JP5403618B2 - 熱物性測定装置および熱伝導イメージング装置 - Google Patents
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このような測定装置の例として、特許文献1に記載された微小領域熱物性測定装置は、測温レーザビームと周期変調された加熱レーザビームを顕微鏡光学系により試料表面のほぼ同一位置に集光し、両ビームの照射直下における厚さ方向の熱浸透率値を得る。
特許文献2に記載された熱物性測定装置では、測温光の照射位置が固定された状態で、偏向ミラーを用いて加熱光を偏向させ加熱光及び測温光の照射位置の相対位置関係を二次元的に様々な位置関係に変化させる光照射位置変更手段を備える。
特許文献2に記載された熱物性測定装置では、測温光の照射位置を固定して加熱光の照射位置を変更することで試料の面方向の熱の伝播を測定することができるが、測温光を固定して加熱光の位置を動かすために、ある試料の一点を加熱したときにその周囲にどのように熱の伝播が起きるかを測定することはできない。また、加熱光を動かす毎に試料内の温度分布が変化するので、正確な測定を行うには試料内部の温度が定常状態に達するまで待つ必要がある。さらに、加熱光の位置変更は偏向ミラーによって測温光との光軸を僅かにずらすことで実現し、両光線の集光はひとつのレンズで行うため、変更可能な両照射位置の相対距離は集光に使用するレンズの視野内に限られる。なお、特許文献2の実施例においては、測温光の照射位置を変化させる場合の記載もあるが、その際には反射光の光軸のずれに起因する測温光測定器の変位操作が必要であるとされている。
本発明の目的は、前記の背景技術の問題点を解消し、ある加熱位置を中心とした面内方向の熱拡散率を得ることができ、かつ加熱位置を中心とした熱の伝播のイメージそのものを高分解能かつ広範囲に亘って得ることが可能な熱物性測定装置を提供することにある。
また、本発明の熱物性測定装置は、さらに、前記加熱レーザビーム移動機構と前記試料移動機構とは別々に配置されたXY移動機構からなり、前記制御機構は、両移動機構を連動して動作制御することにより、加熱レーザビームの試料表面に対する照射位置を固定しつつ、かつ、測温レーザビームの試料表面に対する照射位置を走査することを特徴とする。
このように、加熱レーザの照射位置の移動と試料の移動を同期することで、試料のある一点を加熱して試料内の温度分布が定常に達している状態を保ちつつ、測温レーザビームの照射位置を自由に変更することができ、加熱点を中心とした動径方向の熱拡散率の分布や加熱点からの熱の伝播の2次元的なイメージを得ることができる。また、加熱レーザの照射位置の移動と試料の移動に際して、測温レーザビームを照射して該測温レーザビームの反射強度を検出する部分は固定されているので別途光軸の調整を行う必要はない。さらに、2次元分布の測定できる範囲は前記の2つの移動機構の動作範囲まで可能である。
また、本発明の熱物性測定装置は、さらに、加熱レーザビームの光源としてレーザ強度が周期的に変調された周期変調レーザを用いた構成にある。
また、本発明の熱物性測定装置は、さらに、測温レーザビームの反射光強度変化に対する加熱レーザビームの変調周期との位相差および試料表面における加熱レーザビームの照射位置と測温レーザビームの照射位置との距離から熱物性値を算出する構成にある。
また、本発明の熱物性測定装置は、さらに、試料表面に金属薄膜を形成する構成にある。これにより、温度変化に対して反射率の変化が少ない材料や、本熱物性測定装置で使用するレーザ光源の波長に対して反射率が小さい材料などを試料とした場合に、良好な反射率の温度変化特性を有する金属膜を試料表面に施すことで測定が可能になる。
また、走査時に、測温レーザおよび測温レーザビームの試料表面からの反射光を検出する手段は固定されたままで複雑構造を取る必要がないので、検出誤差が生じにくい。
本発明は、材料の熱拡散率の面内方向の均質性や異方性の評価に適応することができ、複合材料等を測定対象にした場合では熱の伝播の2次元的なイメージをもとに材料内の熱伝導のパスや熱抵抗の存在を可視化することが可能である。
周波数発生器5から発した変調用信号により、加熱レーザ2から発した加熱レーザビームAは変調周波数fで強度の変調が行われる。前記加熱レーザビームAは、光ファイバ3によりXYステージ11bの固定部まで導かれ、集光レンズ10bによって試料1に照射される。加熱レーザ2は、例えば波長830nm、平均出力20mWの半導体レーザで構成される。
測温レーザ4は、例えば波長785nmの一定出力の半導体レーザで構成され、前記測温レーザ4から発した測温レーザビームBは、ペリクルハーフミラー6、1/2λ波長板7、偏光ビームスプリッタ8、1/4λ波長板を通り、集光レンズ10aにより試料1の測定部位に集光される。試料面の反射率は温度に依存して変化するため、反射した測温レーザビームCの強度は測定部位の温度に依存する。測定部位で反射された前記測定用レーザビームCは、照射方向とは逆に、集光レンズ10a、1/4λ波長板を通り、偏光ビームスプリッタ8により光軸を90度折り曲げられ、検出器13で検出される。前記検出器13で検出された信号は、ロックインアンプ14により前記加熱レーザビームの変調周波数fに同期した信号強度と位相の値が測定され、制御機器15によってXYステージ11aおよびXYステージ11bの位置より算出した測定点の座標とともにデータ記録がなされる。
加熱レーザビームAの試料1への照射位置の制御は、XYステージ11aとXYステージ11bの相対的な位置関係を調整することで実現される。
一方、加熱レーザビームAの試料1への照射位置を固定して、その周囲における2次元的な熱の伝播イメージを得る場合には、XYステージ11aおよび11bを同じ距離だけ動かすことで、試料1と加熱レーザビームAとの相対位置を固定したまま、測温レーザビームBの試料1に対する照射位置を自由に移動することができ、ある決められた座標だけ前記XYステージ11aおよび11bを移動した後に制御機器15による前記データ記録を繰り返すことで実現できる。
なお、別々に配置されたXY移動機構に代えて、試料移動機構の上に配置された加熱レーザビーム移動機構を用いて構成することもできる。
したがって距離rと位相の値をプロットしその傾きをhとすると、以下の式(2)及び式(3)関係が得られる。
