JP5432641B2

JP5432641B2 - 薄膜の製造方法及びその装置

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Publication number: JP5432641B2
Application number: JP2009202914A
Authority: JP
Inventors: 誠野内; 勝高杉; 安一安倍
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Priority date: 2009-09-02
Filing date: 2009-09-02
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Description

本発明は、薄膜の製造方法及びその装置に関する。特に、薄膜を製造するためのグラビア塗工装置及びそのグラビア塗工装置を用いる薄膜の製造方法に関する。

均一な膜厚の薄膜を支持体（基材）の上に形成するための方法として、グラビア塗工装置を用いる薄膜の製造方法が知られている。

例えば、特許文献１には、走行している連続体状の基材の下方に、基材の走行方向と軸方向を交直するようにして配置され、かつ、直径が約２０ｍｍ〜約５０ｍｍで全周にグラビアパターンが彫刻されたグラビアロールを、前記基材と相対速度を有する周速度で回転させるとともに、このグラビアロールの表面からドクターブレードによって余剰塗工剤を塗工を施す前に抜き取って、定量の塗工剤を前記基材の上面が自由状態にある位置におけるその基材の下面に塗工して、前記基材に塗工剤をべた塗りすることを特徴とするグラビア塗工方法が開示されている。

また、特許文献２には、均一な膜厚の薄膜を基材の上に形成するためのグラビア塗工装置が開示されている。すなわち、特許文献２には、塗工液を溜める液漕と、前記液漕の上部に配されてその下周面が塗工液に浸漬されたグラビアロールと、前記グラビアロールの後方に配され、前記グラビアロールの周面上の塗工液を掻き落とす掻落しブレードと、を有し、前から後に向かって搬送される長尺状の基材の下面に、前記回転するグラビアロールの一部が接触して塗工液を塗工するグラビア塗工装置において、前記液漕の内部で、かつ、前記グラビアロールの下方に塗工液のチャンバーが配され、前記チャンバーの前壁の上端部より前ブレードが突設され、この前ブレードの上端部が前記グラビアロールの前下周面に接し、前記チャンバーの後壁の上端部より後ブレードが突設され、この後ブレードの上端部が前記グラビアロールの後下周面に接し、前記液漕へ塗工液を供給する第１供給手段と、前記チャンバーへ塗工液を供給する第２供給手段を有したことを特徴とするグラビア塗工装置が開示されている。

また、特許文献３には、従来のグラビア塗工装置において、塗工液の特性によっては、グラビアロールの表面にリブ状の波立ちが発生する場合があることが記載されている。そのため、このようなリブ状の波立ちが起きたグラビアロールで塗工を行うと、基材の塗工面にも波状のムラが発生するという問題点があることが記載されている。さらに、特許文献３には、従来発生していたリブ状の波立ちを防止するためのグラビア塗工装置として、塗工液を溜める液漕と、前記液漕の上部に配されてその下周面が塗工液に浸漬されたグラビアロールと、前記グラビアロールの後方であって前記液槽外部に配され、前記グラビアロールの周面上の塗工液を掻き落とす掻落しブレードと、を有し、前から後に向かって搬送される長尺状の基材の下面に、前記回転するグラビアロールの上周面の下側半分の少なくとも一部が接触して塗工液を塗工するグラビア塗工装置において、前記液漕の底面から波立ち防止ブレードが立設され、前記波立ち防止ブレードの上端部が前記グラビアロールの後下周面に接し、かつ、前記接する位置が前記液槽に満たされた塗工液の液面の下方近傍であることを特徴とするグラビア塗工装置が開示されている。

また、特許文献４には、支持体上に、マイクログラビア法により、ワニスを塗布し、次いで乾燥させて絶縁材層を形成することを含む絶縁材フィルムの製造方法において、支持体の走行速度Ｓ（ｍ／分）に対するグラビアロールの回転速度（回転周速度）Ｇ（ｍ／分）の比率Ｇ／Ｓが、０．７５以上であることを特徴とする製造方法が開示されている。

特公平５−５３５５３号公報特開２００２−１９２０４２号公報特開２００８−１００１８１号公報特開２００８−３８０４８号公報

図１０に、従来の一般的なグラビア塗工装置の断面模式図を示す。従来の一般的なグラビア塗工装置を用いる場合には、製造する膜厚の均一性に問題がある。特に、支持体上に長時間連続して薄膜を形成する場合には、薄膜中央付近に筋状の膜厚不均一が発生する。そのため、従来の一般的なグラビア塗工装置を用いる場合、例えば電子分品等に用いる絶縁材フィルムに要求される膜厚の均一性に優れた薄膜を製造することは困難である。また、先行技術文献に開示されているような改良を加えたとしても、グラビア塗工装置により製造される薄膜の膜厚の均一性は十分なものではない。

そこで、本発明は、従来のグラビア塗工装置と比較して、より均一な膜厚を有する薄膜を製造することができるグラビア塗工装置及びそのグラビア塗工装置を用いる薄膜の製造方法を得ることを目的とする。

本発明者らは鋭意努力の結果、グラビア塗工装置を用いて薄膜を製造する場合に、薄膜の膜厚が不均一になる原因が、液槽内の塗工液の不均一な流れによることに起因することを見出した。特に、塗工液が粘性を有する場合には、液槽内の塗工液の表面が平坦にならず、不規則な曲面を有することを見出した。そのため、グラビアロール周面の塗工液の付着量が不均一となり、その結果、支持体上に形成される薄膜の膜厚も不均一となることを見出したのである。本発明者らは、以上の知見を得た上で、以下に述べる薄膜の製造方法及びグラビア塗工装置を発明した。

すなわち、本発明は、所定のグラビア塗工装置を用いる薄膜の製造方法である。所定のグラビア塗工装置とは、塗工液を貯留するための液槽と、液槽の側壁に配置される少なくとも一つの塗工液供給口と、その周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液に浸漬するように液槽の上部に配置されるグラビアロールと、塗工液供給口とグラビアロールとの間の塗工液を隔てるように液槽の中に配置され、隔てられる塗工液の間を流体接続するための開口部を有する、少なくとも二つの整流隔壁と、を含むグラビア塗工装置である。本発明の薄膜の製造方法は、上記所定のグラビア塗工装置を用意する工程と、グラビアロールの周面の下側半分の少なくとも一部を塗工液に浸漬させるために、塗工液供給口から整流隔壁の開口部を介して塗工液を供給する工程と、グラビアロールと、支持体とを接するように配置する工程と、グラビアロールを回転させて塗工液をグラビアロールの周面に付着させ、支持体をグラビアロールとは反対方向に走行させることにより、支持体表面に塗工液を塗布する工程とを含む。本発明によれば、従来のグラビア塗工装置を用いる薄膜の製造方法と比較して、より均一な膜厚を有する薄膜を製造することができる。

