JP7129099B2 - 走査プローブ顕微鏡、測定方法 - Google Patents
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Description
本発明の第2の態様による測定方法は、走査プローブを備える走査プローブ顕微鏡を用いた測定方法であって、試料に第1の所定の位相を有するポンプ光を照射し前記試料を励起するポンプ光照射を複数回行うポンプ光出力ステップと、前記試料に前記ポンプ光が1回照射されている間に前記試料に第2の所定の位相を有するプローブ光を1回照射するプローブ光出力ステップと、前記走査プローブを用いて、1回ごとの前記プローブ光の照射に対応するプローブ信号を前記試料から検出する検出ステップとを含み、前記ポンプ光出力ステップまたは前記プローブ光出力ステップは、前記ポンプ光の照射が開始されてから前記プローブ光の照射が開始されるまでの遅延時間を調整することを含む。
以下、図1~図4を参照して、本発明にかかる走査プローブ顕微鏡である電子顕微鏡の第1の実施の形態を説明する。
(1)電子顕微鏡1は、試料900にポンプ光21を照射し試料900を励起するポンプ光照射を複数回行うポンプ光出力部2と、試料900が1回のポンプ光照射により励起されている間に試料900にプローブ光31を1回照射するプローブ光出力部3と、1回ごとのプローブ光31の照射に対応するプローブ信号を試料900から検出する走査プローブ5とを備える。プローブ光出力部3は、ポンプ光の照射が開始されてからプローブ光の照射が開始されるまでの遅延時間を調整する遅延時間調整部3Aを含む。そのためポンプ光21を試料900に照射して試料の状態を励起し、その励起中にプローブ光31を照射してプローブ信号を得ることで、励起中の状態、すなわち量子ダイナミクスを制御して観察できる。またプローブ信号は探針51の直下、すなわちナノスケールから原子スケールの非常に狭い領域の状態を表すので、電子顕微鏡1を用いることで局所の量子ダイナミクスを制御して観察できる。
原子間力顕微鏡の一種である周波数変調原子力顕微鏡(FM-AFM:Frequency Modulation-Atomic Force Microscope)に本発明を適用してもよい。ただしこのFM-AFMは、引力領域のみで動作させる非接触モードで動作させる。本変形例では走査プローブ5は、探針51がカンチレバーの先端に設けられた構成を有する。そしてこの探針51を外力により振動させ、カンチレバーに光を照射して試料900が変化する影響を振幅や振動数から読み取る。すなわち本変形例ではプローブ光31を使用せず、ポンプ光21で試料900を励起してからある遅延時間後のカンチレバーの振動の変化を読み取ることで、局所の量子ダイナミクスを制御して観察する。
上述した第1の実施の形態では、第1のパターンではポンプ光21の照射開始とプローブ光31の照射開始が同時であり、第5のパターンではポンプ光21の照射の終了とプローブ光31の照射終了が同時であった。しかし第1のパターンにおいてポンプ光21の照射開始とプローブ光31の照射開始とが一致しなくてもよく、第5のパターンにおいてポンプ光21の照射の終了とプローブ光31の照射終了が一致しなくてもよい。また遅延時間調整部3Aが調整する遅延時間は5とおりでなくてもよく、少なくとも1つあればよい。またプローブ光出力部3は、ポンプ光出力部2がポンプ光21を照射していない間にプローブ光31をさらに照射してもよい。
上述した第1の実施の形態ではプローブ光出力部3が遅延時間調整部3Aを備えた。しかしポンプ光出力部2が遅延時間調整部3Aと同様の構成を備えてもよい。換言すると第1の実施の形態ではポンプ光21の出力タイミングは第1のパターン~第5のパターンのいずれでも一定でありプローブ光31の出力タイミングを変化させたが、プローブ光31の出力タイミングを一定としてポンプ光21の出力タイミングを変化させてもよい。ポンプ光21とプローブ光31の相対関係、すなわち遅延時間の長さが重要であり、いずれを基準にするかは設計事項に過ぎないからである。
上述した第1の実施の形態では、プローブ光出力部3はレーザー光源と非線形光学結晶とを備えた。しかしレーザー光源の出力がそのままプローブ光として使用できる場合は、プローブ光出力部3は非線形光学結晶を備えなくてもよい。たとえば波長が800nm程度の中赤外領域では、レーザー光源が出力するパルス幅が5fsよりも短ければ、そのレーザー光を非線形光学結晶に照射することなくプローブ光として用いてもよい。
上述した第1の実施の形態では、1回に出力されるポンプ光21は、支配的な強度を有する波を1周期未満含んだ。しかし1回に出力されるポンプ光21は、同一の強度を有する波を複数周期含んでもよい。
上述した第1の実施の形態では、プローブ光31は、支配的な強度を有する波を1周期未満含んだ。しかしプローブ光31は、電場の極性の正負が非対称であることを条件に加えてもよいし、また一方の極性のみを有する半周期未満を含むことを条件に加えてもよい。正負が非対称であることを条件に加えるのは、正負対称の場合は電場強度が積分するとゼロになり好ましくないからである。また積分した際の正負相殺を防止するために、正または負の一方の極性のみとし半周期未満としてもよい。
図7~図8を参照して、本発明にかかる走査プローブ顕微鏡である電子顕微鏡の第2の実施の形態を説明する。以下の説明では、第1の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第1の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、プローブ光の変調を行う点で、第1の実施の形態と異なる。
変調部3Bは、たとえばスリットを用いてオンオフ変調を実現できる。特に円周方向に開口部を有する後述するスリット板110を回転させることで、周期的なプローブ光31の遮断を容易に実現できる。
