JP5404473B2 - 高周波電力増幅器およびその動作方法 - Google Patents

高周波電力増幅器およびその動作方法 Download PDF

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Description

本発明は、高周波電力増幅器およびその動作方法に関し、特に高周波電力増幅器の電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスgmのゲート長の依存性による電力利得の変動を軽減するのに有効な技術に関するものである。
従来から、電源電圧変動に対する電力増幅特性を安定化するために、カレントミラー回路バイアス方式を使用して定電流源からの定電流によりバイアスされるソース接地nチャネルMOSトランジスタのチャネル長変調効果による電流増加分が、pチャネルMOSトランジスタで構成されたカレントミラー回路とnチャネルMOSトランジスタで構成されたカレントミラー回路とで検出される(例えば、下記特許文献1参照)。
また従来から、高周波電力増幅器のMOSFETの短チャネル効果によるバイアスのずれを自動的に補正するため、電力増幅トランジスタと同一チャネル長で同一プロセスで形成された電流複製用トランジスタを使用する技術があった(例えば、下記特許文献2参照)。
さらに、従来から、高周波電力増幅器のFETの短チャネル効果によるバイアスのずれを補正するために、カレントミラー回路の出力側の電力増幅トランジスタのゲート端子に接続されたパッドと別個に、カレントミラー回路の入力側のバイアストランジスタのゲート端子に接続されたパッドを高周波電力増幅器の半導体チップに設ける技術があった(例えば、下記特許文献3参照)。
特開2005−150917号 公報 特開2005−123861号 公報 特開2005−020518号 公報
近年の携帯電話端末の小型化に伴い、送信機の高周波(RF)電力増幅器の小型化が要求されている。RF電力増幅器の増幅素子としてMOS-FETを例に取ると、ゲート長を微細化することで、高周波特性が改善されて、高集積化によってRF電力増幅器の小型化を実現可能となる。しかしながら、ゲート長の微細化による短チャネル効果によって、しきい値のばらつきとチャネル長変調効果とが大きくなる。その結果、RF電力増幅器にバイアス誤差が発生して、電力利得のばらつきの原因となる。
一般的に、RF電力増幅器では、カレントミラー回路バイアス方式によって増幅用MOSトランジスタにバイアスが設定される。従って、カレントミラー回路の入力側のバイアス電流が一定の値に設定されると、カレントミラー回路のMOSトランジスタのしきい値が変動しても、カレントミラー回路の出力側の増幅用MOSトランジスタに安定したアイドル電流が供給されることが可能となる。しかし、チャネル長変調係数λを考慮した場合には、バイアス電流を一定の値に設定しても、増幅用MOSトランジスタのアイドル電流がチャネル長変調係数λの値に応じて変化して、電力利得のばらつき発生の一因となる。すなわち、増幅用MOSトランジスタが集積化された半導体集積回路の製造誤差によって、MOSトランジスタのゲート長が誤差を持ち、その結果チャネル長変調係数λもばらつきを持つので、増幅用MOSトランジスタのバイアス電流がばらつきを持ち、電力利得のばらつきが発生するものである。尚、本願明細書では、RF電力増幅器に高周波入力信号が供給されない無信号の状態で、カレントミラー回路バイアス方式によって増幅用MOSトランジスタにバイアスが設定する際に、カレントミラー回路の入力側のトランジスタに流れる電流をバイアス電流と称する一方、カレントミラー回路の出力側の増幅用トランジスタに流れる電流をアイドル電流と称する。
上記特許文献1には、電源電圧変動に対する電力増幅特性を安定化するために、カレントミラー回路バイアス方式を使用して定電流源からの定電流によりバイアスされるソース接地nチャネルMOSトランジスタのチャネル長変調効果による電流増加分を、pチャネルMOSトランジスタで構成されたカレントミラー回路とnチャネルMOSトランジスタで構成されたカレントミラー回路とで検出することが記載されている。他の定電流源からの他の定電流から検出電流が差し引かれ、出力側の電力増幅MOSトランジスタとカレントミラー回路を構成する入力側のMOSトランジスタに差し引き電流が供給される。nチャネルMOSトランジスタで構成されたカレントミラー回路の2個のnチャネルMOSトランジスタのサイズ比とチャネル長変調係数λとによって、電源電圧変動による出力側の電力増幅MOSトランジスタに流れる電流の変動幅が低減されることが可能となる。
上記特許文献2には、高周波電力増幅器のMOSFETの短チャネル効果によるバイアスのずれを自動的に補正するため、電力増幅トランジスタと同一チャネル長で同一プロセスで形成された電流複製用トランジスタを使用することが記載されている。電流複製用トランジスタに流れる電流は、PチャネルMOSトランジスタで構成されたカレントミラー回路とダイオード接続のNチャネルMOSトランジスタとによって電圧に変換される。基準バイアス回路は、他のPチャネルMOSトランジスタによって構成された他のカレントミラー回路と、他のカレントミラー回路の入力側の外部端子と接地電位との間に接続された外部抵抗と、他のカレントミラー回路の出力側と接地電位との間に接続された他のダイオード接続のNチャネルMOSトランジスタを含む。基準バイアス回路の他のダイオード接続のNチャネルMOSトランジスタの電圧と、電流複製用トランジスタに流れる電流に依存するダイオード接続のNチャネルMOSトランジスタの電圧とは、差動増幅器によって比較される。差動増幅器の出力電圧が電力増幅トランジスタと電流複製用トランジスタのゲートに供給され、電力増幅トランジスタのアイドル電流が短チャネル効果で変化することが抑制される。
上記特許文献3には、高周波電力増幅器のFETの短チャネル効果によるバイアスのずれを補正するために、カレントミラー回路の出力側の電力増幅トランジスタのゲート端子に接続されたパッドと別個に、カレントミラー回路の入力側のバイアストランジスタのゲート端子に接続されたパッドを高周波電力増幅器の半導体チップに設けることが記載されている。入力側のバイアストランジスタのゲートにバイアス電圧を供給しない状態で、出力側の電力増幅トランジスタのゲートのバイアス電圧を変化して電力増幅トランジスタに電流が流れ始めるしきい値電圧を測定する。チャネル長変調係数λを直接測定できないので、しきい値電圧の変化量DIBL(Drain-Induced Barrier Lowering)とチャネル長変調係数λが相関を持つことを利用して、しきい値電圧の変化量DIBLを測定する。測定されたしきい値電圧と変化量DIBLとに基づいて、電力増幅トランジスタのバイアスのずれを補正するのに最適な外部抵抗の抵抗値が算出される。この外部抵抗は半導体チップの外部端子と接地電位との間に接続されて、この外部端子と電源電圧との間には他のカレントミラー回路の入力側のPチャネルMOSトランジスタが接続され、電源電圧とカレントミラー回路の入力側のバイアストランジスタの間には他のカレントミラー回路の出力側のPチャネルMOSトランジスタが接続される。RFパワーモジュールの組み立て工程で、最適な抵抗値の外部抵抗が選択される。
本発明者等は本発明に先立って、LD型MOSトランジスタの微細化で高周波特性を改善した高集積化・小型化のRF電力増幅器の研究・開発に従事した。尚、LDは、Laterally Diffusedの略である。従って、LD型MOSトランジスタの微細化によって、ゲート長が微細化されている。その結果、LD型MOSトランジスタを集積化した半導体集積回路の製造誤差によって、MOSトランジスタのゲート長が大きな誤差を持ちチャネル長変調係数λも大きな製造ばらつきを持つので、LD型MOSトランジスタのバイアス電流が大きなばらつきを持ち、電力利得の大きなばらつきが発生する。
また更に本発明者等による本発明に先立った検討によって、MOSトランジスタの増幅利得であるトランスコンダクタンスgmによってRF電力増幅器の電力利得が決定されるが、トランスコンダクタンスgmそれ自体がゲート長に依存することが明らかとされた。
すなわち、MOSトランジスタのトランスコンダクタンスgmは、次式で与えられる。
Figure 0005404473
上記(1)式で、kはMOSトランジスタの構造から決定される定数、WはMOSトランジスタのゲート幅、LはMOSトランジスタのゲート長、λはチャネル変調係数、VdsはMOSトランジスタのドレイン・ソース間電圧、IdsはMOSトランジスタのアイドル電流である。
従って、上記特許文献1に記載されたように電源電圧変動による出力側の電力増幅MOSトランジスタに流れる電流の変動幅を低減しても、トランスコンダクタンスgm自体のゲート長の依存性とそれによる電力利得の変動は補償されないことが、本発明者等による本発明に先立った検討によって明らかとされた。
また、上記特許文献2に記載されたように電力増幅トランジスタのアイドル電流の短チャネル効果による変化を抑制しても、トランスコンダクタンスgm自体のゲート長の依存性と電力利得の変動は補償されないことが、本発明者等による本発明に先立った検討によって明らかとされた。
更に、上記特許文献3に記載されたように、高周波電力増幅器のFETの短チャネル効果によるバイアスのずれを補正するために、測定したしきい値電圧と変化量DIBLとに基づいて算出されたバイアスのずれを補正するのに最適な外部抵抗を使用しても、トランスコンダクタンスgm自体のゲート長の依存性と電力利得の変動は補償されないことが、本発明者等による本発明に先立った検討によって明らかとされた。また更に上記特許文献3に記載された方法は、パッドの増加と、しきい値電圧と変化量DIBLの測定と、RFパワーモジュールの組み立て工程で最適な抵抗値の外部抵抗の選択とが必要となると言う問題がある。
本発明は、以上のような本発明に先立った本発明者等による検討の結果、なされたものである。
従って、本発明の目的とするところは、高周波電力増幅器の電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスgmのゲート長の依存性による電力利得の変動を軽減することにある。
また、本発明の他の目的とするところは、パット数の増加と検査工程と外部抵抗の選択とを不必要とすることにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうちの代表的なものについて簡単に説明すれば下記のとおりである。
すなわち、本発明の代表的な実施の形態は、カレントミラー接続されたバイアス電界効果トランジスタ(516)および電力増幅電界効果トランジスタ(513)と、バイアス制御回路(112)を半導体チップ上に具備する高周波電力増幅器(100)である。
前記電力増幅電界効果トランジスタ(513)は、高周波入力信号を増幅可能とされる。