本発明の薄膜の製造方法の好ましい態様を以下に示す。本発明では、これらの態様を適宜組み合わせることができる。

（１）グラビア塗工装置を用意する工程において、整流隔壁のうちの少なくとも一つが、水平方向に離間して配置される複数の貫通孔を開口部として含む多孔整流隔壁である。グラビア塗工装置が多孔整流隔壁を有することにより、液槽内の塗工液の流れをより均一にすることができるので、より均一な膜厚を有する薄膜を製造することができる。

（２）グラビア塗工装置を用意する工程において、塗工液供給口が、一つの塗工液供給口であって、略直方体の液槽の一つの側壁の中央に配置され、多孔整流隔壁が、塗工液供給口が配置される側壁に対向するように配置され、多孔整流隔壁の水平方向の両端に位置する貫通孔の断面積が、水平方向の中心に最も近い貫通孔の断面積と比べて大きく、かつ、各貫通孔の断面積が、多孔整流隔壁の水平方向の中心から両端へ向かうにつれて、等しい又は増加する、グラビア塗工装置である。この場合、塗工液を供給する工程において、塗工液は多孔整流隔壁の貫通孔を介して供給される。この薄膜の製造方法によると、グラビアロールの周面に対する塗工液の付着を均一にすることができ、最終的に支持体上に形成する薄膜の膜厚を均一にすることができる。

（３）多孔整流隔壁の各貫通孔の断面積の水平方向の分布が、水平方向の中心に対して対称である。この薄膜の製造方法によると、多孔整流隔壁通過後の塗工液の流れの水平方向の分布が水平方向の中心に対して対称となる。その結果、グラビアロールの周面に対する塗工液の付着をより均一にすることができ、最終的に支持体上に形成する薄膜の膜厚をより均一にすることができる。

（４）グラビア塗工装置が、さらに、整流隔壁の上端に開口部を有する上端開口整流隔壁と、整流隔壁の下端に開口部を有する下端開口整流隔壁とを含み、上端開口整流隔壁が、多孔整流隔壁とグラビアロールとの間に配置され、下端開口整流隔壁が、上端開口整流隔壁とグラビアロールとの間に配置される。この薄膜の製造方法によると、多孔整流隔壁通過後の塗工液の流れを、さらに均一な整流にすることができる。その結果、グラビアロールの周面に対する塗工液の付着をさらに均一にすることができ、最終的に支持体上に形成する薄膜の膜厚をさらに均一にすることができる。

また、本発明は、塗工液を貯留するための液槽と、液槽の側壁に配置される少なくとも一つの塗工液供給口と、その周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液に浸漬するように液槽の上部に配置されるグラビアロールと、塗工液供給口とグラビアロールとの間の塗工液を隔てるように液槽の中に配置され、隔てられる塗工液の間に流体接続するための開口部を有する、少なくとも二つの整流隔壁と、を含むグラビア塗工装置である。本発明によれば、従来のグラビア塗工装置と比較して、より均一な膜厚を有する薄膜を製造することができる。

本発明のグラビア塗工装置の好ましい態様を以下に示す。本発明では、これらの態様を適宜組み合わせることができる。

（１）整流隔壁のうちの少なくとも一つが、水平方向に離間して配置される複数の貫通孔を開口部として含む多孔整流隔壁である。グラビア塗工装置が多孔整流隔壁を有することにより、液槽内の塗工液の流れをより均一にすることができるので、より均一な膜厚を有する薄膜を製造することができる。

（２）塗工液供給口が、一つの塗工液供給口であって、略直方体の液槽の一つの側壁の中央に配置され、多孔整流隔壁が、塗工液供給口が配置される側壁に対向するように配置され、多孔整流隔壁の水平方向の両端に位置する貫通孔の断面積が、水平方向の中心に最も近い貫通孔の断面積と比べて大きく、かつ、各貫通孔の断面積が、多孔整流隔壁の水平方向の中心から両端へ向かうにつれて、等しい又は増加する。このグラビア塗工装置を用いると、グラビアロールの周面に対する塗工液の付着を均一にすることができ、最終的に支持体上に形成する薄膜の膜厚を均一にすることができる。

（３）多孔整流隔壁の各貫通孔の断面積の水平方向の分布が、水平方向の中心に対して対称である。このグラビア塗工装置を用いると、多孔整流隔壁通過後の塗工液の流れの水平方向の分布が水平方向の中心に対して対称となる。その結果、グラビアロールの周面に対する塗工液の付着をより均一にすることができ、最終的に支持体上に形成する薄膜の膜厚をより均一にすることができる。

（４）グラビア塗工装置が、さらに、整流隔壁の上端に開口部を有する上端開口整流隔壁と、整流隔壁の下端に開口部を有する下端開口整流隔壁とを含み、上端開口整流隔壁が、多孔整流隔壁とグラビアロールとの間に配置され、下端開口整流隔壁が、上端開口整流隔壁とグラビアロールとの間に配置される。このグラビア塗工装置を用いると、多孔整流隔壁通過後の塗工液の流れを、さらに均一な整流にすることができる。その結果、グラビアロールの周面に対する塗工液の付着をさらに均一にすることができ、最終的に支持体上に形成する薄膜の膜厚をさらに均一にすることができる。

本発明のグラビア塗工装置及びそのグラビア塗工装置を用いる薄膜の製造方法を用いることにより、従来のグラビア塗工装置及びそれを用いる方法と比較して、より均一な膜厚を有する薄膜を製造することができる。

本発明のグラビア塗工装置の一例の断面模式図である。本発明のグラビア塗工装置の主要部の一例の断面模式図である。本発明のグラビア塗工装置の、三種類の整流隔壁を配置した液槽の平面模式図である。多孔整流隔壁の一例の正面模式図である。多孔整流隔壁の別の一例の正面模式図である。上端開口整流隔壁の一例の正面模式図である。下端開口整流隔壁の一例の正面模式図である。整流隔壁として上端開口整流隔壁及び下端開口整流隔壁の２つを有するグラビア塗工装置の一例の断面模式図である。整流隔壁として多孔整流隔壁及び下端開口整流隔壁の２つを有するグラビア塗工装置の一例の断面模式図である。従来の一般的なグラビア塗工装置の断面模式図である。

本発明は、塗工液４０を貯留するための液槽１１と、液槽１１の側壁に配置される少なくとも一つの塗工液供給口１６と、その周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液４０に浸漬するように液槽１１の上部に配置されるグラビアロール１２と、少なくとも二つの整流隔壁１００と、を含むグラビア塗工装置１０に関する。本発明のグラビア塗工装置１０は、整流隔壁１００のうちの少なくとも一つが、水平方向に離間して配置される複数の貫通孔１１１を開口部として含む多孔整流隔壁１１０であることが好ましい。本発明のグラビア塗工装置１０は、所定の整流隔壁１００を有することにより、塗工液供給口１６から供給される塗工液４０を整流した状態でグラビアロール１２の周面に付着させることができる。

