JP5456943B2 - 排ガス浄化装置 - Google Patents

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Description

本発明は、エンジンの排ガスに含まれる窒素酸化物(NOx)を低減して排ガスを浄化する装置に関するものである。
従来、内燃機関から排出される排ガスが排気管を流通し、排ガスが大気中に放出される際の排気音を低減するマフラが排気管に接続され、排ガスを浄化する浄化装置が排気管に設けられ、オゾンがオゾン生成リアクタにより生成され、オゾン生成リアクタと排気管とがオゾン供給管により排ガスが流通する方向における浄化装置の上流側で接続され、オゾン生成リアクタが生成したオゾンがオゾン供給管を介して排気管の内部に供給される排ガス後処理システムが開示されている(例えば、特許文献1参照。)。この排ガス後処理システムでは、オゾンの量がオゾンセンサにより検出され、このオゾンセンサがオゾン供給管の内部とマフラの直前との少なくとも一方に配置される。またオゾン生成リアクタは、一対の電極を内部に有する生成部、電極と電極との間に高電圧を印加する電源部、及び生成部の内部に空気を供給するエアポンプを備える。またオゾン供給管には、オゾン供給管と排気管との間の連通と遮断とを切換える開閉弁が設けられる。更に電源部、エアポンプ及び開閉弁はECU(Engine Control Unit)に電気的に接続され、ECUからの出力に基づいてこれらの動作が制御されるように構成される。
このように構成された排ガス後処理システムでは、オゾンセンサをオゾン供給管の内部に配置する場合、オゾン供給管は排ガスが流通する経路ではないため、排気管の内部のように高温になることがない。従って、オゾンセンサとして、耐熱性が低いけれども微量のオゾンを検出できる半導体オゾンセンサを用いることが可能となり、オゾン生成リアクタによるオゾンの生成量を正確に検出できる。一方、オゾンセンサをマフラの直前に配置する場合において、通常、浄化装置を通過した排ガスは排気管の内部を流通する間に冷却され、マフラに達する前に半導体オゾンセンサを用いることが可能な温度となる。従って、オゾンセンサとして、半導体オゾンセンサを用いることが可能となり、未反応のまま残留したオゾンの量が正確に検出されるので、オゾンの量を正確に検出できるようになっている。
一方、誘電体の一方の面に高電圧電極が設けられ、誘電体の他方の面に空隙部を介して接地電極が並設され、これらの電極がオゾン発生容器に収納され、高電圧電極と接地電極間に電圧を印加して空隙部内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生させるオゾン発生装置が開示されている(例えば、特許文献2参照。)。このオゾン発生装置では、圧縮空気中の窒素を窒素富化装置が濃縮して除去し、この窒素富化装置で窒素が除去された後の残りのガスと上記圧縮空気が混合され、この混合ガスが原料ガスとしてオゾン発生容器に導かれるように構成される。またオゾン発生容器へ導かれる原料ガスの酸素濃度が酸素濃度計により検出され、オゾン発生容器で発生したオゾンの濃度がオゾン濃度計により検出される。更に制御手段が酸素濃度計及びオゾン濃度計の各検出出力に基づいてオゾン発生容器内へ導かれる原料ガスの酸素濃度、ガス流量及び投入電力量を制御するように構成される。なお、窒素富化装置として、膜分離方式の装置が用いられる。
このように構成されたオゾン発生装置では、窒素富化装置により窒素が濃縮されたガス(窒素富化ガス)を放出し除去するので、残りのガス中には酸素が多く含まれている。そして制御手段は各濃度計の検出出力に基づいて制御するので、オゾン濃度が指令値として与えられたとき、原料ガスが最適な酸素濃度、ガス流量に制御されるとともに、オゾン発生装置の投入電力量が最適な投入電力量に制御される。この結果、上記オゾン発生装置では、酸素の無駄を省くことができ、低コストでかつ運転効率を向上できる。また圧縮空気の一部を窒素富化装置によって富化するので、圧縮空気量を増やすことなく所望の高濃度の酸素が得られる。この結果、空気を圧縮するコンプレッサのロスは低減できるようになっている。
特開2012−26331号公報(請求項1、段落[0009]、[0016]、図1) 特開平07−277708号公報(請求項2、段落[0011]〜[0013]、[0022]、図1、図2)
上記従来の特許文献1に示された排ガス後処理システムでは、エアポンプとオゾン発生器が直結されているため、オゾン発生器に流入する直前のエアの流量を検出しなくても、エアポンプの回転速度等により上記エア流量を算出できる。しかし、上記従来の特許文献1に示された排ガス後処理システムでは、エアポンプに圧送されたエアには水分が比較的多く含まれているため、オゾン発生器によりオゾンが安定して発生しなかったり、或いは生成物ができてしまい、オゾンの発生効率が低い不具合があった。このため、エアポンプとオゾン発生器との間にエア中の水分を除去する除湿器を設けると、エアポンプからのエアの圧力が除湿器にて上昇するため、エアポンプの回転速度だけでは、オゾン発生器に流入する直前のエアの流量を正確に検出することができず、排ガス中のNOx量に対するオゾンの供給量が多過ぎたり或いは少な過ぎる問題点があった。一方、上記従来の特許文献2に示されたオゾン発生装置では、膜分離方式の窒素富化装置で窒素が濃縮されたガス(窒素富化ガス)をそのまま大気に放出し除去しているため、窒素が濃縮されたガス(窒素富化ガス)の有効利用を図っていなかった。また、上記従来の特許文献2に示されたオゾン発生装置は、内部放電を行うことから発熱し易い特性があった。
本発明の第1の目的は、コンプレッサにより圧縮された空気中の水分を除湿器により除去することにより、オゾン発生器によりオゾンを効率良く発生させることができ、またオゾン発生器に流入する直前の空気の流量を流量センサにより正確に検出することにより、排ガス中のNOx量とNO対NO2の流量比に見合った量のオゾンを過不足なく排気管に供給できる、排ガス浄化装置を提供することにある。本発明の第2の目的は、排ガス温度が低いときであってもNOxを効率良く低減でき、殆ど全ての排ガス温度領域でNOxを効率良く低減できる、排ガス浄化装置を提供することにある。本発明の第3の目的は、空気分離器で分離された窒素富化ガス、或いはドライヤから排出されたドレン水のいずれか一方又は双方を用いて、効率良くオゾン発生器を冷却できる、排ガス浄化装置を提供することにある。本発明の第4の目的は、ドライヤの再生効率を向上できる、排ガス浄化装置を提供することにある。
