KR20190039981A - 도포 장치 및 도포 방법 - Google Patents
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Abstract
도포액의 액 단절의 발생을 억제하는 도포 장치 및 도포 방법을 제공한다. 특정 주행 방향으로 연속 주행하는 장척의 기판의 상면 또는 횡면에 도포액을 도포하는 도포 장치이다. 도포 장치는, 특정 주행 방향으로 연속 주행하는 장척의 기판의 상면 또는 횡면에 도포액을 개재하여 접촉 가능하고, 또한 회전하는 바와, 바에 대하여 장척의 기판의 주행 방향의 상류에 마련되며, 도포액을 바와의 사이를 통과시켜, 장척의 기판으로 유통시키는 언판을 적어도 2단 갖는다. 적어도 2단의 언판은 주행 방향을 따라 배치되어 있다.
Description
본 발명은, 바를 이용한 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이며, 특히 얇은 금속판, 종이 및 필름 등의 시트 형상 또는 장척 형상의 피도공 기재에, 각종 액상 물질을 도포하는 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.
종래, 장척의 기판의 표면에 이접착층(易接着層) 또는 대전 방지층과 같은 기능성층을 형성시키는 경우, 도포액을 기판의 표면에 도포하여, 도포막을 형성하는 공정이 행해지고 있다. 기판의 표면에 도포액을 도포하는 방법으로서는, 롤 코트법, 다이 코트법, 스프레이 코트법, 및 바 코트법 등의 다수의 도포 방법이 알려져 있다. 장척의 기판을 웨브라고도 한다. 또, 장척의 기판을, 간단히 기판이라고도 한다.
기판의 양면에 동시 도포하고, 건조하는 방법으로서는, 상면 측 또는 횡면 측으로부터의 바 도포 방식이 유효하다. 그러나, 웨브에 대하여 고속으로 상면 또는 횡면으로부터 도포하려고 하면, 도포액의 액 단절이라는 고장이 발생한다. 액 단절은, 평활도(平滑度)가 나쁜 베이스에 의하여 폭방향으로 도포액의 분포가 불균일해져, 액량이 적은 개소로부터 발생하는 것이다. 이 액 단절에 의하여, 큰 폭으로 제조 득율이 저하되기 때문에 문제가 되고 있다. 나아가서는, 도포액의 도포 시에 에어의 동반에 의하여 시싱이 발생하는 경우, 거품 시싱 등의 도포 고장이 발생하는 경우가 있다.
도포액의 도포 시에 에어의 동반에 의한 시싱은, 이후에 상세하게 설명하지만 기판의 최표면에 발생하는 동반 에어의 동압(動壓)에 비하여 도포 장치의 액압이 낮아져 발생한다.
거품 시싱은, 이후에 상세하게 설명하지만, 송액계 등으로부터 거품이 반입된 경우, 도포 장치 내에 거품이 모여, 거품이 포화 상태가 되면, 기판으로 옮겨져 발생한다. 이 2개의 도포 고장도 제조 득율의 저하로 이어진다.
도포액을 기판의 상면에 도포하는 도포 장치가, 특허문헌 1에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 도포 장치는, 연속 주행하는 웨브 상면에 도포액을 개재하여 접촉하여 회전하는 바와, 바에 대하여 웨브의 주행 방향의 상류 측에 마련되어 있고, 도포액을 바와의 사이를 통과시켜, 웨브 방향으로 유통시키는 언판(堰坂)을 갖는다. 특허문헌 1의 도포 장치에서는, 언판과 언판에 가장 근접하는 바의 단부가장자리부 간의 거리를 A로 하고, 언판과 웨브 간의 거리를 B로 했을 때에, A는 0.5~5mm이며, B는 0.5~5mm이고, B≤A이다.
상술한 특허문헌 1에서는, 연속 주행하는 웨브의 상면에 도포액을 도포하는 것이 기재되어 있지만, 도포액의 액 단절에 대해서는 고려되지 않고, 특허문헌 1에서는 액 단절에 대한 과제는 발견되지 않았다.
본 발명의 목적은, 상술한 종래 기술에 근거하는 문제점을 해소하고, 도포액의 액 단절의 발생을 억제하는 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 특정 주행 방향으로 연속 주행하는 장척의 기판의 상면 또는 횡면에 도포액을 도포하는 도포 장치로서, 주행 방향으로 연속 주행하는 장척의 기판의 상면 또는 횡면에 도포액을 개재하여 접촉 가능하고, 또한 회전하는 바와, 바에 대하여 장척의 기판의 주행 방향의 상류에 마련되며, 도포액을 바와의 사이를 통과시켜, 장척의 기판으로 유통시키는 언판을 적어도 2단 갖고, 적어도 2단의 언판은 주행 방향을 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치를 제공하는 것이다.
바와, 언판 중 바에 가장 가까운 언판과, 장척의 기판으로 둘러싸인 제1 부분의, 주행 방향과 높이 방향으로 구성되는 평면에 있어서의 단면적을 제1 비드 단면적으로 하고, 바에 가장 가까운 언판과, 언판 중 주행 방향의 최상류 측의 언판과, 장척의 기판으로 둘러싸인 제2 부분의, 주행 방향과 높이 방향으로 구성되는 평면에 있어서의 단면적을 제2 비드 단면적으로 할 때, 제1 비드 단면적과 제2 비드 단면적의 합계가 20mm2 이상이며, 최상류 측의 언판과, 장척의 기판과의 거리가 0mm 이상 5mm 이하이고, 높이 방향은, 기판의 상면 또는 횡면에 수직인 방향인 것이 바람직하다.
바와, 언판 중 바에 가장 가까운 언판과, 장척의 기판으로 둘러싸인 제1 부분의, 주행 방향과 높이 방향으로 구성되는 평면에 있어서의 단면적을 제1 비드 단면적으로 할 때, 제1 비드 단면적이 20mm2 이하이고, 바의 주행 방향의 상류 측의 단부면과, 바에 가장 가까운 언판과의 최단 거리가 0.05mm 이상 2mm 이하이며, 바에 가장 가까운 언판과, 장척의 기판과의 거리가 0.2mm 이상 2mm 이하이고, 높이 방향은, 기판의 상면 또는 횡면에 수직인 방향인 것이 바람직하다.
바를 회전 가능하게 지지하는 본체 블록을 갖고, 본체 블록 또는 언판에 도포액을 저류하는 송액 저류부를 갖는 것이 바람직하다.
바와 적어도 2단의 언판의, 주행 방향과 기판의 상면 또는 횡면 내에서 직교하는 폭방향의 단부에, 측판이 마련되어 있는 것이 바람직하다.