「整流隔壁１００」とは、塗工液供給口１６とグラビアロール１２との間の塗工液４０を隔てるように液槽１１の中に配置される隔壁である。整流隔壁１００は、整流隔壁１００によって隔てられる塗工液４０の間を流体接続するための開口部を有する。本発明のグラビア塗工装置１０は、一つ又は複数の整流隔壁１００を有することができる。「流体接続」とは、流体が移動可能なように配管や開口部等で接続することをいう。整流隔壁１００によって隔てられる塗工液４０は、整流隔壁１００の開口部により流体接続される。

「塗工液４０」とは、所定の薄膜５０を支持体５１上に形成するための原料となる液体のことをいう。

「グラビアロール１２」とは、マイクログラビア法に用いられる円筒状のロールであって、ロールの周面（断面の形状が円周状である部分の表面）に連続的な幾何学模様の彫刻を有し、液槽１１の塗工液４０と接触したときに、塗工液４０がロールの周面に付着することを可能にしたロールのことである。グラビアロール１２を用いるマイクログラビア法は公知の技術である。マイクログラビア法の一例は、特許文献１に開示されている。

「支持体５１」とは、グラビア塗工装置１０により塗工液４０を塗布するための物体をいう。支持体５１としては、フィルム状の形状のものを好適に用いることができる。

「液槽１１」とは、グラビアロール１２の周面に付着するための塗工液４０を貯留するための容器のことをいう。液槽１１は、底面及び周囲を囲む側壁により大きさを画定される内部に塗工液４０を貯留する。液槽１１の大きさは、所望する薄膜５０の幅などの寸法により異なる。

また、本発明は、上述の本発明のグラビア塗工装置１０を用いて、支持体５１の表面に塗工液４０を塗布する工程を含む、薄膜５０の製造方法である。本発明のグラビア塗工装置１０を用いるならば、均一な膜厚の薄膜５０を得ることができる。

以下、本発明のグラビア塗工装置１０及びそれを用いた薄膜５０の製造方法について説明する。

まず、本発明のグラビア塗工装置１０について、図面を用いて説明する。図１に、本発明のグラビア塗工装置１０の一例の断面模式図を示す。本発明のグラビア塗工装置１０は、塗工液４０を貯留するための液槽１１を含む。また、図２に、本発明のグラビア塗工装置１０の液槽１１を含む主要部の一例の断面模式図を示す。

本発明のグラビア塗工装置１０は、液槽１１の側壁に配置される少なくとも一つの塗工液供給口１６を含む。

「塗工液供給口１６」とは、液槽１１に塗工液４０を供給するための、液槽１１の側壁に設けられた開口部のことをいう。塗工液供給口１６には、塗工液供給管１７が接続され、塗工液４０の供給源である塗工液タンク（図示せず）に流体接続される。

塗工液タンクと塗工液供給口１６とを流体接続する塗工液供給管１７には、必要に応じて開閉バルブ、流量調節バルブ及びポンプ等を適宜配置することにより、塗工液４０の断続及び流速の制御を行うことができる。また、塗工液タンクを、液槽１１の塗工液４０の液面より高い位置に配置する場合には、ポンプを必要とせずに、位置エネルギーのみの作用により、塗工液タンクから塗工液供給口１６へと塗工液４０を供給することができる。

本発明のグラビア塗工装置１０は、その周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液４０に浸漬するように液槽１１の上部に配置されるグラビアロール１２を含む。

グラビアロール１２は、その周面に対する塗工液４０の付着量を制御するための彫刻であるグラビアパターンを有する。グラビアロール１２のグラビアパターンの大きさ及び形状は、特に限定されず、公知のパターンから適宜、選択することができる。グラビアパターンとしてはメッシュ状の彫刻（ロールメッシュ）を用いることができる。グラビアロール１２のセル容積（グラビアロール１２の周面に彫刻されたロールメッシュの容積）は、所望の膜厚に応じて選択することができる。また、グラビアロール１２の直径は、適宜選択することができるが、一般に、直径約２０〜５０ｍｍのものを用いることができる。

本発明のグラビア塗工装置１０を作動して、支持体５１の表面に薄膜５０を製造するときには、グラビアロール１２の周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液４０に浸漬する状態とすることが必要である。図１及び図２に、グラビアロール１２の周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液４０に浸漬する状態を示している。グラビアロール１２は、液槽１１の上部であって、周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液４０に浸漬することのできる位置に配置される。

本発明のグラビア塗工装置１０は、塗工液供給口１６とグラビアロール１２との間の塗工液４０を隔てるように液槽１１の中に配置され、隔てられる塗工液４０の間を流体接続するための開口部を有する、少なくとも二つの整流隔壁１００を含む。

図１及び２に、液槽１１の中に三種類の整流隔壁１００（多孔整流隔壁１１０、上端開口整流隔壁１２０及び下端開口整流隔壁１３０）を配置した例を示す。また、図３に、本発明のグラビア塗工装置１０の、三種類の整流隔壁１００を配置した液槽１１の平面模式図を示す。図３は、図１及び図２に示す断面模式図に対応する平面模式図である。整流隔壁１００は、液槽１１の中の所定の位置に、塗工液４０を隔てるように配置される。本発明のグラビア塗工装置１０が整流隔壁１００を有することにより、塗工液供給口１６から供給される塗工液４０が整流隔壁１００の開口部により整流され、グラビアロール１２の周面に均一に塗布される。この結果、従来のグラビア塗工装置１０ｂ及びそれを用いる方法と比較して、より均一な膜厚を有する薄膜５０を支持体５１上に形成することができる。

図４に、多孔整流隔壁１１０の一例の正面模式図を示す。「多孔整流隔壁１１０」とは、流体接続するための開口部として、水平方向に離間して配置される複数の貫通孔１１１を含む整流隔壁１００のことをいう。本発明のグラビア塗工装置１０では、好ましくは、整流隔壁１００のうちの少なくとも一つが多孔整流隔壁１１０であることにより、塗工液４０の整流を効果的に行うことができる。

多孔整流隔壁１１０の貫通孔１１１の断面形状は、円形、楕円形並びに矩形及び三角形等の多角形の形状であることができる。貫通孔１１１の形成が容易であり、貫通孔１１１による塗工液４０の整流を確実に行うことのできる点から、多孔整流隔壁１１０の貫通孔１１１の断面形状は、円形であることが好ましい。

多孔整流隔壁１１０の複数の貫通孔１１１の配置は、水平方向に離間して配置されることが好ましい。複数の貫通孔１１１による塗工液４０の整流を確実に行う点から、多孔整流隔壁１１０の複数の貫通孔１１１の配置は、貫通孔１１１の中心が同じ水平高さであり、水平方向に等間隔に離間して配置することが好ましい。

