JP2006032609A - 基板のエッチング装置および基板のエッチング方法 - Google Patents
基板のエッチング装置および基板のエッチング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006032609A JP2006032609A JP2004208590A JP2004208590A JP2006032609A JP 2006032609 A JP2006032609 A JP 2006032609A JP 2004208590 A JP2004208590 A JP 2004208590A JP 2004208590 A JP2004208590 A JP 2004208590A JP 2006032609 A JP2006032609 A JP 2006032609A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- substrate
- cassette
- tank
- etching solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
【課題】 基板面内において、エッチング量の均一化を図ることのできる基板のエッチング装置を提供する。
【解決手段】 エッチング槽1と、ガラス基板31を保持するカセット30と、エッチング槽1内に設けられカセット30を保持するカセットホルダ20と、カセット30を保持し上下に移動してカセット30を前記エッチング槽1から出し入れするアクチュエータ40とを備え、カセットホルダ20をモータ10によりエッチング槽1内で回転させ、カセット30をエッチング槽1に入れる姿勢に対して、カセット30の移動する移動軸に平行に略180°回転した姿勢で前記カセット30をエッチング槽1から取り出すように構成した。
【選択図】 図1
【解決手段】 エッチング槽1と、ガラス基板31を保持するカセット30と、エッチング槽1内に設けられカセット30を保持するカセットホルダ20と、カセット30を保持し上下に移動してカセット30を前記エッチング槽1から出し入れするアクチュエータ40とを備え、カセットホルダ20をモータ10によりエッチング槽1内で回転させ、カセット30をエッチング槽1に入れる姿勢に対して、カセット30の移動する移動軸に平行に略180°回転した姿勢で前記カセット30をエッチング槽1から取り出すように構成した。
【選択図】 図1
Description
本発明は、基板のウェットエッチングにおける、基板のエッチング装置および基板のエッチング方法に関する。
従来より、基板などをエッチングする方法として、エッチング液の中に基板を浸漬して行うディップ式ウエットエッチング方法が用いられている。この方法では、基板をエッチング液に浸漬している間において、エッチング液が基板表面付近で滞留し、エッチング液が置換されず、基板面内のエッチング量のバラツキが生ずる。このエッチング量のバラツキを低減するために様々な提案がなされている。例えば、特許文献1に示すように、基板(被処理物)をフレームに装着し、エッチング槽内でフレームを振動させ、エッチング液が撹拌できるようにして、基板をエッチングするエッチング装置が提案されている。
このような従来のエッチング装置において、もう一つの、基板のエッチング量のバラツキを生ずる要因として、基板がエッチング液に接している時間差がある。通常のエッチング装置では、基板をエッチング液に浸漬して、一定時間経過後に基板を引き上げて取り出すという方式で、基板をエッチング液に浸漬させる姿勢と、エッチング液から取り出す姿勢は同じである。
つまり、基板をエッチング液に浸漬する場合、最初にエッチング液に接する部分は、エッチング液から取り出す際には、最後までエッチング液に接している。このことは、基板の上部と下部でエッチング液に接している時間に差ができることになり、基板面内のエッチング量のバラツキとなっている。
特に大型基板をエッチングする場合には、基板をエッチング槽への出し入れするのに時間がかかるため、基板上下部でのエッチング液に接している時間差は大きくなり、基板面内のエッチング量のバラツキを大きくしている。
つまり、基板をエッチング液に浸漬する場合、最初にエッチング液に接する部分は、エッチング液から取り出す際には、最後までエッチング液に接している。このことは、基板の上部と下部でエッチング液に接している時間に差ができることになり、基板面内のエッチング量のバラツキとなっている。
特に大型基板をエッチングする場合には、基板をエッチング槽への出し入れするのに時間がかかるため、基板上下部でのエッチング液に接している時間差は大きくなり、基板面内のエッチング量のバラツキを大きくしている。
