KR20010104606A

KR20010104606A - 박판재(薄板材)의 표면처리장치

Info

Publication number: KR20010104606A
Application number: KR1020000049526A
Authority: KR
Inventors: 니이야마기사부로; 미도리카와마사히로; 수가와라기요시
Original assignee: 추후보정; 도쿄 가코키 컴퍼니 리미티드
Priority date: 2000-05-11
Filing date: 2000-08-25
Publication date: 2001-11-26
Also published as: CN1323660A; JP3518676B2; CN1200776C; DE60036925T2; JP2001314789A; KR100713235B1; EP1153665A2; EP1153665A3; TWI232075B; DE60036925D1; EP1153665B1

Abstract

본 발명은 첫째, 공백 영역, 액 고임, 난류, 줄무늬모양의 궤적 등이 해소되고, 농담없이 균일화된 처리액에 의해, 전체적으로 균일한 약액처리나 세정처리가 실현되고, 둘째, 더구나, 이것이, 제조비용 면에서나 설비비용 면에서 우수함이 실현되는 박판재의 표면처리장치를 제안한다.

본 발명에 따른 표면처리장치(10)는, 예를 들면 프린트 배선 기판의 제조공정에서 사용되고, 컨베이어(13)의 반송 롤러(14)로써 수평 자세로 반송되는 프린트 배선 기판재(2)에 대해, 대응 배치된 각 스프레이 노즐(11)로부터, 처리액이 분사된다. 각 스프레이 노즐(11)은 반송 롤러(14)의 각 전후 간격(16) 사이에 각각 대응 위치되고 또한, 폭 방향(B)의 좌측방향 또는 우측방향중 어느 한 방향으로 향하고, 비스듬히 경사진 분사각도(G)로 고정되어 설치되어 있다. 좌측방향으로 향한 것과 우측방향으로 향한 것은, 장치 전체로서는 거의 동수 개로 되어 있다.

Description

박판재(薄板材)의 표면처리장치 {APPARATUS FOR TREATING SURFACE OF THIN PLATE}

본 발명은 박판재의 표면처리장치에 관한 것으로, 예를 들면 프린트 배선 기판의 제조공정에서 사용되어 반송되는 프린트 배선 기판재에 대해 처리액을 분사함으로써 표면처리를 행하는 표면처리장치에 관한 것이다.

통상, 각종의 박판재(薄板材), 예를 들면 프린트 배선기판, 컬러 필터용의 유리판, 플라즈마 디스플레이(PDP)용의 유리판 등, 전자 부품용의 박판재는 사이즈 컷된 후, 각종의 약액 처리, 여러 차례의 세정 처리 등의 표면처리를 행하여 제조되며, 이러한 표면처리에 있어서, 박판재의 외표면이 균일한 표면처리와, 비용 측면이 가장 중요한 테마가 되어왔다.

이하, 종래기술에 의한 박판재의 표면처리장치가 프린트 배선기판의 제조공정에 적용된 실시예를 도5 내지 도6을 참조하여 간략히 설명한다.

프린트 배선 기판(1)은 절연 기재에 구리 박이 붙은 프린트 배선기판재(2)의 절단, 관통 구멍용의 구멍 만들기 가공, 연마 및 도금, 에칭 레지스트의 도포·건조 또는 붙이기, 회로용 네거티브 필름을 대고서의 노광, 현상, 에칭, 회로 부분 등의 에칭 레지스터의 박리 등의 많은 공정을 연속적으로 행함으로서 제조된다.

그리고, 이러한 프린트 배선 기판재(2)의 현상, 에칭, 박리 등의 각 공정에서는, 각각, 프린트 배선 기판재(2)를 반송하면서, 현상액, 부식액, 박리액 등의 처리액(A)을, 스프레이 노즐(3, 4)로써 스프레이하고, 그리고 현상, 에칭, 박리 등의 약액 처리가 행해지고 있다. 또한, 이러한 각 공정, 그 밖의 제조공정에 있어서는, 각각 부수하여, 수세액을 분사하는 세정처리가 행해지고 있다.

그런데, 이러한 약액 처리나 세정 처리 등의 표면처리는, 종래의 경우, 예를 들면 다음과 같이 행해졌다.

현상장치, 에칭장치, 박리장치 등 이러한 종류의 표면처리 장치(5, 6)에서는, 컨베이어(도시하지 않음)로써 수평 자세로 반송되는 프린트 배선 기판재(2)에 대해, 대응 배치된 다수의 스프레이 노즐(3, 4)로부터 처리액(A)이 분사되고, 이렇게 해서 프린트 배선 기판재(2)가 표면 처리된다.

처리액(A)은 배관(P)에서 스프레이 관(7, 8)으로 분기, 압력 전송된 후, 평행하게 나란히 설치된 스프레이 관(7, 8)에 일정 피치로 고정 설치된 다수의 스프레이 노즐(3, 4)로부터, 분사되었다.

그리고, 도5의 (1)도나 (2)도에 도시한 제1 예의 표면처리 장치(5)에 있어서, 스프레이 노즐(3)은 좌우의 폭 방향(B)으로 고정 설치된 스프레이 관(7)에 직하(直下) (또는 직상(直上))를 향하여 고정 설치되어 있고, 처리 액 (A)을 프린트 배선 기판재(2)에 대해 직각의 분사각도로 분사했었다.

이에 반해, 도5의 (3)도에 나타낸 제2 예의 표면처리 장치(6)에 있어서, 스프레이 관(8)은 전후의 반송방향(C)으로 나란히 설치되고 또한, 그 축을 중심으로 좌우의 폭 방향(B)을 향하여, 연속적으로 왕복 요동하도록 되어 있다. 그리고, 이러한 스프레이 관(8)에 고정 설치된 스프레이 노즐(4)이 좌우의 폭 방향(B)으로 목스윙 동작·왕복 요동하고, 처리액(A)을 프린트 배선 기판재(2)에 대해 순차적으로좌측방향 이어서 우측방향을 향해, 비스듬히 요동 변위(變位)하는 분사각도로 분사했다.

또한, 도시하지 않지만 제3 예의 표면처리장치로서, 전후의 반송방향 (C)에 나란히 설치된 스프레이 관(8)이, 좌우의 폭 방향(B)을 향해 연속적으로 왕복 동작하는 것도 있었다. 이 예로서는 스프레이 노즐(4)도, 좌우의 폭 방향(B)을 향해 연속적으로 수평 왕복운동하고, 처리액(A)을 프린트 배선 기판재(2)에 대해 순차적으로 우측 방향이나 좌측방향 위치 변위하면서, 바로 직하(또는 직상)에 직각의 분사각도로 분사하고 있었다.

그런데, 이러한 종래 예에 있어서는, 다음과 같은 문제가 지적되고 있었다. 첫째, 먼저 a. 도5의 (1)도나 (2)도에 나타낸 제1 예의 표면처리장치(5)에 있어서는, 도5의 (1)도중에 도시한 바와 같이, 직하(또는 직상)를 향하여 고정된 각 스프레이 노즐(3)로부터 처리액(A)이 분사되기 때문에, 프린트 배선 기판재(2)에 대해, 각 스프레이 노즐(3)로부터 분사된 처리액(A)이 상호간에 닿지 않는 공백 영역(D)의 발생이 지적되고 있었다.

도5의 (3)도에 나타낸 제2 예의 목스윙 요동타입의 표면처리장치(6)나, 도시하지 않은 제3 예의 수평왕복 운동타입의 표면처리 장치는, 상술한 제1 예에 있어서 발생하는 공백 영역(D)을 해소하도록, 개발되어 사용되고 있다.

b. 그러나, 이 제2 예나 제3 예의 표면처리장치(6) 등에 있어서는, 도6의 (1)도에 도시한 바와 같이, 분사된 처리액(A)이 프린트 배선 기판재(2)의 외표면의 중앙부에, 솟아오른 짙은 액고임(E)이 되어 체류한다는 지적이 있었다.