また、本発明のグラビア塗工装置１０において、液槽１１の側壁に配置される塗工液供給口１６が、一つの塗工液供給口１６であることが好ましい。複数の塗工液供給口１６から液槽１１に塗工液４０が供給される場合には、異なった塗工液供給口１６から供給される塗工液４０の流れが互いに干渉し、塗工液４０の流れに乱れが生じてしまい、結果として均一な膜厚の薄膜５０を得ることができない可能性があるためである。図３に、液槽１１の側壁に配置される塗工液供給口１６が一つである場合の平面模式図を示す。図３に示すように、塗工液供給口１６が一つであると、多孔整流隔壁１１０の複数の貫通孔１１１へ達するまでの塗工液４０の流れが干渉することなくスムーズな整流となることができる。その結果、グラビアロール１２の周面に対する塗工液４０の付着を均一にすることができ、支持体５１上に形成する薄膜５０の膜厚を均一にすることができる。

また、液槽１１の形状は、略直方体の液槽１１であることが好ましい。塗工液４０は、直方体の辺に平行になるように、グラビアロール１２に向かって均一な流れを形成することが好ましいからである。塗工液供給口１６は、略直方体の液槽１１の一つの側壁のうちグラビアロール１２に対向する側壁に配置されることが、塗工液４０の均一な流れを形成することが好ましい。また、同様な理由から、多孔整流隔壁１１０が、塗工液供給口１６が配置される側壁に対向するように配置されることが好ましい。また、同様な理由から、図３に示すように、塗工液供給口１６が配置される側壁、多孔整流隔壁１１０等の整流隔壁１００及びグラビアロール１２は、互いに平行に配置されることが好ましい。

また、液槽１１の側壁に配置される一つの塗工液供給口１６は、略直方体の液槽１１の一つの側壁の中央に配置されることが好ましい。塗工液供給口１６から供給される塗工液４０が、左右対称に液槽１１に広がることによって、塗工液４０の整流をより確実に行うことができるためである。

本願発明者らは、試行錯誤の実験により、略直方体の液槽１１の一つの側壁の中央に一つの塗工液供給口１６が配置される場合には、多孔整流隔壁１１０の水平方向の両端に位置する貫通孔１１１の断面積が、水平方向の中心に最も近い貫通孔１１１の断面積と比べて大きく、かつ、各貫通孔１１１の断面積が、多孔整流隔壁１１０の水平方向の中心から両端へ向かうにつれて、等しい又は増加することが好ましいとの知見を得た。具体的には、図５に示すように、多孔整流隔壁１１０の貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃを、中央部の最も断面積の小さい貫通孔１１１ａ、両端部の最も断面積の大きい貫通孔１１１ｃ並びに貫通孔１１１ａ及び１１１ｃの中間の断面積を有する貫通孔１１１ｂのように配置することができる。すなわち、多孔整流隔壁１１０の貫通孔１１１の断面積は、水平方向の中心から両端へ向かうにつれて、ほぼ単調増加するような分布であることが好ましい。

なお、孔整流隔壁１１０の貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃを上述のような配置することが好ましい理由について、以下のように考えることができるが、本発明はこれらの理論に拘束されるものではない。

すなわち、塗工液４０が粘性を有するならば、塗工液４０表面は、塗工液供給口１６付近において高く、塗工液供給口１６から離れるにしたがって低くなるような曲面を有する可能性がある。多孔整流隔壁１１０が、図５に示すような貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃを有し、塗工液４０が、各貫通孔全体を浸す程度には深くないならば、塗工液４０表面の曲面形状が、各貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃの断面の一部と重なり、小さな断面の貫通孔１１１ａの部分の塗工液４０は深くなり、大きな断面の貫通孔１１１ｃの部分の塗工液４０は浅くなる可能性がある。そのため、各貫通孔を通過する塗工液４０の断面積が同程度となる可能性がある。したがって、各貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃを通過する塗工液４０の単位時間当たりの流量は同程度となり、塗工液４０の流れを整流にすることができると考えられる。

また、塗工液４０が、各貫通孔全体を浸す程度には深いならば、多孔整流隔壁１１０の複数の貫通孔１１１のうち、塗工液供給口１６に近い中央の貫通孔１１１に対する塗工液４０の圧力は、多孔整流隔壁１１０の両端部の貫通孔１１１に対する塗工液４０の圧力に比べて大きくなる。多孔整流隔壁１１０が、図５に示すように異なった断面積の貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃを有する場合には、各貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃのコンダクタンスは異なるので、塗工液４０の圧力を補償することができる。この結果、各貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃを通過する塗工液４０の単位時間当たりの流量は同程度となり、塗工液４０の流れを整流にすることができると考えられる。

また、塗工液４０の整流をより確実に行うために、本発明のグラビア塗工装置１０においては、多孔整流隔壁１１０の各貫通孔１１１の断面積の水平方向の分布が、水平方向の中心に対して対称であることが好ましい。例えば、図５に示す多孔整流隔壁１１０の貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃは、水平方向中心線１１５に対して対称に分布するように配置されている様子を示している。

図５に示す多孔整流隔壁１１０の貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃの大きさの具体例は、貫通孔１１１ａの直径を６ｍｍ、貫通孔１１１ｂの直径を８ｍｍ及び貫通孔１１１ｂの直径を１０ｍｍとすることができる。また、貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃの中心の間隔を３０ｍｍとすることができる。ただし、貫通孔の断面の大きさ及び配置は、上述の寸法に限定されることはなく、塗工液供給口１６の位置及び塗工液４０の流速等から、流体力学的計算を行うことにより、均一な流れとなるような貫通孔の断面の大きさ及び配置を予測することができる。

また、本発明のグラビア塗工装置１０においては、グラビア塗工装置１０が、さらに、整流隔壁１００の上端に流体接続するための開口部を有する上端間隙整流隔壁１００と、整流隔壁１００の下端に流体接続するための開口部を有する下端開口整流隔壁１３０とを含み、上端開口整流隔壁１２０が、多孔整流隔壁１１０とグラビアロール１２との間に配置され、下端開口整流隔壁１３０が、上端開口整流隔壁１２０とグラビアロール１２との間に配置されることが好ましい。

すなわち、本発明のグラビア塗工装置１０は、多孔整流隔壁１１０の他に、さらに、上端開口整流隔壁１２０を含むことができる。上端開口整流隔壁１２０は、その上端に流体接続するための開口部を有する整流隔壁１００である。

図６に、上端開口整流隔壁１２０の一例の正面模式図を示す。また、図２に、上端開口整流隔壁１２０が液槽１１の中に配置されている様子を示す。上端開口整流隔壁１２０は、単純な矩形の隔壁であるが、上端開口整流隔壁１２０の高さｄ２は、液槽１１の中の装置作動時の塗工液４０の深さより低い。そのため、上端開口整流隔壁１２０の底面が液槽１１の底に接するように配置され、グラビア塗工装置１０に塗工液４０を供給したときには、上端開口整流隔壁１２０の上部に、塗工液４０の流体接続のための上端開口部１２１が存在することとなる。