本発明は、上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的は、基板の面内におけるエッチング量の均一化を図ることのできる基板のエッチング装置、および基板のエッチング方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の基板のエッチング装置は、エッチング液を蓄えるエッチング槽と、基板を保持するカセットと、前記エッチング槽内に設けられ前記カセットを保持するカセットホルダと、前記カセットホルダを前記エッチング槽内で回転させるカセットホルダ回転手段と、前記カセットを保持し上下に移動して前記カセットを前記エッチング槽から出し入れするカセット移動手段と、を備える基板のエッチング装置であって、前記カセット移動手段は、前記カセットを前記エッチング槽に入れる姿勢に対して、前記カセット移動手段の移動する移動軸に平行に略180°回転した姿勢で前記カセットを前記エッチング槽から取り出すことを特徴とする。
この構成によれば、基板を保持したカセットをカセットホルダに保持させ、エッチング槽の中で回転させ、カセットをエッチング槽に入れた姿勢から180°回転した姿勢で取り出すことができる。このようにすれば、基板をエッチング液に浸漬する場合、最初にエッチング液に接する部分は、エッチング液から取り出す際には最初にエッチング液から出て行くことになり、基板面内のエッチング液に接している時間差を少なくすることができる。その結果、基板の面内におけるエッチング量のバラツキを減少させることができる。
また、本発明の基板のエッチング装置は、前記カセット移動手段は、前記カセットを前記エッチング槽に入れる速度と、前記カセットを前記エッチング槽から取り出す速度が同じ速度であることを特徴とする。
この構成によれば、基板のエッチング液に接している時間を基板内で同一にすることができ、基板内のエッチング量の均一化が図れる。
また、本発明の基板のエッチング装置は、前記カセットホルダ回転手段は正逆回転可能であることを特徴とする。
この構成によれば、基板のエッチング中に、カセットホルダを正逆回転させることができるため、カセットホルダの回転によりエッチング槽内のエッチング液が充分に撹拌され、エッチング液の流れによる置換が行われ、基板の面内の均一なエッチングを図ることができる。
本発明の基板のエッチング方法は、エッチング液を蓄えたエッチング槽を配置し、基板を前記エッチング槽のエッチング液に浸漬し、エッチング設定時間到達後、前記エッチング槽のエッチング液に浸漬した姿勢に対して、前記基板を前記エッチング槽のエッチング液に浸漬するために移動する移動軸に平行に略180°回転した姿勢で前記エッチング槽のエッチング液から前記基板を取り出すことを特徴とする。
このようにすれば、基板をエッチング液に浸漬する場合、最初にエッチング液に接する部分は、エッチング液から取り出す際には最初にエッチング液から出て行くことになり、基板面内において、エッチング液に接している時間差を少なくさせることができる。その結果、基板の面内におけるエッチング量のバラツキを減少させることができる。
本発明の基板のエッチング方法は、前記基板を前記エッチング槽のエッチング液に浸漬する速度と、浸漬した前記基板を前記エッチング槽のエッチング液から取り出す速度は同じ速度であることを特徴とする。
このようにすれば、基板のエッチング液に接している時間を基板面内で同一にすることができ、基板内のエッチング量の均一化が図れる。
本発明の基板のエッチング方法は、前記エッチング槽のエッチング液に前記基板を浸漬中に、前記基板を回転しながら前記基板をエッチングすることを特徴とする。
このようにすれば、基板をエッチング中に基板を回転させるため、エッチング槽内のエッチング液が充分に撹拌され、エッチング液の流れによって、基板表面付近のエッチング液が置換され、基板の面内の均一なエッチングを図ることができる。
以下、本発明の実施形態について図面に従って説明する。
(第1の実施形態)
(第1の実施形態)
図1は、本発明の実施形態に係る基板のエッチング装置の概略構成図である。
本実施形態のエッチング装置は、大型ガラス基板をエッチングするエッチング装置である。ガラス基板のエッチングは、ガラス基板表面の平坦化や表面酸化膜除去の目的で行われる。エッチング装置には、エッチング液2を蓄えるエッチング槽1を備え、エッチング槽1の上部を取り囲み、溢れたエッチング液2を受けるオーバフロー槽3が設けられている。オーバフロー槽3の下部には排出管4が設けられ、排出管4はタンク5の内部に到達するように配置されている。また、タンク5は接続管6を介して薬液ポンプ7に接続され、薬液ポンプ7は導入管8を介してエッチング槽1に接続されている。
このように、エッチング槽1から溢れたエッチング液2は、オーバフロー槽3から排出管4を通りタンク5に蓄えられ、薬液ポンプ7を介してエッチング槽1に戻り、エッチング液2が連続的に循環するように構成されている。なお、エッチング液2としては、バッファドフッ酸液(BHF液)が用いられ、ガラス基板をエッチングすることができる。
