JP5384079B2 - 焼結軸受 - Google Patents

Description

本発明は、金属粉末を圧粉成形した後、焼結して得られる焼結軸受に関する。

焼結軸受は、金属粉末を圧粉成形した後、所定の温度で焼結することにより形成される。例えば特許文献１に示されている焼結軸受は、内周に挿入した回転軸を支持する回転軸支持用として使用されるものである。軸が回転すると、焼結軸受の内部空孔に含浸した油が表面開孔から滲みだし、この油が軸との摺動部に供給され、これにより軸受と軸との間の潤滑性が高められる。

焼結軸受を形成する金属粉末として、異なる種類の金属粉末を混合したものを使用すれば、各金属粉末の材料特性を活かした軸受が得られる。例えば上記特許文献１の焼結軸受は、Ｃｕ粉末とＳＵＳ鋼（ステンレス鋼、以下同様）粉末とを含む混合金属粉末を焼結して形成されている。このように、硬度の高いＳＵＳ鋼粉末を含むことにより、軸受の表面、特に回転軸と摺動する軸受面の耐摩耗性を高めることができ、比較的軟らかいＣｕ粉末を含むことにより、焼結軸受の成形性を高めることができる。

特開２００６−２１４００３号公報 特開２００１−２７９３４９号公報

しかし、上記のように異なる種類の金属粉末を混合して焼結すると、各金属の特性により、焼結軸受の性能に悪影響を及ぼすことがある。例えば、ＳＵＳ鋼粉末を含む混合金属粉末を比較的低温（８００℃程度）で焼結して焼結軸受を形成する場合、ＳＵＳ鋼粉末の粉末表面に酸化膜が形成され、この酸化膜の影響により粉末同士の結合力が弱まって焼結軸受の強度が不足する恐れがある。一方、この軸受を比較的高温（例えば１２００℃）で焼結すれば、酸化膜の形成を抑えることはできるものの、焼結が進行して焼結軸受が硬くなりすぎ、その後の焼結軸受のサイジングや動圧溝の形成等が困難となる。また、混合金属粉末にＣｕ粉末を含む場合は、Ｃｕの融点を越える温度で焼結するとＣｕが完全に溶融して軸受の形状を保持することができず、軸受の寸法精度が低下する恐れがある。

例えば、特許文献２には、銅被覆鉄粉を用いた焼結軸受が示されている。このように、鉄粉の表面を銅で被覆すれば、比較的低温で焼結した場合でも鉄粉の表面への酸化膜の形成を防止できる。しかし、この銅被覆鉄粉は、鉄粉の表面に銅をメッキすること等により形成されており、鉄粉と銅との固着力はそれ程高くないため、衝撃荷重により鉄粉と銅とが剥離しやすく、軸受の強度不足を招く恐れがある。

本発明の課題は、異なる種類の複数の金属材料からなり、加工性の悪化や強度低下等の不具合を招くことなく形成できる焼結軸受を提供することにある。

前記課題を解決するために、本発明は、金属粉末の圧縮成形体を焼結してなる焼結軸受であって、前記金属粉末が分離合金粉を含み、前記分離合金粉の各粒子が、第１領域と、第１領域とは異なる金属材料からなり、第１領域の表面の少なくとも一部を被覆した第２領域とを有し、前記分離合金粉は、第１領域と第２領域の金属材料を溶融状態で混合して冷却固化することで、両領域の界面の少なくとも一部が合金化されている焼結軸受を提供する。

このように、本発明では、分離合金粉を含む金属粉末を使用しているため、分離合金粉の各粒子を構成する複数種の金属材料の特性を活かすことができる。また、分離合金粉は、異なる金属からなる各領域の界面の少なくとも一部が合金化されているため、各領域間の結合強度が高められ、焼結軸受の強度が高められる。

例えば、分離合金粉がＦｅ系金属材料（Ｆｅを主成分として含む金属材料）からなる領域を有するものである場合、Ｆｅを軸受面に露出させることにより、軸受面の耐摩耗性を高めることができる。特に、Ｆｅ系金属材料としてＳＵＳ鋼を使用すれば、ＳＵＳ鋼に含まれるＣｒにより、耐摩耗性に加えて耐食性の効果を得ることができる。このＦｅ系金属材料の表面の少なくとも一部を他の金属材料で被覆すると、粉末表面にＦｅが露出する面積を低減することができるため、粒子表面における酸化膜の形成を抑え、酸化膜による粉末同士の結合力の低下、ひいては焼結軸受の強度低下を防止することができる。また、酸化膜の形成が抑えられることにより、比較的低温で焼結することが可能となりため、焼結軸受の硬度が過度に高められることがなく、サイジングや動圧溝形成等の加工が容易化される。