또, 본 발명은, 상술한 도포 장치를 이용하여, 연속 주행하는 장척의 기판의 상면 또는 횡면에 도포액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 도포액의 액 단절의 발생을 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태의 도포 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 주요부를 나타내는 모식적 사시도이다.
도 3은 장척의 기판의 주행 상태를 나타내는 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 측판을 나타내는 모식적 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 다른 예를 나타내는 모식도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 다른 예의 측판을 나타내는 모식적 사시도이다.
도 9는 도포액의 액 단절을 설명하기 위한 모식도이다.
도 10은 에어 동반에 의한 시싱을 설명하기 위한 모식도이다.
도 11은 도포액의 액 단절 및 에어 동반에 의한 시싱을 포함하는 도포 결과를 나타내는 모식적 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 주요부를 나타내는 모식적 사시도이다.
도 3은 장척의 기판의 주행 상태를 나타내는 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 측판을 나타내는 모식적 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 다른 예를 나타내는 모식도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 다른 예의 측판을 나타내는 모식적 사시도이다.
도 9는 도포액의 액 단절을 설명하기 위한 모식도이다.
도 10은 에어 동반에 의한 시싱을 설명하기 위한 모식도이다.
도 11은 도포액의 액 단절 및 에어 동반에 의한 시싱을 포함하는 도포 결과를 나타내는 모식적 평면도이다.
이하에, 첨부의 도면에 나타내는 적합 실시형태에 근거하여, 본 발명의 도포 장치 및 도포 방법을 상세하게 설명한다.
또한, 이하에 있어서 수치 범위를 나타내는 "~"란 양측에 기재된 수치를 포함한다. 예를 들면, ε이 수치 α~수치 β란, ε의 범위는 수치 α와 수치 β를 포함하는 범위이며, 수학 기호로 나타내면 α≤ε≤β이다.
"구체적인 수치로 나타난 각도", "평행", "수직" 및 "직교" 등의 각도는, 특별히 기재가 없으면, 해당하는 기술분야에서 일반적으로 허용되는 오차 범위를 포함한다.
도 1은 본 발명의 실시형태의 도포 장치를 나타내는 모식도이고, 도 2는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 주요부를 나타내는 모식적 사시도이다.
도 1에 나타내는 도포 장치(10)은, 특정 주행 방향(D1)로 연속 주행하는 장척의 기판(30)의 상면(30a) 또는 횡면에 도포액(M)을 도포하는 것이다. 횡면이란, 도 1에 나타내는 상태의 기판(30)을 주행 방향(D1)을 중심으로 하여 90°, 높이 방향(D3)으로 회전시키면 상면(30a)는 옆을 향하는데, 이때의 상면(30a)를 횡면이라고 한다.
높이 방향(D3)이란, 기판(30)의 상면(30a) 또는 횡면에 수직인 방향이다. 또, 횡면은 기판(30)의 방향이 변하는데, 이 경우 횡면의 높이 방향(D3)은, 도 1의 기판(30) 상태에서는, 폭방향(D2)(도 2 참조)에 해당한다.
도포 장치(10)은, 바(12)와, 본체 블록(14)와, 제1 언판(16)과, 제2 언판(18)과, 공급관(20)과, 공급부(22)와, 송액 저류부(24)를 갖는다. 도포 장치(10)은, 바(12)에 대하여 장척의 기판(30)의 주행 방향(D1)의 상류에 마련되고, 도포액(M)을 바(12)와의 사이를 통과시켜, 장척의 기판(30)으로 유통시키는 언판을 적어도 2단 갖는 것이며, 예를 들면 제1 언판(16)과 제2 언판(18)을 갖는다. 제1 언판(16)과 제2 언판(18)은 주행 방향(D1)을 따라 배치되어 있다. 또한, 제1 언판(16)과 제2 언판(18)을 갖는다.
또한, 언판은 적어도 2단이기 때문에, 제1 언판(16)과 제2 언판(18)에 한정되는 것은 아니다.
바(12)는, 특정 주행 방향(D1)로 연속 주행하는 장척의 기판(30)의 상면(30a) 또는 횡면에 도포액(M)을 개재하여 접촉 가능하고, 또한 회전하는 것이다.
바(12)의 직경은 1mm~20mm가 바람직하고, 보다 바람직하게는 6mm~13mm이다. 바(12)의 직경을 상술한 범위로 함으로써, 도포액(M)의 도포면에 세로 무늬가 발생하는 것을 억제할 수도 있다.
바(12)는, 원기둥 형상으로 형성되고, 후술과 같이 본체 블록(14)에 의하여 회전운동 가능하게 지지된다. 바(12)는, 주행 중의 기판(30)의 상면(30a)에 도포액(M)을 개재하여 접촉하여 축선(도시하지 않음)을 중심으로 회전한다. 바(12)의 회전 방향은, 특별히 한정되는 것은 아니고, 기판(30)의 주행 방향(D1)에 대하여 동일한 방향이어도 되고, 반대 방향이어도 된다.
바(12)의 표면은, 평활하게 마무리되어 있어도 되지만, 원주 방향으로 일정 간격으로 홈이 마련되어 있어도 되고, 또 와이어가 치밀하게 권회되어 있어도 된다. 이른바 와이어 바여도 된다. 이 경우, 바에 권회하는 와이어의 직경은, 0.05~0.5mm인 것이 바람직하고, 특히 0.05~0.2mm인 것이 바람직하다. 또한, 홈이 마련된 바(12) 및 와이어가 권회된 바(12)에 있어서는, 홈의 깊이 또는 와이어의 굵기를 얇게 함으로써, 도포액(M)의 도포를 얇게 할 수 있고, 홈의 깊이 또는 와이어의 굵기를 굵게 함으로써, 도포액(M)의 도포를 두껍게 할 수 있다.
바의 폭은, 웨브의 폭과 동일한 길이여도 되지만, 웨브의 폭보다 긴 것이 바람직하다. 또, 바에 홈 또는 와이어를 마련하는 경우, 홈 또는 와이어를 마련하는 범위는, 웨브의 폭 이상인 것이 바람직하다.
바의 재질은, 스테인리스가 바람직하고, 특히 SUS(Steel Use Stainless) 304 또는 SUS(Steel Use Stainless) 316이 바람직하다. 바의 표면에는, 하드 크로뮴 도금 또는 다이아몬드 라이크 카본(DLC) 등의 표면 처리를 실시해도 된다.
