JP5180162B2 - 電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物およびそれにより得られた電子部品装置集合体ならびに電子部品装置 - Google Patents

電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物およびそれにより得られた電子部品装置集合体ならびに電子部品装置 Download PDF

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Description

本発明は、大面積を反りなく樹脂封止することができる電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物に関する。
半導体素子、コンデンサおよびセンサーデバイス等の電子部品の封止は、粉末状エポキシ樹脂組成物によるトランスファー封止や液状エポキシ樹脂組成物によるポッティング等によって行われているが、より簡便に樹脂封止するために、基板上に搭載した複数個の電子部品を、シート状エポキシ樹脂組成物を用いて一度に樹脂封止することが提案されている(特許文献1,2)。
特開2004−327623号公報 特開2006−19714号公報
しかし、上記シート状エポキシ樹脂組成物は、製造効率をより高めるためのさらなる封止面積の大面積化に十分に対応できるものではなく、基板に反りが生じる可能性がある。この反りは、搬送トラブルの要因となる。
また、上記シート状エポキシ樹脂組成物は、ポッティング用の液状エポキシ樹脂組成物と比べて溶融粘度が高くなるため、電子部品と基板の間の狭いギャップに樹脂組成物が充填されにくい。ギャップに未充填部分があると、後に行われるリフロー時のクラックの要因となる。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、大面積を封止しても封止後の基板の反りを低減し、さらには電子部品と基板の間のギャップへの充填性に優れた樹脂封止が可能となる電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物の提供、およびそれにより得られる電子部品装置集合体ならびに電子部品装置の提供をその目的とする。
上記の問題を解決するために、本発明は、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物であって、下記A〜E成分を含有し、かつC成分の含有量がシート状エポキシ樹脂組成物全体の15〜30重量%であることを特徴としている。
A:アセタール基を含有するエポキシ樹脂
B:フェノール樹脂
C:エラストマー
D:無機質充填剤
E:イミダゾール化合物
本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物は、封止面積が大面積であっても基板の反りを抑えるとともに、電子部品と基板の間のギャップへの充填性に優れた樹脂封止が可能となる。
また、イミダゾール化合物(E成分)として下記の式(1)で表される化合物を用いると、上記のような樹脂封止が可能となるだけでなく、さらに保存安定性に優れた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物とすることができる。
Figure 0005180162
本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を用いて得られる電子部品装置集合体の厚み方向における断面図の一例である。
つぎに、本発明の実施の形態について詳しく説明する。
本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物は、下記A〜E成分を含有し、かつC成分の含有量をシート状エポキシ樹脂組成物全体の15〜30重量%としたものである。
A:アセタール基を含有するエポキシ樹脂
B:フェノール樹脂
C:エラストマー
D:無機質充填剤
E:イミダゾール化合物
アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)は、アセタール基を含有するエポキシ樹脂であれば特に限定されるものではない。例えば、変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂およびフェノキシ樹脂等の各種のエポキシ樹脂にアセタール基を導入したものを用いることができる。これらエポキシ樹脂は単独で用いてもよいし2種以上併用してもよい。中でも、液体状で取り扱いが容易であるという観点から、アセタール基を有する変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂を用いることが好ましい。なお、アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)とアセタール基を含有しないエポキシ樹脂を併用してもよい。
アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)と併用するエポキシ樹脂は、特に限定されるものではない。例えば、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂およびフェノキシ樹脂等の各種のエポキシ樹脂を用いることができる。
アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)の含有量は、シート状エポキシ樹脂組成物全体に対して3〜10重量%にすることが好ましい。3重量%未満ではシート状エポキシ樹脂組成物の可撓性を得るのが困難となり、10重量%を超えると樹脂封止後のダイシングにおいて樹脂バリやダイシングテープの糊残りなどが起こる傾向がみられるためである。
フェノール樹脂(B成分)は、アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)との間で硬化反応を生起するものであれば特に限定するものではない。例えば、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、クレゾールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂等が用いられる。これらフェノール樹脂は単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。そして、フェノール樹脂(B成分)は、水酸基当量が70〜250、軟化点が50〜110℃のものを用いることが好ましく、中でも硬化反応性が高いという観点から、ノボラック型フェノール樹脂を好適に用いることができる。また、信頼性の観点から、フェノールアラルキル樹脂やビフェニルアラルキル樹脂のような低吸湿性のものを好適に用いることができる。
そして、アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)とフェノール樹脂(B成分)の配合割合は、アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)中のエポキシ基1当量に対して、フェノール樹脂(B成分)中の水酸基の合計が0.7〜1.5当量となるように配合することが好ましく、0.9〜1.2当量がより好ましい。
アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)およびフェノール樹脂(B成分)とともに用いられるエラストマー(C成分)は、シート状エポキシ樹脂組成物に柔軟性および可撓性を付与するものであり、このような作用を奏するものであれば特にその構造を限定するものではない。例えば、ポリアクリル酸エステル等の各種アクリル系共重合体、スチレンアクリレート系共重合体、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム(SBR)、エチレン−酢酸ビニルコポリマー(EVA)、イソプレンゴム、アクリロニトリルゴム等のゴム質重合体を用いることができる。中でも、エポキシ樹脂(A成分)へ分散させやすく、またエポキシ樹脂(A成分)との反応性も高いために、得られるエポキシ樹脂組成物の耐熱性や強度を向上させることができるという観点から、アクリル系共重合体を用いることが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上併せて用いてもよい。アクリル系共重合体は、例えば、所定の混合比にしたアクリルモノマー混合物を、常法によってラジカル重合することにより合成することができる。ラジカル重合の方法としては、有機溶剤を溶媒に行う溶液重合法や、水中に原料モノマーを分散させながら重合を行う懸濁重合法が用いられる。その際に用いる重合開始剤としては、例えば、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル、その他のアゾ系またはジアゾ系重合開始剤、ベンゾイルパーオキサイドおよびメチルエチルケトンパーオキサイド等の過酸化物系重合開始剤等が用いられる。なお、懸濁重合の場合は、例えばポリアクリルアミド、ポリビニルアルコールのような分散剤を加えることが望ましい。
エラストマー(C成分)の含有量は、シート状エポキシ樹脂組成物全体の15〜30重量%である。エラストマー(C成分)の含有量が15重量%未満では、シート状エポキシ樹脂組成物の柔軟性および可撓性を得るのが困難となり、さらには基板の反りを抑えた樹脂封止も困難となる。逆に30重量%を超えると、シート状エポキシ樹脂組成物の溶融粘度が高くなるために、電子部品と基板の間のギャップに樹脂が充填されにくくなるとともに、シート状エポキシ樹脂組成物の硬化体の強度および耐熱性が低下する傾向がみられる。
また、エラストマー(C成分)のアセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)に対する重量比率(C成分の重量/A成分の重量)は、3〜4.7の範囲に設定することが好ましい。重量比率が3未満の場合は、シート状エポキシ樹脂組成物の流動性をコントロールすることが困難となり、4.7を超えるとシート状エポキシ樹脂組成物の基板への接着性が劣る傾向がみられるためである。
無機質充填剤(D成分)は、特に限定されるものではなく、従来公知の各種充填剤を用いることができる。例えば、石英ガラス、タルク、シリカ(溶融シリカや結晶性シリカ等)、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素等の粉末が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。中でも、エポキシ樹脂組成物の硬化体の熱線膨張係数が低減することにより内部応力を低減し、その結果、封止後の基板の反りを抑制できるという点から、シリカ粉末を用いることが好ましく、シリカ粉末の中でも溶融シリカ粉末を用いることがより好ましい。溶融シリカ粉末としては、球状溶融シリカ粉末、破砕溶融シリカ粉末が挙げられるが、流動性という観点から、球状溶融シリカ粉末を用いることが特に好ましい。中でも、平均粒径が0.1〜30μmの範囲のものを用いることが好ましく、0.3〜15μmの範囲のものを用いることが特に好ましい。なお、平均粒径は、例えば、母集団から任意に抽出される試料を用い、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いて測定することにより導き出すことができる。
