second string which holds the silicon rod at the highest position as compared with the other second string, holds the silicon rod via the protective member.
  • the location of the second string at the highest position is the location where the heaviest weight and force are applied, and in this location, the protective member can effectively reduce the cracking of the silicon rod.
  • the protective member may be a cloth-like material, a mesh-like material, and a cloth-like material.
  • the material of the protective member is preferably an organic polymer material (made of resin). If the protective member has a mesh shape, even if the material of the protective member is a metal material, the contact portion between the silicon rod and the protective member can be reduced, so that the protective member can be used. If the material of the protective member is an organic polymer material, even if the silicon rod comes into contact with the protective member, the adhesion of metal impurities to the silicon rod is extremely small.
  • the carry-out method is for lifting a support portion used for supporting the silicon rod in order to carry out the silicon rod having a straight body portion, and the number of the silicon rods and the number of the silicon rods.
  • the step of holding the silicon rod by winding the second string connected to the first string around the silicon rod is included.
  • both ends are connected to the silicon core wire.
  • a silicon rod having a straight body portion Used to deposit silicon on the silicon core wire by energization to obtain a silicon rod having a straight body portion, and to support the silicon rod in order to carry out the silicon rod from the reactor.
  • the process includes a step of supporting the silicon rod by sandwiching the tip end portion of the rod, and a step of holding the silicon rod by winding a second string connected to the first string around the silicon rod.

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Abstract

搬出治具（１）は、シリコンロッド（１０）を搬出するために吊り上げられ、シリコンロッド（１０）の先端部（１５）を挟み込むことによりシリコンロッド（１０）を支持する支持部（２０）と、シリコンロッド（１０）の本数と少なくとも同じ本数以上存在し、かつ、支持部（２０）を吊り上げるための第１紐（３０）と、シリコンロッド（１０）に対して巻き付くことによりシリコンロッド（１０）を保持する第２紐（４０）と、を備える。

Description

搬出治具、搬出方法及びシリコンロッドの製造方法
　本発明は、搬出治具、搬出方法及びシリコンロッドの製造方法に関する。
