JP5390631B2 - 不揮発性記憶素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (18)
- 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持された、2つの異なる抵抗状態に抵抗値が変化する可変抵抗層とを含む不揮発性記憶素子において、
前記第1の電極と前記第2の電極の少なくともどちらか一方の電極が、少なくともTiとNを含有する金属窒化物層を含む電極であり、
前記金属窒化物層の少なくとも前記可変抵抗層と接する部分のTiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上であることを特徴とする不揮発性記憶素子。 - 前記金属窒化物層の少なくとも前記可変抵抗層と接する部分の結晶配向性Xが1.2<Xの範囲を有していることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記可変抵抗層がNi、Ti、Ta、Hf、Zr、V、Zn、Nb、WまたはCoの少なくとも一つから選択される金属酸化物を含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記可変抵抗層がHfとAlを含有する金属酸化物であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記2つの異なる抵抗状態が、低抵抗から高抵抗に変化するリセット状態と高抵抗から低抵抗に変化するセット状態であることを特徴とする請求項1記載の不揮発性記憶素子。
- 前記不揮発性記憶素子が抵抗変化型メモリーであることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性記憶素子。
- 前記抵抗変化型メモリーがReRAMであることを特徴とする請求項6記載の不揮発性記憶素子。
- 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持された、2つの異なる抵抗状態に抵抗値が変化する可変抵抗層とを含む不揮発性記憶素子の製造方法であって、
前記第1の電極と前記第2の電極の少なくともどちらか一方の電極が、少なくともTiとNを含有する金属窒化物層を含む電極であり、
前記金属窒化物層の少なくとも前記可変抵抗層と接する部分のTiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上であり、かつ結晶配向性Xが1.2<Xの範囲である金属窒化物層を形成する工程を含むことを特徴とする不揮発性記憶素子の製造方法。 - 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持された、2つの異なる抵抗状態に抵抗値が変化する可変抵抗層とを含み、かつ前記第1の電極と前記第2の電極が、少なくともTiとNを含有する金属窒化物層を含む電極である不揮発性記憶素子の製造方法であって、
前記第1の電極として、TiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上である金属窒化物層を形成する工程と、
前記可変抵抗層として、Ni、Ti、Ta、Hf、Zr、V、Zn、Nb、WまたはCoの少なくとも一つを含む酸化物を形成する工程と、
前記第2の電極として、TiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上である金属窒化物層を形成する工程と、を含むことを特徴とする不揮発性記憶素子の製造方法。 - 前記第1電極の金属窒化物層の結晶配向性Xが1.2<Xの範囲であり、前記第2電極の金属窒化物層の結晶配向性Xが1.2<Xの範囲であることを特徴とする請求項9記載の不揮発性記憶素子の製造方法。
- 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持された、2つの異なる抵抗状態に抵抗値が変化する可変抵抗層とを含み、かつ前記第1の電極と前記第2の電極が、少なくともTiとNを含有する金属窒化物層を含む電極である不揮発性記憶素子の製造方法であって、
前記第1の電極として、TiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上である金属窒化物層を形成する工程と、
Ni、Ti、Ta、Hf、Zr、V、Zn、Nb、WまたはCoの少なくとも一つからなる金属膜を形成する工程と、
前記金属膜を300℃以上600℃以下の酸素雰囲気中で熱処理により金属酸化物からなる可変抵抗層を形成する工程と、
前記第2の電極として、TiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上である金属窒化物層を形成する工程と、を含むことを特徴とする不揮発性記憶装置の製造方法。 - 前記第1の電極の金属窒化物層の結晶配向性Xが1.2<Xの範囲であり、前記第2の電極の金属窒化物層の結晶配向性Xが1.2<Xの範囲であることを特徴とする請求項11記載の不揮発性記憶装置の製造方法。
- 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持された、2つの異なる抵抗状態に抵抗値が変化する可変抵抗層とを含み、かつ前記第1の電極と前記第2の電極が、少なくともTiとNを含有する金属窒化物層を含む電極である不揮発性記憶素子の製造方法であって、
前記第1の電極として、TiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上である金属窒化物層を形成する工程と、
HfとAlを含有する金属膜を形成する工程と、
前記金属膜を300℃以上600℃以下の酸素雰囲気中で熱処理により金属酸化物からなる可変抵抗層を形成する工程と、
前記第2の電極として、TiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上である金属窒化物層を形成する工程と、を含むことを特徴とする不揮発性記憶素子の製造方法。 - 前記第1の電極の金属窒化物層の結晶配向性Xが1.2<Xの範囲であり、前記第2の電極の金属窒化物層の結晶配向性Xが1.2<Xの範囲であることを特徴とする請求項13記載の不揮発性記憶素子の製造方法。
- 前記金属窒化物層を形成する工程が、
真空容器内で、窒素からなる反応性ガスと不活性ガスの混合雰囲気下においてTiターゲットをマグネトロンスパッタする工程であり、少なくとも前記可変抵抗層と接する領域の金属窒化物層を形成する工程では、金属窒化物層のTiとNのモル比率(N/Ti比)が1.15以上であり、かつ膜密度が4.7g/cc以上であり、かつ結晶配向性Xが1.2<Xの範囲を満たすように反応性ガスと不活性ガスの混合比を設定することを特徴とする請求項8に記載の不揮発性記憶素子の製造方法。 - 前記2つの異なる抵抗状態が、低抵抗から高抵抗に変化するリセット状態と高抵抗から低抵抗に変化するセット状態であることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性記憶素子の製造方法。
- 前記不揮発性記憶素子が抵抗変化型メモリーであることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性記憶素子の製造方法。
- 前記抵抗変化型メモリーがReRAMである事を特徴とする請求項17記載の不揮発性記憶素子の製造方法。
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