前記バイアス電界効果トランジスタ(516)に前記バイアス制御回路(112)のバイアス電流(Ibias3)が供給され、前記バイアス電界効果トランジスタ(516)のゲート・ソース間電圧は前記電力増幅電界効果トランジスタ(513)の前記ゲート端子と前記ソース端子の間に供給される。
前記半導体チップ上に、増幅器複製トランジスタ(421a)を有するゲート長モニタ回路(101)を、更に具備する。
前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは前記半導体チップ上に同一半導体製造プロセスで形成され、前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは略同一のゲート長のばらつきを有する。
前記ゲート長モニタ回路は、前記増幅器複製トランジスタによって検出される前記ゲート長(L)に依存した検出電圧(Vmon)を生成する。
前記ゲート長(L)がばらつきを持つ際に、前記検出電圧に従って前記バイアス制御回路が前記バイアス電流(Ibias3)の値を制御することによって前記電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスの前記ゲート長(L)の依存性を補償することを特徴とする(図1、図2、図3参照)。
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記の通りである。
すなわち、本発明によれば、高周波電力増幅器の電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスgmのゲート長の依存性による電力利得の変動を軽減することができる。
図1は、携帯電話端末の送信機に搭載可能とされた本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器の構成を示す図である。 図2は、図1に示した本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器に含まれたゲート長モニタ回路101の構成を示す図である。 図3は、図1に示した本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器に含まれた電力増幅器103の構成を示す図である。 図4は、携帯電話端末の送信機に搭載可能とされた本発明の実施の形態2による他の高周波電力増幅器の構成を示す図である。 図5は、携帯電話端末の送信機に搭載可能とされた本発明の実施の形態3による更に他の高周波電力増幅器の構成を示す図である。 図6は、携帯電話端末の送信機に搭載可能とされた本発明の実施の形態4によるまた更に他の高周波電力増幅器の構成を示す図である。 図7は、図6に示した本発明の実施の形態4による高周波電力増幅器に含まれたゲート長モニタ回路101の構成を示す図である。 図8は、図1、図2、図3、図9を参照して説明した本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器モジュール100で、ゲート長Lの変動に対するゲート長モニタ回路101のモニタ出力である電圧差出力回路440の信号電圧Vmonの依存性とバイアストランジスタ514、515、516のバイアス電流Ibiasの依存性とモニタ出力信号電圧Vmonとバイアス電流Ibiasとの関係を示した図である。 図9は、ゲート長Lの変動に対するNチャネル型LDMOSトランジスタの種々のパラメータの依存性を示す図である。 図10は、図1、図2、図3、図8、図9を参照して説明した本発明の実施の形態1の高周波電力増幅器モジュール100で、ゲート長Lの変動に対する利得ばらつきの補正効果を示す図である。
1.実施の形態の概要
まず、本願において開示される発明の代表的な実施の形態について概要を説明する。代表的な実施の形態についての概要説明で括弧を付して参照する図面の参照符号はそれが付された構成要素の概念に含まれるものを例示するに過ぎない。
[1]本発明の代表的な実施の形態は、カレントミラー接続されたバイアス電界効果トランジスタ(516)および電力増幅電界効果トランジスタ(513)と、バイアス制御回路(112)とを半導体チップ上に具備する高周波電力増幅器(100)である。
前記電力増幅電界効果トランジスタ(513)は、接地電位に接続可能なソース端子と、高周波入力信号が供給可能なゲート端子と、高周波増幅出力信号が生成可能なドレイン端子とを持つ。
前記バイアス電界効果トランジスタ(516)には前記バイアス制御回路(112)から生成されるバイアス電流(Ibias3)が供給可能とされ、前記バイアス電界効果トランジスタ(516)のゲート・ソース間電圧は前記電力増幅電界効果トランジスタ(513)の前記ゲート端子と前記ソース端子の間に供給可能とされる。
前記半導体チップ上に、増幅器複製トランジスタ(421a)を有するゲート長モニタ回路(101)を、更に具備する。
前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは前記半導体チップ上に同一半導体製造プロセスで形成されることによって、前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは略同一のゲート長のばらつきを有する。
前記ゲート長モニタ回路は、前記増幅器複製トランジスタによって検出される前記ゲート長(L)に依存した検出電圧(Vmon)を生成する。
前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧が前記バイアス制御回路(112)を制御して、前記ゲート長(L)がばらつきを持つ際に、前記検出電圧に従って前記バイアス制御回路が前記バイアス電流(Ibias3)の値を制御することによって前記電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスの前記ゲート長(L)の依存性を補償することを特徴とする(図1、図2、図3参照)。
前記実施の形態によれば、高周波電力増幅器の電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスgmのゲート長の依存性による電力利得の変動を軽減することができる。
好適な実施の形態では、前記ゲート長が減少する際には、前記検出電圧の増加に従って前記バイアス制御回路が前記バイアス電流の前記値を減少することによって前記電力増幅電界効果トランジスタの前記トランスコンダクタンスの増大を補償することを特徴とする(図1参照)。
他の好適な実施の形態では、前記電力増幅電界効果トランジスタは、前記高周波電力増幅器の多段増幅器(103)を構成する複数の電力増幅電界効果トランジスタ(511、512、513)である。
前記バイアス電界効果トランジスタは、前記高周波電力増幅器の前記多段増幅器の前記複数の電力増幅電界効果トランジスタとそれぞれカレントミラー接続された複数のバイアス電界効果トランジスタ(514、515、516)である。
前記バイアス制御回路の前記バイアス電流は、前記複数のバイアス電界効果トランジスタに供給可能な複数のバイアス電流(Ibias1、Ibias2、Ibias3)であることを特徴とする(図1参照)。
より好適な実施の形態では、前記高周波電力増幅器の前記多段増幅器は、各段間に整合回路(531、532、533)を含むことを特徴とする(図3参照)。
他のより好適な実施の形態では、前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧は、前記増幅器複製トランジスタのドレイン端子に相違する電圧レベルのドレイン電圧を供給した際に前記増幅器複製トランジスタに流れる相違するドレイン電流の差分が電圧に変換されたことを特徴とする(図2、図7参照)。
具体的な実施の形態は、前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧はAD変換器(110)の入力端子に供給可能とされ、前記AD変換器の出力端子に変換デジタル値が生成可能とされる。
前記変換デジタル値は変換テーブル(111)の入力端子に供給可能とされ、前記変換テーブルの出力端子にバイアスデジタル情報が生成可能とされる。
前記バイアスデジタル情報が、前記バイアス制御回路(112)に供給可能とされたことを特徴とする(図1参照)。
より具体的な実施の形態では、前記半導体チップ上に、前記AD変換器と前記変換テーブル(111)とを更に具備することを特徴とする(図1参照)。
他のより具体的な実施の形態では、前記半導体チップ上に、温度モニタ回路と電源電圧モニタ回路とを更に具備する。
前記温度モニタ回路は、前記半導体チップのチップ温度をモニタすることによってチップ温度モニタ出力信号を生成する。
前記電源電圧モニタ回路は、前記多段増幅器(103)に供給される電源電圧をモニタすることによって電源電圧モニタ出力信号を生成する。
前記AD変換器は、前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧と、前記チップ温度モニタ出力信号と、前記電源電圧モニタ出力信号とを時分割でそれぞれデジタル信号に変換することを特徴とする(図5参照)。
更に他のより具体的な実施の形態では、前記半導体チップ上に、前記AD変換器と制御ロジック回路(113)とを更に具備する。
前記制御ロジック回路は、前記半導体チップの外部の無線周波数半導体集積回路(200)とデジタルインターフェイスによって接続可能される。
前記制御ロジック回路は、前記無線周波数半導体集積回路(200)の半導体チップに内蔵される前記変換テーブル(111)の前記入力端子に前記デジタルインターフェイスによって前記AD変換器の前記変換デジタル値を供給可能とされる。
前記制御ロジック回路は、前記変換テーブル(111)の前記バイアスデジタル情報を前記デジタルインターフェイスによって前記バイアス制御回路(112)に供給可能とされたことを特徴とする(図4参照)。
最も具体的な実施の形態では、前記半導体チップ上に、制御ロジック回路(113)を更に具備する。
前記制御ロジック回路は、前記半導体チップの外部の無線周波数半導体集積回路(200)とデジタルインターフェイスによって接続可能される。
前記無線周波数半導体集積回路(200)の半導体チップには、前記AD変換器と前記変換テーブル(111)とが内蔵可能とされる。
前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧は、前記無線周波数半導体集積回路の前記半導体チップの前記AD変換器の前記入力端子に供給可能とされて、前記AD変換器の前記出力端子に前記変換デジタル値が生成可能とされる。
前記変換デジタル値は前記変換テーブル(111)の前記入力端子に供給可能とされ、前記変換テーブルの前記出力端子にバイアスデジタル情報が生成可能とされる。
前記制御ロジック回路は、前記変換テーブル(111)の前記バイアスデジタル情報を前記デジタルインターフェイスによって前記バイアス制御回路(112)に供給可能とされたことを特徴とする(図6参照)。