　シリコンロッドを反応器の外部に搬出するための搬出治具が従来技術として知られている。例えば、特許文献１には、シリコンロッドを内部に収容するための筒状部材と、筒状部材内に設けられ、シリコンロッドの側面を押圧することにより筒状部材内にシリコンロッドをホールドするエアバッグと、を備える搬出治具が開示されている。
日本国公開特許公報「特開２０１３－１５９５０４号公報（２０１３年８月１９日公開）」
　しかしながら、特許文献１に開示されている搬出治具では、筒状部材及びエアバッグによるシリコンロッドへの接触が多くなる。このため、シリコンロッドを反応器の外部に搬出するとき、筒状部材が揺れることによってシリコンロッドが損傷する虞があるという問題がある。また、シリコンロッドへの接触が多くなると、多結晶シリコンロッドが汚染されるという問題もある。本発明の一態様は、シリコンロッドへの接触を十分に少なくし、シリコンロッドの損傷を低減することを目的とする。
　前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬出治具は、直胴部を有するシリコンロッドを搬出するために吊り上げられ、前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する支持部と、前記支持部と接続され、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在し、かつ、前記支持部を吊り上げるための第１紐と、前記第１紐に接続され、前記シリコンロッドに対して巻き付くことにより前記シリコンロッドを保持する第２紐と、を備える。
　本発明の一態様に係る搬出方法は、直胴部を有するシリコンロッドを搬出するために、前記シリコンロッドを支持するために用いられる支持部を吊り上げるためのものであり、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在する第１紐を前記支持部に接続する工程と、前記支持部を吊り上げる工程と、前記支持部によって前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する工程と、前記第１紐に接続された第２紐を前記シリコンロッドに巻き付けることにより前記シリコンロッドを保持する工程と、を含む。
　本発明の一態様に係るシリコンロッドの製造方法は、少なくとも１対の電極が設けられ、シリコン析出用の原料ガスが供給された反応器内において、両端が前記電極に接続されているシリコン芯線に通電することにより、前記シリコン芯線にシリコンを析出させて、直胴部を有するシリコンロッドを取得する工程と、前記反応器から前記シリコンロッドを搬出するために、前記シリコンロッドを支持するために用いられる支持部を吊り上げるためのものであり、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在する第１紐を前記支持部に接続する工程と、前記支持部を吊り上げる工程と、前記支持部によって前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する工程と、前記第１紐に接続された第２紐を前記シリコンロッドに巻き付けることにより前記シリコンロッドを保持する工程と、を含む。
　本発明の一態様によれば、シリコンロッドへの接触を十分に少なくすることができ、シリコンロッドの損傷を低減することができる。
本発明の実施形態１に係る搬出治具の構成を示す図である。 図１に示す搬出治具が備える支持部の詳細な構成を示す図である。 図１に示す搬出治具において、第２紐が保護部材を介してシリコンロッドを保持する様子を示す図である。 本発明の実施形態２に係る搬出治具の構成を示す図である。 図４に示す搬出治具とは別の搬出治具の構成を示す図である。
　〔実施形態１〕
　（搬出治具１の構成）
　搬出治具１の構成、シリコンロッド１０の搬出方法及びシリコンロッド１０の製造方法について、図１及び図２に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る搬出治具１の構成を示す図である。図２は、図１に示す搬出治具１が備える支持部２０の詳細な構成を示す図である。なお、反応器９０は、シリコンロッド１０が配置される底部と、前記底部に対して着脱可能な蓋部と、から構成されているが、図１は、反応器９０の底部を示し、反応器９０の蓋部を省略している。図３から図５は、反応器９０を省略している。
　また、図１においては、シリコンロッド１０の直胴部１１が並ぶ方向をＸ方向、支持部２０の２枚の板部２１，２２が並ぶ方向をＹ方向、支持部２０からシリコンロッド１０に向かう方向をＺ方向とする。Ｚ方向を上方向とする。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向は、互いに垂直となっている。図２から図５に示すＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向は、それぞれ、図１に示すＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向と同様の方向である。
　搬出治具１は、反応器９０からシリコンロッド１０を搬出するときに用いられるものである。搬出治具１は、図１に示すように、支持部２０と、第１紐３０と、第２紐４０と、固定部材５０と、第１紐接続部６０と、第３紐７０と、を備えている。反応器９０から搬出されるシリコンロッド１０は、２か所の直胴部１１が上部で結合したＵ字形状を有する。具体的には、２か所の直胴部１１の上端は、橋架け部１２を介して互いに結合している。
