JP5409837B2 - 薄膜光電変換モジュールの解析方法 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 197
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 114
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 93
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 102
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 47
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 32
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 7
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 claims description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 103
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 57
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 ITO Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000000678 band cell Anatomy 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/20—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof such devices or parts thereof comprising amorphous semiconductor materials
- H01L31/208—Particular post-treatment of the devices, e.g. annealing, short-circuit elimination
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- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/0445—PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
- H01L31/046—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
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- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Description
これらの薄膜太陽電池は、プラズマCVD法、スパッタ法または真空蒸着法等により、基板上に透明電極、光電変換層および裏面電極を積層して形成される。薄膜太陽電池は、2つの電極に挟まれた光電変換層の層厚が薄いため、光電変換層中にピンホールが発生すると容易に電極間に短絡が生じ、これによって発電特性が低下する。
このような薄膜太陽電池の特性回復を目的として、太陽電池セルの電極間に逆バイアス電圧を印加することにより、その際に発生したジュール熱により短絡部(ピンホール部分)を飛散させて除去するあるいは酸化して絶縁する逆バイアス処理方法および装置が提案されている。
つまり、太陽電池セルに逆バイアス電圧を印加すると抵抗値が非常に低い短絡部に電流が集中し、その短絡部より抵抗値の大きな他の短絡部が除去されず、逆バイアス電圧を印加したにも関わらず短絡部が残存してしまうという問題が生じる。また、帯状の太陽電池セルは面積が広いため、短絡箇所の特定が困難であり、不良解析に時間を要する。
前記分割ストリングにおける各薄膜光電変換素子に逆バイアス電圧を印加して各薄膜光電変換素子に流れる電流値の経時変化を測定して、各薄膜光電変換素子の電流値と、該薄膜光電変換素子の前記基板上の位置情報とが対応した逆バイアス処理データを取得し、
前記逆バイアス処理データの前記電流値の経時変化に基づいて短絡の程度を分類すると共に、前記逆バイアス処理データの前記電流値および前記位置情報に基づいて短絡部が発生し易い薄膜光電変換素子の前記基板上の位置を解析し、
前記解析の結果を前記光電変換層の前記成膜工程にフィードバックすることにより前記成膜工程の改善に利用することを特徴とする薄膜光電変換モジュールの製造工程改善方法が提供される。
また、従来の方法では、薄膜光電変換素子の短絡箇所およびその修復状況を特定することが困難であったが、分割ストリングにおける小面積の薄膜光電変換素子に逆バイアス処理することにより、短絡箇所をより小さな範囲に絞り込むことができ、どの部分で不良発生が起こり易いか等の不良解析が容易となる。その為、製造装置側の問題点を把握しやすくなり、早期対応が可能となる。
また、集積型薄膜太陽電池モジュールは、直列接続された薄膜光電変換素子の一部が射影により発電しなくなると、他の薄膜光電変換素子で発生した電圧が影になって発電しなくなった薄膜光電変換素子のpn接合の逆方向に印加される。逆方向に電圧印加された薄膜光電変換素子中に短絡部が存在すると、その短絡部分に電流が集中して流れ、ジュール熱により発熱して局所的に温度が上昇し、電極と光電変換層の間で膜剥離が発生したり、基板が割れたりする、いわゆる「ホットスポット現象」が発生する可能性がある。本発明によれば、短絡部を効率良く除去することが可能であるため、「ホットスポット現象」の発生率を低減することができる。
