JP5743453B2 - テラヘルツ波の測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Description
(実施例1)
本発明の実施例1を説明する。尚、これまでの説明と共通する部分の説明は省略する。図1の装置構成について、本実施例では以下の様に構成する。発生部101と検出部102は、低温成長したガリウムヒ素膜にアンテナ電極がパターニングされた光伝導素子を用いる。レーザ源108は、チタンサファイアレーザを用いる。出力されるフェムト秒レーザ光のパルス幅は50フェムト秒であり、繰り返し周波数は80MHzである。遅延光学部103は、1段の折り返し光学系と直動ステージで構成する。折り返し光学系は、リトロリフレクターを用いる。直動ステージの移動量(時間波形の取得に要する光路長の長さA)は14mmである。直動ステージは、駆動速度調整部104が管理する速度パターンに従って駆動される。駆動速度調整部104と処理部105は、共通の演算処理装置で構成する。直動ステージを動かす場合、駆動速度調整部104は、ステージの駆動ドライバを介して直動ステージを制御する。また、処理部105は、電流検出部107の出力と、直動ステージの位置をモニタリングしている。
Claims (9)
- 検体を照射するテラヘルツ波を発生する発生部とテラヘルツ波を検出する検出部とに夫々到達する励起光の時間差について、遅延光学部を用いて、前記励起光が伝搬する光路長によって調整し、時間領域分光法によりテラヘルツ波の時間波形を測定するテラヘルツ波測定方法であって、
第1の速度パターンにより前記遅延光学部を駆動し、前記検体からのテラヘルツ波の第1の時間波形を構成する測定データを取得するステップと、
前記第1の速度パターンと異なる第2の速度パターンにより前記遅延光学部を駆動し、同じ前記検体からのテラヘルツ波の第2の時間波形を構成する測定データを取得するステップと、
前記第1の時間波形を構成する測定データと前記第2の時間波形を構成する測定データとに対して平均処理を行うステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記平均処理を行うステップでは、前記第1の時間波形を構成する測定データを、所定の光路長の変化量を時間に換算したデータに再構築して該第1の時間波形を取得し、前記第2の時間波形を構成する測定データを、前記所定の光路長の変化量を時間に換算したデータに再構築して該第2の時間波形を取得し、前記第1の時間波形と前記第2の時間波形を平均することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記速度パターンを作成する作成ステップを含み、
該作成ステップにおいて、前記時間波形を構成する測定データの時間間隔に相当する光路長をX、当該測定方法を実行する装置の時定数をτとする時、前記速度パターンに含まれる光路長の変化の最高速度Vmaxを、X/τ/Vmaxが5以上である条件を満たす様に決定することを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。 - 前記作成ステップにおいて、前記速度パターンの平均速度をVaveと設定する時、前記速度パターンに含まれる光路長の変化の最低速度VminをVmax・Vave/(2Vmax-Vave)と決定することを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記作成ステップにおいて、前記速度パターンを1以上の時間領域に分割し、速度変化態様のグループの中から各時間領域での速度変化態様を決定して複数の速度パターンを作成することを特徴とする請求項3又は4に記載の方法。
- 時間領域分光法によりテラヘルツ波の時間波形を測定するテラヘルツ波測定装置であって、
検体を照射するテラヘルツ波を発生するための発生部と、
前記発生部で発生されたテラヘルツ波を検出するための検出部と、
前記発生部と前記検出部とに夫々到達する励起光の時間差について、前記励起光が伝搬する光路長によって調整するための遅延光学部と、
前記遅延光学部を駆動するための互いに異なる複数の速度パターンを提供するための駆動速度調整部と、
前記複数の速度パターンによって前記遅延光学部を駆動することで、各駆動の都度、前記検出部からの検出信号に基づき得られた同じ前記検体からのテラヘルツ波の複数の時間波形をそれぞれ構成する測定データに対して平均処理を行うための処理部と、
を有することを特徴とする装置。 - 前記処理部は、前記複数の時間波形をそれぞれ構成する測定データを、所定の光路長の変化量を時間に換算したそれぞれのデータに再構築して該複数の時間波形を取得し、該複数の時間波形を平均することで平均処理を行うことを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記発生部で発生されたテラヘルツ波を検体に照射し、
前記検体を透過或いは検体で反射したテラヘルツ波を前記検出部で検出し、
前記平均処理により得られた時間波形を用いて前記検体の情報を取得することを特徴とする請求項6または7に記載の装置。 - 請求項1から5の何れか1項に記載の方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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