본체 블록(14)는, 바(12)를 회전 가능하게 지지하는 것이며, 바(12)를 회전운동 가능하게 지지하는 구조를 갖는다.
예를 들면, 본체 블록(14)는, 바(12)와 접하는 면에 원호 형상의 홈이 형성되어 있다. 본체 블록(14)에 원호 형상의 홈을 형성함으로써, 기판(30)의 장력에 의한 바(12)의 휨을 억제하고, 폭방향(D2)(도 2 참조)로 균일한 도포막(32)를 형성할 수 있다.
폭방향(D2)(도 2 참조)란, 주행 방향(D1)과 기판(30)의 상면(30a) 내에서 직교하는 방향이다.
본체 블록(14)에 있어서, 바(12)에 접하는 측과, 바(12)에 접하지 않는 측은 재질이 동일할 필요는 없다. 예를 들면, 바(12)가 스테인리스강 등의 금속제인 경우, 본체 블록(14)의 바(12)에 접하는 측은 고분자 수지제 등으로 하고, 본체 블록(14)의 바(12)에 접하지 않는 측은 스테인리스강 등의 금속제로 하는 것이 바람직하다.
본체 블록(14)의 크기는, 바(12)의 사이즈에 따라 적절히 결정된다. 예를 들면, 본체 블록(14)의 주행 방향(D1)의 두께는, 바(12)의 반경 이상이며, 바(12)의 직경의 2배 이하로 하는 것이 바람직하다. 또, 본체 블록(14)의 높이 방향(D3)의 높이는, 10~100mm로 하는 것이 바람직하다. 또한, 본체 블록(14)의 폭방향(D2)의 폭은, 바(12)에 마련된 와이어 또는 홈의 폭 이상으로 하는 것이 바람직하다.
제1 언판(16)과 제2 언판(18)은, 기판(30)의 상면(30a) 상에 배치되어 있다. 제1 언판(16)과 제2 언판(18)은, 기본적으로 동일한 구성이다.
제1 언판(16)은, 기판(30)의 상면(30a) 측에 돌출부(16a)가 마련되어 있다. 돌출부(16a)의 상면(30a)와 대향하는 단부면(16c)는, 예를 들면 굴곡 등이 없고 평탄한 상태의 기판(30)의 상면(30a)와 평행한 면이다.
제1 언판(16)은, 측면(16b)와 본체 블록(14)의 사이, 측면(16b)와 바(12)의 사이에 슬릿(15)가 마련되어 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이 슬릿(15)는 폭방향(D2)로 연재하고 있다. 슬릿(15)에 도포액(M)이 송액된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제2 언판(18)은, 기판(30)의 상면(30a) 측에 돌출부(18a)가 마련되어 있다. 돌출부(18a)의 상면(30a)와 대향하는 단부면(18c)는, 예를 들면 굴곡 등이 없고 평탄한 상태의 기판(30)의 상면(30a)와 평행한 면이다.
제2 언판(18)은, 측면(18b)가 제1 언판(16)에 접하고 있다. 제1 언판(16)의 돌출부(16a)와, 제2 언판(18)의 돌출부(18a)에 의하여, 폭방향(D2)로 뻗은 공간이 형성된다.
제1 언판(16)의 단부면(16c)와 제2 언판(18)의 단부면(18c)는, 모두 상술과 같이 상면(30a)와 평행한 면으로 했지만, 이에 한정되는 것은 아니고 경사면이어도 된다.
언판에 돌출부를 마련함으로써, 언판 단부의 두께를 소정값 이하로 하면서, 언판 전체의 강성을 높이는 것이 가능해진다.
또, 본체 블록(14)와 제1 언판(16)과의 경계에 송액 저류부(24)가 마련되어 있다. 송액 저류부(24)는 슬릿(15)와 연통하고 있다. 송액 저류부(24)는, 본체 블록(14) 또는 제1 언판(16)에 마련되어 있어도 되고, 본체 블록(14)와 제1 언판(16)에 걸쳐 마련되어 있어도 된다.
송액 저류부(24)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 본체 블록(14)와 제1 언판(16)과의 폭방향(D2)로 전체 영역에 걸쳐 마련되어 있다. 또한, 본체 블록(14)와 제1 언판(16)과의 폭방향(D2)의 길이를 L로 할 때, 송액 저류부(24)는 길이(L)의 80% 정도 마련되어 있으면 된다.
송액 저류부(24)를 마련함으로써 폭방향(D2)로 도포액(M)을 균일하게 흘려보내고 나서 기판(30)으로 도포액(M)이 흐르기 때문에, 도포액(M)을 폭방향(D2)로 균일하게 도포할 수 있다. 송액 저류부(24)가 없는 경우, 송액한 도포액(M)이 폭방향(D2)로 채워지기 어려워져, 송액한 부분에만 도포액(M)이 흐르기 때문에, 단부(25)(도 8 참조) 등에 공기가 체류한 공기 체류부(17)(도 8 참조)이 발생한다. 이 공기 체류부(17)(도 8 참조)에 송액계 등으로부터 반입되는 거품이 모여, 최종적으로 거품 시싱 고장이 되는 경우가 있다.
공급관(20)은, 제2 언판(18)과 제1 언판(16)을 통과하여, 송액 저류부(24)에 도달한다. 공급관(20)에 공급부(22)가 접속되어 있다.
공급부(22)는, 도포액(M)을 바(12)에 송액하는 것이다. 공급부(22)는, 도포액(M)을 저류하는 탱크(도시하지 않음)와, 도포액(M)을 송액하기 위한 펌프(도시하지 않음)와, 도포액(M)의 송액량을 조정하는 밸브(도시하지 않음)와, 밸브의 개폐량 등을 조정하는 제어부(도시하지 않음)를 갖는다. 공급부(22)로서는, 사전에 정해진 양의 액체를 공급할 수 있는 공지의 액체 공급 장치를 적절히 이용 가능하다.
제1 언판(16) 및 제2 언판(18)에서는, 돌출부를 제외한 전체의 두께는, 5~50mm의 범위 내인 것이 바람직하다. 또한, 전체의 두께는, 주행 방향(D1)의 길이이다.
또, 제1 언판(16) 및 제2 언판(18)의 높이 방향(D3)의 길이는, 10~100mm인 것이 바람직하고, 제1 언판(16) 및 제2 언판(18)의 폭은, 예를 들면 본체 블록(14)와 동일하다.
제1 언판(16) 및 제2 언판(18)에 대하여, 재질은 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 금속, 또는 수지이다. 금속으로서는, 예를 들면 스테인리스강을 들 수 있고, 특히 SUS(Steel Use Stainless) 304 또는 SUS(Steel Use Stainless) 316을 이용하는 것이 바람직하다.