　反応器９０には、少なくとも１対の電極８０が設けられている。反応器９０の底部に反応器９０の蓋部が装着された状態で、反応器９０内には、シリコン析出用の原料ガスが供給される。この場合において、両端が電極８０に接続されているシリコン芯線１４に通電することにより、シリコン芯線１４にシリコンを析出させて、直胴部１１及び橋架け部１２を有するシリコンロッド１０を取得する（シリコンロッドを取得する工程）。
　反応器９０内に供給されるシリコン析出用の原料ガスとしては、例えば、トリクロロシランやモノシラン等のシラン化合物のガスが使用される。シリコン芯線１４の前記両端は、カーボン製の芯線保持部材１３から構成されている。本発明は、シリコン芯線１４に析出されるシリコンが多結晶シリコンである場合に適用範囲が限定されるものではなく、シリコン芯線１４に析出されるシリコンが単結晶シリコンである場合にも適用されるものである。
　（支持部２０の構成）
　支持部２０は、シリコンロッド１０を搬出するために吊り上げられ、シリコンロッド１０の先端部１５を挟み込むことによりシリコンロッド１０を支持する（シリコンロッドを支持する工程）。支持部２０は、シリコンロッド１０を支持するために用いられる。支持部２０は、例えば、樹脂製である。当該樹脂は、特に制限されるものではないが、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、メタアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂及びポリオレフィン樹脂等が使用できる。図２において、点線Ｌ１で囲まれた図は、支持部２０の平面図であり、点線Ｌ２で囲まれた図は、支持部２０の正面図である。
　支持部２０には、図２のうち点線Ｌ１で囲まれた図に示すように、シリコンロッド１０におけるＵ字形状の２つの先端部１５が支持部２０によって挟み込まれた状態となることにより、２つの先端部１５のそれぞれが嵌合する２つの開口部２３が形成される。２つの開口部２３は、それぞれ、２つの先端部１５が並ぶ方向と同一の方向（Ｘ方向）を長手方向とする形状を有する。
　前記構成によれば、２つの先端部１５の間の距離が異なる様々なシリコンロッド１０において、シリコンロッド１０の２つの先端部１５を、それぞれ、２つの開口部２３に容易に嵌合させることができる。よって、２つの開口部２３の間の距離が異なる複数の搬出治具を用意する必要がなく、シリコンロッド１０の搬出の作業性を向上させることができる。なお、２つの開口部２３の大きさは、それぞれ、２つの先端部１５の間の距離が異なる様々なシリコンロッド１０に対応できるように、２つの先端部１５の間の距離を許容する程度の大きさであればよい。
　支持部２０は、２つの先端部１５を挟み込む２枚の板部２１，２２から構成される。２枚の板部２１，２２が２つの先端部１５を挟み込んだ状態で、２枚の板部２１，２２の一端側に対してＸ方向から固定部材５０を嵌め込み、２枚の板部２１，２２の他端側に対してＸ方向とは反対方向から別の固定部材５０を嵌め込む。
　これにより、２つの固定部材５０は、２枚の板部２１，２２に対して外側から囲むように配置され、２枚の板部２１，２２の間の距離を固定する。前記構成によれば、固定部材５０によって２枚の板部２１，２２の間の距離が固定されるため、シリコンロッド１０を支持部２０に固定することができる。
　また、固定部材５０によって２枚の板部２１，２２の間の距離が固定されることにより、板部２１に形成された凹部と板部２２に形成された凹部とが対向するように配置される。これらの凹部によって開口部２３が形成される。２枚の板部２１，２２には、それぞれ、第１紐３０を通すための２つの穴２６が形成されている。つまり、支持部２０には、４つの穴２６が形成されている。
　開口部２３は、図２のうち点線Ｌ１で囲まれた図に示すように、Ｚ方向とは反対方向から見て、線ＳＬで示す部分に対応する直線と、線ＳＣで示す部分に対応する半円と、から形成されている。つまり、２つの開口部２３は、それぞれ、２つの直線と、２つの半円と、から形成されている。なお、２つの開口部２３は、Ｘ方向を長手方向とする楕円から形成されていてもよい。シリコンロッド１０を吊り上げる際、シリコンロッド１０に対してＺ方向の力を加える箇所を２つの先端部１５とする。
　２つの開口部２３は、それぞれ、支持部２０におけるシリコンロッド１０を支持する側の第１表面２４から第１表面２４とは反対側の第２表面２５に向かうにつれて先細りする形状となる部分を少なくとも有するように、支持部２０に形成される。例えば、２つの開口部２３は、第１表面２４から第２表面２５に向かうにつれて先細りする形状となる部分として、傾斜面２３１を有する。図２のうち点線Ｌ２で囲まれた図では、開口部２３は、傾斜面２３１のみで形成されているが、開口部２３の一部が、第１表面２４から第２表面２５に向かうにつれて先細りする形状で形成されてもよい。