〔2〕本発明の別の観点の代表的な実施の形態は、は、カレントミラー接続されたバイアス電界効果トランジスタ(516)および電力増幅電界効果トランジスタ(513)と、バイアス制御回路(112)とを半導体チップ上に具備する高周波電力増幅器(100)の動作方法である。
前記電力増幅電界効果トランジスタ(513)は、接地電位に接続可能なソース端子と、高周波入力信号が供給可能なゲート端子と、高周波増幅出力信号が生成可能なドレイン端子とを持つ。
前記バイアス電界効果トランジスタ(516)には前記バイアス制御回路(112)から生成されるバイアス電流(Ibias3)が供給可能とされ、前記バイアス電界効果トランジスタ(516)のゲート・ソース間電圧は前記電力増幅電界効果トランジスタ(513)の前記ゲート端子と前記ソース端子の間に供給可能とされる。
前記半導体チップ上に、増幅器複製トランジスタ(421a)を有するゲート長モニタ回路(101)を、更に具備する。
前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは前記半導体チップ上に同一半導体製造プロセスで形成されることによって、前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは略同一のゲート長のばらつきを有する。
前記ゲート長モニタ回路は、前記増幅器複製トランジスタによって検出される前記ゲート長(L)に依存した検出電圧(Vmon)を生成する。
前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧が前記バイアス制御回路(112)を制御して、前記ゲート長(L)がばらつきを持つ際に、前記検出電圧に従って前記バイアス制御回路が前記バイアス電流(Ibias3)の値を制御することによって前記電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスの前記ゲート長(L)の依存性を補償することを特徴とする(図1、図2、図3参照)。
前記実施の形態によれば、高周波電力増幅器の電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスgmのゲート長の依存性による電力利得の変動を軽減することができる。
2.実施の形態の詳細
次に、実施の形態について更に詳述する。尚、発明を実施するための最良の形態を説明するための全図において、前記の図と同一の機能を有する部品には同一の符号を付して、その繰り返しの説明は省略する。
[実施の形態1]
《高周波電力増幅器の構成》
図1は、携帯電話端末の送信機に搭載可能とされた本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器の構成を示す図である。
図1に示すように、高周波電力増幅器モジュール100は、基本的に電力増幅器103と、利得ばらつき補正バイアス供給回路102と、ゲート長モニタ回路101とを、半導体集積回路の半導体チップ上に具備している。更に、詳細に説明すると、高周波電力増幅器モジュール100は、RF信号入力端子151、RF信号出力端子152、電源端子153、ゲート長モニタ回路101、利得ばらつき補正バイアス供給回路102、電力増幅器103、AD変換器110、バイアステーブル111、バイアス制御回路112を含むものである。
ゲート長モニタ回路101は1つの出力端子を有する回路であり、そのゲート長モニタ値出力端子はAD変換器110の入力端子に接続されている。
AD変換器110は1入力1出力を有する2端子の回路であり、その入力端子はゲート長モニタ回路101のゲート長モニタ値出力端子に接続され、その出力端子はバイアステーブル111の入力端子へ接続されている。
バイアステーブル111は1入力1出力を有する2端子の回路であり、その入力端子はAD変換器110の出力端子に接続され、その出力端子はバイアス制御回路112の入力端子へ接続されている。
バイアス制御回路112は1入力3出力を有する3端子の回路であり、その入力端子はバイアステーブル111の出力端子に接続され、その3つのバイアス制御出力端子は電力増幅器103の3つのバイアス制御入力端子に接続されている。
電力増幅器103は5入力1出力を有する6端子の回路であり、その3つのバイアス制御入力端子はバイアス制御回路112の3つのバイアス制御出力端子に接続され、その1つの入力端子はRF信号入力端子151に接続され、その電源電圧供給端子は電源端子153に接続され、その出力端子はRF信号出力端子152に接続されている。
利得ばらつき補正バイアス供給回路102は、AD変換器110と、バイアステーブル111と、バイアス制御回路112とを含んでいる。
《ゲート長モニタ回路》
図2は、図1に示した本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器に含まれたゲート長モニタ回路101の構成を示す図である。
図2に示すゲート長モニタ回路101は、参照電圧端子401、昇圧回路410a、410b、410c、ゲート電圧端子450、ドレイン電圧端子451a、451b、増幅器複製トランジスタ電流検出回路420a、420b、増幅器複製トランジスタ電流モニタ電圧端子455a、455b、電圧差出力回路440、ゲート長モニタ回路出力端子402を含んでいる。
更に図2に示すゲート長モニタ回路101は、差動増幅器411a、411b、411c、441、抵抗412a、412b、412c、413a、413b、413c、424a、424b、442、443、444、445、Pチャネル型MOSトランジスタ422a、422b、423a,423b、Nチャネル型LDMOSトランジスタ421a、421bを含むものである。尚、Nチャネル型LDMOSトランジスタ421a、421bのゲート長は、例えばゲート長ばらつきの影響が顕著な300nmに設定される一方、Pチャネル型MOSトランジスタ422a、422b、423a,423bのゲート長は十分に大きい値(例えば2μm)に設定されている。
昇圧回路410a〜cは1入力1出力を有する2端子の回路であり、それぞれ差動増幅器411a〜c、抵抗412a〜c、抵抗413a〜cを具備している。差動増幅器411a〜cは2入力1出力を有する3端子の回路であり、非反転入力端子は参照電圧端子401に接続され、反転入力端子は抵抗412a〜cと抵抗413a〜cとの共通接続ノードに接続されている。差動増幅器411の出力端子a〜cは、抵抗413a〜cと抵抗412a〜cとの直列接続を介して接地電位に接続されている。昇圧回路410a、410bの出力側の端子はドレイン電圧端子451a、451bに接続されて、昇圧回路410cの出力側の端子はゲート電圧端子450に接続されている。
増幅器複製トランジスタ電流検出回路420a〜bは2入力1出力を有する3端子の回路であり、それぞれ増幅器複製トランジスタ421a〜b、Pチャネル型MOSトランジスタ422a〜b、Pチャネル型MOSトランジスタ423a〜b、抵抗424a〜bを含んでいる。増幅器複製トランジスタ421a〜bのゲートはゲート電圧端子450に接続され、ソース端子は接地され、ドレイン端子はPチャネル型MOSトランジスタ422a〜bのドレイン端子とゲート端子およびPチャネル型MOSトランジスタ423a〜bのゲート端子に接続されている。Pチャネル型MOSトランジスタ422a〜bとPチャネル型MOSトランジスタ423a〜bとはカレントミラー接続されており、そのソース端子はドレイン電圧端子451a〜bに接続されている。Pチャネル型MOSトランジスタ423a〜bのドレイン端子は、抵抗424a〜bを介して接地電位に接続される一方、増幅器複製トランジスタ電流モニタ電圧端子455a〜bに接続されている。
電圧差出力回路440は2入力1出力を有する3端子の回路であり、差動増幅器441と、抵抗442〜445を含んでいる。抵抗442の一端は増幅器複製トランジスタ電流モニタ電圧端子455aに接続され、抵抗442の他端は差動増幅器441の反転入力端子に接続されており抵抗443を介して差動増幅器441の出力端子に接続されている。抵抗444の一端は増幅器複製トランジスタ電流モニタ電圧端子455bに接続され、抵抗442の他端は差動増幅器441の非反転入力端子に接続されており抵抗445を介して接地電位に接続される。差動増幅器441の出力端子は、ゲート長モニタ回路出力端子402に接続されており、抵抗443を介して反転入力端子に接続されている。
《電力増幅器》
図3は、図1に示した本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器に含まれた電力増幅器103の構成を示す図である。
図3に示す電力増幅器103は、RF入力端子501、RF出力端子502、電源電圧端子503、バイアス電流端子504、505、506、1段目電力増幅器511、2段目電力増幅器512、3段目電力増幅器513、Nチャネル型LDMOSトランジスタ514、515、516、抵抗517、518、519、チョークインダクタ520、521、522、整合回路530、531、532、533を含むものである。尚、1段目電力増幅器511、2段目電力増幅器512、3段目電力増幅器513は、それぞれ短チャネルのLDMOSトランジスタであり、1段目電力増幅器511、2段目電力増幅器512、3段目電力増幅器513およびNチャネル型LDMOSトランジスタ514,515,516は半導体集積回路の半導体チップの同一半導体製造プロセスで形成され、ゲート長サイズは例えばゲート長ばらつきの影響が顕著な300nmに設定されるものとする。
RF入力端子501は入力整合回路530を介して1段目増幅器511のゲート端子と抵抗517の一端とに接続される。抵抗517の他端はNチャネル型LDMOSトランジスタ514のゲート端子およびドレイン端子とバイアス電流端子504に接続される。Nチャネル型LDMOSトランジスタ514のソース端子は接地される。すなわち、Nチャネル型LDMOSトランジスタ514と1段目増幅器511とは、抵抗517を介してカレントミラー接続されている。
1段目電力増幅器511のソース端子は接地されて、ドレイン端子はチョークインダクタ520を介して電源電圧端子503に接続されるとともに1段−2段間の整合回路531を介して2段目電力増幅器512のゲート端子および抵抗518の一端に接続されている。抵抗518の他端はNチャネル型LDMOSトランジスタ515のゲート端子およびドレイン端子とバイアス電流端子505に接続されている。Nチャネル型LDMOSトランジスタ515のソース端子は接地される。すなわち、Nチャネル型LDMOSトランジスタ515と2段目電力増幅器512とは、抵抗518を介してカレントミラー接続されている。
2段目電力増幅器512のソース端子は接地されて、ドレイン端子はチョークインダクタ521を介して電源電圧端子503に接続されるとともに2段−3段間の整合回路532を介して3段目電力増幅器513のゲート端子および抵抗519の一端に接続されている。抵抗519の他端はNチャネル型LDMOSトランジスタ516のゲート端子およびドレイン端子とバイアス電流端子506に接続されている。Nチャネル型LDMOSトランジスタ516のソース端子は接地される。すなわち、Nチャネル型LDMOSトランジスタ516と3段目電力増幅器513とは、抵抗519を介してカレントミラー接続されている。