이 이외에, 언판으로서는, 금속에 하드 크로뮴 도금 또는 다이아몬드 라이크 카본(DLC) 처리한 것이어도 된다.
바(12)의 상류 측(Du)에 마련되는 제1 언판(16)과 제2 언판(18) 중, 바(12)에 가장 가까운 제1 언판(16)은, 도포액(M)의 내압을 높일 수 있다. 이로 인하여, 에어 동반에 의한 시싱을 억제할 수 있다. 에어 동반에 의한 시싱에 대해서는 이후에 상세하게 설명한다. 또, 에어 동반에 의한 시싱을, 간단히 에어 동반 시싱이라고도 한다.
제1 언판(16)보다 상류 측(Du)의 제2 언판(18)은, 제1 언판(16)과 액 고임을 강제적으로 만듦으로써, 폭방향(D2)의 도포액(M)의 액 분포를 균일화시킬 수 있다. 폭방향(D2)의 도포액(M)의 액 분포를 균일화시킴으로써, 폭방향(D2)의 전체 폭에 있어서 에어 동반 시싱 및 도포액의 액 단절을 억제할 수 있다.
도포 장치(10)에서는, 바(12)와, 바(12)에 가장 가까운 제1 언판(16)과, 장척의 기판(30)으로 둘러싸인 제1 부분(G1)의, 주행 방향(D1)과 높이 방향(D3)으로 구성되는 평면(PL)에 있어서의 단면적을 제1 비드 단면적(S1)로 한다.
제1 언판(16)과, 주행 방향(D1)의 최상류 측의 제2 언판(18)과, 장척의 기판(30)으로 둘러싸인 제2 부분(G2)의, 주행 방향(D1)과 높이 방향(D3)으로 구성되는 평면(PL)에 있어서의 단면적을 제2 비드 단면적(S2)로 한다. 이 경우, 제1 비드 단면적(S1)과 제2 비드 단면적(S2)의 합계가 20mm2 이상인 것이 바람직하고, 또한 제2 언판(18)과 장척의 기판(30)과의 거리(C)가 0mm 이상 5mm 이하인 것이 바람직하다.
제1 비드 단면적(S1)과 제2 비드 단면적(S2)의 합계를 20mm2 이상으로 함으로써 액 고임이 커져, 평활도가 나쁜 기판(30)이 오더라도, 액 고임부에 도포액(M)이 남아 있기 때문에, 액 단절은 되지 않는다. 또한, 제1 비드 단면적(S1)과 제2 비드 단면적(S2)의 합계의 상한값은 1000mm2 이하이다.
제1 비드 단면적(S1)과 제2 비드 단면적(S2)의 합계를 작게 하면, 액 고임부가 작아져, 평활도가 나쁜 기판(30)이 반송된 경우에 폭방향(D2)의 도포액(M)의 액 분포가 나빠져, 즉시 액 단절이 된다.
제2 언판(18)과 장척의 기판(30)과의 거리(C)가 5mm를 초과하면, 주행 방향(D1)의 상류 측(Du)로 도포액(M)이 흘러나와, 도포액(M)을 모을 수 없어, 폭방향(D2)의 도포액(M)의 분포가 불균일해진다.
또한, 제2 언판(18)과 장척의 기판(30)과의 거리(C)가 0mm라는 것은, 제2 언판(18)과 기판(30)이 접촉하고 있는 것을 나타낸다. 예를 들면, 단부면(18c)와 기판(30)이 접촉하고 있는 것이다.
또, 제2 언판(18)과 장척의 기판(30)과의 거리(C)란, 제2 언판(18)의 최하부와 기판(30)의 최상부의 사이의 길이이고, 제2 언판(18)과 기판(30)과의 최단 거리이다. 도 1의 구성에서는 제2 언판(18)의 단부면(18c)와 기판(30)의 상면(30a)과의 최단 거리이다.
또, 제1 비드 단면적(S1)은 20mm2 이하인 것이 바람직하고, 또한 바(12)의 주행 방향(D1)의 상류 측(Du)의 단부면(12a)와, 제1 언판(16)의 최단 거리인 거리(B)가 0.05mm 이상 2mm 이하이며, 제1 언판(16)과 장척의 기판(30)과의 거리(A)가 0.2mm 이상 2mm 이하인 것이 바람직하다.
제1 비드 단면적(S1)을 20mm2 이하로 함으로써, 도포액(M)의 내압을 높일 수 있고, 에어 동반 시싱의 발생을 억제할 수 있다. 제1 비드 단면적(S1)이 20mm2를 초과하면, 도포액(M)의 내압을 높이기 어려워져, 에어 동반 시싱이 발생하기 쉬워진다.
바(12)의 주행 방향(D1)의 상류 측(Du)의 단부면(12a)와, 제1 언판(16)과의 거리(B)가 0.05mm 미만에서는, 바(12)와 제1 언판(16)의 사이의 슬릿(15)로부터 도포액(M)이 폭방향(D2)로 균일하게 공급되지 않는다.
한편, 제1 언판(16)과의 거리(B)가 2mm 이하를 초과하면, 도포액(M)의 내압을 높이기 어려워져, 에어 동반 시싱이 발생하기 쉬워진다. 보다 바람직하게는, 바(12)의 주행 방향(D1)의 상류 측(Du)의 단부면(12a)와, 제1 언판(16)과의 거리(B)는 0.1mm 이상 1mm 이하이다.
제1 언판(16)과 장척의 기판(30)과의 거리(A)가 0.2mm 미만에서는, 주행 방향(D1)의 상류 측(Du)로 흐르는 도포액(M)이 없어져, 도포액(M)의 액 단절이 발생하기 쉬워진다.
한편, 제1 언판(16)과 장척의 기판(30)과의 거리(A)가 2mm를 초과하면, 도포액(M)의 내압을 높이기 어려워져, 에어 동반 시싱이 발생하기 쉬워진다. 보다 바람직하게는, 제1 언판(16)과 장척의 기판(30)과의 거리(A)는 0.4mm 이상 1mm 이하이다.
또, 제1 언판(16)과 장척의 기판(30)과의 거리(A)란, 제1 언판(16)의 최하부와 기판(30)의 최상부와의 사이의 길이이며, 제1 언판(16)과 기판(30)과의 최단 거리이다. 도 1의 구성에서는 제1 언판(16)의 단부면(16c)와 기판(30)의 상면(30a)과의 최단 거리이다.