無機質充填剤(D成分)の含有量は、好ましくはエポキシ樹脂組成物全体の50〜80重量%であり、より好ましくは55〜75重量%であり、さらに好ましくは60〜70重量%である。すなわち、無機質充填剤(D成分)の含有量が50重量%未満では、エポキシ樹脂組成物の硬化体の線膨張係数が大きくなるために、硬化体の反りが大きくなる傾向がみられる。一方、80重量%を超えると、シート状エポキシ樹脂組成物の柔軟性や流動性が悪くなるために、電子部品や基板との接着性が低下する傾向がみられる。
イミダゾール化合物(E成分)としては、アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)とフェノール樹脂(B成分)との硬化反応を促進させるものであれば、特に限定するものではなく、イミダゾール化合物のみならず、その酸付加物を用いてもよい。これらは単独で用いても、2種以上併せて用いてもよい。イミダゾール化合物(E成分)を用いることにより、比較的低温で樹脂封止することが可能であり、また基板の反りを抑えた樹脂封止も可能となる。中でも、シート状エポキシ樹脂組成物の保存安定性という観点から、下記の式(1)で表されるイミダゾール化合物を用いることが好ましい。
Figure 0005180162
イミダゾール化合物(E成分)の含有量は、シート状エポキシ樹脂組成物全体の0.1〜10重量%とすることが好ましく、0.3〜3重量%がより好ましく、0.5〜2重量%がさらに好ましい。0.1重量%未満では、硬化反応が非常に進行しにくくなり、10重量%を超えると、低温でも硬化反応が進行してシート状エポキシ樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向がみられるからである。
本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物は、例えば、つぎのようにして製造することができる。まず、各配合成分を混合することによりシート状エポキシ樹脂組成物を調製するが、各配合成分が均一に分散混合される方法であれば特に限定するものではない。そして、必要に応じて各配合成分を有機溶剤等に溶解または分散してワニス塗工により製膜する。あるいは、各配合成分を直接ニーダー等で混練することにより固形樹脂組成物を調製し、このようにして得られた固形樹脂組成物をシート状に押し出して製膜成形してもよい。中でも、簡便に均一な厚みのシートを得ることができるという点から、ワニス塗工法を用いることが好ましい。
ワニス塗工法による本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物の作製について述べる。すなわち、上記A〜E成分および必要に応じて他の添加剤を常法に準じて適宜混合し、有機溶剤に均一に溶解あるいは分散させ、ワニスを調製する。ついで、得られたワニスをポリエステル等の基材上に塗布し乾燥させることにより電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を得ることができる。そして必要により、シート表面を保護するためにポリエステルフィルム等のフィルムを貼り合わせてもよい。これらポリエステル等の基材およびポリエステルフィルム等のフィルムは、樹脂封止時に剥離する。
有機溶剤としては、特に限定するものではなく従来公知の各種有機溶剤、例えばメチルエチルケトン、アセトン、ジオキサン、ジエチルケトン、トルエン、酢酸エチル等を用いることができる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上併せて用いてもよい。また通常、ワニスの固形分濃度が30〜60重量%の範囲となるように有機溶剤を用いることが好ましい。
有機溶剤乾燥後のシートの厚みは、特に制限されるものではないが、厚みの均一性と残存溶剤量の観点から、通常、5〜100μmに設定することが好ましく、より好ましくは20〜70μmである。このようにして得られた本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物は、必要により所望の厚みとなるように積層して使用してもよい。すなわち、本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物は、単層構造にて使用してもよいし、2層以上の多層構造に積層してなる積層体として使用してもよい。