本発明の第1の観点は、図1〜図3に示すように、エンジン11の排気管12にこの排気管12の出口に向って酸化触媒13とオゾン噴射ノズル14と尿素系流体噴射ノズル16と選択還元型触媒17とがこの順で配設され、エンジン11の吸気量を検出するエアフローセンサ58とオゾン噴射ノズル14の上流側の排気管12に設けられ排気管12中のNOx濃度を検出するNOxセンサ59と、選択還元型触媒17の入口温度を検出する第1温度センサ61と、酸化触媒13の入口温度を検出する第2温度センサ72とを備えた排ガス浄化装置であって、オゾン噴射ノズル14がオゾン発生装置36に接続され、オゾン発生装置36が、空気を圧縮するコンプレッサ37と、このコンプレッサ37により圧縮された空気を乾燥させるドライヤ38と、このドライヤ38により乾燥された空気の流量を検出する流量センサ62と、この流量センサ62で検出された空気をオゾンに変換するオゾン発生器39と、このオゾン発生器39とオゾン噴射ノズル14の間に設けられオゾン発生器39で発生したオゾンの濃度を検出するオゾン濃度センサ63と、ドライヤ38とオゾン発生器39との間に設けられドライヤ38により乾燥された空気を酸素濃度の高い酸素富化ガスと窒素濃度の高い窒素富化ガス54とに分離する空気分離器40と、オゾン発生器39の表面に設けられドライヤ38から排出された水分であるドレン水48を吸収可能な多孔質の吸湿部材39eとを有し、空気分離器40で分離された酸素富化ガス中の酸素の一部をオゾン発生器39に導入してオゾン発生器39によりオゾンに変換し、空気分離器40で分離された窒素富化ガス54によりドライヤ38内の水分を除去してドライヤ38を再生するように構成され、オゾン発生器39が、空気分離器40で分離された窒素富化ガス54、或いはドライヤ38から排出された水分であるドレン水48のいずれか一方又は双方により冷却されるように構成され、エンジン11の負荷が負荷センサ64により検出され、エアフローセンサ58、NOxセンサ59、第1温度センサ61、第2温度センサ72、流量センサ62、オゾン濃度センサ63及び負荷センサ64の各検出出力に基づいて、コントローラ67がコンプレッサ37による空気量及びオゾン発生器39によるオゾン発生量を制御することを特徴とする。
本発明の第の観点は、第の観点に基づく発明であって、更に図2、図3及び図5に示すように、空気分離器40が酸素富化膜40aにより構成され、酸素富化ガスはドライヤ38により乾燥された空気が酸素富化膜40aを通過することにより生成され、窒素富化ガス54はドライヤ38により乾燥された空気が酸素富化膜40aを通過せずに素通りすることにより生成されることを特徴とする。
本発明の第の観点は、第の観点に基づく発明であって、更に図2及び図3に示すように、空気分離器40で分離された窒素富化ガス54がパージ管46を通ってドライヤ38に供給されるように構成され、パージ管46にこのパージ管46を通過する窒素富化ガス54の流量を調整するガス流量調整弁51が設けられ、一端がガス流量調整弁51より窒素富化ガス下流側のパージ管46に接続された分岐管52の他端がオゾン発生器39の表面に対向して設けられたことを特徴とする。
本発明の第1の観点の排ガス浄化装置では、エアフローセンサ、NOxセンサ、第1温度センサ、第2温度センサ、流量センサ、オゾン濃度センサ及び負荷センサの各検出出力に基づいて、コントローラがコンプレッサ及びオゾン発生器を制御する。このコンプレッサにより空気が圧縮され、この空気から除湿器により水分を除去して得られた乾燥空気がオゾン発生器に送り込まれ、このオゾン発生器で発生したオゾンが排気管に添加される。この結果、エアポンプに圧送されたエアには水分が比較的多く含まれているため、オゾン発生器によりオゾンが安定して発生しなかったり、或いは生成物ができてしまい、オゾンの発生効率が低い従来の排ガス後処理システムと比較して、本発明では、除湿器により空気中の水分が除去されるので、オゾン発生器によりオゾンを効率良く発生させることができる。
またコントローラはエアフローセンサ、NOxセンサ、第2温度センサ及び負荷センサの各検出出力に基づいてオゾン必要量を算出する。その一方、コントローラは流量センサ及びオゾン濃度センサの各検出出力に基づいてオゾン発生量を算出する。そしてコントローラは、上記オゾン必要量に一致するようにコンプレッサ及びオゾン発生器を制御する。この結果、オゾン発生器の周辺環境(周辺温度や周辺湿度)が変化しても、排ガス中のNOx量とNO対NO2の流量比に見合った量のオゾンを過不足なく排気管に供給できる、即ちエンジンの運転状態に追従した正確な量のオゾンを排気管に供給できる。
更にオゾン噴射ノズルからオゾンを排気管に供給すると、排ガス中のNOxのうちNOがオゾンと反応して速やかに反応性の高いNO2になり、この反応性の高いNO2が、尿素系流体噴射ノズルから排気管に供給された尿素系流体とともに選択還元型触媒に流入すると、排ガス温度が低いときであっても、反応性の高いNO2が選択還元型触媒で尿素系流体と選択還元反応が進行してN2に還元される。この結果、排ガス温度が低いときであっても、NOxを効率良く低減できる。一方、排ガス温度が所定の温度以上になると、酸化触媒が排ガス中のNOを反応性の高いNO2に酸化するので、この反応性の高いNO2が、尿素系流体噴射ノズルから排気管に供給された尿素系流体とともに選択還元型触媒に流入すると、排ガス温度が高くなっても、反応性の高いNO2が選択還元型触媒で尿素系流体と選択還元反応が進行してN2に還元される。この結果、排ガス温度が高くなっても、NOxを効率良く低減できる。従って、殆ど全ての排ガス温度領域でNOxを効率良く低減できる。