図4のプロットの傾きから式(3)を用いて求めた合成石英ガラスの熱拡散率の測定値は、10.8×10−7m2/sであった。
2:加熱レーザ
3:光ファイバ
4:周波数発生器
5:測温レーザ
6:ペリクルハーフミラー
7:1/2λ波長板
8:偏光ビームスプリッタ
9:1/4λ波長板
10a、10b:集光レンズ
11a、11b:XYステージ
12:加熱レーザビームカットフィルタ
13:検出器
14:ロックインアンプ
15:制御機器
16:CCDカメラ
A:加熱レーザビーム
B:測温レーザビーム(入射側)
C:測温レーザビーム(試料面で反射後)
D:変調信号
Claims (5)
- 試料表面を点加熱するための加熱レーザビームを発する加熱レーザと、
試料表面に集光する測温レーザビームを発する測温レーザと、
加熱レーザビームを試料表面の任意の場所に照射するための加熱レーザビーム移動機構と、
測温レーザビームの試料表面からの反射光を検出する手段と、
試料をXY動作させるための試料移動機構と、
前記試料表面の反射率の温度依存性を用いて試料表面の温度変化を検出する手段と、
前記加熱レーザビーム移動機構と試料移動機構との動作を制御する制御手段とを備えた熱物性測定装置であって、
前記制御手段は、加熱レーザビームの試料表面に対する照射位置を固定しつつ、かつ、測温レーザビームの試料表面に対する照射位置を走査するように加熱レーザビーム移動機構及び試料移動機構を動作制御することを特徴とする熱物性測定装置。 - 前記加熱レーザビーム移動機構と前記試料移動機構とは別々に配置されたXY移動機構からなり、前記制御機構は、両移動機構を連動して動作制御することにより、加熱レーザビームの試料表面に対する照射位置を固定しつつ、かつ、測温レーザビームの試料表面に対する照射位置を走査することを特徴とする請求項1に記載の熱物性測定装置。
- 前記加熱レーザに周期変調レーザを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の熱物性測定装置。
- 前記測温レーザビームの反射光強度変化に対する加熱レーザビームの変調周期との位相差および前記試料表面における加熱レーザビームの照射位置と測温レーザビームの照射位置との距離から熱物性値を算出することを特徴とする請求項3に記載の熱物性測定装置。
- 前記試料表面は、当該表面に金属薄膜が形成されたものであることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の熱物性測定装置。
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012106955B4 (de) * | 2012-07-31 | 2014-04-03 | Netzsch-Gerätebau GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur photothermischen Untersuchung einer Probe |
JP6164735B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2017-07-19 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 微小熱伝導率測定装置及び測定方法 |
JP2015108546A (ja) * | 2013-12-04 | 2015-06-11 | 国立大学法人名古屋大学 | 熱拡散率測定装置 |
US9939396B2 (en) * | 2015-01-30 | 2018-04-10 | Netzsch-Gerätebau GmbH | 3D diffusivity |
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KR101833445B1 (ko) * | 2017-06-27 | 2018-02-28 | 한국기초과학지원연구원 | 레이저 위상잠금 열화상기법을 이용한 열확산 검출장치 |
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---|---|---|---|---|
JPS6358242A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | Toshiba Corp | 熱拡散率測定方法およびその装置 |
JPH03189547A (ja) * | 1989-12-20 | 1991-08-19 | Hitachi Ltd | 熱拡散率測定方法及び測定装置 |
JP3288672B2 (ja) * | 2000-02-17 | 2002-06-04 | 科学技術振興事業団 | 試料の物理的性質の測定装置 |
JP2002005860A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-09 | Japan Science & Technology Corp | 微小領域熱物性測定装置 |
JP2006308513A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Nec Electronics Corp | 検査装置及び方法 |
JP4713217B2 (ja) * | 2005-05-13 | 2011-06-29 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 検査装置及び方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6892086B1 (ja) * | 2019-06-20 | 2021-06-18 | 株式会社ピコサーム | 熱物性値測定装置及び熱物性値測定方法 |
US11867567B2 (en) | 2019-06-20 | 2024-01-09 | Netzsch Japan K.K. | Thermo-physical property measurement instrument and thermo-physical property measurement method |
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