즉, 분사된 처리액(A)은 프린트 배선 기판재(2)의 외표면을 좌우의 폭방향(B)으로 흐르고, 외표면의 표면처리를 행한 후, 좌우 양사이드로부터 흘러내려, 유출되어야 한다.

이에 반해, 이 제2 예나 제3 예의 표면처리장치(6) 등에서는, 각 스프레이 노즐(4)이 목스윙 요동이나 수평 왕복 운동하기 때문에, 폭 방향(B)의 상호간에 분사된 처리액(A)끼리 서로 영향을 주고, 처리액(A)이 좌우의 폭 방향(B)으로 원활하게 흐르지 않고, 사방팔방으로 무질서하게 난류(亂流)하여, 그 결과 중앙부에 액고임(E)이 발생하기 쉬웠다. 또, 상기한 제1 예에 있어서도, 이러한 난류나 액고임(E)의 발생이 지적되고 있었다.

c. 또한 제2 예나 제3 예에 있어서는, 도6의 (2)도에 도시한 바와 같이, 처리액(A)이 프린트 배선 기판재(2)의 외표면에 대해, 줄무늬모양의 궤적 (F)으로 분사된다는 지적이 있었다. 즉, 제2 예나 제3 예의 표면처리장치(6) 등에서는, 스프레이 노즐(4)의 좌우의 폭 방향(B)로의 목스윙 요동이나 수평왕복운동에 기인하여, 처리액(A)이, 좌우로 지그재그 줄무늬모양의 궤적(F)을 그리며 분사되었다.

또한, 이러한 줄무늬모양의 궤적(F)의 발생은 컨베이어에 의한 프린트 배선 기판재(2)의 반송 속도를 컨트롤함으로써 상당히 해소 가능하다. 그러나, 스프레이 노즐(4)의 목스윙 요동이나 수평 왕복운동의 거리나 시간과, 컨베이어의 반송 속도를, 매칭시키는 것은 용이하지 않고, 또한, 처리의 신속화를 위해 반송속도를 높이자는 요청도 있어, 현상으로서는, 줄무늬모양의 궤적(F)의 해소는 곤란한 것으로 되어 있다.

그런데, 이 종류의 종래 예의 제1 예, 제2 예, 제3 예의 표면처리장치(5, 6) 등에서는, 상술한 바와 같이, 공백 영역(D), 액고임(E), 줄무늬모양의 궤적(F) 등의 발생이 지적되고 있었다. 그리고, 이들에 기인하여, 프린트 배선 기판재(2)가 균일한 표면처리가 손상된다는 문제가 지적되고 있었다.

즉, 처리액(A)의 공백 영역(D)과 그 이외의 개소(個所), 처리액(A)의 액고임(E) 개소와 그 이외의 개소, 처리액(A)의 줄무늬모양의 궤적(F) 개소와 그 이외의 개소 등에서는 처리액(A)의 농담(濃淡)이 생기고, 처리액(A) 에 의한 프린트 배선 기판재(2)의 외표면의 처리가 전체적으로 불균일하게 된다.

예를 들면, 현상처리, 에칭처리, 박리처리 등의 약액처리나 수세처리가 불균일하게 되고, 처리의 지속차(遲速差), 과부족 개소, 얼룩짐·흐트러짐 현상이 발생하고, 이렇게 해서 형성되는 회로(9) 폭의 불균일 등을 야기하고, 문제가 되었었다. 회로(9)의 고밀도화, 미세화, 고정밀도화가 진행되는 프린트 배선 기판(1)에 있어서, 이러한 사태의 발생은 도저히 허용할 수 있는 것이 아니다.

이 종류의 종래 예에서는, 이와 같이 첫째, 처리가 불균일하게 된다는 문제가 지적되고 있었다.

둘째로, 이 종류의 종래 예의 제1 예, 제2 예, 제3 예의 표면처리장치(5, 6)등에 있어서는, 이러한 처리의 불균일에 기인하여, 제조된 프린트 배선 기판(1)에 관한 불량품이 많아져서, 수율이 나빠지고, 이렇게 하여 생산성이 나쁘지고, 제조비용이 높아진다는 문제가 지적되고 있었다.

또한, 전술한 제2 예나 제3 예의 표면처리장치(6) 등에 있어서는, 스프레이관(8)이나 스프레이 노즐(4)을 목스윙 동작·왕복 요동시키거나 수평 왕복 운동시키기 위해서, 목스윙 요동기구나 수평 왕복 운동기구를, 모든 스프레이 관(8)에 대해 부설할 필요가 있고, 그만큼, 장치의 설비비용이 높아진다는 문제가 지적되고 있었다. 이 종류의 종래 예에서는, 이와 같이 두번째로서, 비용면에서도 문제가 지적되고 있었다.

본 발명은, 이러한 실정을 감안하여, 상기 종래 예의 과제를 해결하기 위해, 발명자들의 예의 연구 노력의 결과로 이루어진 것으로, 스프레이 노즐을, 좌우의 폭 방향을 향해 비스듬하게 경사진 분사각도로 고정함으로써,1 첫째, 공백 영역, 액고임, 줄무늬모양의 궤적 등이 해소되어, 처리가 전체적으로 균일하게 되고, 둘째, 제조 비용면이나 설비 비용면에서도 우수한, 박판재의 표면처리장치를 제안하는 것을 목적으로 한다.

도1은 본 발명에 따른 박판재의 표면처리장치에 대해, 발명의 실시의 형태의 설명에 제공되는 정면도이다.

도2는 동 발명의 실시의 형태의 설명에 제공되는 평면도이다.

도3은 동 발명의 실시의 형태의 설명에 제공되는 측면도이다.

도4는 동 발명의 실시의 형태의 설명에 제공되고, (1)도는 주요부의 정면도, (2)도는 다른 주요부의 정면도, (3)도는 스프레이 노즐의 정면도, (4)도는 주요부의 측면도, (5)도는 주요부의 평면도이다.

도5는 이종류의 종래 예의 설명에 제공되고, (1)도는 그 제1 예의 정면도, (2)도는 동 평면도, (3)도는 제2 예의 주요부의 정면도이다.

도6은 프린트 배선 기판(재)의 평면 설명도이며, (1)도는 이 종류의 종래 예에 있어서의 액고임의 예를 나타내고, (2)도는 이 종류의 종래 예에 있어서의 분사 궤적을 나타내고, (3)도는 정상적인 예를 나타낸다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: 프린트 배선 기판(박판재) 2: 프린트 배선 기판재(박판재)

3: 스프레이 노즐(종래 예의 것) 4: 스프레이 노즐(종래 예의 것)

5: 표면처리장치(종래 예의 것) 6: 표면처리장치(종래 예의 것)

7: 스프레이 관(종래 예의 것) 8: 스프레이 관(종래 예의 것)

9: 회로 10: 표면처리장치(본 발명의 것)

11: 스프레이 노즐(본 발명의 것) 12: 처리실

13: 컨베이어 14: 반송 롤러

15: 컨베이어 샤프트 16: 전후 간격

17: 스프레이 관(본 발명의 것) 18: 본체부

19: 분사구 20: 액조

21: 규제 롤러 22: 전후 간격

23: 홀더부

(A) 처리액 (B) 폭 방향

(C) 반송 방향 (D) 공백 영역

(E) 액고임 (F) 궤적

(G) 분사각도 (F) 배관

이러한 과제를 해결하는 본 발명의 기술적 수단은 다음과 같다. 먼저, 청구항1에 관해서는 다음과 같다. 즉, 이 청구항1의 박판재의 표면처리장치는, 반송되는 박판재에 대해, 대응 배치된 다수의 스프레이 노즐로부터 처리액을 분사하여, 이 박판재의 표면처리를 행한다. ·

그리고 이 스프레이 노즐은 반송방향에 대해 좌우의 폭 방향을 향하게 되고또한, 비스듬하게 경사진 분사각도로 고정하여 설치되어 있는 것 특징으로 한다.