前記分割ストリングにおける各薄膜光電変換素子に逆バイアス電圧を印加して各薄膜光電変換素子に流れる電流値の経時変化を測定して、各薄膜光電変換素子の電流値と、該薄膜光電変換素子の前記基板上の位置情報とが対応した逆バイアス処理データを取得し、
前記逆バイアス処理データの前記電流値の経時変化に基づいて短絡の程度を分類すると共に、前記逆バイアス処理データの前記電流値および前記位置情報に基づいて短絡部が発生し易い薄膜光電変換素子の前記基板上の位置を解析し、
前記解析の結果を前記光電変換層の前記成膜工程にフィードバックすることにより前記成膜工程の改善に利用する。
薄膜光電変換素子を逆バイアス処理をすることによって、その部分に短絡部が存在するか否か、短絡部がどの程度のものであるかを判断することができる。
逆バイアス電圧を印加した場合において、短絡部が存在しないときは電流がほとんど流れないが、短絡部が存在するときは電流が流れて短絡部が除去される。しかし、短絡部の抵抗値が非常に小さい場合には、電流が流れても発熱が十分でなく、その短絡部を除去できない。
逆バイアス電圧を印加したときに流れる電流値の経時変化を測定することにより、以下のように被処理部である薄膜光電変換素子に存在する短絡部を分類したり、修復状況を判断することができる。
(2)一定値(例えば5V)の逆バイアス電圧印加開始時には、規定値より大きな電流が流れたが徐々に電流が減少し最終的には規定値以下となったときは、短絡部が除去されたと判断できる。また、逆バイアス電圧印加開始時に流れる電流値によって、短絡部の抵抗値を算出することができ、短絡の程度を分類することができる。
(3)一定値(例えば5V)の逆バイアス電圧を所定時間(例えば数秒程度)印加しても電流値が規定値以下にならない場合には、短絡部の抵抗値が小さく除去不可能なものと判断することができる。
本発明は、以上のような測定結果を分割ストリングにおける薄膜光電変換素子毎に取得することができ、薄膜光電変換モジュールの不良解析が容易となる。
また、分割ストリングの分割幅(直列接続方向と垂直な分割方向の長さ)が短い場合は、分割ストリングを複数の分割ストリングからなるグループに分けて、グループ毎に異なる電源を用いて同時に逆バイアス処理してもよい。各グループ内の分割ストリングは、同一電源から分岐して逆バイアス処理されるため、各グループ内の分割ストリング間では前記効果を得ることはできない。一方、異なる電源により逆バイアス処理される異なるグループの分割ストリング間では、前記効果を得ることができる。
このようにすれば、薄膜光電変換モジュールに電極取り出し部材を接続する際に、複数の分割ストリングをリード線にて並列接続する配線作業が容易となり、配線作業を迅速に行うことができる。
ここで、本発明において、同時または一度に逆バイアス処理するとは、複数の薄膜光電変換素子の逆バイアス処理が同時に開始及び終了される場合に限られず、異なった時刻に開始される場合および異なった時刻に終了する場合も含む。すなわち、ある時刻において、複数の薄膜光電変換素子に逆バイアス電圧が印加され逆バイアス処理が行われていればよい。
また、薄膜光電変換素子に印加される逆バイアス電圧は、薄膜光電変換素子の耐電圧以下であればよい。逆バイアス電圧は例えば3V程度とすることができるが、薄膜光電変換素子におけるpn接合、pin接合等の接合部が破壊され短絡状態となることを防止するため、薄膜光電変換素子の逆耐電圧以下の電圧であればよい。薄膜光電変換素子の逆耐電圧は、光電変換層の膜厚あるいは層数等の構造により異なるが、一般的には数Vから20V程度である。したがって、逆バイアス電圧は、光電変換層の膜厚あるいは層数等の構造により異なるが、数Vから20V程度に設定することができる。
これらのレーザによれば、絶縁基板を傷付けることなく薄膜光電変換素子のみを容易かつ高精度に分割することができる。
また、メタルマスクは、上述したように、複数の分割ストリングが互いに電気的に並列接続されるように、分割溝を形成する場合に用いられる。つまり、レーザにて直列方向の分割溝を各ストリングに複数本形成する際、ストリングの両端の第1および第2電極層の一部をメタルマスクにてマスクすることにより、マスクした箇所はレーザにて切断されないため、互いに電気的に並列接続された複数の分割ストリングを形成することができる。
図1は本発明の実施形態1の薄膜光電変換モジュールの製造方法を説明する図であって、第1ストリングを示す概略斜視図である。
この第1ストリング100は、透明絶縁基板101上に、透明電極層としての第1電極層102、光電変換層103、および裏面電極層としての第2電極層104がこの順序で積層された帯状薄膜光電変換素子S1が複数並列し、かつ複数の帯状薄膜光電変換素子S1が電気的に直列接続して構成されている。以下、帯状薄膜光電変換素子S1を帯状セルS1と称する。
光電変換層を構成する各半導体層の材料は、特に限定されず、例えば、シリコン系半導体、CIS(CuInSe2)化合物半導体、CIGS(Cu(In,Ga)Se2)化合物半導体等からなる。以下、各半導体層がシリコン系半導体からなる場合を例にとって説明を進める。「シリコン系半導体」とは、非晶質又は微結晶シリコン、又は非晶質又は微結晶シリコンに炭素やゲルマニウム又はその他の不純物が添加された半導体(シリコンカーバイド、シリコンゲルマニウム等)を意味する。また、「微結晶シリコン」とは、結晶粒径が小さい(数十から千Å程度)結晶シリコンと、非晶質シリコンとの混合相の状態のシリコンを意味する。微結晶シリコンは、例えば、結晶シリコン薄膜をプラズマCVD法などの非平衡プロセスを用いて低温で作製した場合に形成される。
透明導電膜と金属膜は、CVD、スパッタ、蒸着等の方法により形成することができる。
この薄膜光電変換モジュールの製造方法では、まず、図1に示した第1ストリング100を以下のようにして作製する。
