JP2014202677A - 赤外吸収測定装置及び赤外吸収測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤外吸収測定装置は、赤外レーザ光(単波長の赤外ビーム)の試料5への照射と非照射とを繰り返し、赤外光を吸収して膨張する試料5の表面の照射時と非照射時との間の変位量を、AFM1を用いて検出する。赤外吸収測定装置は、赤外レーザ光の連続的な照射の持続時間を変化させながら検出を行い、変位量が所定の条件を満たすための持続時間を特定する。また、赤外吸収測定装置は、連続的な照射の持続時間を固定した上で、赤外レーザ光の波長を変化させながら試料5の変位量を検出することで、赤外吸収を測定する。連続的な照射の持続時間を、変位量が大きくなる適切な長さに定めることができ、測定時間が長大化せずにS/N比が良好になる。
【選択図】図1
Description
図1は、赤外吸収測定装置の構成を示すブロック図である。赤外吸収測定装置は、試料5の微少部分へ赤外レーザを照射し、赤外光を吸収した試料5の微少部分の膨張をAFM(Atomic Force Microscope 、原子間力顕微鏡)を利用して検出する装置である。赤外吸収測定装置は、AFM1を備えており、AFM1は、試料5が載置される試料台15と、カンチレバー11と、レーザ光源12と、光センサ13と、AFM1の信号処理及び動作制御を行うAFM処理部14とを含んでいる。AFM1は、SPM(Scanning Probe Microscope 、走査型プローブ顕微鏡)の一種である。
21 レーザ素子
22 外部共振器
23 レーザドライバ
24 グレーティング制御部
25 駆動部
31 チョッパ
32 チョッパ制御部
33 周波数制御部
34 ロックインアンプ
4 制御部
Claims (9)
- 単波長の赤外ビームを発生する赤外ビーム発生部と、試料への赤外ビームの照射及び非照射を繰り返し切り替える切り替え部とを備える赤外吸収測定装置において、
赤外ビームを吸収して膨張する試料表面の非照射時に比べた変位量を検出する変位検出部と、
前記切り替え部による連続的な照射の持続時間を調整する照射時間調整部と
を備えることを特徴とする赤外吸収測定装置。 - 前記赤外ビーム発生部は、赤外ビームの波長を変更することが可能であり、
前記赤外ビーム発生部に赤外ビームの波長を固定させた上で、前記照射時間調整部に前記持続時間を順次変化させながら前記変位検出部に前記変位量を検出させ、前記変位量が所定の条件を満たすための持続時間を特定する照射時間特定部と、
前記照射時間調整部に、前記切り替え部による連続的な照射の持続時間を前記照射時間特定部が特定した持続時間に固定させた上で、前記赤外ビーム発生部に赤外ビームの波長を順次変化させながら前記変位検出部に前記変位量を検出させる赤外吸収測定部と
を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の赤外吸収測定装置。 - 前記照射時間特定部は、前記変位量が所定量以上になる持続時間の内で最短の持続時間を特定するように構成してあること
を特徴とする請求項2に記載の赤外吸収測定装置。 - 前記切り替え部は、赤外ビームの光路を開閉するチョッパを用いて構成してあり、
前記照射時間調整部は、前記チョッパが赤外ビームの光路を開閉する周波数を調整するように構成してあり、
前記変位検出部は、試料の赤外ビームが照射される部分の変位に応じた信号を生成し、生成した信号から、前記周波数に基づいた同期検波により、前記変位量を示す信号を生成するように構成してあること
を特徴とする請求項1乃至3の何れか一つに記載の赤外吸収測定装置。 - 前記照射時間調整部は、前記周波数を順次増大させることによって前記周波数を調整するように構成してあること
を特徴とする請求項4に記載の赤外吸収測定装置。 - 前記変位検出部は走査型プローブ顕微鏡を含んでいること
を特徴とする請求項1乃至5の何れか一つに記載の赤外吸収測定装置。 - 前記赤外ビーム発生部は、
連続的に赤外レーザ光を発生するレーザ素子と、
赤外レーザ光の波長を変更するための外部共振器と
を有することを特徴とする請求項1乃至6の何れか一つに記載の赤外吸収測定装置。 - 試料の赤外ビームが照射される部分を変更しながら、赤外ビームの波長に対する前記変位量の関係を表したスペクトルを生成して、試料上の前記スペクトルの分布を生成するスペクトル分布生成部を更に備えること
を特徴とする請求項1乃至7の何れか一つに記載の赤外吸収測定装置。 - 試料へ単波長の赤外ビームを断続的に照射し、試料の赤外吸収を測定する方法において、
赤外ビームの連続的な照射の持続時間を調整し、
赤外ビームを吸収して膨張する試料表面の非照射時に比べた変位量を検出すること
を特徴とする赤外吸収測定方法。
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