다음으로, 도포 장치(10)의 도포 방법에 대하여 설명한다.
도 3은 장척의 기판의 주행 상태를 나타내는 모식도이고, 도 4는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이며, 도 5는 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
공급부(22)로부터 공급관(20)을 통하여 도포액(M)을 공급하고, 송액 저류부(24)를 거쳐 슬릿(15)에 도포액(M)을 채운다. 그리고, 바(12)를 회전시킨다. 특정 주행 속도로, 주행 방향(D1)로 기판(30)을 연속 주행시키고, 연속 주행하는 기판(30)의 상면(30a)에 도포액(M)을 개재하여 바(12)를 접촉시킨다. 이로써, 기판(30)의 상면(30a)에 도포액(M)을 도포하고, 도포막(32)를 연속하여 형성할 수 있다.
도포 장치(10)에서는, 언판을 2단 마련함으로써, 기판(30)의 상면(30a)에 대한 도포액(M)의 도포의 균일성을 향상시킬 수 있고, 또 기판(30)의 주행 속도가 빠른 경우에도, 액 단절을 일으키지 않고 도포막(32)를 형성할 수 있다.
장척의 기판(30)에서는, 평면도가 나쁜 영역이 발생하는 경우가 있다. 예를 들면, 도 3에 나타내는 바와 같이, 장척의 기판(30)에 굴곡이 있는 경우, 볼록부(31a) 또는 오목부(31b)가 발생한다. 도포 장치(10)으로, 기판(30)의 상면(30a)에 도포액(M)을 도포하는 경우, 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판(30)의 볼록부(31a)가 제1 부분(G1)에 반송되고, 기판(30)의 상면(30a)가 제1 부분(G1)로 솟은 상태여도, 제2 부분(G2)로 도포액(M)이 이동하여 도포할 수 있어, 도포막(32)를 연속하여 형성할 수 있다.
또, 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판(30)의 오목부(31b)가 제1 부분(G1)에 반송되고, 기판(30)의 상면(30a)가 내려간 상태여도, 제1 부분(G1)에 도포액(M)이 남아 있기 때문에, 액 단절을 일으키지 않고 도포할 수 있어, 도포막(32)를 연속하여 형성할 수 있다.
이와 같이, 도포 장치(10)에서는, 기판(30)의 상태에 관계 없이, 액 단절이 되지 않고 도포막(32)를 연속하여 형성할 수 있다. 또한, 제1 언판(16)과 제2 언판(18)의 2단의 언판을 마련하고 있고, 제1 언판(16)은, 도포액(M)의 내압을 높이기 때문에, 상류 측(Du)로부터의 에어의 진입이 억제되고, 에어 동반 시싱을 억제한다.
또, 송액 저류부(24)를 마련하고 있고, 거품 시싱의 발생이 억제되어, 도포액(M)을 기판(30)의 폭방향(D2)로 균일하게 도포할 수 있다.
도포 장치(10)의 도포 방법에 대하여, 기판(30)의 상면(30a)에 도포하는 것에 대하여 설명했지만, 기판(30)의 횡면에도 상술과 같이 하여 도포할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 측판을 나타내는 모식적 사시도이다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 도포 장치(10)에서는, 단부(25)에 측판(26)을 마련하는 구성이어도 된다. 측판(26)을 마련함으로써, 도포액(M)의 이용 효율을 높일 수 있다. 한편, 측판(26)이 없으면 단부(25)로부터 흘러나오는 도포액(M)이 있어, 도포에 필요한 도포액(M)의 양이 많아진다.
측판(26)의 재질은 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 SUS(Steel Use Stainless) 등의 금속 또는 수지 등으로 구성된다.
다음으로, 도포 장치의 다른 예에 대하여 설명한다.
도 7은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 다른 예를 나타내는 모식도이고, 도 8은 본 발명의 실시형태의 도포 장치의 다른 예의 측판을 나타내는 모식적 사시도이다.
또한, 도 7 및 도 8에 나타내는 도포 장치(11)에 있어서, 도 1 및 도 2에 나타내는 도포 장치(10)과 동일 구성물에는 동일 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
도 7에 나타내는 도포 장치(11)은, 도 1에 나타내는 도포 장치(10)에 비하여, 송액 저류부(24)가 마련되지 않은 점이 다르고, 그 이외의 구성은 도 1에 나타내는 도포 장치(10)과 동일하기 때문에, 그 상세한 설명은 생략한다.
도포 장치(11)은, 도포액(M)의 액 단절에 대해서는, 상술한 도포 장치(10)과 동일한 효과를 얻을 수 있다. 송액 저류부(24)가 마련되어 있지 않기 때문에, 단부(25)(도 8 참조) 등에 공기가 체류한 공기 체류부(17)(도 8 참조)이 발생한다. 이 공기 체류부(17)(도 8 참조)에 송액계 등으로부터 반입되는 거품이 모이기 때문에, 거품 시싱을 억제하는 효과가 작다.
도포 장치(11)에서도, 도 8에 나타내는 바와 같이, 단부(25)에 측판(26)을 마련하는 구성이어도 된다. 측판(26)을 마련함으로써, 도포액(M)의 이용 효율을 높일 수 있다.
다음으로, 상술한 도포 장치(10, 11)에 이용되는 기판(30) 및 도포액(M)에 대하여 설명한다.
(기판)
기판으로서는, 유리재, 금속재, 합금재, 종이, 플라스틱 필름, 레진 코팅지, 합성지 및 천 등을 들 수 있다. 플라스틱 필름의 재질로서는, 예를 들면 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀, 폴리아세트산 바이닐, 폴리 염화 바이닐, 폴리스타이렌 등의 바이닐 중합체, 6,6-나일론, 6-나일론 등의 폴리아마이드, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌-2,6-나프탈레이트 등의 폴리에스터, 폴리카보네이트, 셀룰로스트라이아세테이트, 셀룰로스다이아세테이트 등의 셀룰로스아세테이트 등을 들 수 있다. 또, 레진 코팅지에 이용되는 수지로서는, 폴리에틸렌을 비롯한 폴리올레핀을 대표예로서 예시할 수 있다.
기판의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 0.01~1.5mm인 것이 취급성, 및 범용성의 관점에서 바람직하게 이용된다.
기판은, 장력을 가한 상태로 바에 도포액을 개재하여 접촉한다. 기판과 수평면이 이루는 각도는, 바의 상류 측 및 하류 측 중 어느 것에 있어서도 0°~10°인 것이 바람직하고, 0°~5°인 것이 보다 바람직하다. 기판의 각도를 상술한 범위로 함으로써, 도포면을 균일하게 할 수 있고, 또한 바의 마모 등을 억제할 수 있다.