まず、熱CVD法、スパッタ法等により、透明絶縁基板101上に第1電極層102を膜厚500〜1000nm程度で積層する。次に、レーザスクライブ法によって、第1電極層102の一部を所定間隔(7〜18mm程度)で除去して複数の第1分離溝107を形成する。
その後、レーザスクライブ法により、光電変換層103の一部を所定間隔(7〜18mm程度)で除去することによって、複数のコンタクトライン109を形成する。
次に、レーザスクライブ法によって、光電変換層103および第2電極層104の一部を所定間隔(7〜18mm程度)で除去することによって分離して、複数の第2分離溝108を形成する。
なお、第1分割溝107、コンタクトライン109および第2分割溝108を形成するレーザスクライブ法は、各溝を形成する際に除去すべき層に吸収される波長に調整したYAGレーザやYVO4レーザを用いることができる。
以上により、透明絶縁基板101上に複数の帯状セルS1が互いに直列接続された第1ストリング100が形成される(図1参照)。
次に、第1分割溝105aの中央部付近に、透明絶縁基板101側からレーザ光を照射しながらX方向に移動させて、第1電極層102を除去し、第2分割溝105bを形成する。照射するレーザ光は、第1電極層102で吸収されるYAGレーザ基本波(波長1.06μm)を用いることができる。
なお、図2に示すように、各分割ストリングのX方向の端部側のセルS3は、他の単位セルS2よりもX方向の寸法が短かく形成されており、これらのセルS3は光電変換素子としてではなく、後述の逆バイアス処理時の電極として各セルS3の第2電極104が使用される。
これにより、複数の分割ストリング106a〜106fの直列方向の一端側にある各単位セルS2の第1電極102および第2電極104はそれぞれ共通電極によって並列接続されると共に、複数の分割ストリング106a〜106fの直列方向の他端側にある各セルS3の第1電極102および第2電極104はそれぞれ共通電極によって並列接続される。
この逆バイアス処理手段512は、一定電圧を出力する出力端子501を有する電源502と、出力端子501を第2ストリング200の各第2電極層に接続する導電性部材505とを備えている。
出力端子501は、一対の出力端子501a、501bからなり、本実施形態1においては、一方の出力端子501aに正電位、他方の出力端子501bに0Vの電位を出力できるようにしている。出力端子501aに出力する正電位は任意の値に制御可能である。導電性部材505は、電極接続部505aおよび配線部505bから構成されている。
なお、実施形態1における逆バイアス処理工程で使用可能な具体的な逆バイアス処理手段の構成は、後述する実施形態7および8で説明する。
逆バイアス処理工程では、図4に示すように、まず、逆バイアス処理手段の一対の電極接続部505a1、505a2を、例えば手前の分割ストリング106f(図2参照)における端部側の隣り合う第2電極層104f1、104f2に接触させる。一方の単位セルS2の第2電極層104f1は、光電変換層103のn半導体層側の裏面電極である。また、他方の単位セルS2の第2電極層104f2は、一方の単位セルS2における光電変換層103のp半導体層側の透明電極層である第1電極層102f1と接続されている。したがって、一方の第2電極層104f1に正電位を付与し、他方の第2電極層104f2に0Vを付与すれば、一方の単位セルS2の光電変換層103に逆方向電圧が印加され、逆バイアス処理が行われる。
この電圧印加により電流がほとんど流れない場合には、その単位セルS2には短絡部が存在しないと判断して逆バイアス処理を終了し、一対の電極接続部505a1、505a2を一つずれた位置の第2電極層104f2と104f3に接触させて次の単位セルS2の逆バイアス処理を行う。
一方、電圧印加時に所定値以上の電流が流れ、電圧印加期間1秒内に電流が減少しない場合には、出力端子101aの電位を5Vに変更し、さらに1秒間逆バイアス電圧を印加する。それでも電流が減少しない場合には、逆バイアス処理できないと判断して処理を終了し、次の単位セルS2の逆バイアス処理を行う。ここで、出力端子501aに出力する電位が大きすぎると、単位セルS2のpin接合が破壊されるため、単位セルS2に印加される電圧は耐電圧以下とする必要がある。
そして、一列の分割ストリング106fの全ての単位セルS2についての逆バイアス処理が終了すれば、同様の手順で、隣接する次の分割ストリング106eの全ての単位セルS2を順次逆バイアス処理し、このように第2ストリング200における全ての単位セルS2を逆バイアス処理する。
このようにして各単位セルS2の逆バイアス処理時に取得したデータにより、上述のように短絡の程度を分類し、どの部分に短絡部が発生し易いかを容易に解析することができる。この解析結果をフィードバックすることにより、光電変換層の成膜工程などの工程改善に利用することができる。
また、集積型薄膜太陽電池モジュールは、直列接続された薄膜光電変換素子の一部が射影により発電しなくなると、他の薄膜光電変換素子で発生した電圧が影になって発電しなくなった薄膜光電変換素子のpn接合の逆方向に印加される。逆方向に電圧印加された薄膜光電変換素子中に短絡部が存在すると、その短絡部分に電流が集中して流れ、ジュール熱により発熱して局所的に温度が上昇し、電極と光電変換層の間で膜剥離が発生したり、基板が割れたりする、いわゆる「ホットスポット現象」が発生する可能性がある。本発明によれば、短絡部を効率良く除去することが可能であるため、「ホットスポット現象」の発生率を低減することができる。
図6は本発明の実施形態2の薄膜光電変換モジュールの製造方法を説明する図であって、逆バイアス処理工程およびこの工程で使用する逆バイアス処理手段を説明する概略図である。
この実施形態2では、各分割ストリング毎に異なる電源502a〜502fを用いて、各分割ストリング内の単位セルS2を順次逆バイアス処理する。つまり、実施形態2の逆バイアス処理手段は、図4で説明した実施形態1の逆バイアス処理手段を複数備えている。