本発明の第の観点の排ガス浄化装置では、空気分離器で分離された酸素富化ガス中の酸素の一部をオゾン発生器に導入してオゾン発生器によりオゾンに変換し、空気分離器で分離された窒素富化ガスによりドライヤ内の水分を除去してドライヤを再生するので、ドライヤを効率良く再生できる。即ち、コンプレッサにより圧縮された空気がドライヤを再生するために直接用いられずに済むので、コンプレッサにより圧縮された空気の消費量を抑制できる。この結果、コンプレッサの吐出容量を低減できるので、コンプレッサの小型化を図ることができる。また、酸素富化ガスを増加させると、ドライヤで除去される空気中の水分量も増えるけれども、空気分離器で分離される窒素富化ガスも増加するので、この増加した窒素富化ガスによりドライヤ内の増加した水分を除去できる。この結果、酸素富化ガスが増減しても、この増減に伴って窒素富化ガスも増減するため、ドライヤを効率良く再生できる。更に空気分離器で分離された窒素富化ガス、或いはドライヤから排出された水分であるドレン水のいずれか一方又は双方を用いてオゾン発生器を冷却するので、効率良くオゾン発生器を冷却できる。
本発明の第の観点の排ガス浄化置では、オゾン発生器の表面にドレン水を吸収可能な多孔質の吸湿部材を設けたので、ドレン水が吸湿部材の表面に滴下されると、このドレン水が多孔質の吸湿部材に染み込んで比較的広い面積に行き渡り、このドレン水が気化するときの潜熱によりオゾン発生器が冷却される。この結果、ドレン水が多孔質の吸湿部材に染み込んだ状態で窒素富化ガスを吸湿部材の表面に吹き付けると、ドレン水が速やかに気化するので、この気化潜熱により更に効率良くオゾン発生器を冷却できる。
本発明の第の観点の排ガス浄化装置では、空気分離器を酸素富化膜により構成し、ドライヤにより乾燥された空気が酸素富化膜を通過することにより酸素富化ガスを生成し、ドライヤにより乾燥された空気が酸素富化膜を通過せずに素通りすることにより窒素富化ガスを生成するので、酸素富化膜により酸素富化ガス及び窒素富化ガスが確実に分離される。この結果、比較的簡易な構造の空気分離器で、この空気分離器の酸素富化膜により酸素富化ガス及び窒素富化ガスを効率良く生成できる。
本発明の第の観点の排ガス浄化装置では、空気分離器で分離された窒素富化ガスをドライヤに供給するパージ管にガス流量調整弁を設けたので、コンプレッサを定格運転に維持した状態で、パージ管を通過する窒素富化ガスの流量をガス流量調整弁で調整するだけで、酸素富化ガスの流量をも調整できる。また一端がガス流量調整弁より窒素富化ガス下流側のパージ管に接続された分岐管の他端をオゾン発生器の表面に対向して設けたので、空気分離器で分離された窒素富化ガスをドライヤ及びオゾン発生器に効率良く分配することができる。
本発明第1実施形態を示す排ガス浄化装置の構成図である。 その排ガス浄化装置に設けられたオゾン発生装置のエア回路構成図である。 そのオゾン発生装置のオゾン発生器を窒素富化ガス及びドレン水で冷却している状態を示す要部断面構成図である。 ドライヤの水蒸気分離膜を構成する中空糸の要部拡大断面図である。 空気分離器の酸素富化膜を構成する中空糸の要部拡大断面図である。 オゾンの発生量を制御する方法を示すフローチャート図である。 オゾン必要量の計算値と実際のオゾン発生量との差をフィードバックしてオゾン発生量を制御するフローチャート図である。 本発明第2実施形態を示す図3に対応する要部断面構成図である。
次に本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
<第1の実施の形態>
図1に示すように、ディーゼルエンジン11の排ガス浄化装置は、エンジン11の排気管12にこの排気管12の出口に向って酸化触媒13とオゾン噴射ノズル14と尿素系流体噴射ノズル16と選択還元型触媒17とがこの順で配設されて構成される。このエンジン11の吸気ポートには吸気マニホルド18を介して吸気管19が接続され、排気ポートには排気マニホルド21を介して排気管12が接続される。吸気管19には、ターボ過給機22のコンプレッサハウジング22aと、ターボ過給機22により圧縮された吸気を冷却するインタクーラ20とがそれぞれ設けられ、排気管12にはターボ過給機22のタービンハウジング22bが設けられる。コンプレッサハウジング22aにはコンプレッサ回転翼(図示せず)が回転可能に収容され、タービンハウジング22bにはタービン回転翼(図示せず)が回転可能に収容される。コンプレッサ回転翼とタービン回転翼とはシャフト(図示せず)により連結され、エンジン11から排出される排ガスのエネルギによりタービン回転翼及びシャフトを介してコンプレッサ回転翼が回転し、このコンプレッサ回転翼の回転により吸気管内の吸入空気が圧縮されるように構成される。
上記選択還元型触媒17は排気管12より大径のケース23に収容される。選択還元型触媒17はモノリス触媒であって、コージェライト製のハニカム担体に、ゼオライト又はジルコニアをコーティングして構成される。ゼオライトとしては、銅ゼオライト、鉄ゼオライト、亜鉛ゼオライト、コバルトゼオライト等が挙げられる。銅ゼオライトからなる選択還元型触媒17は、銅をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。また鉄ゼオライト、亜鉛ゼオライト又はコバルトゼオライトからなる選択還元型触媒17は、鉄、亜鉛又はコバルトをイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にそれぞれコーティングして構成される。更にジルコニアからなる選択還元型触媒17は、ジルコニアを担持させたγ−アルミナ粉末又はθ−アルミナ粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。
一方、尿素系流体噴射ノズル16は選択還元型触媒17より排ガス上流側の排気管12に設けられる。この尿素系流体噴射ノズル16は、このノズル16に尿素系流体24を供給する尿素系流体供給手段26に接続される。尿素系流体供給手段26は、尿素系流体噴射ノズル16に先端が接続された流体供給管27と、この流体供給管27の基端に接続され尿素系流体24が貯留された流体タンク28と、この流体タンク28内の尿素系流体24を尿素系流体噴射ノズル16に圧送する流体ポンプ29と、尿素系流体噴射ノズル16から噴射される尿素系流体24の供給量(噴射量)を調整する流体供給量調整弁31とを有する。上記尿素系流体24は、選択還元型触媒17で還元剤として機能するアンモニアガス、尿素水又はミスト状の尿素のいずれか1種又は2種以上の混合物である。また上記流体ポンプ29は尿素系流体噴射ノズル16と流体タンク28との間の流体供給管27に設けられ、流体供給量調整弁31は尿素系流体噴射ノズル16と流体ポンプ29との間の流体供給管27に設けられる。更に流体供給量調整弁31は、流体供給管27に設けられ尿素系流体噴射ノズル16への尿素系流体24の供給圧力を調整する流体圧力調整弁32と、尿素系流体噴射ノズル16の基端に設けられ尿素系流体噴射ノズル16の基端を開閉する流体用開閉弁33とからなる。