기판의 형태로서는, 특별히 한정되는 것은 아니고, 시트 형상, 및 연속 띠 형상 등을 들 수 있다. 또한, 연속 띠 형상의 기판, 즉 장척의 기판을 웨브라고 한다.
(도포액)
도포액은, 각종 액상 물질이다.
도포액에 있어서, 용매는, 예를 들면 물, 및 유기 용제이다. 유기 용제는, 예를 들면 메틸에틸케톤(MEK), 메틸프로필렌글라이콜(MFG) 및 메탄올 등이다.
바인더는, 폴리유레테인, 폴리에스터, 폴리올레핀, 아크릴, 폴리바이닐알코올(PVA) 등의 폴리머 또는 모노머 등을 포함한다. 또, 도포액에는 고형분으로서, 예를 들면 산화 규소 입자 및 산화 타이타늄 입자 등을 포함해도 된다.
도포액의 점도는, 7×10-4~0.4Pa·s(0.7~400cP(센티푸아즈)), 도포량은 0.1~200mL(밀리리터)/m2(1~200cc/m2), 도포 속도는 1~400m/분에 있어서 적용 가능하다.
바람직하게는, 점도는 1×10-3~0.1Pa·s(1~100cP)이고, 도포량은 1~100mL/m2(1~100cc/m2)이며, 도포 속도는 1~200m/분이다.
또, 도포액으로서는, 상술한 것 외에, 기판에 도포하고, 건조시켜 피막을 형성하는 데에 사용되는 용액을 들 수 있다. 구체적으로는, 감광층 형성액 및 감열층 형성액 외에, 기판의 표면에 중간층을 형성하여 제판층(製版層)의 접착을 개선하는 중간층 형성액, 평판 인쇄 원판 기판의 제판면을 산화로부터 보호하는 폴리바이닐알코올 수용액, 사진 필름에 있어서의 감광층을 형성하는 데에 사용되는 사진 필름용 감광제 콜로이드액, 인화지의 감광층의 형성에 사용되는 인화지용 감광제 콜로이드액, 녹음 테이프, 비디오 테이프, 및 플로피 디스크의 자성층의 형성에 사용되는 자성층 형성액과, 금속의 도장에 사용되는 각종 도료 등을 들 수 있다.
(용도)
도포 장치 및 도포 방법은, 금속, 종이, 천, 및 필름 등에 바를 이용하여 액막을 도포하여 제품을 제작하는 모든 분야에 적용 가능하고, 용도는 특별히 한정되는 것은 아니다.
도포 장치 및 도포 방법의 용도로서는, 예를 들면 사진 필름 등의 감광 재료의 제조, 녹음 테이프 등의 자기(磁氣) 기록 재료의 제조, 및 컬러 철판 등의 도장 금속 박판의 제조 등, 바를 이용하여 도포를 행하는 경우에 사용할 수 있다. 따라서, 기판으로서는, 종래 기술의 란에서 설명한 지지체 기판 외에, 지지체 기판의 연마한 측의 면에 감광성 또는 감열성의 제판면을 형성한 평판 인쇄 원판 기판, 사진 필름용 기재, 인화지용 바리타지(Baryta paper), 녹음 테이프용 기재, 비디오 테이프용 기재, 플로피(등록 상표) 디스크용 기재 등, 금속, 플라스틱, 또는 종이 등으로 이루어지며, 연속한 띠 형상이고, 또한 가요성을 갖는 기재 등을 들 수 있다.
또, 도포액으로서는, 상술한 것 외에, 기판에 도포하고, 건조시켜 피막을 형성하는 데에 사용되는 용액을 들 수 있으며, 구체적으로는, 감광층 형성액 및 감열층 형성액 외에, 기판의 표면에 중간층을 형성하여 제판층의 접착을 개선하는 중간층 형성액, 평판 인쇄 원판 기판의 제판면을 산화로부터 보호하는 폴리바이닐알코올 수용액, 사진 필름에 있어서의 감광층을 형성하는 데에 사용되는 사진 필름용 감광제 콜로이드액, 인화지의 감광층을 형성하는 데에 사용되는 인화지용 감광제 콜로이드액, 녹음 테이프, 비디오 테이프, 플로피 디스크의 자성층을 형성하는 데에 사용되는 자성층 형성액, 및 금속의 도장에 사용되는 각종 도료 등을 들 수 있다.
또, 도포 장치 및 도포 방법을 이용함으로써, 기판의 양면에 도포면을 효율적으로 형성하는 것이 가능해진다. 종래는, 균일한 도포막을 형성하는 경우에는, 하면 도포 장치가 이용되는 경우가 많아, 이 경우, 제1 하면 도포 공정을 마련한 후, 기판 반송 롤로 반송 방향을 변경하고, 다시 제2 하면 도포 공정을 마련할 필요가 있었다. 이로 인하여, 양면에 도포면을 형성할 때까지의 반송 거리가 길어져, 넓은 도포액의 도포 공간을 필요로 하고 있었다.
그러나, 도포 장치 및 도포 방법을 이용함으로써, 상면 도포에 있어서도 균일한 도포막을 형성하는 것이 가능해졌다. 이로 인하여, 기판의 양면에 도포면을 형성하는 경우, 종래의 하면 도포와 상술한 도포 장치를 이용한 상면 도포를 동시에 행할 수 있어, 도포 공간을 공간 절약화할 수 있다. 이로써, 제막 공정을 간략화할 수 있고, 제조 비용을 억제하는 것도 가능해진다.
여기에서, 도 9는 도포액의 액 단절을 설명하기 위한 모식도이고, 도 10은 에어 동반에 의한 시싱을 설명하기 위한 모식도이며, 도 11은 도포액의 액 단절 및 에어 동반에 의한 시싱을 포함하는 도포 결과를 나타내는 모식적 평면도이다.
또한, 도 9에 나타내는 도포 장치(100) 및 도 10에 나타내는 도포 장치(101)에 있어서, 도 7에 나타내는 도포 장치(11)과 동일 구성물에는 동일 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.
도 9에 나타내는 도포 장치(100)은, 도 7에 나타내는 도포 장치(11)에 비하여, 제1 언판(16)만 마련되어 있고, 언판이 1단(段)의 구성인 점이 다르며, 그 이외의 구성은 도 7에 나타내는 도포 장치(11)과 동일하기 때문에, 그 상세한 설명은 생략한다.