3段目電力増幅器513のソース端子は接地されて、ドレイン端子はチョークインダクタ522を介して電源電圧端子503に接続されるとともに出力整合回路533を介してRF出力端子502に接続される。
《高周波電力増幅器の動作》
次に、図1と図3とを参照して、本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器の動作を説明する。
図1に示す本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器モジュール100で、RF信号は、図示しない信号源からRF信号入力端子151を介して多段電力増幅器103へ入力される。入力整合回路530は、図示しない信号源の出力インピーダンスと1段目電力増幅器511の入力インピーダンスとを整合する機能を有する。
図3に示す本発明の実施の形態1による電力増幅器103では、多段電力増幅器103に入力されたRF信号は入力整合回路530を介して1段目電力増幅器511のゲート端子へ入力される。
1段目電力増幅器511のドレイン端子にはチョークインダクタ520を介して電源端子503から電源電圧Vddが供給され、1段目電力増幅器511のアイドル電流はバイアス制御回路112によってゲート長ばらつきが補正されたバイアス電流Ibias1と増幅段のカレントミラー構成とによって決定される。抵抗517は、1段目電力増幅器511のゲート端子のRF入力信号がバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ514に流入しないように、例えば1kΩの抵抗値に設定されている。
1段目増幅器511のゲート端子へ入力されたRF信号は1段目増幅器511によって増幅され、1段目増幅器511のドレイン端子から出力される。1段目増幅器511のドレイン端子から出力されたRF信号は1段−2段間の整合回路531を介して2段目電力増幅器512のゲート端子へと入力される。1段−2段間の整合回路530は、1段目電力増幅器511の出力インピーダンスと2段目電力増幅器512の入力インピーダンスとを整合する機能を有する。
2段目電力増幅器512のドレイン端子にはチョークインダクタ521を介して電源端子503から電源電圧Vddが供給され、2段目電力増幅器512のアイドル電流はバイアス制御回路112によってゲート長ばらつきが補正されたバイアス電流Ibias2と増幅段のカレントミラー構成とによって決定される。抵抗518は、2段目電力増幅器512のゲート端子のRF増幅信号がバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ515に流入しないように、例えば1kΩの抵抗値に設定されている。
2段目増幅器512のゲート端子へ入力されたRF信号は2段目増幅器512によって増幅され、2段目増幅器512のドレイン端子から出力される。2段目増幅器512のドレイン端子から出力されたRF信号は2段−3段間の整合回路532を介して3段目電力増幅器513のゲート端子へと入力される。2段−3段間の整合回路532は、2段目電力増幅器512の出力インピーダンスと3段目電力増幅器513の入力インピーダンスとを整合する機能を有する。
3段目電力増幅器513のドレイン端子にはチョークインダクタ522を介して電源端子503から電源電圧Vddが供給され、3段目電力増幅器513のアイドル電流はバイアス制御回路112によってゲート長ばらつきが補正されたバイアス電流Ibias3と増幅段のカレントミラー構成とによって決定される。抵抗519は、3段目電力増幅器513のゲート端子のRF増幅信号がバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ516に流入しないように、例えば1kΩの抵抗値に設定されている。
3段目増幅器513のゲート端子へ入力されたRF信号は3段目増幅器513によって増幅され、3段目増幅器513のドレイン端子から出力される。3段目増幅器513のドレイン端子から出力されたRF信号は、出力整合回路533を介してRF出力端子502へと出力される。
《ゲート長モニタ回路の動作》
次に、図2を参照して、本発明の実施の形態1によるゲート長モニタ回路の動作を説明する。
図2に示した本発明の実施の形態1によるゲート長モニタ回路101で、増幅段を複製(replicate)するNチャネル型LDMOSトランジスタ421a、421bは電力増幅器103中の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513と半導体集積回路の同一半導体製造プロセスで形成される。また、増幅段を複製するNチャネル型LDMOSトランジスタ421a、421bは、電力増幅器103中の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513と同一のゲート長のばらつきプロファイルを有している。
ゲート長モニタ回路101の増幅段複製トランジスタ421a、422bのゲート端子に昇圧回路410cで参照電圧Vrefを基準に昇圧された同一のゲート電圧Vggが供給される一方、増幅段複製トランジスタ421a、422bのドレイン端子に昇圧回路410a、410bで昇圧されたドレイン電圧Vds1、Vds2がそれぞれ供給される。この際に、ドレイン電圧Vds1、Vds2には、Vds1>Vds2の関係が設定されている。従って、増幅段複製トランジスタ421a、422bのドレイン電流Ids1、Ids2は、次式で与えられる。
Figure 0005404473
Figure 0005404473
ここでλは増幅段複製Nチャネル型MOSトランジスタのチャネル長変調係数、Wは増幅段複製Nチャネル型MOSトランジスタのゲート幅、Vthは増幅段複製Nチャネル型MOSトランジスタのしきい値、kは増幅段複製Nチャネル型MOSトランジスタのプロセスパラメータに依存した値である。
ドレイン電流Ids1とドレイン電流Ids2とは、それぞれPチャネル型MOSトランジスタ422a、423aによって形成されるカレントミラーもしくはPチャネル型MOSトランジスタ422b、423bによって形成されるカレントミラーによってミラーされるので、抵抗424a、424bによって電圧信号Vdet1、Vdet2に変換される。簡単のために、カレントミラーのサイズ比を1:1として、電圧信号Vdet1、Vdet2は次式で与えられる。
Figure 0005404473
Figure 0005404473
ここで、Rは抵抗424a、424bの抵抗値である。
電圧信号Vdet1、Vdet2は電圧差出力回路440に入力されるので、電圧差出力回路440はVdet1−Vdet2に比例した信号電圧Vmonを出力する。この信号電圧Vmonは、与えられる。
Figure 0005404473
ここで、ΔVdsはVds1とVds2の差である。上記(6)式より、ゲート長モニタ出力電圧Vmonは、ゲート長Lに対する依存性を持つことが理解される。
《アイドル電流とバイアス電流の決定方法》
図1に示す本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器モジュール100の利得ばらつき補正バイアス供給回路102において、ゲート長モニタ回路101から出力されるゲート長モニタ出力電圧はAD変換器110を介してデジタル値に変換され、変換デジタル値はバイアステーブル111に入力される。バイアステーブル111はゲート長を反映したデジタル入力値に応答して、バイアス制御回路112にバイアスデジタル出力情報を供給する。このバイアスデジタル出力情報に応答して、バイアス制御回路112は電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスを略一定にするのに最適なバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3を発生する。バイアス制御回路112から発生されたバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3はバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ514、515、516に供給されるので、カレントミラー回路バイアス方式によって電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値が設定される。このアイドル電流の値によって、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmが略一定に設定される。
次に、バイアステーブル111に格納されるゲート長を反映したデジタル入力値とバイアスデジタル出力情報との変換データの作成方法を説明する。
上記(1)式から、ゲート長Lの変動にもかかわらず、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmを略一定に制御するための増幅段トランジスタのアイドル電流の値を設定することができる。
図9は、ゲート長Lの変動に対するNチャネル型LDMOSトランジスタの種々のパラメータの依存性を示す図である。
図9(a)は、上記(1)式で与えられるトランジスタのトランスコンダクタンスgmの二乗の半分の値の2kW/L(1+λVds)のゲート長Lの変動に対する依存性を示している。図9(a)に示すように、ゲート長Lが短くなると、トランスコンダクタンスgmの二乗の半分の値は大幅に増大する。
図9(b)は、ゲート長Lの変動に対し電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値を略一定に制御した場合の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmのゲート長Lの変動に対する依存性を示している。図9(b)に示すように、ゲート長Lが短くなると、トランスコンダクタンスgmは増大するので、電力増幅器103の電力利得が増大することとなる。
図9(c)は、ゲート長Lの減少に際して本発明の実施の形態1によって電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値を減少する場合の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmのゲート長Lの変動に対する依存性を示している。図9(c)に示すようにゲート長Lが短くなっても、トランスコンダクタンスgmは略一定となるので、電力増幅器103の電力利得の増大を軽減する可能となる。