　前記構成において、シリコンロッド１０の２つの先端部１５は、曲面となっているため、支持部２０にシリコンロッド１０を嵌合させ易くなる。よって、支持部２０に対してシリコンロッド１０を強固に支持させることができる。また、例えば、支持部２０が樹脂製である場合、先細りする形状の傾斜部分が形成されることにより、シリコンロッド１０と支持部２０とが接触する部分を低減することができる。このため、支持部２０が削れる量等を低減することができる。その結果、シリコンへの不純物の混入を抑制することができる。
　搬出されるシリコンロッド１０について直胴部１１の直径が小さい程、第２表面２５に対する傾斜面２３１の傾斜角度θが大きい支持部２０を準備してもよい。これにより、支持部２０に対してシリコンロッド１０をより強固に支持させることができる。なお、開口部２３は、第１表面２４から第２表面２５に向かうにつれて先細りする形状となる部分として、傾斜面２３１に代えて曲面を有してもよい。
　（第１紐３０の構成）
　第１紐３０は、支持部２０を吊り上げるためのものである。第１紐３０は、支持部２０及び第１紐接続部６０と接続されており、シリコンロッド１０の本数と少なくとも同じ本数以上存在する。例えば、搬出されるシリコンロッド１０の本数が１本である場合、第１紐３０は１本以上存在する。特に、シリコンロッド１０を構成する直胴部１１の数以上の第１紐３０が存在することが好ましい。例えば、直胴部を２箇所有するＵ字型のシリコンロッドの場合、第１紐は、少なくとも１本以上存在する必要があり、２本以上存在することが好ましい。
　第１紐３０の本数の上限値は、作業の効率、作業の安定性及び接触部分の低減という観点から、当該直胴部１１の数の４倍であることが好ましく、当該直胴部１１の２倍であることがより好ましく、当該直胴部１１と同じ数であることがさらに好ましい。
　第１紐３０、第２紐４０及び第３紐７０は、それぞれ、樹脂製であることが好ましい。当該樹脂は、特に制限されるものではないが、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、メタアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、及びポリオレフィン樹脂等が使用できる。
　図１の場合、搬出されるシリコンロッド１０の本数は１本であり、当該シリコンロッド１０を構成する直胴部１１は２箇所存在し、第１紐３０の本数は２本である。シリコンロッド１０を反応器９０から搬出する際には、第１紐３０を支持部２０に接続する（第１紐を支持部に接続する工程）。第１紐３０は、シリコンロッド１０の直胴部１１が並ぶ方向において、シリコンロッド１０より外側に配置されている。また、第１紐３０は、Ｚ方向と平行な方向に延伸する。
　ここで、第１紐接続部６０には、第１穴、第２穴、第３穴及び第４穴（いずれも図示せず）の４つの穴が形成されているものとする。一方の第１紐３０について、その第１端は、前記第１穴に通されるとともに、第１紐３０のうち支持部２０と第１紐接続部６０との間の部分に結び付けられて接続される。これにより、第１紐３０の前記第１端は、第１紐接続部６０に接続される。
　また、第１紐３０における前記第１端とは反対側の第２端は、板部２１に形成された１つの穴２６に通され、板部２２に形成された１つの穴２６に通される。前記第２端は、前記第２穴に通され、第１紐３０のうち支持部２０と第１紐接続部６０との間の部分に結び付けられて接続される。これにより、第１紐３０は、支持部２０及び第１紐接続部６０に接続される。
　他方の第１紐３０も、一方の第１紐３０と同様に、前記第３穴及び前記第４穴に通されるとともに、板部２１に形成された１つの穴２６及び板部２２に形成された１つの穴２６に通されることにより、支持部２０及び第１紐接続部６０に接続される。よって、シリコンロッド１０の本数が１本（直胴部１１は２箇所）であり、第１紐３０が２本存在している場合、２本の第１紐３０は、前記のように、支持部２０及び第１紐接続部６０に接続される。
　その他の例として、図５に示すように、シリコンロッド１０の本数が１本であり、当該シリコンロッド１０を構成する直胴部１１は２箇所存在し、第１紐３０が４本存在している場合を考える。ここで、第１紐３０と第１紐接続部６０との接続は、前記で説明した接続と同様であるものとする。この場合、４本の第１紐３０のそれぞれについて、その第１端は、第１紐接続部６０に接続される。また、第１紐３０における当該第１端とは反対側の第２端は、板部２１，２２のいずれかの穴２６に通されるとともに、第１紐３０のうち支持部２０と第１紐接続部６０との間の部分に接続されてもよい。これにより、４本の第１紐３０は、前記のように、支持部２０及び第１紐接続部６０に接続される。
　第１紐３０が支持部２０及び第１紐接続部６０に接続される形態は、前記に説明した形態には限定されない。つまり、第１紐３０の本数、第１紐３０と支持部２０との接続方法や第１紐３０と第１紐接続部６０との接続方法は、シリコンロッド１０の搬出を行うことが可能であれば、適宜変更してもよい。第３紐７０が第１紐接続部６０に接続される形態でも同様である。
　さらに、反応器９０内でシリコンロッド１０が析出中であるときに、シリコンロッド１０の橋架け部１２が割れた場合を考える。この場合、シリコンロッドは、直胴部１１から構成されるＩ字形状を有する。つまり、シリコンロッドの本数は１本であり、直胴部も１箇所となる。このとき、搬出治具１において、第１紐３０は、１本存在していればよく、搬出治具１を用いてＩ字形状を有する１本のシリコンロッドを搬出することができる。