したがって、実施形態2の逆バイアス処理工程では、各分割ストリングの単位セルS2を同時に逆バイアス処理することができ、第2ストリング200の逆バイアス処理時間をより短縮化することができる。なお、分割ストリングの各単位セルを順次逆バイアス処理する手順は、実施形態1と同様である。
また、複数電源の正負いづれかの端子(例えば負側端子)を短絡して(共通の配線を利用して)同電位としても、他方の端子(例えば正側の端子)が短絡されていなければ、他の分割ストリングに付与される電圧の影響を受けることなく、各分割ストリングを個別に逆バイアス処理することができる。
図7は本発明の実施形態3の薄膜光電変換モジュールの製造方法を説明する図であって、逆バイアス処理工程およびこの工程で使用する逆バイアス処理手段を説明する概略図である。また、図8は実施形態3に係る直列接続された1つの分割ストリングの等価回路である。なお、図7における第2ストリング200は図4の実施形態1および図6の実施形態2と同じものであり、図7における図4および図6と同一の要素には同一の符号を付している。また、図8の等価回路は分割ストリング106fのものであり、符号103f1〜103f6は直列接続された各単位セルS2の光電変換層を表している。
この実施形態3では、逆バイアス処理工程において、同一の分割ストリングにおける少なくとも3つの単位セルS2の第2電極層に異なった電位を同時に付与して、前記3つのうちの少なくとも2つの単位セルS2を同時に逆バイアス処理する。
出力端子101それぞれからは、異なった電位が出力されていれば良く、本実施形態3においては、例えば、出力端子101aに+3V、出力端子101bに0V、出力端子101cに−3Vの電位を出力することができる。
この逆バイアス処理手段1512により、2つの単位セルS2に同時に逆バイアス電圧3Vを印加でき、2つの単位セルS2を同時に逆バイアス処理することができる。
本実施形態3において、逆バイアス電圧を3Vとしたが、単位セルS2のpin接合が破壊され短絡状態となることを防止するため、単位セルS2の耐電圧以下の電圧であればよい。単位セルS2の耐電圧は、光電変換層の膜厚あるいは層数等の構造により異なるが、一般的には数Vから20V程度であるため、この範囲内に逆バイアス電圧を設定することが可能である。
まず、第2電極層104f1、104f2、104f3それぞれに電極接続部1505a1、1505a2、1505a3を接触させ、例えば、出力端子1501aに+3V、出力端子1501bに0V、出力端子1501cに−3Vの電位を出力すると、図8に示すように、第2電極層104f1に+3V、第2電極層104f2に0V、第2電極層104f3に−3Vの電位が付与される。これによって、光電変換層103f1および光電変換層103f2に3Vの逆バイアス電圧が同時に印加され、これらの光電変換層を同時に逆バイアス処理することができる。この際、3つのうち残りの光電変換層103f3から他の隣の光電変換層103f4に電圧が印加されることはなく、トランジスタとして順方向動作する等による問題が生じることはない。
このように、隣接する2つの光電変換層を同時に逆バイアス処理していくことができ、その後、逆バイアス処理すべき光電変換層が1つ残った場合、具体的には図8における光電変換層103f5を逆バイアス処理する場合は、光電変換層103f5の第2電極層104f5に電極接続部1505a1を接触させ、かつ隣の第2電極層104f6に電極接続部1505a2を接触させ、出力端子1501aに+3V、出力端子1501bに0Vの電位を出力する。あるいは、光電変換層103f5の第2電極層104f5に電極接続部1505a2を接触させ、かつ隣の第2電極層104f6に電極接続部1505a3を接触させ、出力端子1501bに0V、出力端子1501cに−3Vの電位を出力する。
この実施形態3によれば、実施形態1よりも逆バイアス処理工程を短時間で終了することができる。
実施形態4では、逆バイアス処理工程(B)において、同一の分割ストリングにおける全ての薄膜光電変換素子の第2電極層に異なった電位を付与して全ての薄膜光電変換素子を一度に逆バイアス処理する。
つまり、前記実施形態3では、電源1502からの出力電位、出力端子1501および導電性部材1505をそれぞれ3つとしたが、1つの分割ストリング中の直列接続された単位セルS2の数が多い場合には、出力電位、出力端子および導電性部材の数を増加させることにより、逆バイアス処理工程をさらに時間短縮化させることができる。さらには、単位セルS2の第2電極層すべてに対応した出力電位、出力端子および導電性部材を設けることにより、一度に全ての単位セルS2を逆バイアス処理することも可能である。
実施形態5では、実施形態3と同様の逆バイアス処理方法が用いられるが、実施形態3の逆バイアス処理手段1512とは異なる逆バイアス処理手段2512を用いて、第2ストリング200の逆バイアス処理工程が行われる。本発明の実施形態5の薄膜光電変換モジュールの製造方法を説明する図であって、逆バイアス処理工程およびこの工程で使用する逆バイアス処理手段を説明する概略図である。
この逆バイアス処理手段2512は、異なった電位が出力される3つの出力端子を有する電源および4つ以上の導電性部材を有し、さらに、4つ以上の導電性部材のうちの任意の3つの導電性部材と3つの出力端子とが電気的に接続するよう回路を切り換える切換回路部を備えたものである。
この切換回路部2109は、3つの出力端子2501a、2501b、2501cと配線2112を介して接続される3つの入力端子2111と、6本の導電性部材2505の配線部2505bと接続される6つの出力端子2110と、3つの出力端子2501a、2501b、2501cと6つの出力端子2110のうちの任意の3つの出力端子とを電気的な接続状態(ON状態)に切り換える切換部2109aと、出力端子2110それぞれに対応したスイッチ部2109bとを備える。