電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値とバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ514、515、516のバイアス電流の値の対応関係は、増幅段トランジスタ511、512、513のゲート幅Wとバイアストランジスタ514、515、516のゲート幅Wとのデバイスレシオによって略決定される。また更に、この精密な対応関係は、このデバイスレシオを電子回路シミュレーターに入力することによって導出することが可能となる。
図8は、図1、図2、図3、図9を参照して説明した本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器モジュール100で、ゲート長Lの変動に対するゲート長モニタ回路101のモニタ出力である電圧差出力回路440の信号電圧Vmonの依存性とバイアストランジスタ514、515、516のバイアス電流Ibiasの依存性とモニタ出力信号電圧Vmonとバイアス電流Ibiasとの関係を示した図である。
図8(a)から、ゲート長Lの減少によりゲート長モニタ回路101のモニタ出力信号電圧Vmonが増大することが理解される。
図8(b)から、ゲート長Lの減少に際して、本発明の実施の形態1によって電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流を減少するため、バイアストランジスタ514、515、516のバイアス電流Ibiasの値がゲート長モニタ回路101のモニタ出力信号電圧Vmonに応答した利得ばらつき補正バイアス供給回路102により減少されることが理解される。
すなわち、図8(c)に示すように、ゲート長Lの減少によるゲート長モニタ回路101のモニタ出力信号電圧Vmonの増大に応答して、利得ばらつき補正バイアス供給回路102のAD変換器110とバイアステーブル111とバイアス制御回路112はバイアストランジスタ514、515、516のバイアス電流Ibiasの電流値を減少させるものである。
図10は、図1、図2、図3、図8、図9を参照して説明した本発明の実施の形態1の高周波電力増幅器モジュール100で、ゲート長Lの変動に対する利得ばらつきの補正効果を示す図である。
図10の縦軸は電力増幅器103の利得ばらつきを示す一方、図10の横軸は電力増幅器103の出力パワーを示している。尚、図10では、電力増幅器103のNチャネル型LDMOSトランジスタのゲート長Lが±10%のばらつきを示した場合を想定したものである。
上記特許文献1、2、3に記載されたように従来は、ゲート長Lが変動した場合にはバイアス電流やアイドル電流を略一定に制御しために、MOSトランジスタのトランスコンダクタンスgm自体のゲート長Lの依存性によって大きな利得ばらつきを示すものである。
それに対して図1、図2、図3、図8、図9を参照して説明した本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器モジュール100では、ゲート長Lが減少した場合にはバイアス電流やアイドル電流を減少するように制御するので、MOSトランジスタのトランスコンダクタンスgmは略一定となって、電力増幅器103の電力利得の増大を軽減する可能となる。
更に図10から、略10dBmの低出力から略30dBmの高出力の広範囲において、利得ばらつき抑制効果があることが理解される。例えば、28dBmの出力時で比較すると、本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器モジュール100は、従来と比較して略50%程度の利得ばらつき抑制が可能であることが理解される。
また本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器モジュール100によれば、ゲート長Lの減少によるゲート長モニタ回路101のモニタ出力信号電圧Vmonの増大に応答して利得ばらつき補正バイアス供給回路102のAD変換器110とバイアステーブル111とバイアス制御回路112とはバイアストランジスタ514、515、516のバイアス電流Ibiasの電流値をオンチップで減少させて、オンチップでMOSトランジスタのトランスコンダクタンスgmは略一定として、電力増幅器103の電力利得の増大を軽減するものである。その結果、本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器モジュール100によれば、上記特許文献3に記載された方法でのパッドの増加としきい値電圧と変化量DIBLの測定とRFパワーモジュールの組み立て工程で最適な抵抗値の外部抵抗の選択とを不必要とすることが可能となる。
[実施の形態2]
《他の高周波電力増幅器の構成》
図4は、携帯電話端末の送信機に搭載可能とされた本発明の実施の形態2による他の高周波電力増幅器の構成を示す図である。
図4に示す本発明の実施の形態2による他の高周波電力増幅器を搭載した携帯電話端末の送信機が、図1に示した本発明の実施の形態1による高周波電力増幅器を搭載した携帯電話端末の送信機と相違するのは、下記の点である。
まず図4に示す本発明の実施の形態2による携帯電話端末の送信機には、無線周波数半導体集積回路(以下、RFICと言う)200とパワーマネジメントIC300とが追加されている。
RFIC200は、ベースバンドプロセッサ(図示せず)から供給されるデジタル送信ベースバンド信号をアナログ送信ベースバンド信号にDA変換して、更にこのアナログ送信ベースバンド信号を直交周波数アップコンバージョンすることによってRF送信信号を生成する。RFIC200によって生成されたRF送信信号は、高周波電力増幅器モジュール100のRF信号入力端子151に供給される。
また更にRFIC200は、高周波電力増幅器モジュール100のRF信号出力端子152に接続された携帯電話端末の送受信アンテナ(図示せず)によって受信された基地局からのRF受信信号を低雑音増幅して、更にこのRF増幅信号を直交周波数ダウンコンバージョンすることによってアナログ受信ベースバンド信号を生成する。更にRFIC200はアナログ受信ベースバンド信号をデジタル受信ベースバンド信号にAD変換して、このデジタル受信ベースバンド信号をベースバンドプロセッサ(図示せず)に供給する。
パワーマネジメントIC300は、携帯電話端末に搭載されるバッテリー(図示せず)から動作電圧が供給される。更にパワーマネジメントIC300は、RFIC200から供給される電源電圧制御信号Vadjに応答して、電力増幅器103の電源電圧Vddのレベルを制御する。特に、高周波電力増幅器モジュール100のRF信号出力端子152のRF送信出力信号の信号振幅レベルが低い状態で、電力増幅器103の電源電圧Vddの電圧レベルが低く制御されることによって低出力時の電力付加効率を改善することが可能となる。
更に図1に示した本発明の実施の形態1では、高周波電力増幅器モジュール100の内部に配置されていたバイアステーブル111は、図4に示す本発明の実施の形態2による携帯電話端末の送信機ではRFIC200の内部に配置が変更されている。この変更に従って、図4に示す本発明の実施の形態2では、高周波電力増幅器モジュール100の内部に制御ロジック回路113が配置されている。
従って、図4に示す本発明の実施の形態2では、高周波電力増幅器モジュール100のAD変換器110とRFIC200のバイアステーブル111の間に高周波電力増幅器モジュール100の制御ロジック回路113が接続され、RFIC200のバイアステーブル111と高周波電力増幅器モジュール100のバイアス制御回路112との間には高周波電力増幅器モジュール100の制御ロジック回路113が接続されている。
制御ロジック回路113は少なくとも6端子を有する回路であり、4つの端子のロジック電圧端子(VIO)154とクロック信号端子(CLK)155とデータ信号端子(DATA)156とイネーブル信号端子(ENA)157とはRFIC200に接続され、1つのバイアス制御端子はバイアス制御回路112に接続され、1つのデジタルゲート長モニタ入力端子はAD変換器110に接続される。
従って、図4に示した本発明の実施の形態2では、利得ばらつき補正バイアス供給回路102は、高周波電力増幅器モジュール100の内部のAD変換器110と、RFIC200の内部のバイアステーブル111と、高周波電力増幅器モジュール100の内部の制御ロジック回路113およびバイアス制御回路112とによって構成されている。その結果、高周波電力増幅器モジュール100の制御ロジック回路113は、利得ばらつき補正に関して、高周波電力増幅器モジュール100の内部のAD変換器110およびバイアス制御回路112とRFIC200の内部のバイアステーブル111の間のデジタルインターフェイスとして機能するものである。
《デジタルインターフェイスによる利得ばらつき補正》
RFIC200はクロック信号端子(CLK)155のクロック信号とイネーブル信号端子(ENA)157のライト・イネーブル信号とデータ信号端子(DATA)156のデータ信号とを制御ロジック回路113に供給することによって、制御ロジック回路113の内部メモリにデータを任意に書き込むことが可能である。更にRFIC200はクロック信号端子(CLK)155のクロック信号とイネーブル信号端子(ENA)157のリード・イネーブル信号とを制御ロジック回路113に供給することによって、制御ロジック回路113の内部メモリの格納データを任意に読み出すことが可能である。
ゲート長モニタ回路101の出力のゲート長モニタ出力電圧はAD変換器110によってデジタルゲート長モニタ信号に変換され、制御ロジック回路113の内部メモリ回路に格納される。
RFIC200は制御ロジック回路113の内部メモリ回路に格納されたデジタルゲート長モニタ信号をデータ信号端子(DATA)156から読み出して、読み出したデジタルゲート長モニタ信号はバイアステーブル111に供給される。すると、バイアステーブル111は、供給されたデジタルゲート長モニタ信号の固有値に対応するエントリーから、対応する固有値を有するバイアスデジタル出力情報を出力する。次に、RFIC200は、バイアステーブル111から出力された固有値のバイアスデジタル出力情報を、高周波電力増幅器モジュール100の制御ロジック回路113の上述のデジタルインターフェイスを利用して制御ロジック回路113の内部メモリに格納する。更に制御ロジック回路113の内部メモリに格納された固有のバイアスデジタル出力情報値は、バイアス制御回路112に供給される。するとこの固有のバイアスデジタル出力情報値に応答して、バイアス制御回路112は電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスを略一定にするのに最適なバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3を発生する。バイアス制御回路112から発生されたバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3はバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ514、515、516に供給されるので、カレントミラー回路バイアス方式によって電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値が設定される。このアイドル電流の値によって、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmが略一定に設定される。