도포 장치(100)에서는, 평면도가 나쁜 기판(30)이 반송되면, 기판과 제1 언판(16)의 단부면(16c)의 클리어런스가 넓은 곳으로 도포액(M)이 넘쳐나와, 기판(30)의 상면(30a)에 도포액(M)이 공급되지 않고 액 단절을 일으킨다. 그 결과, 도 11에 나타내는 바와 같이, 도포막(32) 내에 막이 없는 영역(33a)가 발생한다.
도 10에 나타내는 도포 장치(101)은, 도 7에 나타내는 도포 장치(11)에 비하여, 제1 언판(16)만 마련되어 있고, 언판이 1단의 구성인 점, 및 거리(A)가 긴 점이 다르며, 그 이외의 구성은 도 7에 나타내는 도포 장치(11)과 동일하기 때문에, 그 상세한 설명은 생략한다.
도포 장치(101)과 같이, 도포액(M)의 액 단절을 방지하기 위하여 거리(A)를 길게 하면, 제1 언판(16)의 단부면(16c)와 기판(30)의 상면(30a)의 사이로부터 에어가 들어간다. 이 에어의 압력(VP)가, 도포액(M)의 기판(30)의 상면(30a)에 대한 압력(P) 이상인 경우, 외부로부터 제1 언판(16)의 단부면(16c)와 기판(30)의 상면(30a)의 사이를 거쳐 에어가 도포액(M) 내로 들어가, 에어 동반에 의한 시싱이 발생한다. 그 결과, 도 11에 나타내는 바와 같이, 도포막(32)가 불연속이 되어, 막이 형성되지 않는 영역(33)이 주행 방향(D1)을 따라 간헐적으로 발생한다. 에어 동반에 의한 시싱에서는, 막이 형성되지 않는 영역뿐만 아니라, 도포막(32)의 막두께가 부분적으로 얇아지는 것도 포함된다. 또한, 상술한 에어의 압력(VP)를, 동반 에어 압력이라고도 한다.
본 발명은, 기본적으로 이상과 같이 구성되는 것이다. 이상, 본 발명의 도포 장치 및 도포 방법에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 벗어나지 않는 범위에 있어서, 다양한 개량 또는 변경을 해도 되는 것은 물론이다.
실시예
이하에 실시예를 들어 본 발명의 특징을 더 구체적으로 설명한다. 이하의 실시예에 나타내는 재료, 시약, 사용량, 물질량, 비율, 처리 내용, 처리 절차 등은, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한 적절히 변경할 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 이하에 나타내는 구체예에 의하여 한정적으로 해석되어야 할 것은 아니다.
본 실시예에서는, 실시예 1~7 및 비교예 1의 도포 장치를 이용하여, 기판에 도포액을 도포하고, 그 도포를 평가했다.
도포 장치는, 바 직경을 직경 10mm로 하고, 폭을 800mm로 했다. 또, 바 회전수를 1500회전/분(rpm)으로 했다. 도포는, 1차 측 기판 진입 각도를 5°로 하고, 정상부(定常部)의 막두께가 5μm가 되도록 행했다. 또한, 1차 측 기판 진입 각도란, 기판이 바의 상류 측으로부터 진입하는 각도이다.
기판에는, 폭이 700mm인 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름을 이용했다.
도포액에는, 폴리에스터 수지, 가교제, 및 계면활성제를 물에 용해하여 조제한 것을 이용했다. 또한, 도포액은 조성물량을 조정하고, 점도가 2mPa·s가 되도록 했다. 도포액의 표면 장력은 40mN/m였다.
도포의 평가에 대해서는, 액 단절, 에어 동반 시싱, 및 거품 시싱을 평가했다.
액 단절은, 기판의 주행 속도를 40m/분~100m/분의 사이로 변경하고, 액 단절의 한계 속도를 조사했다. 즉, 어떤 주행 속도에서 액 단절이 발생하는지를 조사했다. 액 단절에 대해서는, 도포 후의 도포막을 1분간 육안으로 관찰하고, 이하에 나타내는 액 단절 평가 기준으로 평가했다.
액 단절 평가 기준
A: 주행 속도 60m/분 초과 100m/분 이하
B: 주행 속도 40m/분 초과 60m/분 이하
C: 주행 속도 40m/분 이하
에어 동반 시싱은, 주행 속도 100m/분으로 도포를 행하여, 도포 후의 도포막을 1분간 육안으로 관찰하고, 도포막에 대하여 시싱의 유무를 조사했다. 1분간의 관찰 내에서, 시싱이 있는 것을 "유"라고 하고, 시싱이 없는 것을 "무"라고 평가했다.
거품 시싱은, 주행 속도 100m/분으로 도포를 행하여, 도포 후의 도포막을 1분간 육안으로 관찰하고, 도포막에 대하여 시싱의 유무를 조사했다. 1분간의 관찰 내에서, 시싱이 있는 것을 "유"라고 하고, 시싱이 없는 것을 "무"라고 평가했다.
실시예 1의 도포 장치는 도 7에 나타내는 구성으로 하고, 실시예 2~7의 도포 장치는 도 1에 나타내는 구성으로 했다. 비교예 1의 도포 장치는 도 9에 나타내는 구성으로 했다.
이하, 실시예 1~7 및 비교예 1에 대하여 설명한다.
(실시예 1)
실시예 1은, 제1 언판(16)과 기판(30)과의 거리(A)를 0.5mm로 하고, 주행 방향(D1)의 상류 측의 단부면(12a)와 제1 언판(16)과의 최단 거리인 거리(B)를 0.2mm로 하며, 제2 언판(18)과 기판(30)과의 거리(C)를 0.5mm로 했다.
제1 비드 단면적(S1)을 13mm2로 하고, 제2 비드 단면적(S2)를 10mm2로 하며, 제1 비드 단면적(S1)과 제2 비드 단면적(S2)의 합계의 비드 총 단면적을 23mm2로 했다. 또, 도포 가능한 최저의 송액량을 조사한바, 500mL/분이었다.
도포 가능한 최저의 송액량(이하, 도포 가능 최저 송액량이라고 함)이란, 주행 속도 100m/분하로 도포 장치폭의 단부를 도포할 수 있는 최저의 송액량을 나타낸다.
(실시예 2)
실시예 2는, 송액 저류부를 갖는 구성인 점 이외에는, 실시예 1과 동일하게 했다.
(실시예 3)
실시예 3은, 거리(A)가 2.5mm이고, 제1 비드 단면적(S1)이 24mm2이며, 비드 총 단면적이 34mm2인 점 이외에는, 실시예 2와 동일하게 했다.