上端開口整流隔壁１２０の形状は特に限定されず、装置作動時に上端開口整流隔壁１２０の上部に流体接続のための上端開口部１２１が存在するような形状であればよい。ただし、製作容易であり、塗工液４０の整流を確実にする点から、上端開口整流隔壁１２０の形状は、図６に示すような矩形の形状であることが好ましい。

本発明のグラビア塗工装置１０において、上端開口整流隔壁１２０は、多孔整流隔壁１１０とグラビアロール１２との間に配置されることが好ましい。この場合、塗工液４０は、グラビアロール１２へと達する経路において、上端開口整流隔壁１２０を通過する際に整流されることとなる。

本発明のグラビア塗工装置１０は、多孔整流隔壁１１０及び上端開口整流隔壁１２０の他に、さらに、下端開口整流隔壁１３０を含むことができる。下端開口整流隔壁１３０とは、その下端に流体接続するための開口部を有する整流隔壁１００である。

図７に、下端開口整流隔壁１３０の一例の正面模式図を示す。また、図２に、下端開口整流隔壁１３０が液槽１１の中に配置されている様子を示す。下端開口整流隔壁１３０は、単純な矩形の隔壁の下部に突起部１３２を有する形状であることができる。そのため、グラビア塗工装置１０に塗工液４０を供給したときには、下端開口整流隔壁１３０の下端に、流体接続のための下端開口部１３１が存在することとなる。下端開口整流隔壁１３０の突起部１３２は、下端開口整流隔壁１３０の下部の両端に、塗工液４０の流れを乱さない程度の小さな大きさであることが好ましい。なお、図７に示す寸法ｄ３は、下端開口整流隔壁１３０が液槽１１の中に配置されたときに、液槽１１の中の塗工液４０の深さより大きな寸法とすることにより、塗工液４０が下端開口整流隔壁１３０の上面を通過することを防止する。

また、下端開口整流隔壁１３０の形状は、上述のような突起部１３２に限定されず、装置作動時に下端開口整流隔壁１３０の下部に流体接続のための下端開口部１３１が存在する形状であればよい。したがって、下端開口整流隔壁１３０の形状が単純な矩形であり、下端開口整流隔壁１３０に対応する液槽１１の底面が突起を有してもよい。また、別途の治具を用いて下端開口整流隔壁１３０を保持することにより、下端開口部１３１を形成することもできる。

本発明のグラビア塗工装置１０において、下端開口整流隔壁１３０は、上端開口整流隔壁１２０とグラビアロール１２との間に配置されることが好ましい。この場合、塗工液４０は、グラビアロール１２へと達する経路において、下端開口整流隔壁１３０の図７に示す寸法ｄ４に相当する隙間を通過する際に整流されることとなる。

図２に、塗工液供給口１６からグラビアロール１２の位置に向かって、整流隔壁１００が、多孔整流隔壁１１０、上端開口整流隔壁１２０及び下端開口整流隔壁１３０の順番で配置されている様子を図示する。このような順番の配置にすると、塗工液４０は、図２の点線で示すような経路を通ってグラビアロール１２の位置に到達する。塗工液４０の流れは、多孔整流隔壁１１０、上端開口整流隔壁１２０及び下端開口整流隔壁１３０によって整流されるので、塗工液４０をグラビアロール１２の周面に均一に塗布することができる。この結果、整流隔壁１００を有しない従来のグラビア塗工装置１０ｂを用いる場合と比較して、支持体５１の表面に均一な膜厚の薄膜５０を製造することができる。

なお、本願発明者らは、図８に示すような、整流隔壁１００として上端開口整流隔壁１２０及び下端開口整流隔壁１３０の２つを有するグラビア塗工装置１０、図９に示すような、整流隔壁１００として多孔整流隔壁１１０及び下端開口整流隔壁１３０の２つを有するグラビア塗工装置１０、及び整流隔壁１００を一つだけ有する従来のグラビア塗工装置１０ｂを用いて薄膜５０を製造した。この結果、優れた膜厚均一性の薄膜５０を得るためには、図８及び図９に示すような、少なくとも二つの整流隔壁１００を有するグラビア塗工装置１０が必要であるとの知見を得た。また、図２及び図９に示すような多孔整流隔壁１１０を有するグラビア塗工装置１０を用いた場合には、より優れた膜厚均一性の薄膜５０を得ることができるとの知見を得た。本願発明者らは、これらの知見に基づき本発明に至ったのである。

次に、本発明の薄膜５０の製造方法について説明する。

本発明の薄膜５０の製造方法では、上述した本発明のグラビア塗工装置１０を用意する工程を含む。本発明のグラビア塗工装置１０を用いることにより、以下に述べる方法によって、従来のグラビア塗工装置１０ｂを用いる場合と比較して、支持体５１の表面に均一な膜厚の薄膜５０を製造することができる。

本発明の薄膜５０の製造方法は、グラビアロール１２の周面の下側半分の少なくとも一部を塗工液４０に浸漬させるために、塗工液供給口１６から整流隔壁１００の開口部を介して塗工液４０を供給する工程を含む。

塗工液４０は、塗工液供給口１６から液槽１１に供給される。塗工液供給口１６には塗工液供給管１７が接続され、塗工液タンク（図示せず）から塗工液４０を供給することができる。塗工液供給口１６とグラビアロール１２との間の塗工液４０は、少なくとも二つの整流隔壁１００によって隔てられている。また、整流隔壁１００には、整流隔壁１００によって隔てられる塗工液４０の間を流体接続するための開口部を有する。したがって、塗工液供給口１６から液槽１１に供給された塗工液４０は、整流隔壁１００の開口部を介してグラビアロール１２が配置されている液槽１１の部分まで達する。

塗工液４０は、液槽１１内の塗工液４０が所定の深さとなるように供給される。所定の深さとは、塗工液４０の供給によって、グラビアロール１２の周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液４０に浸漬し、製造される薄膜５０の膜厚が所定の値となるような塗工液４０の深さのことをいう。なお、整流隔壁１００の開口部は、流体に対して所定のコンダクタンスを有するので、整流隔壁１００によって隔てられる液槽１１の各部分では、塗工液４０の深さが必ずしも同じである必要はない。

本発明の薄膜５０の製造方法は、グラビアロール１２と、支持体５１とを接するように配置する工程を含む。図１に示すように、グラビアロール１２の周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液４０に浸漬しているので、支持体５１はグラビアロール１２の上方の周面と接するように配置することが好ましい。案内ロール５５ａ及び５５ｂを用いて支持体５１をグラビアロール１２の周面に押させるように接触させることにより、グラビアロール１２と、支持体５１とを同じ押圧によって確実に接触することができ、均一な膜厚の薄膜５０を製造することができる。

なお、本工程は、塗工液４０を供給する工程の前に、同時に又は後に行うことができる。また、塗工液４０は、液槽１１の塗工液４０の深さを所定の深さとするように、適宜供給される。