이어서, 청구항2에 있어서는 다음과 같다. 즉, 이 청구항2의 박판재의 표면처리장치는, 제1항에 있어서, 이 박판재는 컨베이어로 수평자세로 반송된다. 이 컨베이어는 이 박판재를 상하에서 삽입하여 반송하는 다수의 반송롤러를 구비하여 이루어진다.

이 스프레이 노즐은 이 반송롤러사이에 형성된 각 전후 간격 사이에 각각 대응 위치하고 또한, 이 전후 간격마다 좌측방향 또는 우측방향중 어느 한 방향으로 향해있다. 그리고 이 스프레이 노즐로부터 분사된 이 처리 액은 좌측방향 또는 우측방향을 향해 비스듬히 경사진 분사각도로 이 박판재에 대해 분사되고, 이 박판재의 외표면을 좌측방향 또는 우측방향을 향해 액의 고임이나 난류 등이 없는 규칙적인 흐름을 형성하는 것을 특징으로 한다.

청구항3에 있어서는 다음과 같다. 즉, 이 청구항3의 박판재의 표면처리장치는, 제2항에 있어서, 이 스프레이 노즐은 좌측방향으로 향한 것과 우측방향으로 향한 것이 장치 전체로서는 거의 동수 개로 이루어진 것을 특징으로 한다.

이어서, 청구항4에 관해서는 다음과 같다. 즉, 이 청구항4의 박판재의 표면처리장치는, 제1항에 있어서, 이 스프레이 노즐은 비스듬히 경사진 분사각도가 변경 조정가능하고, 적절한 각도로 고정 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항5에 있어서는 다음과 같다. 즉, 이 청구항5의 박판재의 표면처리장치는, 제1항1에 있어서, 이 스프레이 노즐로부터 이 박판재에 대해 분사된 이 처리액이, 이 박판재의 외표면을 전후의 반송방향을 향해서 흐르는 것을 규제하는 규제롤러가 설치되어 있다.

그리고 이 규제롤러는 좌우의 폭 방향을 따르면서 이 박판재의 외표면에 임해서 설치되고 또한, 전후 간격을 두면서 2개 1조로 사용되고 있고, 이 스프레이 노즐은, 이 전후 간격사이에 대응 위치하고 있는 것을 특징으로 한다.

이어서, 청구항6에 있어서는 다음과 같다. 즉, 이 청구항6의 박판재의 표면처리장치는, 제1항에 있어서, 이 스프레이 노즐은 전후, 좌우에 다수 설치되어 있다. 그리고, 전후에 설치된 이 스프레이 노즐 상호간은, 대향위치하지 않고 좌우로 엇갈리게 위치하고 있는 것을 특징으로 한다.

청구항7에 있어서는 다음과 같다. 즉, 이 청구항7의 박판재의 표면처리장치는, 제1항에 있어서, 이 스프레이 노즐은 전후, 좌우에 다수 설치되어 있다. 그리고, 좌측 방향을 향한 이 스프레이 노즐에 관해, 전후로 설치된 이 스프레이 노즐 상호간은, 대향 위치하지 않고 좌우로 엇갈리게 위치하고 있다. 또한, 우측 방향을 향한 이 스프레이 노즐에 관해 전후로 설치된 이 스프레이 노즐 상호간은 대향 위치하지 않고 좌우로 엇갈리게 위치하고 있는 것을 특징으로 한다.

청구항8에 있어서는 다음과 같다. 즉, 이 청구항8의 박판재의 표면처리장치는, 제1항 또는 제2항에 있어서, 이 표면처리장치는, 프린트 배선 기판의 제조공정에서 사용되고, 이 박판재는, 프린트 배선 기판재로 이루어지고, 이 처리액은 현상액, 부식액, 박리액, 또는 수세액 등으로 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 이와 같이 이루어져 있기 때문에, 다음과 같이 된다. 이 표면처리장치는, 예를 들면 프린트 배선 기판의 제조공정에서 사용되고, 컨베이어의 반송롤러에 삽입되어 수평자세로 반송되는 프린트 배선 기판재 등의 박판재에 대해, 각 스프레이 노즐로부터, 현상액, 부식액, 박리액, 또는 수세액 등의 처리액이 분사된다. 스프레이 노즐은 반송롤러의 전후 간격사이에 대응 위치하고, 전후간격마다 좌측 방향 또는 우측 방향중 어느 한 방향을 향하고 있고, 좌측 방향의 것과 우측 방향의 것은, 장치전체로서는 거의 동수 개로 이루어져 있다. 그리고 스프레이 노즐은, 비스듬하게 경사진 분사각도로 고정되어 설치되어 있지만, 이 분사각도는 변경 설정 가능하다.

스프레이 노즐로부터 분사된 처리액은 박판재의 외표면을 좌측 방향 또는 우측 방향으로 흐르면서 표면 처리한 후, 좌우 양사이드로부터 흘러내린다.

그런데, 2개 1조의 규제 롤러를 설치하고, 그 전후 간격사이에 스프레이 노즐을 대응 위치시켜두면, 처리액이 전후방향으로 흐르는 것이 규제되고, 이렇게 하여 처리액의 좌측 방향 또는 우측 방향으로의 흐름이, 보다 확실하게 된다. 규제롤러는 반송롤러를 겸용하여 사용해도 좋지만, 전용의 고정 롤러를 사용하도록 해도 좋다.

또한, 이와 같이 처리액의 흐름이 규칙적으로 형성되기 때문에, 박판재에 관해서, 처리액의 공백 영역, 난류, 액고임, 줄무늬모양의 궤적 등은, 발생하지 않는다. 또한, 전후, 좌우에 다수 설치된 스프레이 노즐에 관해서, 전후에 설치된 상호간을 대향 위치시키지 않고, 엇갈리게 위치시켜 두면, 박판재에 관한 처리액의 분사 개소가 겹치지 않게 된다.

이렇게 해서 박판재는 농담(濃淡)없이 균일화된 처리액에 의해, 전체적으로균일하게 약액처리, 세정처리 등의 표면처리가 이루어져, 처리의 지속차(遲速差), 과부족, 얼룩짐·흐트러짐 등은 피할 수 있다.

이하 본 발명을, 도면에 나타내는 발명의 실시의 형태에 기초하여, 상세하게 설명한다. 도1, 도2, 도3, 도4 등은 본 발명의 실시의 형태의 설명에 제공된다.

그리고, 도1은 정면도, 도2는 평면도, 도3은 측면도이다. 도4의 (1)도는 주요부의 정면도, (2)도는 다른 주요부의 정면도, (3)도는 스프레이 노즐의 정면도, (4)도는 주요부의 측면도, (5)도는 주요부의 평면도이다.

본 발명의 표면처리장치(10)는, 예를 들면, 프린트 배선 기판(1)의 제조공정에서 사용된다. 우선, 프린트 배선 기판(1)에 관해, 도6의 (3)도를 참조하여 설명한다.

프린트 배선 기판(1)은 각종OA 기기용의 기판, 휴대전화용의 기판, 컴퓨터용의 기판, 계산기용의 기판, 그 밖의 전자기기용의 기판 등등, 각종의 용도에 사용되고, 그 제조공정도 다종 다양하다. 프린트 배선 기판(1)의 종류로서는, 일단 한면기판, 양면기판, 다층기판(포함, 최근의 빌드업(buildup) 공법의 것), 플렉시블(flexible) 기판 등등을 생각할 수 있지만, 그 일환으로서 최근에는 반도체칩·패키지 관련의 CSP, PBGA도 출현하고 있다.

그리고 프린트 배선 기판(1)은 최근 더욱더 소형화, 경량화, 정밀화, 극박화(極薄化), 플렉시블화, 다층화 등등이 현저하고, 특히, 외표면에 형성되는 회로(9)의 고밀도화, 미세화, 고정밀도화 등이 진행되고 있다.