流体圧力調整弁32は第1〜第3ポート32a〜32cを有し、第1ポート32aは流体ポンプ29の吐出口に接続され、第2ポート32bは流体用開閉弁33に接続され、第3ポート32cは戻り管34を介して流体タンク28に接続される。流体ポンプ29により圧送された尿素系流体24が第1ポート32aから流体圧力調整弁32に流入し、第2ポート32bから流体用開閉弁33に圧送される。また流体圧力調整弁32での圧力が所定圧力以上になると、流体ポンプ29により圧送された尿素系流体24が第1ポート32aから流体圧力調整弁32に流入した後、第3ポート32cから戻り管34を通って流体タンク28に戻される。
一方、オゾン噴射ノズル14は尿素系流体噴射ノズル16より排ガス上流側の排気管12に設けられる(図1)。このオゾン噴射ノズル14は、オゾンを発生しかつ発生したオゾンをオゾン噴射ノズル14に供給するオゾン発生装置36に接続される。このオゾン発生装置36は、ディーゼルエンジン11から排出された排ガス中のNOをNO2に酸化するオゾンを発生するために用いられる。上記オゾン発生装置36は、空気を圧縮するコンプレッサ37と、このコンプレッサ37により圧縮された空気を乾燥させるドライヤ38と、このドライヤ38により乾燥された空気をオゾンに変換するオゾン発生器39とを有する(図1及び図2)。上記コンプレッサ37は、この実施の形態では、直流電圧24Vのバッテリで駆動されるように構成される。なお、この実施の形態では、コンプレッサを直流電圧24Vのバッテリで駆動したが、コンプレッサを、エンジンのクランク軸で駆動したり、或いはハイブリッド車であれば直流電圧200〜300Vのバッテリで駆動してもよい。
上記ドライヤ38は、水蒸気(水分)を透過し易くかつ空気を透過し難い水蒸気分離膜38a(図4)を筒状のハウジング38dに収容して構成される。この水蒸気分離膜38aは、例えば膜厚100μm、外径500μm及び長さ450mmの芳香族ポリイミドの非対称性中空糸38bを束ねて形成され、ハウジング38dにその長手方向に延びて収容される(図2)。上記中空糸38bは、中央に通孔38cが形成され、膜厚方向に非対称の粗密構造を有する。上記通孔24cの内径は例えば300μmに形成される。またハウジング38dの長手方向の一方の端面には、コンプレッサ37により圧縮された空気を導入する空気導入口38eが形成され、ハウジング38dの長手方向の他方の端面には、ドライヤ38により乾燥された空気を排出する空気排出口38fが形成される。空気導入口38eは水蒸気分離膜38aの各中空糸38bの一端に接続され、空気排出口38fは水蒸気分離膜38aの各中空糸38bの他端に接続され、これにより空気導入口38e及び空気排出口38fは各中空糸38bの通孔38cに連通接続される。更にハウジング38dの外周面には、後述する窒素富化ガスをパージガスとして導入するパージガス導入口38gと、パージガスである窒素富化ガスを水蒸気(水分)とともに排出するパージガス排出口38hとがそれぞれ形成される。そしてパージガス導入口38gから導入された窒素富化ガスは水蒸気分離膜38aの中空糸38bの外周面を通過してパージガス排出口38hから排出されるように構成される。
ここで、水蒸気分離膜38aの各中空糸38bの通孔38cを、水蒸気(水分)の含まれる空気が流れると、中空糸38bの膜の内面側及び外面側に存在する水蒸気分圧の差を駆動力として、通孔38cを流れる空気中の水蒸気が、水蒸気分圧の高い中空糸38bの膜の内面側から水蒸気分圧の低い中空糸38bの膜の外面側へ透過するため、中空糸38bの通孔38cを流れる空気中の水蒸気が減少し、乾燥した空気が空気排出口38fから排出されるようになっている。
オゾン発生器39は、この実施の形態では、無声放電型のものが用いられる(図2)。このオゾン発生器39は、図3に詳しく示すように、所定の間隔をあけて互いに平行に配設された放電電極39a及び接地電極39bと、これらの電極39a,39bの間に介装されたAl23等のセラミックからなる誘電体39cと、接地電極39bの表面を覆う板状のセラミックカバー39dと、このセラミックカバー39dの表面に設けられた吸湿部材39eとを有する。上記一対の電極39a,39b間には高電圧電源装置(図示せず)により高周波高電圧が印加され、放電電極39aと誘電体39cとの間にプラズマ放電を発生させ、このプラズマ放電によりエアに含まれる酸素の一部をオゾンに変換するように構成される。またセラミックカバー39dは、熱伝導率の良好な窒化アルミニウムや炭化ケイ素等により形成される。更に吸湿部材39eは、後述するドレン水48を吸収可能な多孔質のゼオライト等のセラミックにより形成される。この吸湿部材39eは、ゼオライト粉末等を含むスラリーをセラミックカバーの表面にコーティングした後に焼成することにより多孔質に形成される。
一方、ドライヤ38とオゾン発生器39との間には、空気分離器40が設けられる(図2)。この空気分離器40は、空気中の窒素ガスより酸素ガスを透過し易い性質を有する酸素富化膜40a(図5)を筒状のハウジング40dに収容して構成される。酸素富化膜40aは、ドライヤ38により乾燥された空気を酸素濃度の高い酸素富化ガスと窒素濃度の高い窒素富化ガスとに分離するように構成される。具体的には、酸素富化膜40aは、窒素ガスと比較して酸素ガスを選択的に透過する高分子からなり中央に通孔40cが形成された中空糸40bを束ねて形成され、ハウジング40dにその長手方向に延びて収容される。また酸素富化膜40aを構成する中空糸40bは、酸素ガスと窒素ガスの分離度が大きいガラス状高分子により形成されることが好ましく、酸素ガスと窒素ガスの分離度が特に大きく、機械的強度、耐熱性及び耐久性などに優れるポリイミドにより形成されることが更に好ましい。また酸素富化膜40aを構成する中空糸40bの膜は、膜厚方向に密度が均一な均質膜であってもよく、或いは内径、外径及び密度の異なる複数の中空糸を嵌挿することにより膜厚方向に密度が不均一に形成された複合膜を用いてもよいが、膜厚方向に非対称の粗密構造を有することにより透過速度が大きい非対称膜を用いることが好ましい。更に中空糸40bの膜厚は10μm〜500μmの範囲に設定され、中空糸40bの外径は50μm〜2000μmの範囲に設定されることが好ましい。