また、分離合金粉がＣｕ系金属材料（Ｃｕを主成分として含む金属材料）からなる領域を有するものである場合、ＣｕはＳＵＳ鋼等に比べて軟らかいため、金属粉末の圧粉加工やサイジング等における加工性が向上し、軸受の寸法精度を高めることができる。また、比較的軟らかいＣｕを軸受面に露出させることで、相手材（例えば軸部材）との摺動性を高めることができる。

上記のような分離合金粉は、例えば、各種金属材料を溶融状態で混合し、この混合溶融金属を噴霧して冷却固化する、いわゆるアトマイズ法で製造することができる。アトマイズ法によれば、異なる金属材料を万遍なく配合することができるため、各金属材料の特性を発揮させやすくなる。

このような焼結軸受は、例えば、軸受面に、流体に動圧作用を発生させる動圧発生部を形成した流体動圧軸受として使用することができる。

以上のように、本発明によれば、異なる種類の複数の金属材料からなり、加工性の悪化や強度低下等の不具合を招くことなく形成できる焼結軸受を得ることができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１に、本発明の一実施形態に係る焼結軸受としての軸受スリーブ１を示す。軸受スリーブ１は、両端を開口した円筒状に形成され、図４及び５に示す流体動圧軸受装置１００に組み込まれる。軸受スリーブ１は、分離合金粉を含む金属粉末を焼結して形成されたものである。具体的には、ＳＵＳ鋼の表面をＣｕ系金属材料で被覆した分離合金粉、純銅粉末、黒鉛粉末等を混合した金属粉末を用いて形成される。

軸受スリーブ１の内周面１ａ及び下側端面１ｃは、それぞれラジアル軸受面及びスラスト軸受面として機能する。軸受スリーブ１の内周面１ａの軸方向に離隔した２箇所の領域には、ラジアル動圧発生部として、例えば図１（ａ）に示すようなヘリングボーン形状の動圧溝１ａ１、１ａ２が形成される。上側の動圧溝１ａ１は、丘部（クロスハッチング領域）の軸方向略中央部の帯状部分に対して軸方向非対称に形成されており、帯状部分より上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている（Ｘ１＞Ｘ２）。下側の動圧溝１ａ２は、軸方向対称に形成されている。

軸受スリーブ１の下側端面１ｃには、スラスト動圧発生部として、例えば図１（ｂ）に示すようなスパイラル形状の動圧溝１ｃ１が形成される。また、軸受スリーブ１の外周面１ｄには、任意の本数の軸方向溝１ｄ１が軸方向全長に亙って形成され、図示例では３本の軸方向溝１ｄ１を円周等間隔に形成している。

図２に、分離合金粉１０の一粒子の断面図を示す。この分離合金粉１０は、Ｆｅをリッチに含むＦｅ系金属材料（本実施形態ではＳＵＳ鋼）からなる第１領域１１と、Ｃｕをリッチに含むＣｕ系金属材料からなる第２領域１２とを有する。第１領域１１と第２領域の界面は、少なくとも一部が合金化されている。第１領域１１は、概ね粒子の中央部に核として配され、この第１領域１１の表面を第２領域１２で被覆している。これにより、分離合金粉１０の粒子表面は、概ね第２領域１２のＣｕで構成され、部分的に第１領域１１のＳＵＳ鋼が露出している。