本発明の薄膜５０の製造方法は、グラビアロール１２を回転させて塗工液４０をグラビアロール１２の周面に付着させ、支持体５１をグラビアロール１２とは反対方向に走行させることにより、支持体５１の表面に塗工液４０を塗布する工程を含む。

本発明において、支持体５１は特に限定されず、例えば、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリイミドフィルム、ナイロンフィルム、金属箔及びポリ塩化ビニルフィルム等から選択して用いることができる。好ましくは、ポリエステルフィルム、特にＰＥＴフィルムである。支持体５１の厚みは、作業性の点から、好ましくは１０〜１００μｍであり、より好ましくは１０〜５０μｍであり、より好ましくは１２〜３８μｍであり、例えば１２μｍ又は３８μｍとすることができる。支持体５１は、適宜、シリコーン化合物等で離型処理されていることができる。

本発明の薄膜５０の製造方法は、キス方式のマイクログラビア法により塗工液４０を支持体５１上に塗布する。このマイクログラビア法では、支持体５１の進行方向に対してグラビアロール１２がリバース回転する塗布方式であり、具体的には、特許文献１に開示の技術を基本とすることができる。

グラビアロール１２から支持体５１への塗工液４０の塗布を確実にするために、本発明の薄膜５０の製造方法においては、グラビアロール１２の回転速度は、１０〜１００ｒｐｍ、好ましくは２０〜６０ｒｐｍであることができる。また、このときの支持体５１の走行速度は、０．２〜１０ｍ／分、好ましくは０．３〜５ｍ／分であることができる。

本発明の薄膜５０の製造方法においては、塗工液４０の塗布にあたり、支持体５１の走行速度Ｓ（ｍ／分）に対するグラビアロール１２の回転周速度Ｇ（ｍ／分）の比率Ｇ／Ｓを０．７５以上とすることが好ましい。これにより、薄膜５０の膜厚を極めて薄く、かつ均一にすることができる。作業性及び生産効率の向上の点から、比率Ｇ／Ｓはより好ましくは１〜６である。

支持体５１の走行速度Ｓは、０．２〜１０ｍ／分が好ましく、薄膜５０の膜厚の均一性及び生産効率の点から、より好ましくは０．３〜５ｍ／分である。

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支持体５１上の薄膜５０の形成に伴い、塗工液４０が液槽１１から取り除かれることとなる。均一な膜厚の薄膜５０を得るためには、液槽１１の塗工液４０の深さを一定とすることが必要である。そのため、液槽１１から取り除かれる塗工液４０の量を補償し、液槽１１内の塗工液４０が一定の深さとなるように、塗工液供給口１６から液槽１１に塗工液４０を所定の供給速度で供給する。塗工液４０の供給速度を制御するために、塗工液供給管１７は流量制御バルブ及び流量制御ポンプ等の流量制御器を配置することができる。

本発明の薄膜５０の製造方法においては、グラビアロール１２が支持体５１と接触する手前側に、グラビアロール１２の周面と接触するか又は僅かな隙間を有するようにブレード１３を配置することによって、グラビアロール１２に付着する塗工液４０の量を調整することができる。

上述のようにして支持体５１上に塗布した塗工液４０は、図１に示すような乾燥装置６０によって乾燥し、揮発性成分を揮発させる。この結果、支持体５１上に所定の薄膜５０を得ることができる。

乾燥装置６０は、特に限定されず、熱風乾燥や遠赤外線乾燥などの公知の乾燥手段を具現化する乾燥装置６０から適宜、選択することができる。例えば、熱風乾燥の場合、８０〜１２０℃で、１〜３０分程度とすることができる。

乾燥して形成した薄膜５０は、支持体ロール５２を用いて巻き取ることができる。

上記のようにして得られた薄膜５０は、通常、９０μｍ以下とすることができ、膜厚の均一性にも優れるものである。

マイクログラビア法において通常、問題となるのは連続長さ方向の膜厚の均一性、及び幅方向の膜厚の均一性であり、均一性は測定値の標準偏差で評価することができる。ここでは、平均値に対する標準偏差を％表示した値［（標準偏差／平均値）×１００（％）］を「ばらつき」ということとする。本発明の製造方法においては、ばらつきを２％以内にすることができ、好ましくはばらつきを１％以内とすることができる。

本発明において、塗工液４０の種類は特に限定されない。所望する薄膜５０の種類によって様々な種類の塗工液４０を用いることができる。本発明の方法に用いる塗工液４０の粘度は、２０００ｍＰａ・ｓ以下、好ましくは１０００ｍＰａ・ｓ以下、より好ましくは５〜８００ｍＰａ・ｓであることにより、支持体５１上への均一な薄膜５０の形成を確実にすることができる。なお、粘度は、Ｅ型粘度計を用いて、回転速度５ｒｐｍ、２５℃で測定した値とする。

また、本発明の方法に用いる塗工液４０は、２０〜８０重量％の固形分を含むことにより、支持体５１上への均一な薄膜５０の形成をより確実にすることができる。

塗工液４０の具体例としては、特許文献４に記載されているワニス、具体的には、（I）フェノール骨格とビフェニル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂、及び重量平均分子量が１０，０００〜２００，０００であり、かつ水酸基を有する二官能性直鎖状エポキシ樹脂よりなる群から選択される１種以上のエポキシ樹脂と、（II）フェノール性水酸基の少なくとも一部を脂肪酸でエステル化した変性フェノールノボラックと、場合により（III）イソシアナート化合物と、を含むワニスを用いることができる。このような電子機器の材料として有用な絶縁材フィルムを製造することができる。

また、特許文献４に記載されているワニスを塗工液４０として用いる場合には、２０〜８０重量％の固形分を含むことにより、支持体５１上への均一な薄膜５０の形成を確実にすることができる。

本発明の製造方法において、塗工液４０の成分及びグラビアロール１２のセル容積等を制御することにより、製造される薄膜５０の膜厚を制御することができる。例えば、特許文献４に記載されているワニスを塗工液４０として用いるときに、より薄い膜厚が求められる場合は、固形分濃度が小さいワニスを使用するか、セル容積の小さいグラビアロール１２を選択することにより対応することができる。例えば、両者の選択次第で、膜厚０．５μｍのものも製造することができる。

グラビアロール１２による塗布直後の薄膜５０は一般的に未硬化の状態であり、さらに硬化させることができる。硬化条件は、塗工液４０の種類によって、適宜、設定することができる。例えば、特許文献４に記載されているワニスを塗工液４０として用いる場合、１５０〜２５０℃で、１０〜１５０分程度とすることができる。

特許文献４に記載されているワニスを塗工液４０として用いる場合には、製造される薄膜５０として、硬化後の誘電特性に優れる絶縁材フィルムを得ることができる。この絶縁材フィルムは、配線板、モジュール基板の製造（例えば、配線板の層間絶縁膜の形成）や電子部品製造プロセスでの接着（例えば、異種材料の接着）等の用途に好適に用いられる。また、金属箔を支持体５１とした金属箔付きフィルム（例えば、銅箔付きフィルム）とすることもできる。