本実施形態のエッチング装置は、大型ガラス基板をエッチングするエッチング装置である。ガラス基板のエッチングは、ガラス基板表面の平坦化や表面酸化膜除去の目的で行われる。エッチング装置には、エッチング液2を蓄えるエッチング槽1を備え、エッチング槽1の上部を取り囲み、溢れたエッチング液2を受けるオーバフロー槽3が設けられている。オーバフロー槽3の下部には排出管4が設けられ、排出管4はタンク5の内部に到達するように配置されている。また、タンク5は接続管6を介して薬液ポンプ7に接続され、薬液ポンプ7は導入管8を介してエッチング槽1に接続されている。
このように、エッチング槽1から溢れたエッチング液2は、オーバフロー槽3から排出管4を通りタンク5に蓄えられ、薬液ポンプ7を介してエッチング槽1に戻り、エッチング液2が連続的に循環するように構成されている。なお、エッチング液2としては、バッファドフッ酸液(BHF液)が用いられ、ガラス基板をエッチングすることができる。
エッチング槽1の上方には、カセット30を保持し、上下に移動してカセット30をエッチング槽1から出し入れする、カセット移動手段が構成されている。具体的に、カセット移動手段は、上下方向に伸縮するアクチュエータ40と、その先端部に設けられカセット30を挟持する搬送アーム41を備えている。アクチュエータ40の上下動は、エアーシリンダで作動する機構や、モータとボールねじを用いて作動する機構が用いられる。また、このアクチュエータ40は、上下方向の移動に加えて横方向に移動できるように、モータとラックアンドピニオンを用いて作動する機構を備えても良い。
また、カセット30にはガラス基板31を垂直方向に立つように収容し、また、ガラス基板31がどの方向からも抜けないように保持される構成となっている。
また、カセット30にはガラス基板31を垂直方向に立つように収容し、また、ガラス基板31がどの方向からも抜けないように保持される構成となっている。
また、エッチング槽1内には、カセットホルダ20が設けられている。カセットホルダ20は、カセット30を収容できる形状と容積を持ち、駆動軸13が接続されている。
カセットホルダ回転手段として、エッチング槽1の外部にはモータ10が設けられ、ギアヘッド11およびカップリング12を介して駆動軸13に接続されている。そして、駆動軸13はエッチング槽1のシール部14にてエッチング液2が漏れないようにシールされ、エッチング槽1を貫通している。このようにして、モータ10の軸の回転は駆動軸に伝わり、カセットホルダ20を回転可能に構成している。
カセットホルダ20は、アクチュエータ40の移動する移動軸にほぼ平行な面内で回転できるように構成されている。なお、モータ10の回転軸は正逆回転可能に構成されている。
カセットホルダ回転手段として、エッチング槽1の外部にはモータ10が設けられ、ギアヘッド11およびカップリング12を介して駆動軸13に接続されている。そして、駆動軸13はエッチング槽1のシール部14にてエッチング液2が漏れないようにシールされ、エッチング槽1を貫通している。このようにして、モータ10の軸の回転は駆動軸に伝わり、カセットホルダ20を回転可能に構成している。
カセットホルダ20は、アクチュエータ40の移動する移動軸にほぼ平行な面内で回転できるように構成されている。なお、モータ10の回転軸は正逆回転可能に構成されている。
カセットホルダ20は、ガラス基板31を収容したカセット30を駆動軸13の回転に対して保持できるように、また、カセット30を出し入れできるように構成されている。詳細には図面を参照しながら説明をする。
図2は、カセットホルダ20の構成を示す斜視図である。カセットホルダ20の一方の矩形のフレーム部22にはスライドシャフト21が備えられている。フレーム部22の一対の対向する面には穴が穿設され、その中にスライドシャフト21が摺動可能に設けられている。
また同様に、カセットホルダ20の他方の矩形のフレーム部23にもスライドシャフト21が備えられ、フレーム部23の一対の対向する面には穴が穿設され、その中にスライドシャフト21が摺動可能に設けられている。
なお、エッチング槽1、カセットホルダ20、カセット30、駆動軸13、搬送アーム41などのエッチング液2に接する部品は、エッチング液2に腐食されないようにポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などのフッ素樹脂で形成されている。
図2は、カセットホルダ20の構成を示す斜視図である。カセットホルダ20の一方の矩形のフレーム部22にはスライドシャフト21が備えられている。フレーム部22の一対の対向する面には穴が穿設され、その中にスライドシャフト21が摺動可能に設けられている。
また同様に、カセットホルダ20の他方の矩形のフレーム部23にもスライドシャフト21が備えられ、フレーム部23の一対の対向する面には穴が穿設され、その中にスライドシャフト21が摺動可能に設けられている。
なお、エッチング槽1、カセットホルダ20、カセット30、駆動軸13、搬送アーム41などのエッチング液2に接する部品は、エッチング液2に腐食されないようにポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などのフッ素樹脂で形成されている。
