JP5426511B2 - 封止用エポキシ樹脂組成物シート及びこれを用いて封止した中空型デバイス - Google Patents
封止用エポキシ樹脂組成物シート及びこれを用いて封止した中空型デバイス Download PDFInfo
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1)200±20μmtにラミネート積層させたシートサンプルを6cmφの金型で打ち抜き加工し、得られた製品PETを剥がした状態のものを試験片7として準備する。
2)1)で準備した試験片7の上下を、厚み75μm、200mm角の離型PETフィルム8で積層し、さらにその上下に厚み1.8mm、200mm角のSUSプレート9を積層する。
3)2)で積層したサンプルセットを、プレス熱盤温度を135±2℃に設定した熱盤10により、大気圧下で、実圧2Mpa、10分間上下からプレスして成型を行う。
4)成型後の試験片の面積を画像処理により計算して算出する。
5)下記式(1)により2回の測定値を算出してその平均値をグリニス値とする。なお、成型前の6cmφの試験片面積を28.26cm2(3cm×3cm×3.14)とする。
本発明の封止用エポキシ樹脂組成物シートは、中空部を有する中空型デバイスに好適に適用することができ、これらの中空型デバイスであれば種類を問わず適用することができる。
<封止用エポキシ樹脂組成物シートの作製>
表1に示す各成分の所定量(質量%)をメチルエチルケトンに溶解、分散させ、樹脂ワニスを調製した。なお、表1に示す樹脂ワニスは、シート状樹脂層(A層)用とシート状樹脂層(B層)用のものをそれぞれ別々に調整した。
(1)樹脂
エポキシ樹脂1:ビスフェノールA型エポキシ樹脂 大日本インキ化学社製 エピクロン840S
エポキシ樹脂2:フェノールビフェニルアラルキルエポキシ樹脂 日本化薬社製 NC3000
(2)硬化剤
硬化剤1:ジシアンジアミド 日本カーバイド社製
硬化剤2:ノボラック型フェノール樹脂 明和化成社製 DL−75
(3)硬化促進剤
2−エチル−4−メチルイミダゾール:四国化成社製 2E4MZ
(4)無機充填材
無機充填材1:球状シリカ(平均粒子径3μm)
無機充填材2:破砕シリカ(平均粒子径3μm)
無機充填材3:球状アルミナ(平均粒子径3μm)
(5)エラストマー
ブタジエン系ランダム共重合ゴム:アクリロニトリルブタジエンゴム JSR社製 XERシリーズ(重量平均分子量:20000、300000、1000000)
(6)添加剤
カップリング剤:信越化学工業社製 KBM803
<中空型デバイスの封止>
<評価方法>
(1)チップ下部への樹脂侵入の有無
個片化した各パッケージの断面観察を行い、チップ下部の中空部分への樹脂侵入の有無を確認した。
表1に示す実施例1〜5及び比較例1〜5の封止用エポキシ樹脂組成物シートを用いて個片化した各パッケージについて、外観の状態を目視により確認した。
2:配線回路基板
3:接続用電極部(バンプ)
4:封止用樹脂
5:中空部
6:表面の膨れ
7:試験片
8:離型PETフィルム
9:SUSプレート
10:熱盤
Claims (7)
- エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、無機充填材を必須成分とするエポキシ樹脂組成物であって、無機充填材の配合量が全エポキシ樹脂組成物中の70〜90質量%であり、かつ平均粒子径が0.2〜10μmであり、エラストマー成分を含有した封止用エポキシ樹脂組成物を、半硬化状態のシート状樹脂層(A層)に成形し、このシート状樹脂層(A層)に、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、無機充填材を必須成分とし、無機充填材の配合量が全エポキシ樹脂組成物中の70〜90質量%である封止用エポキシ樹脂組成物を、前記シート状樹脂層(A層)よりも流動性の高い半硬化状態に成形したシート状樹脂層(B層)を積層したことを特徴とする封止用エポキシ樹脂組成物シート。
- 前記エラストマー成分が、重量平均分子量20000〜1000000の範囲内の、ポリブタジエン又はブタジエン系ランダム共重合ゴムであることを特徴とする請求項1に記載の封止用エポキシ樹脂組成物シート。
- 前記エラストマー成分が、エポキシ樹脂組成物全量に対して0.1〜0.5質量%配合してなることを特徴とする請求項1又は2に記載の封止用エポキシ樹脂組成物シート。
- 前記シート状樹脂層(B層)に配合する前記無機充填材の平均粒子径が0.2〜10μmであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物シート。
- 前記シート状樹脂層(A層)の厚みが20〜300μmであることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物シート。
- 前記シート状樹脂層(A層)の厚みが20〜200μmであり、前記シート状樹脂層(A層)と前記シート状樹脂層(B層)の厚みの合計が50〜300μmであることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物シート。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の封止用エポキシ樹脂組成物シートをもって封止されていることを特徴とする中空型デバイス。
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