酸素富化膜40aを収容するハウジング40dの一方の端面には、ドライヤ38により乾燥された空気を導入する乾燥空気導入口40eが形成され、ハウジング40dの他方の端面には、空気分離器40により分離された窒素富化ガスを排出する窒素富化ガス排出口40fが形成される(図2)。乾燥空気導入口40eは酸素富化膜40aの各中空糸40bの一端に接続され、窒素富化ガス排出口40fは酸素富化膜40aの各中空糸40bの他端に接続され、これにより乾燥空気導入口40e及び窒素富化ガス排出口40fは各中空糸40bの通孔40cに連通接続される。また酸素富化膜40aを収容するハウジング40dの外周面には、酸素富化ガスを排出する酸素富化ガス排出口40gが形成される。酸素富化膜40aの中空糸40bの膜を通過することにより、酸素濃度が高くなった酸素富化ガスは酸素富化ガス排出口40gから排出されるように構成される。
ここで、酸素富化膜40aにより酸素濃度の高い酸素富化ガスと窒素濃度の高い窒素富化ガスとに分離される原理を説明する。酸素富化膜40aの各中空糸40bの通孔40cを、乾燥した空気が流れると、中空糸40bの膜が熱振動して気体が通過する隙間が形成されるため、空気中の酸素分子や窒素分子が上記隙間に取込まれる。このとき酸素富化膜40aの厚さは比較的薄く形成され、酸素分子が中空糸40bの膜を透過する速度は窒素分子が中空糸40bの膜を透過する速度より約2.5倍大きいため、酸素分子が分圧の高い中空糸40bの膜の内面側から分圧の低い中空糸40bの外面側に速やかに透過する。これにより中空糸40bの膜の外面側の酸素濃度が高くなり、中空糸40bの膜の内面側の酸素濃度が低くなる。この結果、酸素富化ガスは空気が酸素富化膜40aを通過することにより生成され、窒素富化ガスは空気が酸素富化膜40aを通過せずに素通りすることにより生成される。なお、上記熱振動により中空糸40bの膜に形成される隙間は5nm程度である。
一方、コンプレッサ37の吐出口は第1供給管41によりドライヤ38の空気導入口38eに接続され、ドライヤ38の空気排出口38fは第2供給管42により空気分離器40の乾燥空気導入口40eに接続される(図2)。また空気分離器40の酸素富化ガス排出口40gは第3供給管43によりオゾン発生器39の酸素富化ガス導入口39fに接続され、オゾン発生器39のオゾン排出口39gには第4供給管44の一端が接続される。更に空気分離器40の窒素富化ガス排出口40fはパージ管46によりドライヤ38のパージガス導入口38gに接続され、ドライヤ38のパージガス排出管38hにはドレン管47の一端が接続される。このドレン管47の他端はオゾン発生器39の表面、即ち吸湿部材39eの表面に対向して設けられ、ドライヤ38から排出された水分であるドレン水48がドレン管47を通って吸湿部材39eに滴下されるように構成される(図2及び図3)。
一方、第1供給管41にはコンプレッサ37で圧縮された空気を貯留するエアタンク49が設けられ、パージ管46にはこのパージ管46を通過する窒素富化ガスの流量を調整するガス流量調整弁51が設けられる(図2)。上記エアタンク49は、酸素富化ガス及び窒素富化ガスの流量を急激に変化させても、空気分離器40に十分な量の空気を供給するとともに、空気の圧力変動を緩和するために設けられる。またガス流量調整弁51より窒素富化ガス下流側のパージ管46には分岐管52の一端が接続され、この分岐管52の他端はオゾン発生器39の表面、即ち吸湿部材39eの表面に対向して設けられる(図2及び図3)。空気分離器40で分離された窒素富化ガスの一部はパージ管46を通ってパージガス導入口38gからドライヤ38に供給され、空気分離器40で分離された窒素富化ガスの残部(大部分)はパージ管46及び分岐管52を通って吸湿部材39eの表面に噴射されるように構成される。ドライヤ38に供給される窒素富化ガスと吸湿部材39eの表面に噴射される窒素富化ガスとの流量割合は約1:9に設定される。ここで、パージガス導入口38gからドライヤ38に供給される窒素富化ガスは、ドライヤ38内の水分(ドレン水)の押出しに用いられるだけであるため、全ての窒素富化ガスの1割程度の少量で済む。またドライヤ38に供給される窒素富化ガスと吸湿部材39eの表面に噴射される窒素富化ガスとの流量割合を約1:9に設定する方法としては、パージ管46及び分岐管52の接続部から窒素富化ガス下流側におけるパージ管46及び分岐管52の内径比を所定の比にする方法や、或いはパージ管46及び分岐管52の接続部から窒素富化ガス下流側におけるパージ管46に絞り部を設ける方法などがある。なお、図2中の符号53は第4供給管44に設けられた逆止弁である。この逆止弁53は、オゾン発生器39からオゾン噴射ノズル14にオゾンが流れるのを許容し、オゾン噴射ノズル14からオゾン発生器39にオゾンが流れるのを阻止するように構成される。また、図3中の符号54は、分岐管52の他端から噴射された窒素富化ガスである。