次に、カセットホルダ20に設けた、スライドシャフト21の動作について説明をする。
図3および図4はカセットホルダ20のスライドシャフト21の動作を示す部分断面図(図2におけるA−A断線に沿う部分断面図)である。
まず、カセット30をカセットホルダ20に導入して、カセット30をカセットホルダ20の回転に対して保持できるようにするための、スライドシャフト21の動作について説明する。
図3(a)に示すように、カセット30(図示せず)をカセットホルダ20に導入する際には、フレーム部22に設けられたスライドシャフト21は、カセットホルダ20の外側に突出している。カセット30をカセットホルダ20に導入した後、搬送アーム41を用いて、スライドシャフト21をカセットホルダ20の外側から矢印方向に押し付ける。すると、図3(b)に示すように、スライドシャフト21はカセットホルダ20の内側に突出して、カセットホルダ20の回転に対してカセット30を保持可能とする。
図3および図4はカセットホルダ20のスライドシャフト21の動作を示す部分断面図(図2におけるA−A断線に沿う部分断面図)である。
まず、カセット30をカセットホルダ20に導入して、カセット30をカセットホルダ20の回転に対して保持できるようにするための、スライドシャフト21の動作について説明する。
図3(a)に示すように、カセット30(図示せず)をカセットホルダ20に導入する際には、フレーム部22に設けられたスライドシャフト21は、カセットホルダ20の外側に突出している。カセット30をカセットホルダ20に導入した後、搬送アーム41を用いて、スライドシャフト21をカセットホルダ20の外側から矢印方向に押し付ける。すると、図3(b)に示すように、スライドシャフト21はカセットホルダ20の内側に突出して、カセットホルダ20の回転に対してカセット30を保持可能とする。
次に、カセットホルダ20からカセット30を取り出すための、スライドシャフト21の動作について説明する。
図4(a)に示すように、カセット30(図示せず)がカセットホルダ20に保持された状態で、スライドシャフト21はカセットホルダ20の内側に突出している。カセット30をカセットホルダ20から取り出す際には、搬送アーム41を用いて、スライドシャフト21をカセットホルダ20の内側から矢印方向に押し付ける。すると、図4(b)に示すように、スライドシャフト21はカセットホルダ20の外側に突出して、カセット30の保持を解除し、カセット30をカセットホルダ20から取り出すことが可能となる。
図4(a)に示すように、カセット30(図示せず)がカセットホルダ20に保持された状態で、スライドシャフト21はカセットホルダ20の内側に突出している。カセット30をカセットホルダ20から取り出す際には、搬送アーム41を用いて、スライドシャフト21をカセットホルダ20の内側から矢印方向に押し付ける。すると、図4(b)に示すように、スライドシャフト21はカセットホルダ20の外側に突出して、カセット30の保持を解除し、カセット30をカセットホルダ20から取り出すことが可能となる。
また、カセットホルダ20のフレーム部23にもフレーム部22と同様に、スライドシャフト21が備えられ、駆動軸13を180°回転させた状態で、上記と同様なスライドシャフト21の操作をすることにより、カセット30をカセットホルダ20の回転に対して保持できるように、また、カセット30を出し入れできるように構成されている。
次に、以上のように構成されたエッチング装置を用い、基板のエッチング方法について説明をする。
図5は、基板のエッチング装置の動作およびエッチング方法を説明する模式図である。図5(a)から(g)は、順にエッチング装置の動作を示している。
カセット30にはガラス基板31(図示せず)が収容および保持されている。ガラス基板31の大きさは、およそ縦650mm、横550mmの大きさである。また、エッチング液2としては、バッファドフッ酸液(BHF液)が用いられ、ガラス基板31をエッチングすることができる。
図5は、基板のエッチング装置の動作およびエッチング方法を説明する模式図である。図5(a)から(g)は、順にエッチング装置の動作を示している。
カセット30にはガラス基板31(図示せず)が収容および保持されている。ガラス基板31の大きさは、およそ縦650mm、横550mmの大きさである。また、エッチング液2としては、バッファドフッ酸液(BHF液)が用いられ、ガラス基板31をエッチングすることができる。
図5(a)に示すように、まず、カセット30が搬送アーム41に挟持されエッチング槽1の上方に位置する。このとき、カセット30のA端が下に、B端が上になるように搬送アームがカセット30を保持している。
次に、図5(b)に示すように、アクチュエータ40(図示せず)が矢印方向に下降し、カセット30がエッチング槽1内に移動する。カセット30はA端からエッチング液2に接し、カセットホルダ20の内部に収納されて行く。ここで、カセットホルダ20上部に設けられたスライドシャフト21は、カセットホルダ20の外側に突出しており、カセット30がカセットホルダ20の内部に収納可能となっている。
