JP5249391B2 - 物体の表面プロファイルを測定する方法及び装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態によれば、物体の表面プロファイルを測定する方法は、物体の表面の段差が延在する第1の方向の情報を取得することを含む。第1の方向は、図10Aの矢印1150として示される。情報は、位相分布を有する照射ビームを用いることによって取得される。位相分布の1つの例は、空間光変調器によって形成される0から2πの円位相分布である。空間光変調器の位相パターンは、図14Aに示され、位相パターンが照射ビームに与えられた場合のフォーカス面におけるスポット形状は、図14Bに示される。
第1の実施形態で説明したように、信号処理部1420によって第1の方向が算出された後、信号処理部1420は、第1の方向の情報に基づいて、最適化SLMパターンを計算することができる。SLMパターンは、典型的には、図18に示され、SLMパターンは、第1の方向に対応する2つの領域に分割することができる。走査方向に垂直な方向に対する2つの領域の境界の傾斜角度は、図18に示すように、αである。SLM制御部1450は、図18に示すパターンにSLM2 6100を制御する。第2の走査スポットS2は、第1の光プローブ5010と同様にして、図17に示す第2の光プローブ6010によって形成される。光源6000、ビームスプリッタ6002、フォーカスレンズ6005及び6006、ビームスプリッタ6009、検出器6011及び6008、及び、ピンホール板6007が示されている。第1の光プローブ5010の光源5000は、第2の光プローブ6010のための光源として使用される。光プローブの両方は、ステージ制御部1440によって移動させることができる。表面プロファイラ6100は、第2の光プローブの位置及びスポット形状の変化の情報に基づいて、物体表面の情報を取得する。信号処理部1420は、物体の表面を推定することができる。
図25は、非接触型の光表面プロファイラ7200の図を示す。レーザダイオードなどの光源7000から射出された光は、回折格子7115によって、0次光、+1次光及び−1次光に分割される。+1次光及び0次光は、それぞれ、検出器7201及び7200によって検出される。+1次光及び0次光は、第1の走査スポットS1及び第2の走査スポットS2に対応している。SLM(空間光変調器)7100は、図14Aに示すように、位相が0から2πに変化する渦状位相パターンを有する。
Claims (11)
- 物体の表面プロファイルを測定する方法であって、
物体の表面の段差が走査方向に対して延在する第1の方向の情報を取得するステップと、
前記情報に応じて、照射ビームに与える位相分布を設定するステップと、
前記照射ビームで前記物体を前記走査方向に走査するステップと、
を有し、
前記情報は、位相分布を有する前記照射ビームを用いて取得されることを特徴とする方法。 - 前記情報は、0から2πの円位相分布を有する前記照射ビームを用いて取得されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記設定は、空間光変調器を用いて実行されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記照射ビームは、前記物体の前記表面の前記段差が延在する前記第1の方向に従った位相分布を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記位相分布は、πの位相を与える領域と、位相を与えない領域とで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記照射ビームは、前記物体の前記表面の上の強度において2つのピークを形成することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記照射ビームは、前記2つのピークの2つの点を結ぶ線に垂直な第2の方向が前記物体の前記表面の前記段差が延在する前記第1の方向と等しくなるように、前記位相分布を有することを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記走査方向は、前記照射ビームが前記物体の前記表面に沿って移動する方向であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 物体の表面プロファイルを測定する装置であって、
光源と、
前記光源から照射される照射ビームに位相分布を与える空間光変調器と、
前記物体を走査する走査部と、
前記物体からの反射光を検出する検出器と、
前記物体の表面の段差が前記走査部の走査方向に対して延在する第1の方向の情報に応じて、前記空間光変調器を制御する制御部と、
を有し、
前記情報は、位相分布を有する前記照射ビームを用いて取得されることを特徴とする装置。 - 前記制御部は、前記位相分布が境界を備える2つの領域を有し、前記境界の方向が前記第1の方向に対応するように、前記空間光変調器を制御することを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 2つの光プローブを更に有し、
前記光プローブの1つは、前記光源、前記検出器及び前記制御部を含むことを特徴とする請求項9に記載の装置。
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