JP5270280B2 - 近接場光学顕微鏡の信号光測定システム - Google Patents
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Description
いずれの方式も、プローブ先端と試料間を一定の距離に保つように制御するものであり、任意の距離における信号光を検出するものではない。
a) 前記プローブと前記試料との相対距離を周期的に変化させる振動付与機構と、
b) 前記プローブ近傍に近接場光を生成させるための光を照射する光照射機構と、
c) 前記プローブと前記試料との相対距離の変化に同期して、前記光照射機構が照射する光をON/OFFするためのON/OFF信号を、前記相対距離が異なる複数のタイミングで出力する光強度変調機構と、
d) 異なる複数の出力タイミングで前記試料から放射される信号光をそれぞれ測定することにより、前記相対距離が異なる複数のスペクトルを求め、該複数のスペクトルの形状の変化から該試料の同定を行う信号光測定機構と、
を備えることを特徴とする。
図1は本発明の一実施形態である近接場光学顕微鏡の信号光計測システム10の概略構成を示すブロック図である。このシステム10は、近接場光学顕微鏡とラマン分光器とを組み合わせたものであり、プローブを用いた近接場光学顕微鏡により観察されるラマン散乱スペクトルを測定し、試料分子のイメージングを行う。
前記プローブ14は、例えば原子間力顕微鏡用のカンチレバーの先端に約35nmの銀薄膜を蒸着した銀チップから成る。前記カンチレバーは、バイモルフピエゾ素子などの振動子20によって試料に垂直な方向に一定の振動数で強制振動されるようになっており、これにより銀チップの先端が試料表面に間欠接触する。また、銀チップの試料表面に対する接触によるカンチレバーの振幅の減衰量が一定になるように自動制御される。
前記励起光源16はHe−Cdレーザー(λ=441nm)等の単色光レーザー光源から成る。励起光源16から出射された励起光は、光変調器24、ビームスプリッタ26、対物レンズ22、透明基板12を経て、試料表面に照射される。励起光源16からの光は、高開口数の対物レンズ22により試料表面上に集光され、試料表面に近接場光を生成する。この近接場光と試料とが相互作用し、ラマン散乱光を生じる。従って、この実施の形態では、励起光源16、ビームスプリッタ26、対物レンズ22、透明基板12が光照射機構を構成する。
ラマン散乱光は、透明基板12、対物レンズ22、ビームスプリッタ26、ミラー28、励起光除去フィルタ30、レンズ32を経て分光器18に入射し、窒素冷却CCDカメラ34によって検出される。励起光除去フィルタ30はラマン散乱光に比べて非常に強い励起光を除去するためのもので、一般的にノッチフィルタもしくはエッジフィルタ(長波長透過フィルタ)が用いられる。
前記パルスジェネレーター36は、カンチレバーの振動周波数に同期する所定のパルス幅のパルス波形を変調信号として出力するようになっている。また、パルスジェネレーター36は変調信号の出力タイミングを変更可能に構成されている。これにより、励起光源16からのレーザー光はカンチレバーの振動周波数に同期した任意のタイミングで光パルス信号に変換される。従って、この光パルス信号の周期Tはカンチレバーの振動周波数をfとするとT=1/fになる。
従って、変調信号の出力タイミングを変化させることにより、プローブ・試料間距離に依存してラマン散乱光が変化する様子を観察することができる。
また、図8(c)に示すように、銀チップがアデニン分子を押し込んでいるときは、通常のピークに加えて736cm-1にシフトしたピークが観察される。これは、銀チップがアデニン分子を押圧することによる力学的作用が加わったためで、このとき、アデニン分子が歪んで分子振動の振動数が変化する。
これに対して、上述のカーボンナノチューブはプローブ先端との間で化学的相互作用が生じ難いため、カーボンナノチューブを試料として用いたときは、プローブ・試料間距離の変化によってラマン散乱光強度は変化したが、スペクトル形状はあまり変化しなかった。
従って、上記近接場光学顕微鏡システムを用いれば、化学的相互作用の起き易い分子の同定も可能となる。
例えば、光変調器24の変調信号のON時間を短くして光パルス信号のパルス幅を小さくすれば、より高分解能で距離依存性を測定することができる。
また、プローブの振動振幅を小さくすれば、プローブ・試料間距離がナノメートル以下の近接領域でのスペクトル変化を観察することができる。
さらに、プローブ・試料間距離が任意の大きさのときの信号光を計測できるため、例えば金属チップ増強型の蛍光イメージングにおいては、金属表面による蛍光の消光(クエンチング)が作用する距離領域(5ナノメートル以下)よりも離れた位置で蛍光信号を計測し続けることができる。
プローブは散乱型に限らず、開口型でも良い。
本発明は、近接場光学顕微鏡において様々な光学信号(レーリー散乱、ラマン散乱、蛍光、非線形光学信号など)を検出するシステムに適用できる。
12…透明基板
14…プローブ
16…励起光源
18…分光器
20…振動子
24…光変調器
Claims (4)
- 先端が尖鋭なプローブを試料上で走査しつつ、前記プローブ近傍に生成される近接場光によって前記試料から放射される信号光を検出し当該試料のイメージングを行う近接場光学顕微鏡の信号光測定システムにおいて、
a) 前記プローブと前記試料との相対距離を周期的に変化させる振動付与機構と、
b) 前記プローブ近傍に近接場光を生成させるための光を照射する光照射機構と、
c) 前記プローブと前記試料との相対距離の変化に同期して、前記光照射機構が照射する光をON/OFFするためのON/OFF信号を、前記相対距離が異なる複数のタイミングで出力する光強度変調機構と、
d) 異なる複数の出力タイミングで前記試料から放射される信号光をそれぞれ測定することにより、前記相対距離が異なる複数のスペクトルを求め、該複数のスペクトルの形状の変化から該試料の同定を行う信号光測定機構と、
を備えることを特徴とする近接場光学顕微鏡の信号光測定システム。 - 光強度変調機構は、ON/OFF信号の出力タイミングを変更可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の近接場光学顕微鏡の信号光測定システム。
- 更に、前記試料を載置するガラス製の基板を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の近接場光学顕微鏡の信号光測定システム。
- 信号光は、レーリー散乱、ラマン散乱、蛍光、非線形光学信号の中から選択されるいずれかであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の近接場光学顕微鏡の信号光測定システム。
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