図３に、軸受スリーブ１の軸受面Ａ（ラジアル軸受面あるいはスラスト軸受面）における拡大断面図を示す。図示のように、分離合金粉１０の粒子間の隙間に、純銅粉末１３や黒鉛粉末１４（図中黒点で示す）が配されている。隣接する分離合金粉１０は、その表面の一部を溶融させて直接結合され、あるいは、分離合金粉１０間の純銅粉末１３を介して結合される。軸受面Ａには、分離合金粉１０の第１領域１１及び第２領域１２が露出している。このように、軸受スリーブ１を分離合金粉１０で形成することで、軸受スリーブ１にＳＵＳ鋼とＣｕの双方の特性を付与することができる。すなわち、図３に示すように、軸受スリーブ１の表面、特に軸受面ＡにＳＵＳ鋼（第１領域１１）を露出させることにより、軸受面Ａの耐摩耗性を高めることができる。また、軸受面ＡにＣｕ（第２領域１２）を露出させることにより、軸受面Ａの摺動相手材（本実施形態では軸部材２、図５参照）との摺動性を高めることができる。また、軸受スリーブ１を比較的軟らかいＣｕを含む材料で形成することにより、軸受スリーブ１の加工性が向上し、寸法精度を高めることができる。

次に、軸受スリーブ１の形成方法の一例を示す。

まず、分離合金粉１０を形成する。分離合金粉１０は、例えば、各金属材料（本実施形態では、Ｆｅ，Ｃｒ，及びＣｕ）を溶融状態で混合した後、この混合溶融金属を噴霧することで冷却固化させる、いわゆるアトマイズ法により製造することができる。アトマイズ法としては、ガスを用いて溶融金属を噴霧するガスアトマイズ法や、水を用いて溶融金属を噴霧する水アトマイズ法を適用することが可能である。図２に示す分離合金粉１０は、ガスアトマイズ法で製造されたものであり、主に中央部に集まったＳＵＳ鋼（第１領域１１）の外周がＣｕ（第２領域１２）で覆われ、全体としてほぼ球形を成している。尚、ＳＵＳ鋼としては、フェライト系、マルテンサイト系、オーステナイト系の何れも使用可能であり、ＳＵＳ鋼中のＣｒやＮｉの配合量は、求められる軸受特性に応じて任意に選択される。

分離合金粉１０を製造するに際し、溶融状態で混合される各金属材料の配合割合を調整すれば、核となる金属材料や、その表層を覆う金属材料等を任意に設定することができる。例えば、Ｃｕの混合割合をＦｅよりも多くすると、図２に示すように、ＳＵＳ鋼（第１領域１１）が核となって、その表面をＣｕ（第２領域１２）で被覆した分離合金粉１０が得られる。このとき、主成分金属（本実施形態ではＦｅ及びＣｕ）の配合量が少なすぎると、その金属が他の金属内に固溶してしまい、分離合金粉が形成されない恐れがあるため、主成分金属の配合量は互いに固溶しない程度の割合に設定する必要がある。

次に、上記の分離合金粉１０を含んだ混合金属粉末を、型成形により所定形状に圧粉成形する。この混合金属粉末には、分離合金粉１０のほか、例えば、純銅粉末、黒鉛粉末、Ｓｎ、及びＦｅ−Ｐ混合粉が適宜含まれる。混合金属粉末の組成の例を表１に示す。また、ガスアトマイズ法により製造された分離合金粉１０の合金組成の例を表２に示す。

上述のように、分離合金粉１０のＳＵＳ鋼及びＣｕ系金属の態様は、各溶融金属の配合量により決定される。従って、例えば図２に示すような粒子の態様（分離合金粉中のＳＵＳ鋼とＣｕとの比率）を維持したまま焼結材料中のＣｕの量を多くしたい場合は、上記のように純銅粉末を混合すれば良い。このとき、純銅粉末が樹枝状を成した電解銅粉であれば、成形時に粉末同士が絡み易くなるため、粒子間の結合力をより一層高め、成形品の剛性を高めることができる。また、焼結材料に黒鉛粉末を混合することにより、加工時及び軸受使用時における潤滑効果を高めることができる。

圧粉成形した成形体を、所定の焼結温度で焼結し、おおよそ軸受スリーブ１の形状を成した焼結体が得られる。このときの焼結温度は、分離合金粉１０を構成する複数の金属のうち、最も低融点の金属の融点以下であることが好ましく、本実施形態では、Ｃｕの融点以下の温度（例えば８００℃）に設定される。このとき、図２に示す分離合金粉１０の粒子の表面は、概ねＣｕ系金属（第２領域１２）で形成され、ＳＵＳ鋼（第１領域１１）はほとんど露出していない。これにより、上記のような比較的低温で焼結した場合であっても、粒子表面に酸化膜はほとんど形成されないため、酸化膜による金属粉末同士の結合力の低下を防止でき、軸受スリーブ１の強度を高めることができる。

