JP5146352B2 - ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置 - Google Patents
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Description
|Y1|>|Y2| の位置Y1、Y2について、D(Y1,Z)<D(Y2,Z)
Z1>Z2 の位置Z1、Z2について、D(Y,Z1)<D(Y,Z2)
であることを特徴とする請求項1に記載のビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置である。
図1は、本発明によるビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置の第1の実施形態を示す概略の構成図である。図1に示すように、表面粗化装置は、エッチング液1を満たす高さ(H)、幅(W)、長さ(L)の略直方体の処理槽2、基板3の絶縁層表面を粗化した処理済みエッチング液を排出する排出口8、排出管路81、オーバーフロー槽82、電解再生槽6、再生後のエッチング液を供給する供給パイプ5、供給管路51、循環供給ポンプ91を備えている。
整流部材A、Bの孔の形状や配置の例を、図4および図5に示す。図4および図5においては、等ピッチ(図4および図5では30mm)の60°千鳥で孔を配置した場合を示しているが、60°千鳥以外の配列に孔を配置してもよい。
整流部材Bの孔径パターン1として、図4に示すような孔径6mmの円形状の孔をピッチ30mmの60°千鳥で配置したものを用いた。整流部材Bの処理槽2底部に開口部を設けなかった。
整流部材Bの孔径パターン1として、図4に示すような孔径6mmの円形状の孔をピッチ30mmの60°千鳥で配置したものを用いた。請求項2に基づき整流部材Bの処理槽2底部から20mmの高さで開口部を設けた。
整流部材Bの孔径パターン2として、図5に示すような、ピッチ30mmの60°千鳥で孔を配置し、
−1から1で正規化された整流部材幅方向(図1、2においてWの方向)の位置:Y
0から−1で正規化された処理槽深さ方向(図1、2においてHの方向)の位置:Z
Y、Zの位置の整流部材の孔径:D(Y,Z)
整流部材の最小孔径:D0
とした時、
D(Y,Z)=(1−Z*exp(−Y*Y*5))*D0 (式1)
となるように孔径に分布をつけた。この孔径分布をつけたことで、排出口側の整流部材の幅方向中央で底部の流出量を増やし、エッチング液の疲労を抑えることができる。
|Y1|>|Y2| となる任意の位置(Y1,Z)と(Y2,Z)に対して、
D(Y1,Z)<D(Y2,Z)
Z1>Z2 となる任意の位置(Y,Z1)と(Y,Z2)に対して、
D(Y,Z1)<D(Y,Z2)
という条件を満たすものである。また整流部材Bの処理槽2底部から20mmの高さで開口部を設けた。
整流部材Aは設置しているが、整流部材Bを設置しなかった。
2・・・処理槽
3・・・基板
5・・・供給パイプ
6・・・電解再生槽
8・・・排出口
A・・・供給パイプ側の整流部材
B・・・排出口側の整流部材
51・・・供給管路
81・・・排出管路
82・・・オーバーフロー槽
91・・・循環供給ポンプ
Claims (2)
- 処理槽内で基板の絶縁層の表面を粗化した処理済みエッチング液を、排出口から管路を通して電解再生槽内に導いて再生し、再生後のエッチング液を、管路を通して供給口から前記処理槽内に戻し、エッチング液を循環させながら粗化処理を行う表面粗化装置において、前記処理槽は略直方体の形状であり、処理槽内で処理される基板の面と直角をなす側面の一方と基板との間に供給パイプが側面に対し平行に設けられ、前記供給パイプには複数の供給口が側面側に設けられ、処理槽内のもう一方の側面の上部に一つの排出口が設けられ、前記基板と供給パイプの間、および前記基板と排出口が設けられた側の処理槽の側面との間にはそれぞれ複数の孔を形成した整流部材が設けられ、排出口側の整流部材の底部に開口部が設けられ、供給口から排出口に向かって側面と垂直方向にエッチング液を流動させることを特徴とする、ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置。
- 請求項1のビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置において、処理槽内の幅方向を−1から1で正規化された位置Y、処理槽内の深さ方向の水面位置から処理槽底を0から−1で正規化された位置Zに対し、(Y,Z)で示される位置の前記整流部材の孔径D(Y,Z)が、
|Y1|>|Y2| の位置Y1、Y2について、D(Y1,Z)<D(Y2,Z)
Z1>Z2 の位置Z1、Z2について、D(Y,Z1)<D(Y,Z2)
であることを特徴とする請求項1に記載のビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置。
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