그리고, 이러한 프린트 배선 기판(1)은, 예를 들면, 다음과 같이 제조된다.즉, 재료의 박판재인 프린트 배선 기판재(2)에 대해 순차적으로, 적층, 절단; 관통 구멍용의 구멍 만들기 가공, 도금; 에칭 레지스터의 도포·건조·또는 붙이기; 노광; 현상; 에칭; 회로(9) 부분의 에칭레지스터의 박리; 등등의 많은 공정을, 연속적으로 실시해 감에 따라, 프린트 배선 기판(1)이 제조된다.

이러한 프린트 배선 기판(1)의 제조방법에 관해 더욱 상술한다. 먼저, 폴리이미드 그 밖의 수지나 유리 크로스(cloth)제의 절연기재의 양면에, 구리 박이 열 프레스 등에 의해 붙여져 적층된 후, 세정 및 연마가 행해진다. 그리고, 구리박 표면을 거칠게 만드는 소프트에칭이 행해지고 또한, 이러한 전처리공정을 거쳐 수득한, 예를 들면 양면 구리박이 박힌 적층판인 프린트 배선 기판재(2)가, 워크사이즈의 짧은 길이로 절단된다.

이어서, 관통 구멍용의 구멍 만들기 가공이 실행된 후, 세정 및 양면연마가 행해진 후, 판넬 도금이 실시되고, 표면에 형성되게 되는 회로(9)와, 이면에 형성되게 되는 회로(9) 사이를 도통되도록, 관통 구멍 내벽에 도금이 실행된다.

(또한 이것에 상관없이, 프린트 배선 기판재(2)로서, 절연기재의 한 면에만 구리박이 붙여진 한면 구리박 적층판이 사용되는 경우도 있고, 이 경우에는, 다음에 기술하는 감광성 레지스트의 도포, 노광, 현상, 에칭, 박리 등도 한면에만 실시되지만, 본 발명은 물론, 이러한 한면 기판용의 프린트 배선 기판재(2) 그리고 프린트 배선 기판(1)에도 적용된다. 본 명세서에 있어서는 이하 동일함)

관통 구멍은, 1장의 프린트 배선 기판재(2)(프린트 배선 기판(1))에 대해, 극히 작은 지름의 것이 수백, 수천개에 이를 정도로, 다수 형성된다.

어떻든, 그렇게 한 후, 프린트 배선 기판재(2)에 대해, 다시 세정, 연마, 세정, 건조 등이 행해진 후, 에칭 레지스터 즉 내알칼리성이나 내산성의 보호필름인 감광성 레지스트를 도포하여 건조시킴으로써, 도포막화하는 처리가 행해진다.

그 다음에, 양면, 즉 표면이나 이면의 외표면의 회로(9) 형성면에, 회로(9)의 네거티브 필름인 회로사진을 대고 노광한 후, 감광성 레지스트는 노광되어 경화한 회로(9) 부분을 남기고, 다른 불필요 부분이, 처리액(A)인 현상액의 분사에 의해 용해 제거된다.

그런 후, 이러한 프린트 배선 기판재(2)에 대해, 세정, 건조가 행해진 후, 이와 같이 감광성 레지스트가 경화하여 피복, 보호된 회로(9) 부분의 구리박을 남기고, 상술한 바와 같이 감광성 레지스트가 용해 제거된 불필요한 부분의 구리박이 처리액(A)인 부식액의 분사에 의해 용해 제거·에칭된다.

그 다음에 세정, 건조후, 남아 있던 상기의 경화된 회로(9) 부분의 감광성 레지스트가 처리액(A)인 박리액의 분사에 의해 용해 제거된 후, 세정, 건조되고, 이렇게 하여, 남은 구리박으로써 소정의 회로(9)가 형성되고, 프린트 배선 기판(1)을 수득할 수 있다. 또한, 이러한 공정을 통해 제조된 프린트배선 기판(1)에 대해서는, 후처리 공정으로서, 형성된 회로(9)의 보호피막이 형성된다.

프린트 배선 기판(1)은, 예를 들면, 종횡이 550mm × 550mm, 500mm × 500mm, 500mm × 300mm 정도의 치수로 이루어지고, 그 두께는 절연기재의 부분이, 예를 들면 0.06mm 정도로, 구리박제의 회로(9) 부분이, 예를 들면 0.18μm에서 55μm 정도까지 극히 박화(薄化)되어 있다.

이러한 프린트 배선 기판(1)이, 4층 등의 다층으로 적층된 다층 기판인 경우에도, 전체의 두께는 1.0mm에서 0.8mm, 나아가서는 0.4mm 정도로 극히 박화되고 있다. 회로(9) 폭도 70μm에서 50μm, 나아가서는 30μm에서 20μm으로 미세화 경향에 있고, 예를 들면 회로(9) 폭이 20μm에서 회로(9)사이 공간이 30μm 정도의 요구도 출현하고 있다. 회로(9)가 형성된 외표면의 주연단부는, 10mm 정도의 폭으로 클램프값인, 귀부로 이루어져 있다.

프린트 배선 기판(1)은 이와 같이 제조된다.

이하, 본 발명의 표면처리장치(10)에 관해 도1, 도2, 도3, 도4 등을 참조하여 설명한다.

이 표면처리장치(10)는 반송되는 프린트 배선 기판재(2) 등의 박판재에 대해, 대응 배치된 다수의 스프레이 노즐(11)로부터 처리액(A)을 분사하여, 그 외표면의 표면처리를 행한다. 도시예의 표면처리장치(10)는, 상기한 프린트 배선 기판(1)의 제조공정에서 사용되고, 박판재는 프린트 배선 기판재(2)로 이루어지고, 처리액(A)은 현상액, 부식액, 박리액, 또는 수세액 등으로 이루어지고, 표면처리로서, 현상, 에칭, 박리, 세정 등이 행해진다.

이하, 표면처리장치(10)가 이러한 프린트 배선 기판(1)의 제조공정에서 사용된 예에 관해 설명한다.

프린트 배선 기판(1)의 제조공정중, 상기한 현상, 에칭, 박리 등의 각 공정에서는, 현상장치, 에칭장치, 박리장치로 불리는 표면처리장치(10)의 처리실(12)내에서, 프린트 배선 기판재(2)를 반송하면서, 현상액, 부식액(에칭액), 박리액 등의약액인 처리액(A)이 스프레이 노즐(11)로부터 스프레이 분사되고, 이렇게 해서 현상, 에칭, 박리 등의 약액처리·화학처리인 표면처리가 행해진다.

또한, 이러한 현상, 에칭, 박리 등의 각 공정, 그 밖의 제조공정에서는, 상기한 바와 같이, 부수하여 세정처리가 행해진다. 즉, 세정용의 처리실(12) 내에서, 프린트 배선 기판재(2)를 반송하면서, 수세액인 처리액(A)이 스프레이 노즐(11)로부터 스프레이 분사되고, 이렇게 해서 세정처리인 표면처리가 행해진다.

먼저, 이 표면처리장치(10)의 컨베이어(13)에 관해서 설명한다.

도1, 도3에 도시한 바와 같이, 처리실(12)내에서 프린트 배선 기판재(2)는 컨베이어(13)로써 횡의 수평자세로 반송되고, 컨베이어(13)는 프린트 배선 기판재(2)를 상하에서 삽입하여 반송하는 다수의 반송 롤러(14)를 구비하고 있다.

즉, 처리실(12) 내에는, 컨베이어 샤프트(15)가 좌우의 폭 방향(B)으로 평행으로 전후의 반송방향(C)으로 다수 개, 수평으로 설치되어 있고, 각 컨베이어 샤프트(15)에, 각각 반송롤러(14)가 동축(同軸)으로 설치되어 있다.

이 반송 롤러(14)는 타원주상의 스트레이트 롤·삽입 롤러로 이루어지고, 프린트 배선 기판재(2)의 폭보다 약간 긴 길이의 치수를 구비하고 있다. 또한, 이 컨베이어 샤프트(15) 그리고 반송 롤러(14)는 프린트 배선 기판재(2)를 삽입하여 반송하도록, 상하에 설치되어 있다.