図1に戻って、オゾン噴射ノズル14より排ガス上流側の排気管12にはケース56が設けられ、このケース56に排ガス上流側から酸化触媒13とパティキュレートフィルタ57とがこの順に収容される。酸化触媒13はモノリス触媒であって、コージェライト製のハニカム担体に白金ゼオライト、白金アルミナ、又は白金−パラジウムアルミナ等の貴金属系触媒をコーティングして構成される。具体的には、白金ゼオライトからなる酸化触媒13は、白金をイオン交換したゼオライト粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。また白金アルミナからなる酸化触媒13は、白金を担持させたγ−アルミナ粉末又はθ−アルミナ粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。更に白金−パラジウムアルミナからなる酸化触媒13は、白金及びパラジウムを担持させたγ−アルミナ粉末又はθ−アルミナ粉末を含むスラリーをハニカム担体にコーティングして構成される。パティキュレートフィルタ57は、図示しないが、コージェライトのようなセラミックからなる多孔質の隔壁で仕切られた多角形断面を有する。このフィルタ57はこれらの隔壁により多数の互いに平行に形成された貫通孔の相隣接する入口部と出口部を封止部材により交互に封止することにより構成される。このフィルタ57では、フィルタ57の入口部から導入されたエンジン11の排ガスが多孔質の隔壁を通過する際に、この排ガスに含まれるパティキュレートが捕集されて、出口部から排出されるようになっている。
上記排ガス浄化装置は、エンジン11の吸気量を検出するエアフローセンサ58と、オゾン噴射ノズル14の上流側の排気管12に設けられ排気管12中のNOx濃度を検出するNOxセンサ59と、選択還元型触媒17の入口温度を検出する第1温度センサ61と、酸化触媒13の入口温度を検出する第2温度センサ72とを更に備える。エアフローセンサ58は吸気管19の入口に設けられ、NOxセンサ59はタービンハウジング22bと酸化触媒13との間の排気管12に設けられる。また第1温度センサ61は選択還元多触媒17より排ガス上流側であって選択還元型触媒17を収容するケース23に設けられ、第2温度センサ72は酸化触媒13より排ガス上流側であって酸化触媒13及びパティキュレートフィルタ57を収容するケース56に設けられる。一方、上記オゾン発生装置36は、ドライヤ38により乾燥された空気の流量を検出する流量センサ62と、オゾン発生器39とオゾン噴射ノズル14の間に設けられオゾン発生器39で発生したオゾンの濃度を検出するオゾン濃度センサ63とを更に有する。流量センサ62は空気分離器40とオゾン発生器39との間の第3供給管43に設けられ、オゾン濃度センサ63はオゾン発生器39と逆止弁53との間の第4供給管44に設けられる。なお、オゾン濃度センサ63は、高濃度のオゾンに対して未だ耐久性のない半導体方式のセンサではなく、高濃度のオゾンに対して耐久性を有する紫外線方式のセンサが用いられる。この紫外線方式のオゾン濃度センサ63は、オゾンが254nm付近の波長の紫外線を吸収する性質を利用したセンサである。更にエンジン11の負荷、即ちエンジン11への燃料噴射量は負荷センサ64により検出され、エンジン11の回転速度は回転センサ66により検出される。
上記エアフローセンサ58、NOxセンサ59、第1温度センサ61、第2温度センサ72、流量センサ62、オゾン濃度センサ63、負荷センサ64及び回転センサ66の各検出出力はコントローラ67の制御入力に接続され、コントローラ67の制御出力は、コンプレッサ37、オゾン発生器39(高電圧電源装置)、流体ポンプ29、流体用開閉弁33及びガス流量調整弁51にそれぞれ接続される。コントローラ67にはメモリ68が設けられる。このメモリ68には、図7に詳しく示すように、NOxセンサ59の検出するNOx濃度Cn(ppm)と、エアフローセンサ58の検出する空気量Qn(g/秒)と、負荷センサ64の検出出力するエンジン11への燃料噴射量Dn(g/秒)から算出される排ガス流量とに基づいてオゾンの必要量Xa(g/秒)を算出する計算式(Xa=K1・Cn・(Qn+Dn)(K1:定数))が記憶される。またメモリ68には、流量センサ62の検出するオゾン発生器39に流入する空気量Co(g/秒)と、オゾン濃度センサ63の検出するオゾン濃度Qo(ppm)とに基づいて、実際のオゾン発生量Xr(g/秒)を求める計算式(Xr=K2・Co・Qo(K2:定数))が記憶される。更にメモリ68には、排ガス中のNOx濃度、酸化触媒13入口の排ガス温度、及びエアフローセンサ58の検出する空気量Qnと負荷センサ64の検出するエンジン負荷(エンジン11への燃料噴射量Dn)から算出される排ガス流量に対する、排ガス中のNO対NO2の流量比の変化がマップとして記憶される。
このように構成された排ガス浄化装置の動作を図6及び図7のフローチャート図に基づいて説明する。エンジン11の始動直後やエンジン11の軽負荷運転時には、選択還元型触媒17入口の排ガス温度が220℃未満と低い。この温度範囲の排ガス温度を第1温度センサ61が検出すると、コントローラ67は、NOxセンサ59の検出するNOx濃度Cnと、エアフローセンサ58の検出する空気量Qnと、負荷センサの検出出力するエンジンへの燃料噴射量Dnとに基づいて、オゾンの必要量Xaを計算式(Xa=K1・Cn・(Qn+Dn))を用いて算出する。またコントローラは、流量センサの検出するオゾン発生器に流入する空気量Coと、オゾン濃度センサの検出するオゾン濃度Qoとに基づいて、実際のオゾン発生量Xrを計算式(Xr=K2・Co・Qo)を用いて求める。そして、コントローラ67は上記オゾン必要量に一致するようにコンプレッサ37及びオゾン発生器39(高電圧電源装置)を制御して、コンプレッサ38による空気量を調整するとともに、オゾン発生器39によるオゾン発生量を調整して、最適な量のオゾンを発生する。更にコントローラ67は、流体ポンプ29を駆動し、流体用開閉弁33を開閉させる。
上記オゾン発生器39で発生したオゾンは、オゾン噴射ノズル14に供給され、オゾン噴射ノズル14から排気管12に噴射(供給)される。ここで、排気管12にオゾンを供給するのは、排ガス中のNOの一部を反応性の高いNO2にオゾンにより変換して、選択還元型触媒17に導入される排ガス中のNO対NO2の流量比を、選択還元型触媒17における尿素系流体24によるNO及びNO2のN2への還元反応が最も速く進む割合の1対1に近付けるためである。このため、コントローラ67は、NOxセンサ59の検出する排ガス中のNOx濃度と、第2温度センサ72の検出する酸化触媒13入口の排ガス温度と、エアフローセンサ58の検出する空気量Qn及び負荷センサ64の検出するエンジン負荷(エンジン11への燃料噴射量Dn)から算出される排ガス流量とに基づいて、エンジン11から排出された排ガス中のNO対NO2の流量比を求める。そして、コントローラ67は、選択還元型触媒17に導入されるNO対NO2の流量比を1対1に近付けるように、コンプレッサ37及びオゾン発生器39(高電圧電源装置)を制御して、適切な量のオゾンを発生させる。このオゾンが排気管12に供給されると、次の式(1)に示すように、オゾン(O3)により排ガス中のNOの一部がNO2に速やかに変換される。