　（第２紐４０の構成）
　第２紐４０は、第１紐３０に接続され、シリコンロッド１０に対して巻き付くことによりシリコンロッド１０を保持する。第２紐４０は、複数存在していてもよく、第１紐３０に結び付けられて接続され、シリコンロッド１０の直胴部１１を取り囲んで巻き付いている。シリコンロッド１０を反応器９０から搬出する際には、第２紐４０をシリコンロッド１０に巻き付けることによりシリコンロッド１０を保持する（シリコンロッドを保持する工程）。
　（第１紐接続部６０の構成）
　第１紐接続部６０は、シリコンロッド１０よりも上側に配置され、複数の第１紐３０が直胴部１１の長軸方向に対してそれぞれ平行になるように、複数の第１紐３０が接続されている。換言すると、第１紐接続部６０は、シリコンロッド１０に対してＺ方向側に配置される。また、複数の第１紐３０は、第１紐接続部６０に接続されることにより、直胴部１１の長軸方向であるＺ方向に対してそれぞれ平行になる。
　前記構成によれば、搬出治具１が第１紐接続部６０を備えることにより、シリコンロッド１０を安定して運搬することができる。また、第２紐４０等を結びやすくなるため、作業がし易くなる。具体的には、シリコンロッド１０をクレーン（図示せず）で吊った状態で移動させることが考えられるため、搬出治具１が第１紐接続部６０を備えることにより、シリコンロッド１０を安定して運搬することができる。また、搬出治具１が第１紐接続部６０を備えることにより、第１紐３０や第２紐４０同士が絡むことを防止することもできる。その結果、作業効率を向上させ、作業時間を短縮することができる。
　第１紐接続部６０には、第３紐７０が接続されている。シリコンロッド１０を反応器９０から搬出する際に、シリコンロッド１０が支持部２０によって支持された状態で、第３紐７０をクレーンで吊り上げることにより支持部２０を吊り上げる（支持部を吊り上げる工程）。なお、搬出治具１は、第３紐７０を備えていなくてもよい。この場合、第１紐３０は、第１紐接続部６０に接続されるとともに、第１紐接続部６０より上側において、第１紐３０をクレーンで吊り上げることにより支持部２０を吊り上げる。
　第２紐の本数は、シリコンロッド１０の大きさに応じて、適宜最適な数を決定すればよい。中でも、作業の効率、作業の安定性及び接触部分の低減という観点から、第２紐の本数は、第１紐の本数以上、第１紐の本数の１０倍以下であることが好ましく、第１紐の本数以上、第１紐の本数の５倍以下であることがより好ましい。
　以上により、シリコンロッド１０が接触するものは、支持部２０及び第２紐４０であり、支持部２０は、材料として用いられる部分が少ないシリコンロッド１０の先端部１５と接触する。このため、シリコンロッド１０への接触を十分に少なくすることができる。また、第２紐４０によってシリコンロッド１０を保持することにより、支持部２０を吊り上げるときのシリコンロッド１０の揺れを低減することができる。よって、シリコンロッド１０の損傷を低減することができる。また、シリコンロッド１０の搬出作業を安全、かつ、短時間で行うことができる。
　（保護部材１６の構成）
　シリコンロッド１０を反応器９０から搬出する際、図３に示すように、シリコンロッド１０を保護するための保護部材１６を用いることが好ましい。つまり、第２紐４０が複数存在し、少なくとも１つの第２紐４０が保護部材１６を介してシリコンロッド１０を保持することが好ましい。図３は、図１に示す搬出治具１において、第２紐４０が保護部材１６を介してシリコンロッド１０を保持する様子を示す図である。具体的に以下に説明する。
　シリコンロッド１０と第２紐４０との間に保護部材１６を設けることにより、第２紐４０に集中する力を分散させることができ、シリコンロッド１０の割れを低減することができる。特に、他の第２紐４０と比べて最も高い位置でシリコンロッド１０を保持する第２紐４０が、保護部材１６を介してシリコンロッド１０を保持することが好ましい。最も高い位置にある第２紐４０の場所は、一番重さや力がかかる場所であり、この場所においては、保護部材１６によってシリコンロッド１０の割れを効果的に低減することができる。
　保護部材１６は、布状のものであればよく、網目状であり、かつ、布状のものであってもよい。保護部材１６の材質は、有機高分子材料（樹脂製）が好ましい。保護部材１６が網目状のものであれば、保護部材１６の材質が金属材料であっても、シリコンロッド１０と保護部材１６との接触部分を低減することができるため、保護部材１６を使用することができる。
　保護部材１６の材質が有機高分子材料（樹脂製）であれば、シリコンロッド１０が保護部材１６と接触しても、シリコンロッド１０への金属不純物の付着が極めて少ない。当該有機高分子材料（樹脂製）としては、特に制限されるものではないが、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、メタアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂及びポリオレフィン樹脂等が使用できる。
　〔実施形態２〕
　本発明の実施形態２について、図４及び図５に基づいて説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。図４は、本発明の実施形態２に係る搬出治具１Ａの構成を示す図である。図５は、図４に示す搬出治具１Ａとは別の搬出治具１Ｂの構成を示す図である。