その後、焼結体にサイジングを施し、さらに内周面及び端面に動圧溝を形成する。上記のように、焼結体は比較的低温で焼結されているため、硬度が過度に高められることはなく、サイジング等の加工が行いやすい。また、分離合金粉１０の粒子表面は比較的柔軟なＣｕ系合金（第２領域１２）で形成されているため、焼結体の加工性がより一層高められる。これにより、ラジアル軸受面（内周面１ａ）やスラスト軸受面（下側端面１ｃ）、あるいはこれらの面に形成される動圧発生部（動圧溝１ａ１、１ａ２、１ｃ１）を高精度に加工することができる。

こうして形成された軸受スリーブ１は、寸法精度が高いため、内周面１ａが面するラジアル軸受隙間や下側端面１ｃが面するスラスト軸受隙間の隙間幅が精度良く設定され、優れた軸受性能を得ることができる。また、内周面１ａや下側端面１ｃに形成される動圧溝１ａ１、１ａ２、及び１ｃ１が精度良く加工されるため、ラジアル軸受隙間やスラスト軸受隙間の潤滑油に発生する動圧作用が高められ、より一層軸受性能を高めることができる。さらに、分離合金粉１０のＳＵＳ鋼（第１領域１１）とＣｕ（第２領域１２）との界面の少なくとも一部が合金化しているため、衝撃荷重によるＳＵＳ鋼とＣｕとの剥離が防止され、軸受スリーブ１の強度を高めることができる。

尚、この軸受スリーブ１は、内周面１ａに回転サイジング等を施すことにより、内周面１ａに面した分離合金粉１０の表面のＣｕ系金属（第２領域１２）の一部を除去し、ＳＵＳ鋼（第１領域１１）を積極的に露出させてもよい。このように、ラジアル軸受面となるに内周面１ａに耐摩耗性に優れたＳＵＳ鋼を多く露出させることで、ラジアル軸受面の耐摩耗性がさらに向上し、軸受スリーブ１の耐久性をより一層高めることができる。回転サイジングは、焼結体をサイジングした後、動圧溝を形成する前に行っても良いし、動圧溝を形成した後に行っても良い。

また、上記ではガスアトマイズ法で製造された分離合金粉１０を使用した場合を示しているが、これに限らず、水アトマイズ法で製造された分離合金粉を使用してもよい。水アトマイズ法によれば、図４に示すように、分離合金粉２０の第２領域２２（例えばＣｕ系金属）中に第１領域２１（例えばＦｅ系金属）を万遍なく分散させることができる。これにより、図２に示すような核となる第１領域１１の外周を第２領域１２で覆った分離合金粉１０と比べて、軸受面にＳＵＳ鋼及びＣｕをより均一に露出させることができるため、軸受面全体に万遍なく両者の特性（耐摩耗性及び摺動性）を付与することができる。また、水アトマイズ法によれば、ガスアトマイズ法による分離合金粉１０のような球形に近い形状にはなりにくく、図４のように外周面に凹凸を有する形状になりやすいため、圧粉成形あるいはサイジングにより各粒子を変形させやすくなり、焼結軸受の成形性を高めることができる。

以下に、上記の軸受スリーブ１の適用例を説明する。

図４は、上記の軸受スリーブ１を有する流体動圧軸受装置１００を組み込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を示している。このスピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、軸部材２を回転自在に非接触支持する流体動圧軸受装置１００と、軸部材２に装着されたディスクハブ３と、流体動圧軸受装置１００の外周に取り付けられたブラケット６と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５とを備えている。ステータコイル４は、ブラケット６の外周面に取り付けられ、ロータマグネット５はディスクハブ３の内周に取り付けられる。ディスクハブ３には、磁気ディスク等のディスクＤが複数枚（図示例では２枚）保持される。ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間の電磁力でロータマグネット５が相対回転し、それによって、ディスクハブ３および軸部材２が一体となって回転する。