このようにして得られる本発明の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を用いることにより、基板上に搭載された複数個の電子部品を一括で樹脂封止することが可能となる。基板上に搭載された複数個の電子部品を一括で樹脂封止するには、例えば、つぎのようにして行われる。すなわち、基板上の所定位置に複数個の電子部品を搭載した後に、基板上の複数個の電子部品を覆うように電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を配置する。電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を配置後、所定の封止条件にてシートを熱硬化することにより樹脂封止して、電子部品装置集合体を得る。ついで、電子部品装置集合体の樹脂封止面にダイシングテープを貼り、ダイシングして、個々の電子部品装置を得る。
上記封止条件としては、例えば、温度70〜120℃、圧力100〜500kPaにて0.5〜5分間プレスを行い、ついで、プレスの圧力を開放して温度150〜190℃にて30〜120分間加熱することで電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を硬化させる。また、電子部品および基板の凹凸形状に対する電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物の追従性という観点から、上記プレスを真空度50〜1000Paの条件下で行うことが好ましい。
図1にこのようにして得られる電子部品装置集合体の厚み方向における断面図の一例を示す。電子部品1に設けられた接続用電極3と基板2に設けられた接続用電極(図示せず)が接続された状態で、基板2上に複数個の電子部品1が設置されている。この時、各電子部品1は、その面積や厚み、機能が異なっていてもよい。また、電子部品1と基板2との接続方式については特に限定されるものではなく、接続用電極3として、例えば、金属バンプや半田電極等を用いることができる。そして、基板2上に搭載された複数個の電子部品1を覆うように、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を硬化してなる封止樹脂層4が形成されて電子部品1が封止されており、電子部品1と基板2の間のギャップ5にも樹脂が充填されている。
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。
まず、下記に示す各成分を準備した。
〔アセタール基を含有するエポキシ樹脂〕
変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC株式会社、EPICLON EXA−4850−150)
〔エポキシ樹脂a〕
トリフェニルメタン型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社、EPPN−501HY)
〔エポキシ樹脂b〕
変性ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン株式会社、YL7175−500)
〔フェノール樹脂〕
ノボラック型フェノール樹脂(荒川化学工業株式会社、P−200)
〔エラストマー〕
アクリル系共重合体(ブチルアクリレート:アクリロニトリル:グリシジルメタクリレート=85:8:7重量%からなる共重合体。重量平均分子量80万)
上記アクリル系共重合体は次のように合成した。ブチルアクリレート、アクリロニトリル、グリシジルメタクリレートを85:8:7の仕込み重量比率にて、2,2’−アゾビスイソブチロニトリルを重合開始剤に用い、メチルエチルケトン中で窒素気流下、70℃で5時間と80℃で1時間のラジカル重合を行うことにより、目的とするアクリル系共重合体を得た。
〔イミダゾール化合物a〕
2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(式(2)で表される化合物であり、式(1)においてR1およびR2がメチロール基である。)
Figure 0005180162
〔イミダゾール化合物b〕
2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール(式(3)で表される化合物であり、式(1)においてR1がメチル基であり、R2がメチロール基である。)
Figure 0005180162
〔イミダゾール化合物c〕
2,4−ジアミノ−6−(2’−ウンデシルイミダゾリル)−エチル−s−トリアジン
〔イミダゾール化合物d〕
2−フェニルイミダゾール
〔イミダゾール化合物以外の硬化促進剤e〕
テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート
〔イミダゾール化合物以外の硬化促進剤f〕
トリフェニルホスフィン
〔無機質充填剤〕
平均粒径0.5μmの球状溶融シリカ粉末
〔実施例1〜3、比較例1、2〕
〔電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物の作製〕
表1〜3に示す割合で各成分を分散混合し、これに各成分の合計量と同量のメチルエチルケトンを加えて、塗工用ワニスを調製した。
つぎに、上記ワニスを、厚み38μmのポリエステルフィルム(三菱樹脂株式会社、MRF−38)の剥離処理面上にコンマコーターにて塗工し、乾燥することにより厚みが50μmのシート状エポキシ樹脂組成物を得た。
ついで、別途用意したポリエステルフィルムの剥離処理面を、シート状エポキシ樹脂組成物に貼り合わせて巻き取った。その後、ポリエステルフィルムを適宜剥離しながら、ロールラミネーターにより上記シート状エポキシ樹脂組成物を12枚積層することにより、厚み600μmの電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を得た。