また、アクチュエータ40の下降速度は100mm/秒に設定されており、ガラス基板31がエッチング液2に最初に接してから全体がエッチング液2に接するには6.5秒の時間を要する。
次に、図5(b)に示すように、アクチュエータ40(図示せず)が矢印方向に下降し、カセット30がエッチング槽1内に移動する。カセット30はA端からエッチング液2に接し、カセットホルダ20の内部に収納されて行く。ここで、カセットホルダ20上部に設けられたスライドシャフト21は、カセットホルダ20の外側に突出しており、カセット30がカセットホルダ20の内部に収納可能となっている。
また、アクチュエータ40の下降速度は100mm/秒に設定されており、ガラス基板31がエッチング液2に最初に接してから全体がエッチング液2に接するには6.5秒の時間を要する。
カセット30がカセットホルダ20の内部に収納されると、搬送アーム41はカセット30の挟持を解除する。次に、搬送アーム41はカセットホルダ20に設けたスライドシャフト21をカセットホルダ20の外側から押圧し、図5(c)に示すように、カセット30をカセットホルダ20内に保持する。その後、搬送アーム41は上昇し、所定の位置に退避する。
次に、モータ10(図示せず)が作動して、図5(d)のように、カセットホルダ20が回転を開始する。モータ10の回転軸は正逆回転可能であり、カセットホルダ20は正転、逆転を繰り返しながら、カセット30に収容されたガラス基板31がエッチングされていく。
そして、エッチング設定時間に近づくと、図5(e)に示すように、カセット30のA端が上を向くようにモータ10の作動が停止し、カセットホルダ20の回転が停止する。つまり、ガラス基板31を収容したカセット30が、エッチング槽1に入る姿勢に対して、アクチュエータ40が移動する移動軸に平行に約180°回転した姿勢で停止する。
そして、エッチング設定時間に近づくと、図5(e)に示すように、カセット30のA端が上を向くようにモータ10の作動が停止し、カセットホルダ20の回転が停止する。つまり、ガラス基板31を収容したカセット30が、エッチング槽1に入る姿勢に対して、アクチュエータ40が移動する移動軸に平行に約180°回転した姿勢で停止する。
次に、搬送アーム41が下降し、カセットホルダ20に設けたスライドシャフト21をカセットホルダ20の内側から押圧し、カセット30をカセットホルダ20からの保持を解除する。そして、エッチング設定時間に到達すると、図5(f)に示すように、搬送アーム41はカセット30を挟持し、アクチュエータ40が矢印方向に上昇してカセット30をカセットホルダ20から引き上げる。そして、図5(g)に示すように、カセット30をエッチング槽1から引き上げを終了する。その後、カセット30は洗浄槽に移送されガラス基板の洗浄がなされる。ここで、エッチング設定時間は20秒に設定されており、短時間のエッチングがなされる。このように、カセット30は、最初にエッチング液2に接したカセット30のA端からエッチング液2を出て行く。
また、アクチュエータ40の上昇速度は下降速度と同様に、100mm/秒に設定されており、ガラス基板31が最初にエッチング液2より出て、全体がエッチング液2から出るのに要する時間は6.5秒となる。
このように、エッチング槽1にカセット30を、同じ姿勢で出し入れした場合に、カセット30に収容されたガラス基板31の上端と下端で、エッチング液2に接している時間差は6.5秒となるが、本実施形態のエッチング装置によれば、ガラス基板31の面内は、同じ時間でエッチング液2に接していることになる。
また、アクチュエータ40の上昇速度は下降速度と同様に、100mm/秒に設定されており、ガラス基板31が最初にエッチング液2より出て、全体がエッチング液2から出るのに要する時間は6.5秒となる。
このように、エッチング槽1にカセット30を、同じ姿勢で出し入れした場合に、カセット30に収容されたガラス基板31の上端と下端で、エッチング液2に接している時間差は6.5秒となるが、本実施形態のエッチング装置によれば、ガラス基板31の面内は、同じ時間でエッチング液2に接していることになる。
以上のように、本実施形態の基板のエッチング装置では、ガラス基板31を収容したカセット30をエッチング槽1に入れる姿勢に対して、アクチュエータ40の移動する移動軸に平行に180°回転した姿勢でカセット30をエッチング槽1から取り出すことができる。そして、アクチュエータ40の昇降する速度は同一であるため、ガラス基板31がエッチング液に接している時間は、ガラス基板31面内で同じになり、均一なエッチング量を確保できる。
また、ガラス基板31がエッチング液2に浸漬されている間は、カセット30を保持したカセットホルダ20が回転するため、エッチング槽1内のエッチング液2を撹拌し、エッチング液2の流れによって、基板表面付近のエッチング液が置換され、ガラス基板31の面内のエッチング量を均一にすることができる。