(4)プローブ光出力部3は、プローブ光を変調する変調部3Bを含む。電子顕微鏡1Aはプローブ信号から変調部3Bが変調したプローブ光に同期した成分を抽出するロックインアンプ5Aを備える。そのためプローブ信号にノイズが含まれていても所望の信号を得ることができる。なおプローブ光31が有するエネルギー量が比較的少ない場合は、実施が容易なオンオフ変調を用いることができる。しかしプローブ光31が有するエネルギー量が比較的多い場合にはオンオフ変調を行うと、プローブ光31のオンオフに連動して探針51が伸縮し大きな影響、すなわち新たなノイズ源となってしまう。このような場合は位相変調を用いる。
変調部3Bは、オンオフ変調および位相変調以外の変調を行ってもよい。たとえば変調部3Bは、遅延時間変調をおこなってもよい。
上述した第2の実施の形態では、プローブ光出力部3が変調部3Bを備えた。しかしポンプ光出力部2が変調部を備えてもよい。本変形例においても、プローブ信号にノイズが含まれていても所望の信号を得ることができるという効果が得られる。
図10を参照して、本発明にかかる走査プローブ顕微鏡である電子顕微鏡の第3の実施の形態を説明する。以下の説明では、第1の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第1の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、ポンプ光を1回照射している間にプローブ光を複数回照射する点で、第1の実施の形態と異なる。
(5)電子顕微鏡1は、試料900にポンプ光21を照射し試料を励起するポンプ光照射を1回以上行うポンプ光出力部2と、試料900が1回のポンプ光照射により励起されている間に試料900にプローブ光31を2回以上照射するプローブ光出力部3と、1回ごとのプローブ光31の照射に対応するプローブ信号を試料から検出する走査プローブ5とを備える。そのため第1の実施の形態と同様の効果が短時間で得られる。換言すると第3の実施の形態における電子顕微鏡1は、短時間で量子ダイナミクスを制御して観察できる。
上述した第3の実施の形態では、ポンプ光21の照射開始とプローブ光31の1回目の照射開始が同時であり、ポンプ光21の照射の終了とプローブ光31の5回目の照射終了が同時であった。しかしポンプ光21の照射開始とプローブ光31の1回目の照射開始とが一致しなくてもよく、ポンプ光21の照射の終了とプローブ光31の5回目の照射終了が一致しなくてもよい。またポンプ光21が1回照射されている間に照射するプローブ光31の回数は5回でなくてもよく、2回以上であればよい。すなわち、ポンプ光21の照射中にプローブ光31が少なくとも2回照射され、両者の照射開始のタイミング差が明らかであればよい。またポンプ光21を照射していない間にプローブ光31をさらに照射してもよい。
上述した第3の実施の形態では、1回に出力されるポンプ光21は、支配的な強度を有する波を1周期未満含んだ。しかし1回に出力されるポンプ光21は、同一の強度を有する波を複数周期含んでもよい。この場合にプローブ光31は、1回のポンプ光21に含まれる周期と同じ回数だけ出力される。
2…ポンプ光出力部
21…ポンプ光
3…プローブ光出力部
31…プローブ光
3A…遅延時間調整部
3B…変調部
5…走査プローブ
51…探針
Claims (6)
- 試料に第1の所定の位相を有するポンプ光を照射し前記試料を励起するポンプ光照射を複数回行うポンプ光出力部と、
前記試料に前記ポンプ光が1回照射されている間に前記試料に第2の所定の位相を有するプローブ光を1回照射するプローブ光出力部と、
1回ごとの前記プローブ光の照射に対応するプローブ信号を前記試料から検出する走査プローブとを備え、
前記ポンプ光出力部または前記プローブ光出力部は、前記ポンプ光の照射が開始されてから前記プローブ光の照射が開始されるまでの遅延時間を調整する遅延時間調整部を含む走査プローブ顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査プローブ顕微鏡において、
前記ポンプ光出力部が1回に出力するポンプ光は、支配的な強度を有する波を1周期未満含む走査プローブ顕微鏡。 - 請求項1または請求項2に記載の走査プローブ顕微鏡において、
前記プローブ光出力部が1回に出力するプローブ光は、支配的な強度を有する波を1周期未満含む走査プローブ顕微鏡。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の走査プローブ顕微鏡において、
前記ポンプ光出力部は、ポンプ光を変調するポンプ光変調部を含み、
前記プローブ信号から前記ポンプ光変調部が変調したポンプ光に同期した成分を抽出するロックイン検出器をさらに備える走査プローブ顕微鏡。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の走査プローブ顕微鏡において、
前記プローブ光出力部は、プローブ光を変調するプローブ光変調部を含み、
前記プローブ信号から前記プローブ光変調部が変調したプローブ光に同期した成分を抽出するロックイン検出器をさらに備える走査プローブ顕微鏡。 - 走査プローブを備える走査プローブ顕微鏡を用いた測定方法であって、
試料に第1の所定の位相を有するポンプ光を照射し前記試料を励起するポンプ光照射を複数回行うポンプ光出力ステップと、
前記試料に前記ポンプ光が1回照射されている間に前記試料に第2の所定の位相を有するプローブ光を1回照射するプローブ光出力ステップと、
前記走査プローブを用いて、1回ごとの前記プローブ光の照射に対応するプローブ信号を前記試料から検出する検出ステップとを含み、
前記ポンプ光出力ステップまたは前記プローブ光出力ステップは、前記ポンプ光の照射が開始されてから前記プローブ光の照射が開始されるまでの遅延時間を調整することを含む、測定方法。
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