(실시예 4)
실시예 4는, 거리(B)가 2.5mm이고, 제1 비드 단면적(S1)이 23mm2이며, 비드 총 단면적이 33mm2인 점 이외에는, 실시예 2와 동일하게 했다.
(실시예 5)
실시예 5는, 제2 비드 단면적(S2)가 5mm2이고, 비드 총 단면적이 18mm2인 점 이외에는, 실시예 2와 동일하게 했다.
(실시예 6)
실시예 6은, 거리(C)가 5.5mm이고, 제2 비드 단면적(S2)가 13mm2이며, 비드 총 단면적이 26mm2인 점 이외에는, 실시예 2와 동일하게 했다.
(실시예 7)
실시예 7은, 측판을 갖고, 도포 가능 최저 송액량이 400mL/분인 점 이외에는, 실시예 2와 동일하게 했다.
(비교예 1)
비교예 1은, 제2 언판(18)이 마련되지 않고, 제1 비드 단면적(S1)을 13mm2로 한 점 이외에는, 실시예 1과 동일하게 했다. 또한, 비교예 1은, 언판이 1단인 구성이며, 제2 비드 단면적(S2)가 없다.
[표 1]
표 1에 나타내는 바와 같이, 실시예 1~7은, 액 단절에 대하여 양호한 결과가 얻어졌다. 측판을 갖는 실시예 2~7은 거품 시싱에 대하여 양호한 결과가 얻어졌다.
실시예 3은 거리(A)가 크고, 실시예 4는 거리(B)가 크며, 에어 동반 시싱의 평가가 뒤떨어졌다.
실시예 5는 비드 총 단면적이 작고, 실시예 6은 거리(C)가 크며, 액 단절의 평가가 약간 뒤떨어졌다.
실시예 7은, 도포 가능 최저 송액량이 적어도 액 단절, 에어 동반 시싱 및 거품 시싱에 대하여 양호한 결과가 얻어졌다.
비교예 1은, 언판이 1단의 구성이며, 액 단절의 평가가 뒤떨어졌다. 또, 측판이 없기 때문에, 거품 시싱의 평가도 뒤떨어졌다.
10, 11, 100, 101 도포 장치
12 바
12a 단부면
14 본체 블록
15 슬릿
16 제1 언판
16a, 18a 돌출부
16b, 18b 측면
16c, 18c 단부면
17 공기 체류부
18 제2 언판
20 공급관
22 공급부
24 송액 저류부
25 단부
26 측판
30 기판
30a 상면
31a 볼록부
31b 오목부
32 도포막
33, 33a 영역
A 거리
B 거리
C 거리
D1 주행 방향
D2 폭방향
D3 높이 방향
Du 상류 측
G1 제1 부분
G2 제2 부분
M 도포액
P 압력
PL 평면
VP 에어의 압력
12 바
12a 단부면
14 본체 블록
15 슬릿
16 제1 언판
16a, 18a 돌출부
16b, 18b 측면
16c, 18c 단부면
17 공기 체류부
18 제2 언판
20 공급관
22 공급부
24 송액 저류부
25 단부
26 측판
30 기판
30a 상면
31a 볼록부
31b 오목부
32 도포막
33, 33a 영역
A 거리
B 거리
C 거리
D1 주행 방향
D2 폭방향
D3 높이 방향
Du 상류 측
G1 제1 부분
G2 제2 부분
M 도포액
P 압력
PL 평면
VP 에어의 압력
Claims (6)
- 특정 주행 방향으로 연속 주행하는 장척의 기판의 상면 또는 횡면에 도포액을 도포하는 도포 장치로서,
상기 주행 방향으로 연속 주행하는 장척의 상기 기판의 상기 상면 또는 상기 횡면에 상기 도포액을 개재하여 접촉 가능하고, 또한 회전하는 바와,
상기 바에 대하여 장척의 상기 기판의 상기 주행 방향의 상류에 마련되며, 상기 도포액을 상기 바와의 사이를 통과시켜, 장척의 상기 기판으로 유통시키는 언판을 적어도 2단 갖고,
적어도 2단의 상기 언판은 상기 주행 방향을 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 바와, 상기 언판 중 상기 바에 가장 가까운 언판과, 장척의 상기 기판으로 둘러싸인 제1 부분의, 상기 주행 방향과 높이 방향으로 구성되는 평면에 있어서의 단면적을 제1 비드 단면적으로 하고,
상기 바에 가장 가까운 상기 언판과, 상기 언판 중 상기 주행 방향의 최상류 측의 언판과, 장척의 상기 기판으로 둘러싸인 제2 부분의, 상기 주행 방향과 상기 높이 방향으로 구성되는 평면에 있어서의 단면적을 제2 비드 단면적으로 할 때,
상기 제1 비드 단면적과 상기 제2 비드 단면적의 합계가 20mm2 이상이며,
최상류 측의 상기 언판과, 장척의 상기 기판과의 거리가 0mm 이상 5mm 이하이고,
상기 높이 방향은, 상기 기판의 상기 상면 또는 상기 횡면에 수직인 방향인 도포 장치. - 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 바와, 상기 언판 중 상기 바에 가장 가까운 언판과, 장척의 상기 기판으로 둘러싸인 제1 부분의, 상기 주행 방향과 높이 방향으로 구성되는 평면에 있어서의 단면적을 제1 비드 단면적으로 할 때, 상기 제1 비드 단면적이 20mm2 이하이고,
상기 바의 상기 주행 방향의 상류 측의 단부면과, 상기 바에 가장 가까운 상기 언판과의 최단 거리가 0.05mm 이상 2mm 이하이며,
상기 바에 가장 가까운 상기 언판과, 장척의 상기 기판과의 거리가 0.2mm 이상 2mm 이하이고,
상기 높이 방향은, 상기 기판의 상기 상면 또는 상기 횡면에 수직인 방향인 도포 장치. - 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 바를 회전 가능하게 지지하는 본체 블록을 갖고,
상기 본체 블록 또는 상기 언판에 상기 도포액을 저류하는 송액 저류부를 갖는 도포 장치. - 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 바와 적어도 2단의 상기 언판의, 상기 주행 방향과 상기 기판의 상기 상면 또는 상기 횡면 내에서 직교하는 폭방향의 단부에, 측판이 마련되어 있는 도포 장치. - 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 도포 장치를 이용하여, 연속 주행하는 장척의 기판의 상면 또는 횡면에 도포액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
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- 2019-03-14 US US16/353,650 patent/US20190210057A1/en not_active Abandoned
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