なお、本発明の製造方法によって得られる薄膜５０の表面には、必要に応じて、絶縁材層上に保護フィルムを備えることができる。保護フィルムは、例えば、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリピロピレンフィルム、ポリイミドフィルム、ナイロンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム等が挙げられる。

以下、実施例により、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

＜塗工液４０＞
塗工液４０は、表１に示す配合で各成分を混合し、調製した。

＜実施例１＞
実施例１の薄膜５０を製造するためのグラビア塗工装置、製造条件及び膜厚の測定方法は、以下のとおりである。

＜グラビア塗工装置１０＞
実施例１の薄膜５０を製造するために、図１に示す構造のグラビア塗工装置１０を用いた。塗工装置の寸法は、以下のとおりである。また、薄膜製造の際には、連続的に３００ｍ以上の長さにわたって支持体５１上に塗工液４０を塗布した。

＜液槽１１＞
３７０ｍｍ×６７ｍｍの大きさの液槽１１を用いた。塗工液４０の深さが２０ｍｍとなるように塗工液４０を供給した。

＜グラビアロール１２＞
グラビアロール１２は、下記のものを用いた。
グラビアロール１２の形状：直径２０ｍｍ及び長さ３７０ｍｍの円筒状
グラビアロール１２のロールメッシュ（彫刻）：斜線型、セル角度４５°、セル容積３５．９ｃｍ^３／ｍ^２、深度７２μｍ

＜整流隔壁１００＞
液槽１１の塗工液供給口１６が配置される液槽１１の側壁からグラビアロール１２が配置される方向に向けて、多孔整流隔壁１１０、上端開口整流隔壁１２０及び下端開口整流隔壁１３０をこの順番に配置した。これらの整流隔壁１００は、塗工液供給口１６が配置される液槽１１の側壁に対して平行に配置された。塗工液供給口１６が配置される液槽１１の側壁と多孔整流隔壁１１０との間の距離を７．３ｍｍ、多孔整流隔壁１１０及び上端開口整流隔壁１２０の間並びに上端開口整流隔壁１２０及び下端開口整流隔壁１３０の距離を９．６ｍｍとした。

＜多孔整流隔壁１１０＞
多孔整流隔壁１１０として、概略構造を図５示すものを用いた。図５に示す寸法ｄ１は２３ｍｍであり、多孔整流隔壁１１０の底面が液槽１１の底に接するように、多孔整流隔壁１１０を配置した。各貫通孔１１１は断面が円形であり、円の中心の高さはすべて底面から１１．５ｍｍ、中心の水平方向の間隔はすべて３０ｍｍとした。また、中央の３つの貫通孔１１１ａの直径は６ｍｍ、その左右に２つずつ計４つ配置される貫通孔１１１ｂの直径は８ｍｍ、さらにその左右に２つずつ計４つ配置される貫通孔１１１ｃの直径は１０ｍｍとした。多孔整流隔壁１１０の厚さ（貫通孔１１１ａ、１１１ｂ及び１１１ｃの長さ）は１．６ｍｍとした。多孔整流隔壁１１０の水平方向の全幅は３６２ｍｍとした。多孔整流隔壁１１０の両端と、液槽１１の側壁との間にはスペーサーを配置して、多孔整流隔壁１１０の両端に塗工液４０が通過しない構造とした。

＜上端開口整流隔壁１２０＞
上端開口整流隔壁１２０として、図６示す概略構造のものを用いた。図６に示す寸法ｄ２は１５ｍｍであり上端開口整流隔壁１２０の底面が液槽１１の底に接するように、上端開口整流隔壁１２０を配置した。液槽１１の塗工液４０の深さを２０ｍｍとしたので、上端開口整流隔壁１２０の上部には、深さ５ｍｍの上端開口部１２１を有することとなる。多孔整流隔壁１１０と同様に、上端開口整流隔壁１２０の厚さは１．６ｍｍ、水平方向の全幅は３６２ｍｍとした。上端開口整流隔壁１２０の両端と、液槽１１の側壁との間にはスペーサーを配置して、上端開口整流隔壁１２０の両端に塗工液４０が通過しない構造とした。

＜下端開口整流隔壁１３０＞
下端開口整流隔壁１３０として、図７示す概略構造のものを用いた。図７に示す寸法ｄ３は２７ｍｍである。また、用いた下端開口整流隔壁１３０は、水平方向両端の５ｍｍの部分を除き、深さ（図７に示す寸法ｄ４）が１ｍｍの凹部を底面に有する。下端開口整流隔壁１３０の水平方向両端の５ｍｍの部分の底面が液槽１１の底に接するように、下端開口整流隔壁１３０を配置した。そのため、下端開口整流隔壁１３０の下部には、深さ１ｍｍの下端開口部１３１を有することとなる。多孔整流隔壁１１０と同様に、下端開口整流隔壁１３０の厚さは１．６ｍｍ、水平方向の全幅は３６２ｍｍとした。下端開口整流隔壁１３０の両端と、液槽１１の側壁との間にはスペーサーを配置して、下端開口整流隔壁１３０の両端に塗工液４０が通過しない構造とした。
＜製造条件＞
マイクログラビアコーター（康井精機社製）を用いて、薄膜５０製造の際のグラビアロール１２の回転速度は２０ｒｐｍとした。また、このときの支持体５１の走行速度を１ｍ／分とした。
＜膜厚の測定方法＞
透過型赤外線膜厚計（クラボウ社製ＲＸ−１００）を用いて支持体５１上に形成した薄膜５０の膜厚を測定した。膜厚の測定は、支持体５１上の測定点がサインカーブを描くように、水平方向にスキャンしながら０．５秒間隔で行った。したがって、この方法による膜厚の測定値は、連続長さ方向の膜厚の均一性及び幅方向の膜厚の均一性の両方の情報を含むものであり、測定値の標準偏差を算出することによって薄膜全体の膜厚の均一性を評価することができる。ここでは、膜厚の測定値の平均値に対する標準偏差を％表示した値［（標準偏差／平均値）×１００（％）］を「ばらつき」という。

＜実施例２＞
図８に示すように、整流隔壁１００として上端開口整流隔壁１２０及び下端開口整流隔壁１３０の２つを有するグラビア塗工装置１０を用いて、実施例１と同様に薄膜５０を製造し、薄膜５０の膜厚の測定をした。液槽１１及び各整流隔壁１００等の寸法は、実施例１と同様とした。

＜実施例３＞
図９に示すように、整流隔壁１００として多孔整流隔壁１１０及び下端開口整流隔壁１３０の２つを有するグラビア塗工装置１０を用いて、実施例１と同様に薄膜５０を製造し、薄膜５０の膜厚の測定をした。液槽１１及び各整流隔壁１００等の寸法は、実施例１と同様とした。

