JP7157715B2 - 分光測定装置 - Google Patents
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Description
以下、図面を用いて実施例について説明する。
図1に示すように、分光測定装置は、顕微鏡装置(例えば、走査型白色干渉顕微鏡装置本体)10と、計測対象である試料(測定対象物)Dが載置されたステージ20と、得られたデータを処理する処理部(プロセッサ)30と、測定結果を出力して表示をする表示部40と、外部入力エネルギー照射部50を有する。
最初に試料Dの1次表面高さを測定する(S41)。1次表面高さは、外部入力エネルギーnが照射されていないときの高さである。なお、本高さは基礎表面高さと呼ぶことがある。次に、外部入力信号nを照射することにより(S42)試料Dが熱膨張状態1になる(S43)。
装置の初期構成として、外部入力エネルギー発生部51が発生した外部入力エネルギーが集光部52(図1参照)又は同軸集光レンズ53(図3参照)を介して集光される際に、この外部入力エネルギーの空間エネルギー分布を事前に確認する。よって、典型的には実施例3は試料Dの測定前に行う。
試料Dの表面の性状(凹凸など)を観察する際に、ピエゾアクチュエータ16を用いて掃引させることにより(矢印Cの動き)、測定対象物であり試料Dとの距離を変化させることが必要である。
11 光源
12 フィルタ
13 ビームスプリッタ
14 対物レンズ
15 センサ
16 ピエゾアクチュエータ
20 ステージ
30 処理部
40 表示部
50 外部入力エネルギー照射部
51 外部入力エネルギー発生部
52 集光部
53 同軸集光レンズ
Claims (8)
- 計測対象である試料の表面形状を測定する顕微鏡装置と、
前記試料に外部入力エネルギーを照射する外部入力エネルギー照射部と、
データを処理する処理部と、
情報を表示する表示部と、を有する分光測定装置であって、
前記顕微鏡装置は、
前記試料に前記外部入力エネルギーを照射した際に発生する前記試料の変位を二次元平面で計測するセンサを有し、
前記処理部は、
前記センサにより計測された計測データに基づいて、前記外部入力エネルギーの吸収率を算出し、
前記表示部は、
前記吸収率を出力し、
前記処理部は、
前記試料に前記外部入力エネルギーを照射した際に発生する前記試料の変位を用いて、前記顕微鏡装置の焦点合わせを行うことを特徴とする分光測定装置。 - 前記外部入力エネルギー照射部は、
前記外部入力エネルギーを前記顕微鏡装置の光軸に対して斜め方向に照射することを特徴とする請求項1に記載の分光測定装置。 - 前記外部入力エネルギー照射部は、
前記外部入力エネルギーを前記顕微鏡装置の光軸に対して垂直方向に照射することを特徴とする請求項1に記載の分光測定装置。 - 前記処理部は、
前記外部入力エネルギー照射部が外部入力エネルギーを前記試料に照射していない状態で、前記センサで計測された前記試料の表面形状である基礎表面高さを取得し、
前記外部入力エネルギー照射部から第1の波長を有する外部入力エネルギーを前記試料に照射した状態で、前記センサで計測された前記試料の表面形状である第1の表面高さを取得し、
前記基礎表面高さと前記第1の表面高さの高さ変化を算出し、
前記高さ変化に基づいて、前記吸収率を算出することを特徴とする請求項1に記載の分光測定装置。 - 前記処理部は、
外部入力エネルギー照射部から照射される前記外部入力エネルギーの照射量を調整し、前記試料を前記顕微鏡装置の焦点位置に前記試料の一部を含めるように変形させることを特徴とする請求項1に記載の分光測定装置。 - 前記顕微鏡装置は、計測用光源を更に有し、
前記計測用光源は、白色光源又は単色レーザ光源であり、
前記外部入力エネルギー照射部は、
前記外部入力エネルギーとして、マイクロ波、赤外光、可視光、UV、X線又は電子線を前記試料に照射することを特徴とする請求項1に記載の分光測定装置。 - 前記顕微鏡装置は、
走査型白色干渉顕微鏡、走査型干渉顕微鏡又はレーザ共焦点顕微鏡であることを特徴とする請求項1に記載の分光測定装置。 - 計測対象である試料の表面形状を測定する顕微鏡装置と、
前記試料に外部入力エネルギーを照射する外部入力エネルギー照射部と、
データを処理する処理部と、
情報を表示する表示部と、を有する分光測定装置であって、
前記顕微鏡装置は、
前記試料に前記外部入力エネルギーを照射した際に発生する前記試料の変位を二次元平面で計測するセンサを有し、
前記処理部は、
前記センサにより計測された計測データに基づいて、前記外部入力エネルギーの吸収率を算出し、
前記表示部は、
前記吸収率を出力し、
前記処理部は、
前記外部入力エネルギー照射部が外部入力エネルギーを前記試料に照射していない状態で、前記センサで計測された前記試料の表面形状である基礎表面高さを取得し、
前記外部入力エネルギー照射部から第1の波長を有する外部入力エネルギーを前記試料に照射した状態で、前記センサで計測された前記試料の表面形状である第1の表面高さを取得し、
前記基礎表面高さと前記第1の表面高さの高さ変化を算出し、
前記高さ変化に基づいて、前記吸収率を算出し、
前記処理部は、
前記外部入力エネルギーの空間エネルギー分布を推測し、
前記推測した空間エネルギー分布に基づいて、前記高さ変化又は前記吸収率を補正し、
前記処理部は、
前記試料の表面形状を測定する前に、
前記外部入力エネルギーに対する吸収率が既知かつ均一な材料で構成された既知試料に対して、前記外部入力エネルギー照射部より前記外部入力エネルギーを照射し、
前記センサによって、前記既知試料に発生する変位を取得し、
前記既知試料の変位に基づく吸収率の分布と、前記既知試料の吸収率とに基づいて前記空間エネルギー分布を推測することを特徴とする分光測定装置。
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JP2006165176A (ja) | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 光強度分布の測定方法、測定装置、光強度分布の可視化方法、光強度分布の可視化装置、結晶化装置および結晶化方法 |
JP2014202677A (ja) | 2013-04-08 | 2014-10-27 | 株式会社堀場製作所 | 赤外吸収測定装置及び赤外吸収測定方法 |
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