そして、このようにして1つの分割ストリングについての逆バイアス処理が終了すれば、未処理の分割ストリングを順次逆バイアス処理していく。
実施形態5によれば、実施形態3と同様に、切換回路部2109により選択された任意の2つの光電変換素子に同時に逆バイアス電圧を印加でき、2つの光電変換素子を同時に逆バイアス処理することができる。また、逆バイアス処理する光電変換素子を選択する際に、電極接続部2505aと光電変換層の位置を相対的に移動させる必要がなく、この相対的移動のための移動手段が不要となる。
実施形態6に係る逆バイアス処理方法は、互いに隣接していない複数の光電変換素子を同時に逆バイアス処理するものである。図10は実施形態6に係る逆バイアス処理方法を示す直列接続された光電変換層の等価回路を示している。
この場合、図10に示すように、第2電極104f1に例えば+3V、第2電極104f2および第2電極104f4に0V、第2電極104f5に−3Vの電位を付与することにより、光電変換層103f1および光電変換層103f4に3Vの逆バイアス電圧が同時に印加され、これらの光電変換層を同時に逆バイアス処理することができる。この際、同時に逆バイアス処理される光電変換層103f1と光電変換層103f4の間に位置する光電変換素子103f2および光電変換層103f3には、電圧が印加されず、トランジスタとして順方向動作する等による問題が生じることはない。
また、本実施形態において、第2電極104f2および第2電極104f4を同電位の0Vとしたが、異なる電位とすることもできる。ただし、この場合は、光電変換層103f2および光電変換層103f3が順方向動作してこれらの光電変換層に大電流が流れないようにする必要がある。光電変換層103f2および光電変換層103f3のような逆バイアス処理されない光電変換層は、順バイアス動作しないことが望ましい。ただし、順バイアス動作させても、光電変換層が破損しない程度の順方向電流が流れる場合や、その順方向電流を流しても電源の電力容量の範囲内であり、印加電圧が低下しない場合には、本方法を使用することは可能である。
この実施形態6に係る逆バイアス処理方法は、逆バイアス処理する必要のある光電変換素子が離れて位置している場合に、それらを同時に逆バイアス処理するときに有効である。
図11は実施形態2における逆バイアス処理工程で使用可能な実施形態7としての逆バイアス処理手段を示す概略斜視図である。なお、図11において、図6中の構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
この逆バイアス処理手段は、図12に示すように、実施形態2で説明した出力端子501a、501bを有する複数の電源502(502a〜502f)に加えて、各分割ストリング106a〜106fにおける2つの薄膜光電変換素子(単位セルS2)に電位を付与する複数の電圧印加ユニットU1と、各電圧印加ユニットU1を直列接続方向(X方向)に移動させる移動機構Tとをさらに備える。
図13は、各分割ストリング106a〜106fに対応する複数の電圧印加ユニットU1の配置を示している。
また、2枚の導電性板材604の電気的絶縁性および2つの電極接続部505a1、505a2の電気的絶縁性が確保されるように、例えば、平板603を絶縁材料にて構成し、各導電性板材604を平板603にボルト・ナット結合している。
ボールネジ機構としては図14および図15が例示され、ベルト車機構としては図16および図17が例示される。
図14はボールネジ機構を採用して複数の電圧印加ユニットU1を連動させる移動機構T1を示している。
この移動機構T1は、基盤701(図11参照)と、基盤701の下面のX方向の両側に固定された平行な一対の固定片702と、一対の固定片702に回転可能に枢着された複数のスクリューシャフト703と、各スクリューシャフト703に螺着されたナット部704と、各スクリューシャフト703の後端に取り付けられた第1笠歯車705と、一対の固定片702に固定された複数のガイドシャフト706と、各スクリューシャフト703の後端側に配置されて基盤701の下面に回転可能に取り付けられたメインスクリューシャフト707と、メインスクリューシャフト707を回転させるモータMと、メインスクリューシャフト707に取り付けられて各第1笠歯車705と噛合する複数の第2笠歯車708とを備えている。
電圧印加ユニットU1は、その保持部であるボックスの上壁が、図示しない取付部材を介して移動機構T1のナット部704に固定されかつガイドシャフト706にスライド可能に取り付けられている。
この移動機構T1を備えた逆バイアス処理手段によれば、電圧印加ユニットU1の電極接続部505a1を分割ストリングの逆バイアス処理すべき単位セルS2上に移動させたところで、昇降駆動部601にて電極接続部505a1、505a2を降下させて2つの単位セルS2の第2電極層に接触させ、実施形態1で説明した逆バイアス処理を行う。処理後、電極接続部505a1、505a2を上昇させ、同様に移動、降下、逆バイアス処理、上昇を繰り返して、全ての単位セルS2の逆バイアス処理を行う。
図15はボールネジ機構を採用して複数の電圧印加ユニットU1を独立して移動可能な移動機構T2を示している。なお、図15において、図14中の部材と同様の部材には同一の符号を付している。
この移動機構T2は、上述の移動機構T1における複数の第2笠歯車708を有するメインスクリューシャフト707およびこれを回転させるモータMが省略される代りに、各スクリューシャフト703を個別に回転させる複数のモータMが備えられる。移動機構T2におけるその他の構成および各電圧印加ユニットU1との取り付け構造は、移動機構T1と同様である。
図16はベルト車機構を採用して複数の電圧印加ユニットU1を連動させる移動機構T3を示している。