＜比較例１＞
比較のために、図１０に示すように、整流隔壁１００として下端開口整流隔壁１３０のみを有するグラビア塗工装置１０を用いて薄膜５０を製造した（比較例１）。比較例１の整流隔壁１００以外の製造条件は、実施例１と同じとした。液槽１１等の寸法は、実施例１と同様とした。また、下端開口整流隔壁１３０の下端開口部の寸法も、実施例１と同様とした。

＜結果＞
表１は、比較例１及び実施例１〜３の薄膜５０の膜厚を、「巻長」、すなわち巻取りロール５３による巻取りの長さに対して測定し、膜厚の測定値の平均膜厚及び標準偏差等を示したものである。表１から、本発明の実施例１〜３の膜厚は、比較例１と比べて均一であることは明白である。

実施例１の膜厚の標準偏差は０．０５０μｍであり、比較例１の標準偏差０．１０８μｍの半分以下であった。したがって、本発明の実施例１では、従来のグラビア塗工装置１０ｂを用いて薄膜５０を製造した場合と比較し、より均一な膜厚の薄膜５０を製造することができた。

実施例２の薄膜５０の膜厚の均一性は、比較例１より優れていた。この結果から、優れた膜厚均一性の薄膜５０を得るためには、グラビア塗工装置１０が、少なくとも二つの整流隔壁１００を有することが必要であるといえる。しかしながら、実施例２の薄膜５０の膜厚の均一性は、実施例１及び３に示すような優れた膜厚均一性よりは、やや劣るものであった。この結果から、優れた膜厚均一性の薄膜５０を得るためには、多孔整流隔壁１１０を有するグラビア塗工装置１０が必要であるといえる。

実施例３の薄膜５０の膜厚の均一性は、比較例１より大幅に優れていた。この結果から、優れた膜厚均一性の薄膜５０を得るためには、グラビア塗工装置１０が、少なくとも二つの整流隔壁１００を有することが必要であるといえる。しかしながら、実施例１に示すような優れた膜厚均一性よりは、やや劣るものであった。この結果から、整流隔壁１００として、多孔整流隔壁１１０、上端開口整流隔壁１２０及び下端開口整流隔壁１３０をこの順番に配置したグラビア塗工装置１０を用いた場合に、より優れた膜厚均一性の薄膜５０を得ることができるといえる。

１０グラビア塗工装置
１０ｂ従来のグラビア塗工装置
１１液槽
１２グラビアロール
１３ブレード
１６塗工液供給口
１７塗工液供給管
４０塗工液
５０薄膜
５１支持体
５２支持体ロール
５３巻取りロール
５５ａ、５５ｂ案内ロール
６０乾燥装置
１００整流隔壁
１１０多孔整流隔壁
１１１、１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ貫通孔
１１５水平方向中心線
１２０上端開口整流隔壁
１２１上端開口部
１３０下端開口整流隔壁
１３１下端開口部
１３２突起部

Claims

塗工液を貯留するための液槽と、液槽の側壁に配置される少なくとも一つの塗工液供給口と、その周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液に浸漬するように液槽の上部に配置されるグラビアロールと、塗工液供給口とグラビアロールとの間の塗工液を隔てるように液槽の中に配置され、隔てられる塗工液の間を流体接続するための開口部を有する、少なくとも二つの整流隔壁と、を含むグラビア塗工装置を用意する工程と、
グラビアロールの周面の下側半分の少なくとも一部を塗工液に浸漬させるために、塗工液供給口から整流隔壁の開口部を介して塗工液を供給する工程と、
グラビアロールと、支持体とを接するように配置する工程と、
グラビアロールを回転させて塗工液をグラビアロールの周面に付着させ、支持体をグラビアロールとは反対方向に走行させることにより、支持体表面に塗工液を塗布する工程と
を含み、
グラビア塗工装置を用意する工程において、グラビア塗工装置の整流隔壁のうちの少なくとも一つが、水平方向に離間して配置される複数の貫通孔を開口部として含む多孔整流隔壁である、薄膜の製造方法。
グラビア塗工装置を用意する工程において、
塗工液供給口が、一つの塗工液供給口であって、略直方体の液槽の一つの側壁の中央に配置され、
多孔整流隔壁が、塗工液供給口が配置される側壁に対向するように配置され、
多孔整流隔壁の水平方向の両端に位置する貫通孔の断面積が、水平方向の中心に最も近い貫通孔の断面積と比べて大きく、かつ、各貫通孔の断面積が、多孔整流隔壁の水平方向の中心から両端へ向かうにつれて、等しい又は増加する、グラビア塗工装置である、請求項１記載の薄膜の製造方法。
多孔整流隔壁の各貫通孔の断面積の水平方向の分布が、水平方向の中心に対して対称である、請求項２記載の薄膜の製造方法。
グラビア塗工装置が、さらに、整流隔壁の上端に開口部を有する上端開口整流隔壁と、整流隔壁の下端に開口部を有する下端開口整流隔壁とを含み、
上端開口整流隔壁が、多孔整流隔壁とグラビアロールとの間に配置され、
下端開口整流隔壁が、上端開口整流隔壁とグラビアロールとの間に配置される、請求項２又は３記載の薄膜の製造方法。
塗工液を貯留するための液槽と、
液槽の側壁に配置される少なくとも一つの塗工液供給口と、
その周面の下側半分の少なくとも一部が塗工液に浸漬するように液槽の上部に配置されるグラビアロールと、
塗工液供給口とグラビアロールとの間の塗工液を隔てるように液槽の中に配置され、隔てられる塗工液の間に流体接続するための開口部を有する、少なくとも二つの整流隔壁と
を含み、
整流隔壁のうちの少なくとも一つが、水平方向に離間して配置される複数の貫通孔を開口部として含む多孔整流隔壁である、グラビア塗工装置。
塗工液供給口が、一つの塗工液供給口であって、略直方体の液槽の一つの側壁の中央に配置され、
多孔整流隔壁が、塗工液供給口が配置される側壁に対向するように配置され、
多孔整流隔壁の水平方向の両端に位置する貫通孔の断面積が、水平方向の中心に最も近い貫通孔の断面積と比べて大きく、かつ、各貫通孔の断面積が、多孔整流隔壁の水平方向の中心から両端へ向かうにつれて、等しい又は増加する、請求項５記載のグラビア塗工装置。
多孔整流隔壁の各貫通孔の断面積の水平方向の分布が、水平方向の中心に対して対称である、請求項６記載のグラビア塗工装置。
グラビア塗工装置が、さらに、整流隔壁の上端に開口部を有する上端開口整流隔壁と、整流隔壁の下端に開口部を有する下端開口整流隔壁とを含み、
上端開口整流隔壁が、多孔整流隔壁とグラビアロールとの間に配置され、
下端開口整流隔壁が、上端開口整流隔壁とグラビアロールとの間に配置される、請求項６又は７記載のグラビア塗工装置。