〔保存安定性〕
上記で得られた電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物の80℃における粘度を、粘弾性測定装置(レオメトリック社製:ARES。サンプルサイズ7.9mmφ厚み1mm、測定周波数1Hz)により測定した。また、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を20℃で30日間保存した後に、同様にして80℃における粘度を測定し、保存前後での粘度の変化率が100%未満のものを◎、100%〜500%のものを○、それ以外のものを×として評価した。
〔電子部品装置集合体の作製〕
電子部品として厚み500μmの積層セラミックコンデンサ(以下、単にコンデンサという)を碁盤目状に1万個配列設置した縦150mm、横150mm、厚み300μmのガラス−エポキシ(FR−4)基板を準備し、上記で得られた厚み600μmの電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物(縦150mm、横150mmにカットしたもの)を基板上の全てのコンデンサを覆うように配置した。配置した電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を、真空下(0.1kPa)、温度80℃、圧力1000kPaでプレスすることにより、コンデンサおよび基板とに接着した。ついで、プレスの圧力を解放し、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を熱硬化(150℃、1時間)させてコンデンサを封止し、常温まで自然冷却させることによりコンデンサ装置集合体を得た。
〔反り評価〕
上記で得られたコンデンサ装置集合体について、最大反り量をティーテック社製レーザー3次元測定装置LS220−MT50で計測して、反り量が5mm未満のものを○、5mm以上のものを×として評価した。なお、5mm以上であると、コンデンサ装置の特性劣化が見られるとともに、その後の製造工程において搬送、吸着エラーを発生しやすくなる。
〔狭ギャップ充填性〕
上記で得られたコンデンサ装置集合体を、ダイシングして個片状のコンデンサ装置を得た。得られたコンデンサ装置の断面観察を行い、コンデンサ底部とガラス−エポキシ基板表面との間のギャップ(高さ約30μm)に、樹脂が充填されているかどうかを確認した。ギャップ部分が樹脂で完全に充填されていたものを○、未充填部分があったものを×として評価した。
Figure 0005180162
Figure 0005180162
Figure 0005180162
上記の結果、実施例品は、大面積を封止しても基板の反りを抑制していた。また、特定の構造を有するイミダゾール化合物(E成分)を用いた実施例1および2ならびに5〜7は、保存安定性にも特に優れていた。
これに対して、イミダゾール化合物(E成分)を用いなかった比較例1および2、ならびにエラストマー(C成分)の含有量が15重量%未満である比較例3は、大面積を封止した場合には樹脂封止後の基板の反りが大きく、搬送トラブルや電子部品装置の特性に影響を与えることが予想される。また、エラストマー(C成分)の含有量が30重量%超である比較例4は、狭ギャップ充填性に劣っていた。さらに、アセタール基を含有するエポキシ樹脂(A成分)を用いなかった比較例5についても、狭ギャップ充填性に劣っていた。
1 電子部品
2 基板
3 電子部品の接続用電極部
4 封止樹脂層
5 ギャップ部分

Claims (5)

  1. 電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物であって、下記A〜E成分を含有し、かつC成分の含有量がシート状エポキシ樹脂組成物全体の15〜30重量%である、電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物。
    A:アセタール基を含有するエポキシ樹脂
    B:フェノール樹脂
    C:エラストマー
    D:無機質充填剤
    E:イミダゾール化合物
  2. C成分のA成分に対する重量比率が3〜4.7の範囲である、請求項1に記載の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物。
  3. E成分が下記の式(1)で表される化合物である、請求項1または2に記載の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物。
    Figure 0005180162
  4. 請求項1〜3のいずれかに記載の電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物を用いて、基板上に搭載された複数個の電子部品を封止してなる電子部品装置集合体。
  5. 請求項4に記載の電子部品装置集合体をダイシングして得られる電子部品装置。
JP2009182519A 2009-08-05 2009-08-05 電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物およびそれにより得られた電子部品装置集合体ならびに電子部品装置 Active JP5180162B2 (ja)

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