この移動機構T3は、前記基盤701(図11参照)と、基盤701の下面の所定位置に上下方向の軸心P廻りに回転可能に取り付けられた複数の第1〜第3プーリー801a、801b、801cと、複数の第1〜第3プーリー801a、801b、801cに掛け巻かれた無端状ワイヤベルト802と、1つの第3プーリー801cを回転させるモータMと、ワイヤベルト802の所定箇所と複数の電圧印加ユニットU1の保持部602(図11参照)とを連結する複数の連結部材803と、複数の電圧印加ユニットU1をX方向にスライド可能に吊り持ちする図示しないガイドシャフトとを備えている。
各対の直線部802a、802bのうち、同方向に移動する各直線部(図16では直線部802a)に前記連結部材803がX方向の同じ位置に固定されている。
なお、この移動機構T3における各プーリーをスプロケットに代え、無端状ワイヤベルト802を無端状チェーンに代えてもよい。
図17はベルト車機構を採用して複数の電圧印加ユニットU1を独立して移動可能な移動機構T4を示している。なお、図17において、図16中の部材と同様の部材には同一の符号を付している。
この移動機構T4は、上述の移動機構T3と同様の複数の第1プーリー801aと、基盤701のX方向の逆バイアス処理終了側であって、各第1プーリー801aと対向する位置に配置された複数の第2プーリー801dと、各対の第1プーリー801aと第2プーリー801bに掛け巻かれた無端状ワイヤベルト804と、各第2プーリー801bを個別に回転させる複数のモータMとを備える。
そして、各ワイヤベルト804における一対の直線部804a、804bのうちの一方(図17では直線部804a)に、移動機構T1と同様の連結部材803が固定されている。なお、移動機構T4におけるその他の構成および各電圧印加ユニットU1との取り付け構造は、移動機構T3と同様である。
図18は実施形態2における逆バイアス処理工程で使用可能な実施形態8としての逆バイアス処理手段を示す概略斜視図である。なお、図18において、図6および図11中の構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
つまり、実施形態8における逆バイアス処理手段の電圧印加ユニットU2は、実施形態7における隣接する2つの電圧印加ユニットU1を一体化したような構造であり、移動機構Tは、実施形態7と同様に、複数の電圧印加ユニットU2を連動してまたは独立してX方向に移動可能に構成されたものであり、上述の移動機構T1〜T4を採用することができる。
なお、図19は、各分割ストリング106a〜106fに対応する複数の電圧印加ユニットU2の配置を示している。
このように実施形態8の電圧印加ユニットU2が構成されるため、電圧印加ユニットの数および電源の半数は実施形態7の半数となる。
このように構成された実施形態8の逆バイアス処理によれば、採用する移動機構T1〜T4によって複数の電圧印加ユニットU2をX方向に連動させながらまたは独立して移動させながら、実施形態2に準じて各分割ストリング106a〜106fを逆バイアス処理することができる。さらに、実施形態8の逆バイアス処理は、実施形態7に比べて構成が簡素であり、低コストにて作製することができる。
上述の実施形態7および8は、各電圧印加ユニットU1(または各電圧印加ユニットU2)に個別に電源502a〜502fが設けられた場合であるが(図12参照)、実施形態9として、図20に示すように1つの電源502を複数の電圧印加ユニットU1(または各電圧印加ユニットU2)に対して並列接続してもよい。
この場合、Y方向に並ぶ全ての電極接続部505a1に同一の電位が付与され、Y方向に並ぶ他の全ての電極接続部505a2に同一の電位が付与されるため、電源数を1つでまかなうことができ、電源数の大幅な削減により逆バイアス手段の作製コストを低減することができる。
なお、実施形態9において、電圧印加ユニットおよび移動機構は、実施形態7または8の構成を採用することができるが、移動機構T2またはT4を用いる場合、各電圧印加ユニットのX方向の移動を妨げないよう考慮して配線部505b、505bを配線する。
実施形態8では、1つの電圧印加ユニットU2で2つの分割ストリングを逆バイアス処理するよう構成された場合を例示したが、1つの電圧印加ユニットU2で3つ〜全ての分割ストリングを逆バイアス処理するよう構成してもよい。このようにすれば、電圧印加ユニットおよび移動機構の構成部品をさらに削減することができ、作製コストをより低減することができる。この場合、昇降駆動部の数、電源の数および電源と電圧印加ユニットとの接続形態等も適宜選択することができる。
102 第1電極層(透明電極層)
103 光電変換層
104 第2電極層(裏面電極層)
100 ストリング(第1ストリング)
105 分割溝
106a、106b、106c、106d、106e、106f 分割ストリング
200 第2ストリング
501、1501、2501 出力端子
502、1502、2502 電源
505、1505、2505 導電性部材
505a1、505a2 電極接続部
601 昇降駆動部
602 保持部
604 導電性板材
512、1512、2512 逆バイアス処理手段
1604 配線(導電性板材)
2109 切換回路部
S1 帯状セル(薄膜光電変換素子)
S2 単位セル
S3 セル
T、T1、T2、T3、T4 移動機構
U1、U2 電圧印加ユニット
Claims (2)
- 成膜工程によって基板の表面上に第1電極層、光電変換層および第2電極層が順次積層されてなる薄膜光電変換素子が互いに電気的に直列接続されたストリングを、前記第1電極層と前記第2電極層を電気的に絶縁分離する直列接続方向に延びる1つ以上の分割溝によって複数に分割して形成した複数の分割ストリングを備えた薄膜光電変換モジュールの製造工程改善方法であって、
前記分割ストリングにおける各薄膜光電変換素子に逆バイアス電圧を印加して各薄膜光電変換素子に流れる電流値の経時変化を測定して、各薄膜光電変換素子の電流値と、該薄膜光電変換素子の前記基板上の位置情報とが対応した逆バイアス処理データを取得し、