3+NO → O2+NO2 ……(1)
この結果、オゾン発生器39の周辺環境(周辺温度や周辺湿度)が変化しても、排ガス中のNOx量とNO対NO2の流量比に見合った量のオゾンを過不足なく排気管12に供給できる、即ちエンジン11の運転状態に追従した正確な量のオゾンを排気管12に供給できる。
一方、流体ポンプ29が駆動され、流体用開閉弁33が開閉されると、尿素系流体24が流体供給管27を通って排気管12に間欠的に噴射(供給)される。ここで、排気管12に尿素系流体24を供給するのは、排ガス中のNOx(NO及びNO2)をN2に還元する還元剤として機能させるためである。エンジン11から排出された排ガス中に既に含まれているNO及びNO2と、この排ガス中のNOの一部がオゾンにより酸化されたNO2と、尿素系流体24とが選択還元型触媒17に導入されると、第1温度センサ61により検出された選択還元型触媒17入口の排ガス温度が220℃未満と低いときであっても、反応性の高いNO2が選択還元型触媒17で尿素系流体24と選択還元反応が進行してN2に還元される。この結果、上記排ガス温度が低いときであってもNOxを効率良く低減できる。なお、酸化触媒13は、上記排ガス温度が220℃未満と低いときには活性化せず、NOをNO2に酸化する機能を発揮しない。
選択還元型触媒17における具体的な化学反応は、尿素系流体24が尿素水である場合、次の式(2)及び式(3)で示され、尿素系流体24がアンモニアガスである場合、次の式(4)で示される。
(NH2)2CO+H2O → 2NH3+CO2 ……(2)
NO+NO2+2NH3 → 2N2+3H2O ……(3)
NO+NO2+2NH3 → 2N2+3H2O ……(4)
上記式(2)は、選択還元型触媒17入口の排ガス温度が220℃未満と比較的低いため、比較的少ない量であるけれども、尿素水(尿素系流体24)のアンモニアガスへの加水分解が進む化学反応式を示す。また、上記式(3)は、排ガス中のNO及びNO2が選択還元型触媒17で上記尿素水から加水分解したアンモニアガスと反応して、NO及びNO2がN2に還元される化学反応式を示す。更に、上記式(4)は排ガス中のNO及びNO2が選択還元型触媒17でアンモニアガス(尿素系流体24)と反応して、NO及びNO2がN2に還元される化学反応式を示す。ここで、尿素系流体24として尿素水を用いるよりアンモニアガスを用いた方がNO及びNO2のN2への還元反応が速やかに進むので、尿素系流体24としてアンモニアガスを用いた方が好ましい。
また、選択還元型触媒17入口の排ガス温度が220℃以上になると、コントローラ67は、第1温度センサ61の検出出力に基づいて、オゾン発生装置36のコンプレッサ37及びオゾン発生器39(高圧電源装置)を停止させるとともに、ガス流量調整弁51を閉じる。これは、上記排ガス温度が比較的高温になると、酸化触媒13が活性化して、NOをNO2に酸化する機能を発揮するため、オゾン発生装置36が不要になるからである。この結果、排ガス温度が高くなっても、NOxを効率良く低減できる。従って、殆ど全ての排ガス温度領域でNOxを効率良く低減できる。
一方、オゾン発生装置36のコンプレッサ37が駆動されると、空気が圧縮されてエアタンク49に貯留される。この空気はドライヤ38で水分が除去されて乾燥し、この乾燥した空気は空気分離器40で酸素濃度の高い酸素富化ガスと窒素濃度の高い窒素富化ガスに分離される。空気分離器40で分離された酸素富化ガスはオゾン発生器39に供給され、酸素富化ガス中の酸素の一部がオゾン発生器39でオゾンに変換され、このオゾンは第4供給管44を通ってオゾン噴射ノズル14に供給される。
空気分離器40で分離された窒素富化ガス54の一部はパージ管46を通ってパージガス導入口38gからドライヤ38に供給され、空気分離器40で分離された窒素富化ガス54の残部(大部分)はパージ管46及び分岐管52を通ってオゾン発生器39の吸湿部材39eの表面に噴射される。窒素富化ガス54の一部をドライヤ38に供給することにより、ドライヤ38で分離された水分であるドレン水48が押出され、ドレン管47を通ってオゾン発生器39の吸湿部材39eの表面に滴下される。このときドレン水48が多孔質の吸湿部材39eに染み込んで比較的広い面積に行き渡る。この状態で窒素富化ガス54が吸湿部材39eの表面に吹き付けられると、ドレン水48が速やかに気化するので、この気化潜熱によりオゾン発生器39が冷却される。このように空気分離器40で分離された窒素富化ガス54、及びドライヤ38から排出されたドレン水48の双方を用いるとともに、ドレン水48を多孔質の吸湿部材39eに染み込ませて、内部放電により発熱し易いオゾン発生器39を冷却するので、効率良くオゾン発生器39を冷却できる。
一方、オゾンを発生するために必要な酸素富化ガスを用いずに、オゾンを発生するために不要な窒素富化ガス54を用いて、ドライヤ38が再生されるので、ドライヤ38を効率良く再生できる。またコンプレッサ37により圧縮された空気を、ドライヤ38を再生するために直接用いずに済むので、コンプレッサ37により圧縮された空気の消費量を抑制できる。この結果、コンプレッサ37の吐出容量を低減できるので、コンプレッサ37の小型化を図ることができる。更に、酸素富化ガスを増加させると、ドライヤ38で除去される空気中の水分量も増えるけれども、この場合、ガス流量調整弁51の開度を大きくするため、空気分離器40で分離される窒素富化ガス54も増加するので、この増加した窒素富化ガス54によりドライヤ38内の増加した水分を除去できる。この結果、酸素富化ガスが増減しても、この増減に伴って窒素富化ガス54も増減するため、ドライヤ38を効率良く再生できる。上記ドライヤ38内の増加した水分(ドレン水48)はドレン管47を通り、オゾン発生器39の吸湿部材39eの表面に滴下されて、オゾン発生器39の冷却に用いられる。
