JP5724499B2 - ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置 - Google Patents
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前記処理槽は略直方体の形状であり、
前記処理槽内で処理される基板面と直角の位置にある一方の処理槽側面側の処理槽内部に、1ないし複数の排出孔を設けた第1排出パイプと1ないし複数の供給孔を設けた第2供給パイプを挿入し、他方の処理槽側面側の処理槽内部の該第1排出パイプと対向する位置に、1ないし複数の排出孔を設けた第2排出パイプを挿入し、前記第2供給パイプと対向する位置に1ないし複数の供給孔を設けた第1供給パイプを挿入し、片側面の供給パイプと排出パイプは一定の間隔を有し、前記処理槽の側面には供給パイプ及び排出パイプから一定の距離を取った所に整流部材を有し、前記第2排出パイプを挿入した側の処理槽側面にオーバーフロー槽と接続する排出口を配置し、前記第1供給パイプと前記第1排出パイプからなる第1循環路と前記第2供給パイプと前記第2排出パイプからなる第2循環路を交互に使用してエッチング液を循環させることを特徴とするビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置としたものである。
出させる構造の表面粗化装置において、粗化処理中に第1循環路と第2循環路を交互に使
用することによって処理槽内のエッチング液を撹拌し、エッチング速度のばらつき要因で
ある基板面近傍の温度分布や流速分布を平均化することができるため、粗化の均一化を図
ることができる。一般的に、粗化処理に要する時間、数分から数十分の間、エッチング速
度はほぼ一定であるため、その間に生じる疲労分布は粗化ばらつきに影響しない。従って
、粗化処理中は均一な整流となっている必要はなく、一時的な渦が生じてでも撹拌を充分
に行うことが望ましい。更に、粗化処理後に第2循環路のみを使用することによって均一
な横流れを生じさせ、滞留なく処理槽内の疲労エッチング液を効率的に入れ替えることが
できるため、粗化処理時間を超える長時間、疲労エッチング液の滞留による基板のエッチ
ング速度のばらつきを防ぐことができる。また、排出口を設けることによって、排出パイ
プによる排出の不具合が生じても、排出口からオーバーフロー槽にエッチング液が流れる
ため、処理槽からエッチング液が溢れ出すことを防ぐことができる。
図1は、本発明によるビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置の実施形態の一例を示す概略の構成図である。図1に示すように、表面粗化装置は、エッチング液1を満たす高さH、幅W、長さLの略直方体の処理槽2、基板3の絶縁層表面を粗化した処理済みエッチング液1を排出する第1排出孔81を有する第1排出パイプ71、および、第2排出孔82を有する第2排出パイプ72、再生後のエッチング液1を供給する第1供給パイプ51および第2供給パイプ52から構成される。第1供給パイプ51および第2供給パイプ52はそれぞれ2本の分配管に分岐し、第1供給孔41を有する第1供給分配管511と512、第2供給孔42を有する第2供給分配管521と522から構成される。第1排出パイプ71および第2排出パイプ72は、電解再生槽6に接続されている。また、第1供給分配管511と512は、処理槽2の側面に対面して挿入し、第2供給分配管521と522は、処理槽2の他方の側面に対面して挿入した構成からなる。
Claims (2)
- 処理槽内で基板の絶縁層の表面を粗化した処理済みエッチング液を、電解再生槽内に導いて再生し、再生後のエッチング液を該処理槽内に戻し、エッチング液を循環させながら粗化処理を行う表面粗化装置であって、
前記処理槽は略直方体の形状であり、
前記処理槽内で処理される基板面と直角の位置にある一方の処理槽側面側の処理槽内部に、1ないし複数の排出孔を設けた第1排出パイプと1ないし複数の供給孔を設けた第2供給パイプを挿入し、他方の処理槽側面側の処理槽内部の該第1排出パイプと対向する位置に、1ないし複数の排出孔を設けた第2排出パイプを挿入し、前記第2供給パイプと対向する位置に1ないし複数の供給孔を設けた第1供給パイプを挿入し、片側面の供給パイプと排出パイプは一定の間隔を有し、前記処理槽の側面には供給パイプ及び排出パイプから一定の距離を取った所に整流部材を有し、前記第2排出パイプを挿入した側の処理槽側面にオーバーフロー槽と接続する排出口を配置し、前記整流部材の高さが排出口の高さよりも低いものであり、前記第1供給パイプと前記第1排出パイプからなる第1循環路と前記第2供給パイプと前記第2排出パイプからなる第2循環路を交互に使用してエッチング液を循環させることを特徴とするビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置。 - 請求項1に記載のビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置において、粗化処理中は前記整流部材の高さよりも低い位置にエッチング液の液位を保ち、次の粗化処理までの間に前記第2循環路でエッチング液を循環させながら排出口の高さまで液位を上げることを特徴とする、ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011063163A JP5724499B2 (ja) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置 |
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JP2011063163A Active JP5724499B2 (ja) | 2011-03-22 | 2011-03-22 | ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5724499B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6090184B2 (ja) * | 2014-01-27 | 2017-03-08 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウェーハの洗浄槽及び貼り合わせウェーハの製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080612A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Toppan Printing Co Ltd | ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置 |
JP5146352B2 (ja) * | 2009-02-18 | 2013-02-20 | 凸版印刷株式会社 | ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置 |
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JP2012199427A (ja) | 2012-10-18 |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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