前記逆バイアス処理データの前記電流値の経時変化に基づいて短絡の程度を分類すると共に、前記逆バイアス処理データの前記電流値および前記位置情報に基づいて短絡部が発生し易い薄膜光電変換素子の前記基板上の位置を解析し、
前記解析の結果を前記光電変換層の前記成膜工程にフィードバックすることにより前記成膜工程の改善に利用することを特徴とする薄膜光電変換モジュールの製造工程改善方法。 - 逆バイアス処理データは、全ての前記薄膜光電変換素子において取得されたデータである請求項1に記載の薄膜光電変換モジュールの製造工程改善方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012096807A JP5409837B2 (ja) | 2007-08-06 | 2012-04-20 | 薄膜光電変換モジュールの解析方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007204426 | 2007-08-06 | ||
JP2007204426 | 2007-08-06 | ||
JP2012096807A JP5409837B2 (ja) | 2007-08-06 | 2012-04-20 | 薄膜光電変換モジュールの解析方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009526435A Division JPWO2009020073A1 (ja) | 2007-08-06 | 2008-08-01 | 薄膜光電変換モジュールの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012138637A JP2012138637A (ja) | 2012-07-19 |
JP5409837B2 true JP5409837B2 (ja) | 2014-02-05 |
Family
ID=40341307
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009526435A Pending JPWO2009020073A1 (ja) | 2007-08-06 | 2008-08-01 | 薄膜光電変換モジュールの製造方法および製造装置 |
JP2012096807A Expired - Fee Related JP5409837B2 (ja) | 2007-08-06 | 2012-04-20 | 薄膜光電変換モジュールの解析方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009526435A Pending JPWO2009020073A1 (ja) | 2007-08-06 | 2008-08-01 | 薄膜光電変換モジュールの製造方法および製造装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8349623B2 (ja) |
EP (1) | EP2184789A4 (ja) |
JP (2) | JPWO2009020073A1 (ja) |
WO (1) | WO2009020073A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5062684B2 (ja) * | 2008-02-13 | 2012-10-31 | シャープ株式会社 | 薄膜光電変換モジュールの製造方法および製造装置 |
JP5597247B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2014-10-01 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | 太陽電池及びその製造方法 |
WO2011052426A1 (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-05 | 株式会社アルバック | 太陽電池の評価装置及び評価方法 |
JP5165799B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2013-03-21 | 株式会社アルバック | 太陽電池の評価方法及び評価装置 |
WO2011104881A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 株式会社エヌエフ回路設計ブロック | 太陽電池の改修方法、太陽電池の製造方法、この製造方法により製造された太陽電池、太陽電池の改修装置、太陽電池の製造装置及び検査装置、これらの装置を製造工程に用いた太陽電池 |
CN102237375A (zh) * | 2010-05-04 | 2011-11-09 | 绿阳光电股份有限公司 | 穿透式太阳能电池模块及制造穿透式太阳能电池模块方法 |
CN102237376B (zh) * | 2010-05-04 | 2013-08-21 | 绿阳光电股份有限公司 | 穿透式太阳能电池模块及制造穿透式太阳能电池模块方法 |
JP5608030B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-10-15 | 昭和シェル石油株式会社 | 化合物系薄膜太陽電池モジュールの製造方法 |
JP2012164819A (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-30 | Sharp Corp | 逆バイアス処理装置およびそれを用いた逆バイアス処理方法 |
JP5162683B2 (ja) * | 2011-02-07 | 2013-03-13 | シャープ株式会社 | 逆バイアス処理装置およびそれを用いた逆バイアス処理方法 |
TWI451580B (zh) * | 2011-09-26 | 2014-09-01 | Ind Tech Res Inst | 薄膜太陽能電池之製法 |