このような基板のエッチング装置においては、特にカセット20に収容されるガラス基板31が大型で、エッチング液2への出し入れの時間がかかる場合には、基板内のエッチング液2に接している時間差を無くす事ができるため、基板のエッチング量を均一にすることができる。
さらに、基板のエッチング時間が短い場合には、小型の基板であっても基板のエッチング量を均一にすることができる。つまり、従来のエッチング装置のように、エッチング槽1にカセット30を、同じ姿勢で出し入れした場合に、出し入れの時間がエッチング時間として付加されるため、全体のエッチング時間に対する付加されるエッチング時間の割合が大きく、エッチング量を均一にするという観点からは、このエッチング時間差は無視できない。このような場合でも、本実施形態のエッチング装置によれば、基板内のエッチング液に接している時間差を無くす事ができるため、基板面内のエッチング量の均一化が図れる。
さらに、基板のエッチング時間が短い場合には、小型の基板であっても基板のエッチング量を均一にすることができる。つまり、従来のエッチング装置のように、エッチング槽1にカセット30を、同じ姿勢で出し入れした場合に、出し入れの時間がエッチング時間として付加されるため、全体のエッチング時間に対する付加されるエッチング時間の割合が大きく、エッチング量を均一にするという観点からは、このエッチング時間差は無視できない。このような場合でも、本実施形態のエッチング装置によれば、基板内のエッチング液に接している時間差を無くす事ができるため、基板面内のエッチング量の均一化が図れる。
また、基板のエッチング方法として、ガラス基板31をエッチング槽1のエッチング液2に浸漬し、エッチング時間到達後に、エッチング槽1のエッチング液2に浸漬した姿勢に対して、ガラス基板31をエッチング槽1のエッチング液2に浸漬するために移動する移動軸に平行に180°回転した姿勢でエッチング槽1のエッチング液2からガラス基板31を取り出す。そして、ガラス基板31のエッチング液から出し入れする速度は同一であるため、ガラス基板31がエッチング液に接している時間は、基板面内で同じになり、均一なエッチング量を確保できる。
また、ガラス基板31がエッチング液2に浸漬されている間は、ガラス基板31を回転させるため、エッチング槽1内のエッチング液2が撹拌され、エッチング液2の流れによって、基板付近のエッチング液が置換され、ガラス基板31の面内のエッチング量を均一にすることができる。
このような基板のエッチング方法においては、特にガラス基板31が大型で、エッチング液2への出し入れの時間がかかる場合には、基板内のエッチング液2に接している時間差を無くす事ができるため、基板のエッチング量を均一にするには有効な方法である。
さらに、基板のエッチング時間が短い場合には、小型の基板であっても基板のエッチング量を均一にすることができる。つまり、従来のエッチング方法のように、エッチング液に基板を、同じ姿勢で出し入れした場合に、出し入れの時間がエッチング時間として付加されるため、全体のエッチング時間に対する付加されるエッチング時間の割合が大きく、エッチング量を均一にするという観点からは、このエッチング時間差は無視できない。このような場合でも、本実施形態のエッチング方法によれば、基板内のエッチング液に接している時間差を無くす事ができるため、基板面内のエッチング量の均一化が図れる。
さらに、基板のエッチング時間が短い場合には、小型の基板であっても基板のエッチング量を均一にすることができる。つまり、従来のエッチング方法のように、エッチング液に基板を、同じ姿勢で出し入れした場合に、出し入れの時間がエッチング時間として付加されるため、全体のエッチング時間に対する付加されるエッチング時間の割合が大きく、エッチング量を均一にするという観点からは、このエッチング時間差は無視できない。このような場合でも、本実施形態のエッチング方法によれば、基板内のエッチング液に接している時間差を無くす事ができるため、基板面内のエッチング量の均一化が図れる。
なお、本発明の実施形態では、大型ガラス基板のエッチング装置およびエッチング方法について説明したが、基板のエッチング処理として、半導体基板やプリント回路基板などのエッチングを要する基板であれば、基板や被エッチング材に応じたエッチング液を用いて実施が可能であり、基板面内を均一にエッチングすることができる。
また、本発明の基板のエッチング装置および基板のエッチング方法は、エッチング処理だけでなく、フォトレジスト膜の剥離などの現像処理においても利用することができ、フォトレジスト膜の剥離を基板面内で均一にすることができる。
また、本発明の基板のエッチング装置および基板のエッチング方法は、エッチング処理だけでなく、フォトレジスト膜の剥離などの現像処理においても利用することができ、フォトレジスト膜の剥離を基板面内で均一にすることができる。
1…エッチング槽、2…エッチング液、3…オーバフロー槽、5…タンク、7…薬液ポンプ、10…モータ、13…駆動軸、20…カセットホルダ、21…スライドシャフト、30…カセット、31…ガラス基板、40…アクチュエータ、41…搬送アーム。