　搬出治具１Ａは、図４に示すように、搬出治具１と比べて、第１紐接続部６０及び第３紐７０を備えていない点と、第１紐３０における他の部材との関係性と、が異なる。一方の第１紐３０について、その第１端は、クレーン（図示せず）で吊り上げられる。当該第１端とは反対側の第２端は、板部２１に形成された１つの穴２６に通され、板部２２に形成された１つの穴２６に通されるとともに、前記第１端と接続される。これにより、第１紐３０は、支持部２０に接続される。
　他方の第１紐３０も、一方の第１紐３０と同様に、支持部２０に接続され、クレーンで吊り上げられる。この場合、第１紐３０と支持部２０との接続箇所ＣＮ１は、シリコンロッド１０の直胴部１１が並ぶ方向において、シリコンロッド１０より外側に配置されている。第１紐３０におけるシリコンロッド１０より上側の接続箇所ＣＮ２は、Ｚ方向とは反対方向から見て、シリコンロッド１０の中央位置ＭＰと略一致する。
　よって、搬出治具１Ａでは、図４に示すように、第１紐３０の延伸方向は、Ｚ方向と平行な方向にはならず、Ｚ方向と平行な方向に対して傾斜する方向となる。つまり、シリコンロッド１０の本数が１本であり、第１紐３０が２本存在している場合、２本の第１紐３０は、前記のように、支持部２０に接続されるとともに、クレーンで吊り上げられる。
　一方、搬出治具１Ｂは、図５に示すように、搬出治具１と比べて、第１紐接続部６０及び第３紐７０を備えていない点と、第１紐３０の本数と、支持部２０が支持部２０Ｂに変更されている点と、が異なる。支持部２０Ｂは、支持部２０と同様に、２枚の板部２１Ｂ，２２Ｂから構成される。
　２枚の板部２１Ｂ，２２Ｂには、それぞれ、第１紐３０を通すための４つの穴２６が形成されている。つまり、支持部２０Ｂには、８つの穴２６が形成されている。１本の第１紐３０について、その第１端は、クレーン（図示せず）で吊り上げられる。当該第１端とは反対側の第２端は、板部２１Ｂに形成された１つの穴２６に通され、板部２２Ｂに形成された１つの穴２６に通されるとともに、前記第１端と接続される。これにより、第１紐３０は、支持部２０Ｂに接続される。
　他の３本の第１紐３０も、前記１本の第１紐３０と同様に、支持部２０Ｂに接続され、クレーンで吊り上げられる。この場合、外側の２本の第１紐３０は、シリコンロッド１０の直胴部１１が並ぶ方向において、シリコンロッド１０より外側に配置されている。内側の２本の第１紐３０は、シリコンロッド１０の直胴部１１が並ぶ方向において、シリコンロッド１０より内側に配置されている。つまり、シリコンロッド１０の本数が１本であり、第１紐３０が４本存在している場合、４本の第１紐３０は、前記のように、支持部２０Ｂに接続されるとともに、クレーンで吊り上げられる。
　〔まとめ〕
　本発明の一態様に係る搬出治具は、直胴部を有するシリコンロッドを搬出するために吊り上げられ、前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する支持部と、前記支持部と接続され、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在し、かつ、前記支持部を吊り上げるための第１紐と、前記第１紐に接続され、前記シリコンロッドに対して巻き付くことにより前記シリコンロッドを保持する第２紐と、を備える。
　前記構成によれば、シリコンロッドが接触するものは、支持部及び第２紐であり、支持部は、材料として用いられる部分が少ないシリコンロッドの先端部と接触する。このため、シリコンロッドへの接触を十分に少なくすることができる。また、第２紐によってシリコンロッドを保持することにより、支持部を吊り上げるときのシリコンロッドの揺れを低減することができる。よって、シリコンロッドの損傷を低減することができる。
　搬出される前記シリコンロッドは、２か所の前記直胴部が上部で結合したＵ字形状を有し、前記支持部には、前記シリコンロッドにおけるＵ字形状の２つの前記先端部が前記支持部によって挟み込まれた状態となることにより、２つの前記先端部のそれぞれが嵌合する２つの開口部が形成され、前記２つの開口部は、それぞれ、２つの前記先端部が並ぶ方向と同一の方向を長手方向とする形状を有してもよい。
　前記構成によれば、２つの先端部の間の距離が異なる様々なシリコンロッドにおいて、シリコンロッドの２つの先端部を、それぞれ、２つの開口部に容易に嵌合させることができる。よって、２つの開口部の間の距離が異なる複数の搬出治具を用意する必要がなく、シリコンロッドの搬出の作業性を向上させることができる。
　前記開口部は、前記支持部における前記シリコンロッドを支持する側の第１表面から前記第１表面とは反対側の第２表面に向かうにつれて先細りする形状となる部分を少なくとも有するように、前記支持部に形成されてもよい。
　前記構成において、シリコンロッドの２つの先端部は、曲面となっているため、支持部にシリコンロッドを嵌合させ易くなる。よって、支持部に対してシリコンロッドを強固に支持させることができる。また、例えば、支持部が樹脂製である場合、先細りする形状の傾斜部分が形成されることにより、シリコンロッドと支持部とが接触する部分を低減することができる。このため、前記支持部が削れる量等を低減することができる。その結果、シリコンへの不純物の混入を抑制することができる。