図５は、流体動圧軸受装置１００を示している。この流体動圧軸受装置１００は、軸方向一方を開口した有底筒状のハウジング７と、ハウジング７の内周に配された焼結軸受としての軸受スリーブ１と、ハウジング７の内周に挿入される軸部材２と、ハウジング７の開口部に設けられたシール部９とで構成される。尚、説明の便宜上、軸方向でハウジング７が開口している側を上側、ハウジング７が閉塞している側を下側として説明を進める。

軸部材２は、ステンレス鋼等の金属材料で形成され、軸部２ａと軸部２ａの下端に設けられたフランジ部２ｂとを備えている。軸部材２は、全体を金属で形成する他、例えばフランジ部２ｂの全体あるいはその一部（例えば両端面）を樹脂で構成することにより、金属と樹脂のハイブリッド構造とすることもできる。

ハウジング７は、例えば樹脂材料で有底筒状のコップ状に形成される。ハウジング７の内底面７ｂ１には、例えばスパイラル形状の動圧溝が形成される（図示省略）。ハウジング７の内周面７ｃに、上記の軸受スリーブ１の外周面１ｄが接着や圧入等の適宜の手段で固定される。尚、ハウジング７は一体に形成する場合に限らず、筒状の側部と、この側部の一方の開口部を閉塞する蓋部とで構成してもよい。

シール部９は、例えば樹脂材料で環状に形成される。シール部９の内周面９ａは、下方へ向けて漸次縮径したテーパ状に形成され、このテーパ状内周面９ａと軸部２ａの円筒面状外周面２ａ１との間に、下方へ向けて半径方向寸法を漸次縮小した楔状のシール空間Ｓを形成し、このシール空間Ｓの毛細管力で潤滑油を保持する毛細管シールを構成する。シール空間Ｓの容積は、軸受装置の使用温度範囲内において、軸受装置の内部に保持された潤滑油の熱膨張量よりも大きくなるように設定され、これにより、軸受装置の使用温度範囲内では、潤滑油がシール空間Ｓから漏れ出すことはなく、油面が常時シール空間Ｓ内に保持される。

軸部材２が回転すると、軸受スリーブ１の内周面１ａと軸部材２の外周面２ａ１との間にラジアル軸受隙間が形成されると共に、軸受スリーブ１の下側端面１ｃと軸部材２のフランジ部２ｂの上側端面２ｂ１との間、及びハウジング７の内底面７ｂ１と軸部材のフランジ部２ｂの下側端面２ｂ２との間にそれぞれスラスト軸受隙間が形成される。そして、軸受スリーブ１の内周面１ａの動圧溝１ａ１、１ａ２が上記ラジアル軸受隙間の潤滑油に動圧作用を発生させることにより、軸部材２の軸部２ａをラジアル方向に回転自在に非接触支持するラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が構成される。同時に、軸受スリーブ１の下側端面１ｃの動圧溝１ｃ１、及びハウジング７の内底面７ｂ１の動圧溝が、上記各スラスト軸受隙間の潤滑油に動圧作用を発生させることにより、軸部材２のフランジ部２ｂを両スラスト方向に回転自在に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｔ１及び第２スラスト軸受部Ｔ２が構成される。このとき、ラジアル軸受隙間の下端は、第１スラスト軸受部Ｔ１の軸受隙間の外径端につながる。

前述したように、軸受スリーブ１の内周面１ａの動圧溝１ａ１は、丘部の帯状部分に対して軸方向非対称に形成されており、帯状部分より上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている（図１（ａ）参照）。そのため、軸部材２の回転時、動圧溝１ａ１による潤滑油の引き込み力（ポンピング力）は上側領域が下側領域に比べて相対的に大きくなる。この引き込み力の差圧によって、ラジアル軸受隙間の潤滑油が下方に流動し、第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受隙間→軸方向溝１ｄ１→シール部９の下側端面９ｂと軸受スリーブ１の上側端面１ｂとの間の空間、という経路を循環して、ラジアル軸受隙間に再び引き込まれる。このように、潤滑油がハウジング７の内部空間を流動循環するように構成することで、内部空間内の潤滑油の圧力が局部的に負圧になる現象を防止して、負圧発生に伴う気泡の生成、気泡の生成に起因する潤滑油の漏れや振動の発生等の問題を解消することができる。また、何らかの理由で潤滑油中に気泡が混入した場合でも、気泡が潤滑油に伴って循環する際にシール空間Ｓ内の潤滑油の油面（気液界面）から外気に排出されるので、気泡による悪影響はより一層効果的に防止される。