이러한 컨베이어 샤프트(15)나 반송 롤러(14)의 형태로서는, 각종의 것이 고려된다. 도3에 나타낸 예에서는, 전부 같은 지름의 반송 롤러(14)가 반송 방향(C)에 1개 걸러 상하로 대향 위치하여, 프린트 배선 기판재(2)를 사이에 삽입하도록되어 있다.

결국, 도시예의 반송 롤러(14)는 상하 모두 밀착하여 나란히 배치되고 또한, 상하 쌍으로 1개 걸러(윗쪽, 아래쪽에서는 각각 3개 걸러), 그 1개분에 상당하는 전후 간격(16)이 형성되어 있고, 윗쪽의 각 전후 간격(16)과 아래쪽의 각 전후 간격(16)은 대향 위치하지 않고 반송방향(C)으로 엇갈리게 위치하고 있다.

물론, 컨베이어 샤프트(15)나 반송 롤러(14)의 형태는, 이러한 도시예에 한정되는 것이 아니고, 그 밖의 각종 형태를 고려할 수 있다. 예를 들면, 도4의 (4)도에 도시한 예에서는, 전후 간격(16)으로 윗쪽 또는 아래쪽에서 대향 위치하는 반송 롤러(14)는 다른 것에 비해 큰 지름의 것이 사용되고, 분사된 처리액(A)의 압력으로 프린트 배선 기판재(2)를, 더욱 확실하게 서포트하는 고정 롤러로서 기능한다.

그 외, 컨베이어 샤프트(15)나 반송 롤러(14)의 위치나, 반송 롤러(14)의 지름의 조합 등에 관해서는, 각종의 것이 고려되지만, 요는, 프린트 배선 기판재(2)를 상하에서 삽입되어 반송하는 것과, 윗쪽 또는 아래쪽의 전후 간격(16)에 대해 아래쪽 또는 윗쪽에 대향 위치하여, 프린트 배선 기판재(2)를 서포트하는 것을 구비하고 있으면 된다.

또한, 도시예에서는 윗쪽과 아래쪽의 양쪽에 전후 간격(16)이 형성되어 있지만, 프린트 배선 기판재(2)가 한면 기판용인 경우는, 어느 한쪽에만 형성된다.

표면처리장치(10)의 컨베이어(13)는 이와 같이 이루어져 있다.

이어서, 이 표면처리장치(10)의 스프레이 노즐(11)에 관해 설명한다.

먼저, 도1, 도2, 도3 등에 도시한 바와 같이, 펌프(도시하지 않음)에 접속되어 처리액(A)이 압력 수송되는 배관(P)은 다수의 스프레이 관(17)에 분기 접속되어 있다.

이 각 스프레이 관(17)은, 도시예에서는, 좌우의 폭 방향(B)으로 평행하고 또한, 전후의 반송 방향(C)을 향해 일정 피치로 10수개 정도 설치되어 있고, 반송되는 프린트 배선 기판재(2)나 컨베이어(13)의 반송 롤러(114)를 통하고, 그 윗쪽과 아래쪽에, 각각 대향 배치되어 있다.

그리고, 이러한 각 스프레이 관(17)에 대해, 스프레이 노즐(11)이 폭 방향(B)에 일정 피치로 다수 개, 예를 들면 10개정도 설치되어 있다. 즉 스프레이 노즐(11)은 처리실(12)내의 영역 전체에 대해, 전후, 좌우에 각각 소정 피치간격을 두고서, 다수개 설치되어 있다. 이러한 스프레이 노즐(11)이나 스프레이 관(17)은, 도시예와 같이 프린트 배선 기판재(2)가 양면 기판용인 경우는 윗쪽과 아래쪽의 양쪽에, 한면 기판용인 경우는 한쪽에만, 각각 설치된다.

또한, 도4의 (4)도에 나타낸 예와 같이, 도1, 도2, 도3에 나타낸 예와는 반대로, 각 스프레이 관(17)을 전후의 반송 방향(C)에 평행하게, 좌우의 폭 방향(B)을 향해 일정피치로 다수개 설치되도록 해도 좋고, 스프레이 노즐(11)은 이와 같이 전후로 설치된 각 스프레이 관(17)에 소정 피치 간격을 두고 다수개 설치된다.

또한 도2에 있어서, 컨베이어(13)나 반송 롤러(14)의 도시는 생략되어 있다.

또한, 각 스프레이 노즐(11)은, 도2에 도시한 바와 같이, 반송 방향(C) 에 대해 직교하는 좌우의 폭 방향(B)을 향하고 있다. 스프레이 노즐(11)은, 도3에 도시한 바와 같이, 컨베이어(13)의 반송 롤러(14) 사이에 형성된 각 전후 간격(16)사이에, 각각 대응 위치하고 또한, 도2에 도시한 바와 같이, 전후간격(16)마다 좌측방향(도4의 (2)도를 참조), 또는 우측방향(도4의 (1)도를 참조)중 어느 하나를 향하고 있다.

그리고, 도2에 나타낸 예에서는, 윗쪽에 설치된 스프레이 노즐(11)도 아래쪽에 설치된 스프레이 노즐(11)도 모두, 폭 방향(B)의 좌측방향을 향한 스프레이 노즐(11)열과, 우측방향을 향한 스프레이 노즐(11)열이, 반송 방향(C)을 향해 1열씩 순차적으로 번갈아서 설치되어 있다.

그리고, 좌측방향을 향한 스프레이 노즐(11)과, 우측방향을 향한 스프레이 노즐(11)이, 장치 전체로서는, 거의 동수 개(완전한 동수 개를 포함함)로 되어있다. 결국 스프레이 노즐(11)은 좌측방향의 것과 우측방향의 것이, 표면처리장치(10) 전체로서 본 경우에 거의 동수 개가 되면 좋다.

거기서 도시예에 따르지 않고, 좌측방향을 향한 스프레이 노즐(11)과 우측방향을 향한 스프레이 노즐(11)을 2열씩, 3열씩 등으로, 순차적으로 번갈아서 설치하도록 해도 좋고, 또한, 처리실(12) 내의 상류부와 하류부에서 교체하여 설치해도 좋고, 또한, 표면처리장치(10)가 2실의 처리실(12)로 이루어진 경우는 상류측의 처리실(12)과 하류측의 처리실(12)에서 교체하여 설치해도 좋다.

그런데 도시예에서는, 1개의 스프레이 관(17)에 다수개의 스프레이 노즐(11)이 설치되어 있지만, 1개의 스프레이 관(17)에, 소수개 또는 1개·단수의 스프레이 노즐(11)을 설치하는 것도 가능하다. 이 경우도, 좌측방향으로 향한 것과 우측방향으로 향한 것은, 장치 전체로서는 거의 동수개가 된다.

또한, 도1, 도2, 도3의 예에 있어서, 스프레이 노즐(11)은 좌우의 폭 방향(B)으로 설치된 스프레이 관(17)에 대해, 전후의 반송 방향(C)을 향해 돌출되게 설치되어 있는데 반해, 도4의 (4)도의 예에 있어서, 스프레이 노즐(11)은 전후의 반송 방향(C)으로 설치된 스프레이 관(17)에 대해, 좌우의 폭 방향(B)을 향해 돌출되어 설치되어 있다.

스프레이 노즐(11)은 이와 같이 반송 방향(C)에 대해 좌우의 폭 방향 (B)을 향하고 또한, 도1, 도4의 (1)도, (2)도, (3)도 등에 도시한 바와 같이, 비스듬히 경사진 분사각도(G)로, 고정되어 설치되어 있다. 스프레이 노즐(11)은, 좌측 방향을 향한 것도 우측방향을 향한 것도, 수평에서 30도, 45도, 60도 등 경사진 분사각도(G)로, 스프레이 관(17)에 고정되어 있다.