　前記支持部は、前記先端部を挟み込む２枚の板部から構成され、前記搬出治具は、前記２枚の板部の間の距離を固定する固定部材をさらに備えてもよい。前記構成によれば、固定部材によって２枚の板部の間の距離が固定されるため、シリコンロッドを支持部に固定することができる。
　前記搬出治具は、前記シリコンロッドよりも上側に配置され、複数の前記第１紐が前記直胴部の長軸方向に対してそれぞれ平行になるように、前記複数の第１紐が接続された第１紐接続部をさらに備えてもよい。
　前記構成によれば、搬出治具が第１紐接続部を備えることにより、シリコンロッドを安定して運搬することができる。また、第２紐等を結びやすくなるため、作業がし易くなる。具体的には、シリコンロッドをクレーンで吊った状態で移動させることが考えられるため、搬出治具が第１紐接続部を備えることにより、シリコンロッドを安定して運搬することができる。また、搬出治具が第１紐接続部を備えることにより、第１紐や第２紐同士が絡むことを防止することもできる。その結果、作業効率を向上させ、作業時間を短縮することができる。
　前記第２紐が複数存在し、少なくとも１つの前記第２紐が保護部材を介して前記シリコンロッドを保持してもよい。
　前記構成によれば、シリコンロッドと第２紐との間に保護部材を設けることにより、第２紐に集中する力を分散させることができ、シリコンロッドの割れを低減することができる。特に、他の第２紐と比べて最も高い位置でシリコンロッドを保持する第２紐が、保護部材を介してシリコンロッドを保持することが好ましい。最も高い位置にある第２紐の場所は、一番重さや力がかかる場所であり、この場所においては、保護部材によってシリコンロッドの割れを効果的に低減することができる。
　保護部材は、布状のものであればよく、網目状であり、かつ、布状のものであってもよい。保護部材の材質は、有機高分子材料（樹脂製）が好ましい。保護部材が網目状のものであれば、保護部材の材質が金属材料であっても、シリコンロッドと保護部材との接触部分を低減することができるため、保護部材を使用することができる。保護部材の材質が有機高分子材料であれば、シリコンロッドが保護部材と接触しても、シリコンロッドへの金属不純物の付着が極めて少ない。
　本発明の一態様に係る搬出方法は、直胴部を有するシリコンロッドを搬出するために、前記シリコンロッドを支持するために用いられる支持部を吊り上げるためのものであり、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在する第１紐を前記支持部に接続する工程と、前記支持部を吊り上げる工程と、前記支持部によって前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する工程と、前記第１紐に接続された第２紐を前記シリコンロッドに巻き付けることにより前記シリコンロッドを保持する工程と、を含む。
　本発明の一態様に係るシリコンロッドの製造方法は、少なくとも１対の電極が設けられ、シリコン析出用の原料ガスが供給された反応器内において、両端が前記電極に接続されているシリコン芯線に通電することにより、前記シリコン芯線にシリコンを析出させて、直胴部を有するシリコンロッドを取得する工程と、前記反応器から前記シリコンロッドを搬出するために、前記シリコンロッドを支持するために用いられる支持部を吊り上げるためのものであり、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在する第１紐を前記支持部に接続する工程と、前記支持部を吊り上げる工程と、前記支持部によって前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する工程と、前記第１紐に接続された第２紐を前記シリコンロッドに巻き付けることにより前記シリコンロッドを保持する工程と、を含む。
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
　１、１Ａ、１Ｂ　搬出治具
　１０　シリコンロッド
　１１　直胴部
　１５　先端部
　１６　保護部材
　２０、２０Ｂ　支持部
　２１、２１Ｂ、２２、２２Ｂ　板部
　２３　開口部
　２４　第１表面
　２５　第２表面
　３０　第１紐
　５０　固定部材
　６０　第１紐接続部
　８０　電極
　９０　反応器

Claims (8)

  1. 　直胴部を有するシリコンロッドを搬出するために吊り上げられ、前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する支持部と、
    　前記支持部と接続され、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在し、かつ、前記支持部を吊り上げるための第１紐と、
    　前記第１紐に接続され、前記シリコンロッドに対して巻き付くことにより前記シリコンロッドを保持する第２紐と、を備えることを特徴とする搬出治具。
  2. 　搬出される前記シリコンロッドは、２か所の前記直胴部が上部で結合したＵ字形状を有し、
    　前記支持部には、前記シリコンロッドにおけるＵ字形状の２つの前記先端部が前記支持部によって挟み込まれた状態となることにより、２つの前記先端部のそれぞれが嵌合する２つの開口部が形成され、