以上、図4を参照して説明した本発明の実施の形態2によれば、高周波電力増幅器モジュール100のRF信号出力端子152のRF送信出力信号の信号振幅レベルが低い状態で、RFIC200とパワーマネジメントIC300の動作によって電力増幅器103の電源電圧Vddの電圧レベルが低く制御されることによって低出力時の電力付加効率の改善が可能となる。
一方、パワーマネジメントIC300の電力増幅器103の電源電圧Vddの動的制御によって、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513の各ドレイン・ソース間電圧Vdsの変動が発生する。その結果、上記(1)式に従ってドレイン・ソース間電圧Vdsの変動により、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513の各トランスコンダクタンスgmの値が変動することになる。従って、電力増幅器103の電源電圧Vddの動的制御により、電源電圧Vddの各異なった電圧値における各異なったトランスコンダクタンスgmと利得ばらつき補正のための各異なったバイアス電流と各異なったアイドル電流が必要となる。
従って、本発明の実施の形態2の更により好適な実施の形態では、パワーマネジメントIC300にRFIC200から供給される電源電圧制御信号Vadjの複数のレベルに対応して、バイアステーブル111には複数の変換ページが準備されている。すなわち、電源電圧制御信号Vadjの固有のレベルに対応する固有の電源電圧Vddの状態では、電源電圧制御信号Vadjによって利得ばらつき補正に最適なバイアステーブル111の変換ページが選択される。バイアステーブル111で選択された利得ばらつき補正に最適な変換ページから、最適な値を有するバイアスデジタル出力情報が出力されることが可能となる。
[実施の形態3]
図5は、携帯電話端末の送信機に搭載可能とされた本発明の実施の形態3による更に他の高周波電力増幅器の構成を示す図である。
図5に示す携帯電話端末の送信機に搭載された本発明の実施の形態3による更に他の高周波電力増幅器が、図4に示した携帯電話端末の送信機に搭載された本発明の実施の形態2による他の高周波電力増幅器と相違するのは、下記の点である。
まず図5に示す本発明の実施の形態2による更に他の高周波電力増幅器としての高周波電力増幅器モジュール100には、電源電圧モニタ回路120と温度モニタ回路130とが追加されている。
更に、図5に示す本発明の実施の形態2では、高周波電力増幅器モジュール100のAD変換器110は、ゲート長モニタ回路101のアナログ出力信号と電源電圧モニタ回路120のアナログ出力信号と温度モニタ回路130のアナログ出力信号とを時分割AD変換によってそれぞれデジタル信号に変換するものである。
電源電圧モニタ回路120は電源端子153の電源電圧Vddをモニタすることによって電源電圧モニタ出力信号を出力して、温度モニタ回路130は電力増幅器103の半導体集積回路の半導体チップの温度をモニタすることによってチップ温度モニタ出力信号を出力する。図5に示す本発明の実施の形態2の高周波電力増幅器モジュール100でも、以前の実施の形態と全く同様にゲート長モニタ回路101からゲート長モニタ出力電圧が出力される。
従って、利得ばらつき補正バイアス供給回路102のAD変換器110は、ゲート長モニタ回路101のゲート長モニタ出力電圧と電源電圧モニタ回路120の電源電圧モニタ出力信号と温度モニタ回路130のチップ温度モニタ出力信号を時分割AD変換によってそれぞれデジタル信号に変換する。従って、ゲート長モニタデジタル信号と電源電圧モニタデジタル信号とチップ温度モニタデジタル信号は、制御ロジック回路113の内部メモリ回路に順次に格納される。
RFIC200は制御ロジック回路113の内部メモリ回路に格納されたゲート長モニタデジタル信号と電源電圧モニタデジタル信号とチップ温度モニタデジタル信号とをデータ信号端子(DATA)156から順次に読み出し、順次に読み出したこれらのデジタル信号はバイアステーブル111に供給される。すると、バイアステーブル111の複数の変換ページから電源電圧モニタデジタル信号とチップ温度モニタデジタル信号に従って最適な変換ページが選択され、この選択された最適な変換ページの供給されたゲート長モニタデジタル信号の固有値に対応するエントリーから対応する固有値を有するバイアスデジタル出力情報が出力される。
次に、RFIC200は、バイアステーブル111から出力された固有値のバイアスデジタル出力情報を、高周波電力増幅器モジュール100の制御ロジック回路113のデジタルインターフェイスを利用して制御ロジック回路113の内部メモリに格納する。更に制御ロジック回路113の内部メモリに格納された固有のバイアスデジタル出力情報値は、バイアス制御回路112に供給される。するとこの固有のバイアスデジタル出力情報値に応答して、バイアス制御回路112は電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスを略一定にするのに最適なバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3を発生する。バイアス制御回路112からのバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3はバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ514、515、516に供給され、カレントミラー回路バイアス方式によって電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値が設定される。このアイドル電流の値によって、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmが略一定に設定される。
以上図5を参照して説明した本発明の実施の形態3によれば、利得ばらつき補正バイアス供給回路102は、ゲート長Lの変動と電源電圧Vddの変動と半導体集積回路の半導体チップの変動とにも対して、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値を最適に制御するのでランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmを略一定に制御することが可能となる。
また、AD変換器110は、ゲート長モニタ回路101のゲート長モニタ出力電圧と電源電圧モニタ回路120の電源電圧モニタ出力信号と温度モニタ回路130のチップ温度モニタ出力信号を時分割AD変換によってそれぞれデジタル信号に変換する。従って、AD変換器110は、3個のアナログ信号のAD変換に共用されている。その結果、複数のアナログ信号のAD変換に際して、AD変換器のチップ占有面積の増大を回避することが可能となる。
[実施の形態4]
図6は、携帯電話端末の送信機に搭載可能とされた本発明の実施の形態4によるまた更に他の高周波電力増幅器の構成を示す図である。
図6に示す携帯電話端末の送信機に搭載された本発明の実施の形態4による更に他の高周波電力増幅器が、図4に示した携帯電話端末の送信機に搭載された本発明の実施の形態2による他の高周波電力増幅器と相違するのは、下記の点である。
まず、図6に示す本発明の実施の形態4による携帯電話端末の送信機では、図4の本発明の実施の形態2で高周波電力増幅器モジュール100の内部に配置されていたAD変換器110がRFIC200の内部に移動されている。従って、ゲート長モニタ回路101のゲート長モニタ出力電圧は、高周波電力増幅器モジュール100の外部配線を介してRFIC200の内部のAD変換器110の入力に供給される。
更に、RFIC200の内部のAD変換器110の出力から生成されるゲート長モニタデジタル信号は、RFIC200の内部配線を介してバイアステーブル111に供給される。するとバイアステーブル111は、供給されたデジタルゲート長モニタ信号の固有値に対応するエントリーから、対応する固有値を有するバイアスデジタル出力情報を出力する。次にRFIC200は、バイアステーブル111から出力された固有値のバイアスデジタル出力情報を、制御ロジック回路113の上述のデジタルインターフェイスを利用して制御ロジック回路113の内部メモリに格納する。制御ロジック回路113の内部メモリに格納された固有のバイアスデジタル出力情報値は、バイアス制御回路112に供給される。するとこの固有のバイアスデジタル出力情報値に応答して、バイアス制御回路112は電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスを略一定にするのに最適なバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3を発生する。バイアス制御回路112から発生されたバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3はバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ514、515、516に供給されるので、カレントミラー回路バイアス方式によって電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値が設定される。このアイドル電流の値によって、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmが略一定に設定される。
《ゲート長モニタ回路》
図7は、図6に示した本発明の実施の形態4による高周波電力増幅器に含まれたゲート長モニタ回路101の構成を示す図である。
図7に示したゲート長モニタ回路101は、参照電圧端子401、昇圧回路410a、410c、ゲート電圧端子450、ドレイン電圧端子451a、増幅器複製トランジスタ電流検出回路420a、ゲート長モニタ回路出力端子402を含んでいる。
更に図7に示すゲート長モニタ回路101は、差動増幅器411a、411c、抵抗412a、412a’412c、413a、413c、424a、Pチャネル型MOSトランジスタ422a、423a、増幅段複製トランジスタとしてのNチャネル型LDMOSトランジスタ421a、スイッチ460aを含むものである。尚、Nチャネル型LDMOSトランジスタ421aのゲート長は、例えばゲート長ばらつきの影響が顕著な300nmに設定される一方、Pチャネル型MOSトランジスタ422a、423aのゲート長は十分に大きい値(例えば2μm) に設定されている。