즉, 프린트 배선 기판재(2)의 윗쪽에 설치된 스프레이 노즐(11)은 수평으로부터 아래쪽으로 경사진 분사각도(G)로 설정되고, 프린트 배선 기판재(2)의 아래쪽에 설치된 스프레이 노즐(11)은 수평으로부터 윗쪽으로 경사진 분사각도(G)로 설정된다.

도시예에서는, 윗쪽의 각 스프레이 노즐(11) 상호의 분사각도(G)는 공통·동일하게 설정되고, 아래쪽의 각 스프레이 노즐(11) 상호의 분사각도(G)도, 공통·동일하게 설정되고, 또한, 윗쪽과 아래쪽의 양분사각도(G)도, 공통·동일하게 설정되어 있다.

또한, 이 스프레이 노즐(11)은, 비스듬히 경사진 분사각도(G)가 변경 조정가능하고, 적절한 각도로 고정 가능하게 되어 있다.

도4의 (3)도에 도시한 바와 같이, 스프레이 노즐(11)은, 본체부(18)와 선단의 분사구(19)로 이루어지고, 본체부(18)는 스프레이 관(17)에 대해 원추형 접합되고 또한 적절한 분사각도(G)로 부착 고정되어 있지만, 이 분사각도 (G)를 변경 가능하게 되어 있다. 그리고, 이러한 변경에 의해, 분사구(19)에 의한 처리액(A)의 분사각도(G)를, 자유롭게 변경 조정, 고정 가능하고, 이러한 분사각도(G)의 변경 조정에 의해, 프린트 배선 기판재(2)로의 처리액(A)의 분사압력이나, 형성되는 처리액(A)의 흐름의 스피드 등을, 적절하게 설정 가능하게 한다.

표면처리장치(10)의 스프레이 노즐(11)은, 이와 같이 이루어져있다.

이어서, 이 표면처리장치(10)에 있어서, 스프레이 노즐(11)로부터 분사된 처리액(A) 등에 관해 설명한다.

스프레이 노즐(11)로부터 분사된 처리액(A)은, 도4의 (1)도, (2)도, (3)도, (4)도 등에 도시한 바와 같이, 좌측방향 또는 우측방향을 향하여 비스듬히 경사진 분사각도(G)로, 프린트 배선 기판재(2)에 대해 분사된 후, 도4의(5)도에 도시한 바와 같이, 프린트 배선 기판재(2)의 외표면을 좌측방향 또는 우측방향을 향하여, 액고임이나 난류 등이 없는 규칙적인 흐름을 형성한다.

즉 처리액(A)은 스프레이 노즐(11)의 분사구(19)로부터 분사된 후, 퍼지면서 확산된 상태에서 압력을 동반하고, 프린트 배선 기판재(2)의 외표면에 분사된다. 그리고, 좌측방향을 향한 스프레이 노즐(11)에서 분사된 처리액 (A)은 프린트 배선 기판재(2)의 외표면을 좌측방향을 향하여 규칙적으로 흐르고, 또한, 우측방향을 향한 스프레이 노즐(11)로부터 분사된 처리액(A)은 프린트 배선 기판재(2)의 외표면을 우측방향을 향하여 규칙적으로 흐르고, 이렇게 해서, 프린트 배선 기판재(2)의 외표면에 대해, 소정의 현상, 에칭, 박리, 세정 등의 표면처리를 행한다.

그 다음에 처리액(A)은 프린트 배선 기판재(2)의 외표면의 좌우 양사이드로부터 흘러내려 유출된다.

처리실(12)의 하부에는, 액조(20)가 형성되어 있고, 프린트 배선 기판재(2)로부터 흘러내려, 유출된 처리액(A)은 이 액조(20)로 흘러내려, 회수, 저장된다. 저장된 처리액(A)은 필요에 따라 보강 처리 등이 행해진 후, 펌프를 통해 다시 배관(P)으로 압력 수송되어, 순환 사용된다.

그런데, 도4의 (4)도에 도시한 바와 같이, 도시예에서는 더욱, 규제 롤러(21)가 설치되어 있다.

이 규제 롤러(21)는 스프레이 노즐(11)로부터 프린트 배선 기판재(2)에 대해 분사된 처리액(A)이 프린트 배선 기판재(2)의 외표면을 전후의 반송방향(C)을 향해 흐르는 것을 규제하도록 기능한다.

그리고 규제 롤러(21)는 좌우의 폭 방향(B)을 따르 프린트 배선 기판재(2)의 외표면에 임해 설치되고 또한, 전후 간격(22)을 두고서 2개 1조로 사용되고 있고, 스프레이 노즐(11)은 규제 롤러(21)의 전후 간격(22) 사이에 대응 위치한다.

도시예에서는, 반송 롤러(14)가 이러한 규제 롤러(21)로서 겸용되고 있다.

즉 규제 롤러(21)는 상기한 바와 같이 반송 방향(C)으로의 처리액 (A)의 흐름을 저지한다는 독특한 기능을 가지고 있고, 단독 전용의 고정 롤러로서, 컨베이어(13)의 반송 롤러(14) 사이에 설치하는 것도 가능하다. 즉, 반송 롤러(14)의 전후 간격(16) 사이에, 반송 롤러(14)와는 별도로 전용의 고정 롤러로서, 규제 롤러(21)를, 처리액(A)의 흐름 폭에 맞는 전후 간격(22)을 두고 2개 1조로 설치하고, 이 전후 간격(22) 사이의 중심선상에, 스프레이 노즐(11)을 대응 위치시켜도 좋다. ·

이에 반해 도시예에서는, 컨베이어(13)의 반송 롤러(14)를, 이러한 규제 롤러(21)로서도 이용하도록, 고안되어 있다. 즉, 반송 롤러(14)의 전후 간격(16)을, 처리액(A)의 흐름 폭에 맞는 전후 간격(22)으로 설정하고 또한, 이러한 전후 간격(16) 사이의 중심선상에 스프레이 노즐(11)을 대응 위치시킴으로서, 반송 롤러(14)가 2개 1조로 그대로 규제 롤러(21)로서 겸용되고 기능 하게 된다. 또한 도1, 도2중 (23)은 스프레이 관(17)의 홀더부이다.

분사된 처리액(A) 등에 대해서는, 이와 같이 이루어져있다.

본 발명은, 이상에서 설명한 바와 같이 구성되어 있다. 그래서 아래와 같이 이루어진다. 이 표면처리장치(10)는, 예를 들면 프린트 배선 기판(1)의 제조공정에서 사용되고, 컨베이어(13)의 반송 롤러(14)로써 상하에서 삽입하여 수평자세로 반송 방향(C)으로 반송되는 프린트 배선 기판재(2)에 대해, 대응 설치된 각 스프레이 노즐(11)로부터, 현상액, 부식액, 박리액, 또는 수세액 등의 처리액(A)이 분사된다(도1, 도2, 도3 등을 참조).

스프레이 노즐(11)은 반송 롤러(14) 사이에 형성된 각 전후 간격(16) 사이에, 각각 대응 위치하고 또한, 전후 간격(16)마다 폭 방향(B)의 좌측방향 또는 우측방향중 어느 한 방향으로 향해 있다. 좌측방향으로 향한 것과, 우측 방향으로 향한 것은 장치 전체로서는 거의 동수 개로 되어있다.

그리고 스프레이 노즐(11)은 비스듬히 경사진 분사각도(G)로, 고정하고 설치되어 있다. 또, 이 분사각도(G)는 변경 설정가능하고, 적절한 각도로 고정 가능하게 되어 있다(도4의 (3)도를 참조).

그래서, 스프레이 노즐(11)로부터 분사된 처리액(A)은 좌측방향 또는 우측방향을 향해 기울어 아래쪽으로 경사진 분사각도(G)로, 프린트 배선 기판재(2)에 대해 분사되고, 프린트 배선 기판재(2)의 외표면을 좌측방향 또는 우측방향을 향하여 규칙적으로 흐른 후, 좌우 양사이드로부터 흘러 내려, 유출한다(도4의 (1)도, (2)도, (3)도, (4)도, (5)도를 참조).