以上の実施形態では、ラジアル動圧発生部としてヘリングボーン形状の動圧溝１ａ１、１ａ２が形成されているが、これに限らず、例えばスパイラル形状の動圧溝やステップ軸受、あるいは多円弧軸受を採用してもよい。動圧発生部を設けず、軸部２ａの外周面２ａ１及び軸受スリーブ１の内周面１ａを共に円筒面としたいわゆる真円軸受を構成してもよい。

また、以上の実施形態では、スラスト動圧発生部としてスパイラル形状の動圧溝が形成されているが、これに限らず、例えばヘリングボーン形状の動圧溝やステップ軸受、あるいは波型軸受（ステップ型が波型になったもの）等を採用することもできる。

また、以上の実施形態では、動圧発生部が軸受スリーブ１の内周面１ａ、下側端面１ｃ、およびハウジング内底面７ｂ１に形成されているが、それぞれと軸受隙間を介して対向する面、すなわち軸部２ａの外周面２ａ１、フランジ部２ｂの上側端面２ｂ１、および下側端面２ｂ２に動圧発生部を設けてもよい。

また、以上の実施形態では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が軸方向で離隔して設けられているが、これらを軸方向で連続的に設けてもよい。あるいは、これらの何れか一方のみを設けてもよい。

また、以上の実施形態では、流体動圧軸受装置１００の内部に充満し、ラジアル軸受隙間や、スラスト軸受隙間に動圧作用を生じる流体として、潤滑油を例示したが、それ以外にも各軸受隙間に動圧作用を発生可能な流体、例えば空気等の気体や、磁性流体、あるいは潤滑グリース等を使用することもできる。

また、上記の流体動圧軸受装置は、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるスピンドルモータに限らず、光ディスクの光磁気ディスク駆動用のスピンドルモータ等の高速回転下で使用される情報機器用の小型モータや、レーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータ、あるいは電気機器のファンモータ等に好適に使用することができる。

（ａ）は軸受スリーブの断面図、（ｂ）は同下面図である。 分離合金粉の粒子の断面図である。 軸受スリーブの軸受面における拡大断面図である。 分離合金粉の粒子の他の例を示す断面図である。 流体動圧軸受装置を組み込んだモータの断面図である。 軸受スリーブを備えた流体動圧軸受装置の断面図である。

符号の説明

１ 軸受スリーブ（焼結軸受）
１０ 分離合金粉
１１ 第１領域（ＳＵＳ鋼）
１２ 第２領域（Ｃｕ系金属材料）
Ａ 軸受面
２ 軸部材
３ ディスクハブ
４ ステータコイル
５ ロータマグネット
６ ブラケット
７ ハウジング
９ シール部
１００ 流体動圧軸受装置
Ｒ１、Ｒ２ ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２ スラスト軸受部
Ｓ シール空間

Claims (7)

1. 金属粉末の圧縮成形体を焼結してなる焼結軸受であって、
   前記金属粉末が分離合金粉を含み、
   前記分離合金粉の各粒子が、第１領域と、第１領域とは異なる金属材料からなり、第１領域の表面の少なくとも一部を被覆した第２領域とを有し、
   前記分離合金粉は、第１領域と第２領域の金属材料を溶融状態で混合して冷却固化することで、両領域の界面の少なくとも一部が合金化されている焼結軸受。
2. 第１領域がＦｅ系金属材料からなる請求項１記載の焼結軸受。
3. 前記Ｆｅ系金属材料がＳＵＳ鋼である請求項２記載の焼結軸受。
4. 第２領域がＣｕ系金属材料からなる請求項１〜３の何れかに記載の焼結軸受。
5. 前記分離合金粉がアトマイズ法で製造されたものである請求項１〜４の何れかに記載の焼結軸受。
6. 流体動圧軸受として使用され、軸受面に、流体に動圧作用を発生させる動圧発生部を形成した請求項１〜５の何れかに記載の焼結軸受。
7. 請求項１〜６の何れかに記載の焼結軸受と、焼結軸受の内周に挿入された軸部材とを備えた流体動圧軸受装置。

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