昇圧回路410aは、差動増幅器411a、スイッチ460a、抵抗412a、412a’、413aを含んでいる。差動増幅器411aの非反転入力端子は参照電圧端子401に接続され、反転入力端子はスイッチ460aを介して抵抗412a、412a’の一端に接続される一方、抵抗413の一端に接続される。抵抗412a、412a’の他端は接地電位に接続されて、抵抗413の他端は差動増幅器411aの出力端子とドレイン電圧端子451aとに接続されている。
昇圧回路410cは、差動増幅器411c、抵抗412c、413cを含んでいる。差動増幅器411cの非反転入力端子は参照電圧端子401入力側に接続され、反転入力端子は抵抗412cの一端と抵抗413cの一端とに接続される。抵抗412cの他端は接地電位に接続され、抵抗413cの他端は差動増幅器411の出力端子とゲート電圧端子450とに接続されている。
増幅器複製トランジスタ電流検出回路420aは、増幅器複製トランジスタ421a、Pチャネル型MOSトランジスタ422a、Pチャネル型MOSトランジスタ423a、抵抗424aを含んでいる。増幅器複製トランジスタ電流検出回路421aのゲート端子はゲート電圧端子450に接続されて、ソース端子は接地電位に接続されて、ドレイン端子はPチャネル型MOSトランジスタ422aのドレイン端子とゲート端子およびPチャネル型MOSトランジスタ423aのゲート端子に接続されている。従って、Pチャネル型MOSトランジスタ422a、423aはカレントミラー接続されており、そのソース端子はドレイン電圧端子451aに接続されている。またPチャネル型MOSトランジスタ423aのドレイン端子は、抵抗424aを介して接地される一方、ゲート長モニタ回路出力端子402に接続されている。
図7に示した本発明の実施の形態4によるゲート長モニタ回路101で、増幅段を複製するNチャネル型LDMOSトランジスタ421aは電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513と半導体集積回路の同一半導体製造プロセスで形成される。また増幅段を複製するNチャネル型LDMOSトランジスタ421aは、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513と同一のゲート長のばらつきプロファイルを有している。
増幅段複製トランジスタ421aのゲート端子には、参照電圧Vrefを基準に昇圧回路410cで昇圧されたゲート電圧Vggが供給される。スイッチ460aは最初抵抗412aに接続され、次のタイミングでは抵抗412a’に接続される。抵抗412a、412a’の抵抗値の差によって、スイッチ460aの切り換え動作に応答して、昇圧回路410aの出力電圧端子451aの電圧が切り換えられる。増幅段複製トランジスタ421aのドレイン端子には第1ドレイン電圧Vds1と第2ドレイン電圧Vds2とが順次かつ交互に供給される。従って、上記(4)式と上記(5)式とで与えられる第1電圧信号Vdet1と第2電圧信号Vdet2とがゲート長モニタ回路出力端子402に順次かつ交互に出力される。
従って、図7に示したゲート長モニタ回路101のゲート長モニタ回路出力端子402に順次かつ交互に出力される第1電圧信号と第2電圧信号がゲート長モニタ出力電圧として、高周波電力増幅器モジュール100の外部配線を介してRFIC200の内部のAD変換器110の入力に供給される。RFIC200は内部にデジタル演算回路(図示せず)を含むもので、このデジタル演算回路はAD変換器110の第1電圧信号Vdet1の第1デジタル変換値から第2電圧信号Vdet2の第2デジタル変換値の減算を実行する。このデジタル演算回路による減算結果は、上記(6)式に従ったゲート長モニタ出力電圧Vmonと同様なゲート長Lに対する依存性を持つことが理解される。
図6に示す本発明の実施の形態4による高周波電力増幅器モジュール100の利得ばらつき補正バイアス供給回路102において、デジタル演算回路による減算結果はバイアステーブル111に入力される。バイアステーブル111はゲート長を反映したデジタル入力値に応答して、バイアス制御回路112にバイアスデジタル出力情報を供給する。バイアスデジタル出力情報に応答して、バイアス制御回路112は電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスを略一定にするのに最適なバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3を発生する。バイアス制御回路112から発生されたバイアス電流Ibias1、Ibias2、Ibias3はバイアス回路のNチャネル型LDMOSトランジスタ514、515、516に供給されるので、カレントミラー回路バイアス方式によって電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のアイドル電流の値が設定される。このアイドル電流の値によって、電力増幅器103の増幅段Nチャネル型LDMOSトランジスタ511、512、513のトランスコンダクタンスgmが略一定に設定される。
以上、本発明者によってなされた発明を種々の実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
例えば、電力増幅器103の増幅トランジスタと増幅段複製トランジスタとは、Nチャネル型LDMOSトランジスタに限定されるものではなく、シリコン半導体以外のGaAs等の化合物半導体集積回路の半導体チップに集積化可能なHEMTトランジスタやMESFETを使用可能であることは言うまでもない。
また更に本発明による高周波電力増幅器は、携帯電話端末の送信機に搭載可能な高周波電力増幅器に限定されるものではなく、無線LAN通信端末に搭載可能な高周波電力増幅器に適応可能であることは言うまでもない。
100…高周波電力増幅器モジュール
101…ゲート長モニタ回路
102…利得ばらつき補正バイアス供給回路
103…電力増幅器
110…AD変換器
111…バイアステーブル
112…バイアス制御回路
113…制御ロジック回路
120…電源電圧モニタ回路
130…温度モニタ回路
151…RF信号入力端子
152…RF信号出力端子
153…電源電圧端子
154…ロジック電圧端子
155…クロック信号端子
156…データ信号端子
157…イネーブル信号端子
200…無線周波数半導体集積回路(RFIC)
300…パワーマネジメントIC300
401…参照電圧端子401
402…ゲート長モニタ回路出力端子
410…昇圧回路410昇圧回路
411…差動増幅器
412〜413…抵抗
420…増幅器複製トランジスタ電流検出回路
421…増幅器複製トランジスタ
422…Pチャネル型MOSトランジスタ
423…Pチャネル型MOSトランジスタ
424…抵抗
440…電圧差出力回路
441…差動増幅器
450…ゲート電圧端子
451…ドレイン電圧端子
455…増幅器複製トランジスタ電流モニタ電圧端子
460…スイッチ460
501…RF入力端子
502…RF出力端子
503…電源電圧端子
504〜506…バイアス電流端子
511…1段目電力増幅器
511…2段目電力増幅器
513…3段目電力増幅器
514〜516…Nチャネル型LDMOSトランジスタ
517〜519…抵抗
520〜522…チョークインダクタ
530〜533…整合回路

Claims (20)

  1. カレントミラー接続されたバイアス電界効果トランジスタおよび電力増幅電界効果トランジスタと、バイアス制御回路とを半導体チップ上に具備する高周波電力増幅器であって、
    前記電力増幅電界効果トランジスタは、接地電位に接続可能なソース端子と、高周波入力信号が供給可能なゲート端子と、高周波増幅出力信号が生成可能なドレイン端子とを持ち、
    前記バイアス電界効果トランジスタには前記バイアス制御回路から生成されるバイアス電流が供給可能とされ、前記バイアス電界効果トランジスタのゲート・ソース間電圧は前記電力増幅電界効果トランジスタの前記ゲート端子と前記ソース端子の間に供給可能とされ、
    前記半導体チップ上に、増幅器複製トランジスタを有するゲート長モニタ回路を、更に具備して、
    前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは前記半導体チップ上に同一半導体製造プロセスで形成されることによって、前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは略同一のゲート長のばらつきを有して、
    前記ゲート長モニタ回路は、前記増幅器複製トランジスタによって検出される前記ゲート長に依存した検出電圧を生成して、
    前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧が前記バイアス制御回路を制御して、前記ゲート長がばらつきを持つ際に、前記検出電圧に従って前記バイアス制御回路が前記バイアス電流の値を制御することによって前記電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスの前記ゲート長の依存性を補償する
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  2. 請求項1において、
    前記ゲート長が減少する際には、前記検出電圧の増加に従って前記バイアス制御回路が前記バイアス電流の前記値を減少することによって前記電力増幅電界効果トランジスタの前記トランスコンダクタンスの増大を補償する
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  3. 請求項2において、
    前記電力増幅電界効果トランジスタは、前記高周波電力増幅器の多段増幅器を構成する複数の電力増幅電界効果トランジスタであり、
    前記バイアス電界効果トランジスタは、前記高周波電力増幅器の前記多段増幅器の前記複数の電力増幅電界効果トランジスタとそれぞれカレントミラー接続された複数のバイアス電界効果トランジスタであり、
    前記バイアス制御回路の前記バイアス電流は、前記複数のバイアス電界効果トランジスタに供給可能な複数のバイアス電流である
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  4. 請求項3において、
    前記高周波電力増幅器の前記多段増幅器は、各段間に整合回路を含む
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  5. 請求項4において、
    前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧は、前記増幅器複製トランジスタのドレイン端子に相違する電圧レベルのドレイン電圧を供給した際に前記増幅器複製トランジスタに流れる相違するドレイン電流の差分が電圧に変換される