    　前記２つの開口部は、それぞれ、２つの前記先端部が並ぶ方向と同一の方向を長手方向とする形状を有することを特徴とする請求項１に記載の搬出治具。
  3. 　前記開口部は、前記支持部における前記シリコンロッドを支持する側の第１表面から前記第１表面とは反対側の第２表面に向かうにつれて先細りする形状となる部分を少なくとも有するように、前記支持部に形成されることを特徴とする請求項２に記載の搬出治具。
  4. 　前記支持部は、前記先端部を挟み込む２枚の板部から構成され、
    　前記２枚の板部の間の距離を固定する固定部材をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の搬出治具。
  5. 　前記シリコンロッドよりも上側に配置され、複数の前記第１紐が前記直胴部の長軸方向に対してそれぞれ平行になるように、前記複数の第１紐が接続された第１紐接続部をさらに備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の搬出治具。
  6. 　前記第２紐が複数存在し、少なくとも１つの前記第２紐が保護部材を介して前記シリコンロッドを保持する請求項１から５のいずれか１項に記載の搬出治具。
  7. 　直胴部を有するシリコンロッドを搬出するために、前記シリコンロッドを支持するために用いられる支持部を吊り上げるためのものであり、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在する第１紐を前記支持部に接続する工程と、
    　前記支持部を吊り上げる工程と、
    　前記支持部によって前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する工程と、
    　前記第１紐に接続された第２紐を前記シリコンロッドに巻き付けることにより前記シリコンロッドを保持する工程と、を含むことを特徴とする搬出方法。
  8. 　少なくとも１対の電極が設けられ、シリコン析出用の原料ガスが供給された反応器内において、両端が前記電極に接続されているシリコン芯線に通電することにより、前記シリコン芯線にシリコンを析出させて、直胴部を有するシリコンロッドを取得する工程と、
    　前記反応器から前記シリコンロッドを搬出するために、前記シリコンロッドを支持するために用いられる支持部を吊り上げるためのものであり、前記シリコンロッドの本数と少なくとも同じ本数以上存在する第１紐を前記支持部に接続する工程と、
    　前記支持部を吊り上げる工程と、
    　前記支持部によって前記シリコンロッドの先端部を挟み込むことにより前記シリコンロッドを支持する工程と、
    　前記第１紐に接続された第２紐を前記シリコンロッドに巻き付けることにより前記シリコンロッドを保持する工程と、を含むことを特徴とするシリコンロッドの製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115534151A (zh) * 2022-11-03 2022-12-30 浙江矽盛电子有限公司 一种太阳能电池用的单晶硅棒制造切断装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013043734A (ja) * 2011-08-23 2013-03-04 Mitsubishi Materials Corp 多結晶シリコンロッド解体機および解体装置
CN202764059U (zh) * 2012-08-30 2013-03-06 英利能源（中国）有限公司 一种用于单晶硅棒破方工艺的工装装置
WO2013114858A1 (ja) * 2012-02-02 2013-08-08 信越化学工業株式会社 多結晶シリコン棒搬出治具および多結晶シリコン棒の刈取方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013043734A (ja) * 2011-08-23 2013-03-04 Mitsubishi Materials Corp 多結晶シリコンロッド解体機および解体装置
WO2013114858A1 (ja) * 2012-02-02 2013-08-08 信越化学工業株式会社 多結晶シリコン棒搬出治具および多結晶シリコン棒の刈取方法
JP2013159504A (ja) 2012-02-02 2013-08-19 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 多結晶シリコン棒搬出冶具および多結晶シリコン棒の刈取方法
CN202764059U (zh) * 2012-08-30 2013-03-06 英利能源（中国）有限公司 一种用于单晶硅棒破方工艺的工装装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115534151A (zh) * 2022-11-03 2022-12-30 浙江矽盛电子有限公司 一种太阳能电池用的单晶硅棒制造切断装置
CN115534151B (zh) * 2022-11-03 2023-08-22 浙江矽盛电子有限公司 一种太阳能电池用的单晶硅棒制造切断装置

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