<第2の実施の形態>
図8は本発明の第2の実施の形態を示す。図8において図3と同一符号は同一部品を示す。この実施の形態では、オゾン発生器39の表面、即ち吸湿部材39eの表面から所定の間隔をあけかつ吸湿部材39eの表面に平行に延びて設けられた窒素噴射ノズル81が分岐管52の先端に接続される。この窒素噴射ノズル81には、吸湿部材39eの表面に対向する複数の噴射口81aが窒素噴射ノズル81の長手方向に所定の間隔をあけて形成される。また一端がドライヤのパージガス排出口に接続されたドレン管47の他端は、窒素噴射ノズル81と吸湿部材39eの間に、吸湿部材39eに向って傾斜するように挿入される。上記以外は第1の実施の形態と同一に構成される。
このように構成された排ガス浄化装置のオゾン発生装置では、空気分離器で分離された窒素富化ガス54がパージ管及び分岐管52を通って窒素噴射ノズル81の複数の噴射口81aからオゾン発生器39の吸湿部材39eの表面に略均一に噴射されるので、第1の実施の形態よりオゾン発生器39を効率良く冷却できる。上記以外の動作は第1の実施の形態の動作と略同様であるので、繰返しの説明を省略する。
なお、上記第1及び第2の実施の形態では、本発明の排ガス浄化装置をディーゼルエンジンに適用したが、本発明の排ガス浄化装置をガソリンエンジンに適用してもよい。また、上記第1及び第2の実施の形態では、本発明の排ガス浄化装置をターボ過給機付ディーゼルエンジンに適用したが、本発明の排ガス浄化装置を自然吸気型ディーゼルエンジン又は自然吸気型ガソリンエンジンに適用してもよい。また、上記第1及び第2の実施の形態では、オゾン発生器として無声放電型のものを用いたが、オゾン発生器として沿面放電型のもの、空気に紫外線を放射してオゾンを発生する方式のもの、水を電気分解してオゾンを発生する方式のもの等を用いてもよい。また、上記第1及び第2の実施の形態では、コンプレッサとドライヤとの間にエアタンクを設けたが、酸素富化ガス及び窒素富化ガスの流量が急激に変化しない場合には、エアタンクを設けなくてもよい。また、上記第1及び第2の実施の形態では、流体圧力の調整を三方弁である流体圧力調整弁により行ったが、流体圧力調整弁を用いずに、流体用開閉弁の開閉時間の調整と流体ポンプの駆動の有無により行ってもよい。また、上記第1及び第2の実施の形態では、オゾン発生器に空気を供給したが、空気を含むエンジンの排ガスを供給してもよい。更に、上記第1及び第2の実施の形態では、オゾン発生器のセラミックカバーを板状に形成したが、板状のセラミックカバーの表面に複数のフィンを所定の間隔をあけて立設してもよい。この場合、オゾン発生器の冷却性能が向上する。但し、吸湿部材はセラミックカバー及びフィンの表面にコーティングした後に焼成することにより多孔質に形成される。
本発明の排ガス浄化装置は、オゾンと尿素系流体を用いて、エンジンの排ガスに含まれる窒素酸化物(NOx)を低減して排ガスを浄化することに利用することができる。
なお、本国際出願は、2011年9月21日に出願した日本国特許出願第206122号(特願2011−206122)に基づく優先権を主張するものであり、特願2011−206122の全内容を本国際出願に援用する。

Claims (3)

  1. エンジンの排気管にこの排気管の出口に向って酸化触媒とオゾン噴射ノズルと尿素系流体噴射ノズルと選択還元型触媒とがこの順で配設され、前記エンジンの吸気量を検出するエアフローセンサと前記オゾン噴射ノズルの上流側の排気管に設けられ前記排気管中のNOx濃度を検出するNOxセンサと前記選択還元型触媒の入口温度を検出する第1温度センサと前記酸化触媒の入口温度を検出する第2温度センサとを備えた排ガス浄化装置であって、
    前記オゾン噴射ノズルがオゾン発生装置に接続され、
    前記オゾン発生装置が、空気を圧縮するコンプレッサと、このコンプレッサにより圧縮された空気を乾燥させるドライヤと、このドライヤにより乾燥された前記空気の流量を検出する流量センサと、この流量センサで検出された前記空気をオゾンに変換するオゾン発生器と、このオゾン発生器と前記オゾン噴射ノズルの間に設けられ前記オゾン発生器で発生したオゾンの濃度を検出するオゾン濃度センサと、前記ドライヤと前記オゾン発生器との間に設けられ前記ドライヤにより乾燥された前記空気を酸素濃度の高い酸素富化ガスと窒素濃度の高い窒素富化ガスとに分離する空気分離器と、前記オゾン発生器の表面に設けられ前記ドライヤから排出された水分であるドレン水を吸収可能な多孔質の吸湿部材とを有し、
    前記空気分離器で分離された酸素富化ガス中の酸素の一部を前記オゾン発生器に導入して前記オゾン発生器によりオゾンに変換し、前記空気分離器で分離された窒素富化ガスにより前記ドライヤ内の水分を除去して前記ドライヤを再生するように構成され、前記オゾン発生器が、前記空気分離器で分離された窒素富化ガス、或いは前記ドライヤから排出された水分であるドレン水のいずれか一方又は双方により冷却されるように構成され、
    前記エンジンの負荷が負荷センサにより検出され、
    前記エアフローセンサ、前記NOxセンサ、前記第1温度センサ、前記第2温度センサ、前記流量センサ、前記オゾン濃度センサ及び前記負荷センサの各検出出力に基づいて、コントローラが前記コンプレッサによる前記空気量及び前記オゾン発生器によるオゾン発生量を制御する
    ことを特徴とする排ガス浄化装置。
  2. 前記空気分離器が酸素富化膜により構成され、前記酸素富化ガスは前記ドライヤにより乾燥された空気が前記酸素富化膜を通過することにより生成され、前記窒素富化ガスは前記ドライヤにより乾燥された空気が前記酸素富化膜を通過せずに素通りすることにより生成される請求項記載の排ガス浄化装置。
  3. 前記空気分離器で分離された窒素富化ガスがパージ管を通って前記ドライヤに供給されるように構成され、前記パージ管にこのパージ管を通過する前記窒素富化ガスの流量を調整するガス流量調整弁が設けられ、一端が前記ガス流量調整弁より窒素富化ガス下流側の前記パージ管に接続された分岐管の他端が前記オゾン発生器の表面に対向して設けられた請求項記載の排ガス浄化装置。
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