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  6. 請求項5において、
    前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧はAD変換器の入力端子に供給可能とされ、前記AD変換器の出力端子に変換デジタル値が生成可能とされ、
    前記変換デジタル値は変換テーブルの入力端子に供給可能とされ、前記変換テーブルの出力端子にバイアスデジタル情報が生成可能とされ、
    前記バイアスデジタル情報が、前記バイアス制御回路に供給可能である
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  7. 請求項6において、
    前記半導体チップ上に、前記AD変換器と前記変換テーブルとを更に具備する
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  8. 請求項6において、
    前記半導体チップ上に、温度モニタ回路と電源電圧モニタ回路とを更に具備して、
    前記温度モニタ回路は、前記半導体チップのチップ温度をモニタすることによってチップ温度モニタ出力信号を生成して、
    前記電源電圧モニタ回路は、前記多段増幅器に供給される電源電圧をモニタすることによって電源電圧モニタ出力信号を生成して、
    前記AD変換器は、前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧と、前記チップ温度モニタ出力信号と、前記電源電圧モニタ出力信号とを時分割でそれぞれデジタル信号に変換する
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  9. 請求項6において、
    前記半導体チップ上に、前記AD変換器と制御ロジック回路とを更に具備して、
    前記制御ロジック回路は、前記半導体チップの外部の無線周波数半導体集積回路とデジタルインターフェイスによって接続可能され、
    前記制御ロジック回路は、前記無線周波数半導体集積回路の半導体チップに内蔵される前記変換テーブルの前記入力端子に前記デジタルインターフェイスによって前記AD変換器の前記変換デジタル値を供給可能とされ、
    前記制御ロジック回路は、前記変換テーブルの前記バイアスデジタル情報を前記デジタルインターフェイスによって前記バイアス制御回路に供給可能である
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  10. 請求項9において、
    前記半導体チップ上に、温度モニタ回路と電源電圧モニタ回路とを更に具備して、
    前記温度モニタ回路は、前記半導体チップのチップ温度をモニタすることによってチップ温度モニタ出力信号を生成して、
    前記電源電圧モニタ回路は、前記多段増幅器に供給される電源電圧をモニタすることによって電源電圧モニタ出力信号を生成して、
    前記AD変換器は、前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧と、前記チップ温度モニタ出力信号と、前記電源電圧モニタ出力信号とを時分割でそれぞれデジタル信号に変換する
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  11. 請求項6において、
    前記半導体チップ上に、制御ロジック回路を更に具備して、
    前記制御ロジック回路は、前記半導体チップの外部の無線周波数半導体集積回路とデジタルインターフェイスによって接続可能され、
    前記無線周波数半導体集積回路の半導体チップには、前記AD変換器と前記変換テーブルとが内蔵可能とされ、
    前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧は、前記無線周波数半導体集積回路の前記半導体チップの前記AD変換器の前記入力端子に供給可能とされて、前記AD変換器の前記出力端子に前記変換デジタル値が生成可能とされ、
    前記変換デジタル値は前記変換テーブルの前記入力端子に供給可能とされ、前記変換テーブルの前記出力端子にバイアスデジタル情報が生成可能とされ、
    前記制御ロジック回路は、前記変換テーブルの前記バイアスデジタル情報を前記デジタルインターフェイスによって前記バイアス制御回路に供給可能である
    ことを特徴とする高周波電力増幅器。
  12. カレントミラー接続されたバイアス電界効果トランジスタおよび電力増幅電界効果トランジスタと、バイアス制御回路とを半導体チップ上に具備する高周波電力増幅器の動作方法であって、
    前記電力増幅電界効果トランジスタは、接地電位に接続可能なソース端子と、高周波入力信号が供給可能なゲート端子と、高周波増幅出力信号が生成可能なドレイン端子とを持ち、
    前記バイアス電界効果トランジスタには前記バイアス制御回路から生成されるバイアス電流が供給可能とされ、前記バイアス電界効果トランジスタのゲート・ソース間電圧は前記電力増幅電界効果トランジスタの前記ゲート端子と前記ソース端子の間に供給可能とされ、
    前記半導体チップ上に、増幅器複製トランジスタを有するゲート長モニタ回路を、更に具備して、
    前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは前記半導体チップ上に同一半導体製造プロセスで形成されることによって、前記増幅器複製トランジスタと前記バイアス電界効果トランジスタと前記電力増幅電界効果トランジスタは略同一のゲート長のばらつきを有して、
    前記ゲート長モニタ回路は、前記増幅器複製トランジスタによって検出される前記ゲート長に依存した検出電圧を生成して、
    前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧が前記バイアス制御回路を制御して、前記ゲート長がばらつきを持つ際に、前記検出電圧に従って前記バイアス制御回路が前記バイアス電流の値を制御することによって前記電力増幅電界効果トランジスタのトランスコンダクタンスの前記ゲート長の依存性を補償する
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
  13. 請求項12において、
    前記ゲート長が減少する際には、前記検出電圧の増加に従って前記バイアス制御回路が前記バイアス電流の前記値を減少することによって前記電力増幅電界効果トランジスタの前記トランスコンダクタンスの増大を補償する
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
  14. 請求項13において、
    前記電力増幅電界効果トランジスタは、前記高周波電力増幅器の多段増幅器を構成する複数の電力増幅電界効果トランジスタであり、
    前記バイアス電界効果トランジスタは、前記高周波電力増幅器の前記多段増幅器の前記複数の電力増幅電界効果トランジスタとそれぞれカレントミラー接続された複数のバイアス電界効果トランジスタであり、
    前記バイアス制御回路の前記バイアス電流は、前記複数のバイアス電界効果トランジスタに供給可能な複数のバイアス電流である
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
  15. 請求項14において、
    前記高周波電力増幅器の前記多段増幅器は、各段間に整合回路を含む
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
  16. 請求項15において、
    前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧は、前記増幅器複製トランジスタのドレイン端子に相違する電圧レベルのドレイン電圧を供給した際に前記増幅器複製トランジスタに流れる相違するドレイン電流の差分が電圧に変換される
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
  17. 請求項16において、
    前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧はAD変換器の入力端子に供給可能とされ、前記AD変換器の出力端子に変換デジタル値が生成可能とされ、
    前記変換デジタル値は変換テーブルの入力端子に供給可能とされ、前記変換テーブルの出力端子にバイアスデジタル情報が生成可能とされ、
    前記バイアスデジタル情報が、前記バイアス制御回路に供給可能である
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
  18. 請求項17において、
    前記半導体チップ上に、前記AD変換器と前記変換テーブルとを更に具備する
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
  19. 請求項17において、
    前記半導体チップ上に、前記AD変換器と制御ロジック回路とを更に具備して、
    前記制御ロジック回路は、前記半導体チップの外部の無線周波数半導体集積回路とデジタルインターフェイスによって接続可能され、
    前記制御ロジック回路は、前記無線周波数半導体集積回路の半導体チップに内蔵される前記変換テーブルの前記入力端子に前記デジタルインターフェイスによって前記AD変換器の前記変換デジタル値を供給可能とされ、
    前記制御ロジック回路は、前記変換テーブルの前記バイアスデジタル情報を前記デジタルインターフェイスによって前記バイアス制御回路に供給可能である
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
  20. 請求項17において、
    前記半導体チップ上に、制御ロジック回路を更に具備して、
    前記制御ロジック回路は、前記半導体チップの外部の無線周波数半導体集積回路とデジタルインターフェイスによって接続可能され、
    前記無線周波数半導体集積回路の半導体チップには、前記AD変換器と前記変換テーブルとが内蔵可能とされ、
    前記ゲート長モニタ回路によって生成された前記検出電圧は、前記無線周波数半導体集積回路の前記半導体チップの前記AD変換器の前記入力端子に供給可能とされて、前記AD変換器の前記出力端子に前記変換デジタル値が生成可能とされ、
    前記変換デジタル値は前記変換テーブルの前記入力端子に供給可能とされ、前記変換テーブルの前記出力端子にバイアスデジタル情報が生成可能とされ、
    前記制御ロジック回路は、前記変換テーブルの前記バイアスデジタル情報を前記デジタルインターフェイスによって前記バイアス制御回路に供給可能である
    ことを特徴とする高周波電力増幅器の動作方法。
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