WO2013179898A1 (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池モジュールとその製造方法および太陽電池モジュール製造管理装置 |
CN107112317B (zh) * | 2014-12-24 | 2019-07-05 | 日本精工株式会社 | 功率半导体模块以及使用其的电动助力转向装置 |
TWI720181B (zh) * | 2016-05-30 | 2021-03-01 | 日商新力股份有限公司 | 薄膜製造方法、薄膜製造裝置、光電轉換元件之製造方法、邏輯電路之製造方法、發光元件之製造方法及調光元件之製造方法 |
CN106684209B (zh) * | 2016-12-27 | 2018-03-27 | 成都中建材光电材料有限公司 | 一种新型碲化镉薄膜太阳能电池组件的制备方法 |
CN106767379A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种太阳能电池板网板变形的检测设备 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4481230A (en) * | 1983-10-27 | 1984-11-06 | Rca Corporation | Method of depositing a semiconductor layer from a glow discharge |
KR900006772B1 (ko) * | 1985-11-06 | 1990-09-21 | 세미콘닥터 에너지 라보라토리 컴파니 리미티드 | 반도체층을 통한 전기적 단락이 없는 반도체 장치와 그 제조방법 |
AU580903B2 (en) * | 1986-01-29 | 1989-02-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd. | Method for manufacturing photoelectric conversion devices |
JPS62176174A (ja) | 1986-01-29 | 1987-08-01 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光電変換装置作成方法 |
JP3740618B2 (ja) | 1996-06-17 | 2006-02-01 | 株式会社カネカ | 太陽電池の短絡部除去方法及び該短絡部除去装置 |
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JP4171959B2 (ja) | 2000-04-14 | 2008-10-29 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 薄膜太陽電池の製造方法 |
JP4495318B2 (ja) | 2000-08-23 | 2010-07-07 | 株式会社カネカ | 薄膜太陽電池モジュールの製造方法 |
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JP4201241B2 (ja) | 2001-05-17 | 2008-12-24 | 株式会社カネカ | 集積型薄膜光電変換モジュールの作製方法 |
JP2005135941A (ja) | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Canon Inc | 光起電力素子の短絡部修復方法、及び短絡部修復装置 |
JP2005311180A (ja) | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 単位薄膜太陽電池内の微小欠陥部除去方法および薄膜太陽電池モジュールの製造方法 |
JP2008091674A (ja) | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Sharp Corp | 光電変換素子の逆バイアス処理装置及び逆バイアス処理方法 |
-
2008
- 2008-08-01 JP JP2009526435A patent/JPWO2009020073A1/ja active Pending
- 2008-08-01 EP EP08792102A patent/EP2184789A4/en not_active Withdrawn
- 2008-08-01 WO PCT/JP2008/063889 patent/WO2009020073A1/ja active Application Filing
- 2008-08-01 US US12/672,128 patent/US8349623B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-04-20 JP JP2012096807A patent/JP5409837B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8349623B2 (en) | 2013-01-08 |
US20110250709A1 (en) | 2011-10-13 |
EP2184789A4 (en) | 2011-07-27 |
EP2184789A1 (en) | 2010-05-12 |
JP2012138637A (ja) | 2012-07-19 |
WO2009020073A1 (ja) | 2009-02-12 |
JPWO2009020073A1 (ja) | 2010-11-04 |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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