Claims (6)
- エッチング液を蓄えるエッチング槽と、
基板を保持するカセットと、
前記エッチング槽内に設けられ前記カセットを保持するカセットホルダと、
前記カセットホルダを前記エッチング槽内で回転させるカセットホルダ回転手段と、
前記カセットを保持し上下に移動して前記カセットを前記エッチング槽から出し入れするカセット移動手段と、を備える基板のエッチング装置であって、
前記カセット移動手段は、前記カセットを前記エッチング槽に入れる姿勢に対して、前記カセット移動手段の移動する移動軸に平行に略180°回転した姿勢で前記カセットを前記エッチング槽から取り出すことを特徴とする基板のエッチング装置。 - 請求項1に記載のエッチング装置において、前記カセット移動手段は、前記カセットを前記エッチング槽に入れる速度と前記カセットを前記エッチング槽から取り出す速度が同じ速度であることを特徴とする基板のエッチング装置。
- 請求項1に記載のエッチング装置において、前記カセットホルダ回転手段は正逆回転可能であることを特徴とする基板のエッチング装置。
- エッチング液を蓄えたエッチング槽を配置し、基板を前記エッチング槽のエッチング液に浸漬し、エッチング設定時間到達後、前記エッチング槽のエッチング液に浸漬した姿勢に対して、前記基板を前記エッチング槽のエッチング液に浸漬するために移動する移動軸に平行に略180°回転した姿勢で前記エッチング槽のエッチング液から前記基板を取り出すことを特徴とする基板のエッチング方法。
- 請求項4記載の基板のエッチング方法において、前記基板を前記エッチング槽のエッチング液に浸漬する速度と、浸漬した前記基板を前記エッチング槽のエッチング液から取り出す速度は同じ速度であることを特徴とする基板のエッチング方法。
- 請求項4記載の基板のエッチング方法において、前記エッチング槽のエッチング液に前記基板を浸漬中に、前記基板を回転しながら前記基板をエッチングすることを特徴とする基板のエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004208590A JP2006032609A (ja) | 2004-07-15 | 2004-07-15 | 基板のエッチング装置および基板のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004208590A JP2006032609A (ja) | 2004-07-15 | 2004-07-15 | 基板のエッチング装置および基板のエッチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006032609A true JP2006032609A (ja) | 2006-02-02 |
Family
ID=35898593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004208590A Withdrawn JP2006032609A (ja) | 2004-07-15 | 2004-07-15 | 基板のエッチング装置および基板のエッチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006032609A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010192641A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Toppan Printing Co Ltd | ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置 |
KR101409723B1 (ko) * | 2011-12-09 | 2014-06-23 | 주식회사 이코니 | 슬림 에칭장치 |
JP2014122420A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 無電解めっき用バスケット治具及びそれを用いためっき方法 |
CN109936924A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-06-25 | 信丰福昌发电子有限公司 | 一种hdi线路板蚀刻设备 |
CN110931401A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-03-27 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 晶圆片盒旋转装置及片盒旋转升降设备 |
KR102598305B1 (ko) * | 2023-03-29 | 2023-11-06 | (주)코마테크놀로지 | 반도체용 대구경 부품에 대한 편심 돌기부가 형성된 표면 에칭 지그 |
-
2004