그런데, 좌우의 폭 방향(B)을 따라 프린트 배선 기판재(2)에 임해서 규제 롤러(21)를 설치하고, 이 2개 1조로 사용되는 규제 롤러(21)의 전후 간격(22) 사이에, 스프레이 노즐(11)을 대응 위치시켜 놓으면, 이 규제 롤러(21)에 의해, 처리액(A)이 전후의 반송 방향(C)를 향해서 흐르는 것이 규제된다(도4의 (4)도를 참조).

이렇게 해서, 상기한 처리액(A)의 좌측방향 또는 우측방향을 향한 흐름이, 더욱 확실하게 규칙적으로 실현되게 된다. 이 규제 롤러(21)는 컨베이어(13)의 반송 롤러(14)를 겸용하여 사용해도 좋지만, 전용의 고정 롤러를 사용하여 반송 롤러(14)사이에 배치하도록 해도 좋다.

그런데, 이와 같이 처리액(A)이 프린트 배선 기판재(2)의 외표면을 좌측방향또는 우측방향으로 흐름에 따라, 프린트 배선 기판재(2)의 외표면이 현상, 에칭, 박리, 세정 등 표면처리된다.

그런데, 거기서 이 표면처리장치(10)에 있어서는, 다음의 제1, 제2와 같이 된다.

제1로, 상기한 바와 같이, 프린트 배선 기판재(2)의 외표면에 대해, 처리액(A)의 흐름이, 규칙적으로 형성되기 때문에, 처리액(A)이 미치지 않는 공백 영역(D)(도5의 (2)도를 참조)은 발생하지 않고, 처리액(A)이 사방팔방으로 난류하는 일도 없고, 중앙부에 처리액(A)의 액고임(E)(도6의 (1)도를 참조)이 발생하는 일도 없으며, 처리액(A)이 줄무늬모양의 궤적(F)(도6의 (2)도를 참조)을 그리는 일도 없다(반송속도와의 매칭을 고려할 필요도 없다).

이렇게 하여, 프린트 배선 기판재(2)의 외표면은, 농담(濃淡)없이 균일화된 처리액(A)에 의해, 전체적으로 균일하게 약액처리, 세정처리 등 표면처리된다.

즉, 프린트 배선 기판재(2)의 표면처리, 즉 현상처리, 에칭처리, 박리처리 등의 약액처리나 세정처리는, 처리의 지속차, 과부족, 얼룩짐·흐트러짐 등이 생기는 일없이, 확실하게 균일하게 실시된다.

제2로, 그래서 이 표면처리장치(10)를 사용하면, 소정의 회로(9) 폭의 프린트 배선 기판(1)을 용이하게 제조할 수 있고(도6의 (3)도를 참조), 프린트 배선 기판(1)의 제조공정에 있어서, 불량품의 발생율이 대폭 감소하고 또한, 처리액(A)의 사용량도 적게들고 끝낼 수 있게된다.

더구나, 이 표면처리장치(10)에 있어서, 스프레이 노즐(11)이나 스프레이관(17)은 전부 고정되어 있다. 즉, 스프레이 노즐(11)이나 스프레이 관(17)을, 목스윙 요동시키는 기구(도5의 (3)도를 참조)나 수평 왕복 운동시키는 기구 등을, 표면처리장치(10)에 부설할 필요도 없다.

이와 같이 이 표면처리장치(10)는 스프레이 노즐(11)을 폭 방향(B)을 향해 비스듬히 경사, 고정시킨 구성을 특징으로 하고, 그 구성은 간단하다.

이상이, 본 발명의 표면처리장치(10)의 작동 등에 관한 설명이다.

또한, 제1로, 상기한 도2 등에 나타낸 예에 있어서, 각 스프레이 노즐(11)은 전후, 좌우에 소정 피치간격을 두고 다수 설치되어 있지만, 전후의 각 스프레이 노즐(11)에 관해 관찰하면, 상호간이 대향 위치하는 관계가 되어있었다. 즉, 전후의 반송 방향(C)을 따라 평행이고 직선적인 각 궤적상에, 전후의 스프레이 노즐(11)은 각각 위치하고 있었다.

그러나 본 발명은, 이러한 스프레이 노즐(11)의 설치 위치관계에 한정되는 것이 아니고, 각 스프레이 노즐(11)을 전후의 반송 방향(C)에 관해 관찰한 경우에, 상호간이 좌우의 폭 방향(B)으로 엇갈리게 위치하도록 해도 좋고, 예를 들면, 다음과 같은 각 예 a, b, c, d를 생각할 수 있다.

또한, 각 예 a, b, c, d를 통해, 각 스프레이 노즐(11)이, 전후의 반송방향(C)으로 소정 피치간격을 두고 배열되고(각 스프레이 관(17)에 설치된다) 또한, 좌우의 폭 방향(B)으로 소정 피치간격을 두고(스프레이 관(17)에)설치되어 있는 점은, 공통이며, 상기한 도2 등의 도시예와도 공통이다.

먼저 a. 도2의 계14개의 스프레이 관(17)에 설치된 각 스프레이 노즐(11)에대해, 전부가 서서히 순차적으로 아주 조금씩, 좌우의 폭 방향(B) 중 어느 한곳으로 엇갈려 있고, 결국, 예를 들면 최상류측의 열의 스프레이 노즐(11)과 최하류측의 열의 스프레이 노즐(11)이, 도중에서 폭 방향(B)으로 1피치분 가깝게 엇갈린 결과, 거의 대응 위치하게 된 예를 생각할 수 있다.

b. 상술한 a.의 예에 비해, 전후의 스프레이 노즐(11)이, 서서히 이기는 하지만 더욱 크게 좌우의 폭방향(B) 중 어느 한곳으로 엇갈려 있고, 결국, 예를 들면 최상류측의 열의 스프레이 노즐(11)과 최하류측의 열의 스프레이 노즐(11)이 도중에서 1피치분의 엇갈림이 복수 회수 되풀이된 결과, 거의 대응 위치하게 된 예를 생각할 수 있다.

c. 도2의 내, 1개 띄고 계 7개의 각 스프레이 관(17)에 설치된 좌측방향을 향한 그룹의 스프레이 노즐(11)이, 서서히 순차적으로 조금씩 좌우의 폭 방향(B) 중 어느 한곳으로 엇갈려 있고, 결국, 예를 들면 그 최상류측의 열의 스프레이 노즐(11)과 최하류측의 열의 스프레이 노즐(11)이 도중에서 폭 방향(B)로 1피치 가깝게 엇갈린 결과, 거의 대응 위치하도록 한다. 이와 함께, 1개 띄고 계 7개의 각 스프레이 관(17)에 설치된 우측방향으로 향한 스프레이 노즐(11)의 그룹도, 마찬가지로 엇갈리게 위치하도록 한 예를 생각할 수 있다.

d. 상기한 c.의 예에 비해, 전후의 스프레이 노즐(11)이, 서서히 이기는 하지만 더욱 크게 좌우의 폭 방향(B) 중 어느 한곳으로 엇갈려 있고, 결국, 좌측방향으로 향한 그룹의 스프레이 노즐(11)에 대해서도, 우측방향으로 향한 그룹의 스프레이 노즐(11)에 대해서도, 각각, 예를 들면, 최상류측의 열의 스프레이 노즐(11)과 최하류측의 열의 스프레이 노즐(11)이, 도중에서 1피치분의 엇갈림이 복수 회수 되풀이된 결과, 거의 대응 위치하게 된 예를 생각할 수 있다.

예를 들면 이 a, b, c, d의 각 예와 같이, 전후의 각 스프레이 노즐(11)에 대해, 상호간이 좌우로 엇갈리게 위치하도록 설치해 놓으면 , 도2에 도시한 바와 같이, 대향 위치하도록 배치한 예에 비해, 다음의 이점이 있다.

즉, 스프레이 노즐(11)로부터 프린트 배선 기판재(2)로 분사되는 처리액(A)에 대해, 분사 개소(個所)의 겹침이 적어지기 때문에, 이 면에서도, 프린트 배선 기판재(2)에 대해, 상기한 제1의 균일한 표면처리가 촉진된다.

즉, 반송 방향(C)에 관해 관찰한 경우, 스프레이 노즐(11)로부터 프린트 배선 기판재(2)에 분사된 처리액(A)의 분사 개소가, 동일 직선의 궤적상에 위치하는 것이 적어진다. 분사 개소의 지점이 가장 분사압력이 높고, 처리액(A)이 농밀(濃密)해 지고, 처리 임펙트가 강하지만, 이러한 분사 개소가 겹치지 않고 분산되기 때문에, 이러한 면에서도, 처리액(A)이 균일화되고 표면처리도 균일화된다는 이점이 있다.

또 제2로, 이상에서 설명한 도시예는, 본 발명의 표면처리장치(10)를 박판재의 일예인 프린트 배선기판(1)의 제조공정에 대해 적용한 것이지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니다.

예를 들면, 컬러 필터용의 유리판, 플라즈마 디스플레이(PDP)용의 유리판, 그 외의 박판재에 대해서도 적용 가능하다. 즉, 반송되는 각종의 박판재에 대해, 스프레이 노즐(11)로부터 처리액(A)을 분사하여, 각종의 표면처리를 행하는 다양한공정에도, 널리 적용 가능하다.

본 발명에 따른 박판재의 표면처리장치는, 이상에서 설명한 바와 같이, 스프레이 노즐을, 좌우의 폭 방향을 향해 비스듬히 경사진 분사각도로 고정함으로써, 다음의 효과를 발휘한다.

첫번째로, 공백 영역, 액고임, 줄무늬모양의 궤적 등이 해소되고, 처리가 전체적으로 균일화된다.

즉, 이 박판재의 표면처리장치에 따르면, 스프레이 노즐로부터 분사된 처리액은 박판재의 외표면을 좌측방향 또는 우측방향을 향하여 규칙적으로 흐른 후, 양 사이드로부터 흘러 내려, 유출한다.

이와 같은 흐름이 형성되기 때문에, 상기한 이 종류의 종래의 예와 같이, 각 스프레이 노즐로부터 박판재에 분사된 처리액에 대해, 상호간에 닿지 않는 공백 영역이 발생하거나, 사방팔방으로 난류하여 중앙부에 액고임이 발생하거나, 줄무늬모양의 궤적을 그리는 것, 등등은 확실하게 해소된다. 그래서, 박판재의 외표면은, 이와 같이 농담(濃淡)없이 균일화된 처리액에 의해 전체적으로 균일하게 표면 처리된다.

예를 들면, 박판재의 일례인 프린트 배선기판의 제조공정에서 사용된 경우는, 현상, 에칭, 박리 등의 약액처리나 세정처리가 균일화되고, 상기한 이 종류의 종래 예와 같이, 처리의 지속차, 과부족 개소, 얼룩짐·흐트러짐 현상이 발생하는것은 확실히 회피된다. 이렇게 해서, 외표면에 형성되는 회로 폭도 균일화되는 등, 회로의 고밀도화, 미세화, 고정밀도화가 진행하는 프린트 배선 기판에 있어서, 그 의의는 특히 크다.

두번째로, 제조비용 면이나 설비비용 면에서도 우수하다.

즉, 이 박판재의 표면처리장치에 의하면, 상기한 바와 같이 처리가 균일화되기 때문에, 제조된 프린트 배선 기판 등의 박판재에 대해, 전술한 이 종류의 종래 예와 비교하여, 불량품이 감소하여 생산수율이 향상되고 또한,처리액의 사용량도 적게 드는 등, 생산성 그리고 제조 비용면에서 우수하다.

또한, 스프레이 관 그리고 스프레이 노즐은 전부 고정된 타입으로 이루어지고, 상기한 이 종류의 종래 예와 같이, 목스윙 요동기구나 수평왕복운동기구를 부설하지 않고, 그만큼, 구성이 간단하며, 설비 비용면에서도 우수하다. 구체적으로는, 설비비용이 20%정도 삭감된다.

이와 같이, 이 종류의 종래 예에 있던 과제가 전부 해결되는 등, 본 발명의 발휘하는 효과는, 현저하고 큰 것이다.

Claims

반송되는 박판재(薄板材)에 대해 대응 배치된 다수의 스프레이 노즐로부터 처리액을 분사하여 이 박판재의 표면처리를 행하는 박판재의 표면처리 장치에 있어서,

이 스프레이 노즐은 반송방향에 대해 좌우의 폭방향으로 향하고 또한, 비스듬히 경사진 분사각도로 고정되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 박판재의 표면처리 장치.
제1항에 있어서,

이 박판재는 컨베이어로 수평자세로 반송되고, 이 컨베이어는 이 박판재를 상하에서 삽입하여 반송하는 다수의 반송롤러를 구비하고,

이 스프레이 노즐은 이 반송롤러사이에 형성된 각 전후 간격 사이에 각각 대응 위치하고 또한, 이 전후 간격마다 좌측방향 또는 우측방향중 어느 한 방향으로 향해있고,

이 스프레이 노즐로부터 분사된 이 처리 액은, 좌측방향 또는 우측방향을 향하여 비스듬히 경사진 분사각도로 이 박판재에 대해 분사되고, 이 박판재의 외표면을 좌측방향 또는 우측방향을 향해 액의 고임이나 난류 등이 없는 규칙적인 흐름을 형성하는 것을 특징으로 하는 박판재의 표면처리장치.
제2항에 있어서,

이 스프레이 노즐은 좌측방향으로 향한 것과 우측방향으로 향한 것이 장치 전체로서는 거의 동수 개로 이루어진 것을 특징으로 하는 박판재의 표면 처리장치.
제1항에 있어서,

이 스프레이 노즐은 비스듬히 경사진 분사각도가 변경 조정가능하고, 적절한 각도로 고정 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 박판재의 표면처리장치.
제1항에 있어서,

이 스프레이 노즐로부터 이 박판재에 대해 분사된 이 처리액이, 이 박판재의 외표면을 전후의 반송방향을 향해서 흐르는 것을 규제하는 규제롤러가 설치되어 있고,

이 규제롤러는 좌우의 폭방향을 따르면서 이 박판재의 외표면에 임해서 설치되고 또한, 전후 간격을 두고 2개 1조로 사용되고 있고, 이 스프레이 노즐은, 이 전후 간격사이에 대응 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 박판재의 표면처리장치.
제1항에 있어서,

이 스프레이 노즐은, 전후, 좌우에 다수 설치되어 있고, 또한, 전후로 설치된 이 스프레이 노즐 상호간은 대향위치하지 않고 좌우로 엇갈리게 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 박판재의 표면처리장치.
제1항에 있어서,

이 스프레이 노즐은, 전후, 좌우에 다수 설치되어 있고, 또한, 좌측방향으로 향한 이 스프레이노즐에 대해, 전후로 설치된 이 스프레이 노즐 상호간은 대향 위치하지 않고 좌우로 엇갈리게 위치하고 있고, 또한, 우측방향으로 향한 이 스프레이 노즐에 대해, 전후에 설치된 이 스프레이 노즐 상호간은 대향위치하지 않고 좌우로 엇갈리게 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 박판재의 표면처리장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

이 표면처리 장치는 프린트 배선기판의 제조공정에서 사용되고, 이 박판재는 프린트 배선 기판재로 이루어지고, 이 처리액은, 현상액, 부식액, 박리액, 또는 수세액 등으로 이루어진 것을 특징으로 하는 박판재의 표면처리장치.