- 2004-07-15 JP JP2004208590A patent/JP2006032609A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010192641A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Toppan Printing Co Ltd | ビルドアップ基板絶縁層の表面粗化装置 |
KR101409723B1 (ko) * | 2011-12-09 | 2014-06-23 | 주식회사 이코니 | 슬림 에칭장치 |
JP2014122420A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 無電解めっき用バスケット治具及びそれを用いためっき方法 |
CN109936924A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-06-25 | 信丰福昌发电子有限公司 | 一种hdi线路板蚀刻设备 |
CN110931401A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-03-27 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 晶圆片盒旋转装置及片盒旋转升降设备 |
KR102598305B1 (ko) * | 2023-03-29 | 2023-11-06 | (주)코마테크놀로지 | 반도체용 대구경 부품에 대한 편심 돌기부가 형성된 표면 에칭 지그 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5593505A (en) | Method for cleaning semiconductor wafers with sonic energy and passing through a gas-liquid-interface | |
KR101580369B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2002220692A (ja) | めっき装置及び方法 | |
EP1274963A1 (en) | Method and apparatus for high-pressure wafer processing and drying | |
TW201407678A (zh) | 基板處理裝置 | |
JP2004536217A (ja) | 金属蒸着のためのエントリーにあたって半導体基板を傾けるための方法と関連する装置 | |
TWI302332B (en) | Novel semicoductor wafer lifter | |
JP2006032609A (ja) | 基板のエッチング装置および基板のエッチング方法 | |
KR20110087212A (ko) | 처리 장치, 처리 방법, 프로그램 및 컴퓨터 기억 매체 | |
US20130048610A1 (en) | Edge bevel removal apparatus and method | |
JP2000140505A (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
JP4247087B2 (ja) | 微細構造乾燥処理方法及びその装置 | |
JP4372590B2 (ja) | 微細構造乾燥処理方法及びその装置 | |
JPH1176894A (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JPH09265100A (ja) | 液晶材料注入方法及び装置 | |
JP2007294596A (ja) | パネルのエッチング製作プロセスの方法及びその装置 | |
JP4546882B2 (ja) | グレーズエッチング装置及びグレーズエッチング方法 | |
JP2008159657A (ja) | 基板処理装置と基板処理方法と回収治具 | |
KR20220047514A (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP2002305372A (ja) | 部分半田付け装置及び方法 | |
CN113838784A (zh) | 一种晶圆处理设备、系统及晶圆处理的方法 | |
JP2001281888A (ja) | 電子写真用感光体の製造装置 | |
JP2008272770A (ja) | 静止型半田槽装置 | |
JP3785173B2 (ja) | 基板に電解めっきを施すめっき方法及びめっき装置 | |
JPH0655148A (ja) | ガラス基板洗浄装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070403 |
|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071002 |