JP5376791B2 - 多階調フォトマスクの欠陥修正方法及び欠陥が修正された多階調フォトマスク - Google Patents
多階調フォトマスクの欠陥修正方法及び欠陥が修正された多階調フォトマスク Download PDFInfo
- Publication number
- JP5376791B2 JP5376791B2 JP2007271516A JP2007271516A JP5376791B2 JP 5376791 B2 JP5376791 B2 JP 5376791B2 JP 2007271516 A JP2007271516 A JP 2007271516A JP 2007271516 A JP2007271516 A JP 2007271516A JP 5376791 B2 JP5376791 B2 JP 5376791B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- semi
- film
- defect
- shielding film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
欠陥を含む前記半透過膜を前記欠陥と共に除去する工程と、
前記除去された半透過膜に代えて、前記遮光膜のパターンとの境界部を覆い全周に余剰部が存在するように修正半透過膜を堆積する工程と、
前記修正半透過膜の余剰部の一部をレーザー光で除去して整形する工程とを含み、
前記除去されるべき余剰部は前記遮光膜のパターンとのオーバーラップ部を含まず、かつ
前記整形する工程は、前記オーバーラップ部以外の他の余剰部に対しては露光装置の解像限界以下の部分が残るように除去することを特徴とする。
前記遮光膜のパターンとの境界部を覆うようにかつ全周に余剰部が存在するように前記修正半透過膜が形成され、前記遮光膜のパターンと前記修正半透過膜のパターンとのオーバーラップ部を有すると共に
前記オーバーラップ部以外の他の余剰部は露光装置の解像限界以下の部分が残るようにレーザー光で除去されて整形された
ことを特徴とする欠陥が修正されたことを特徴とする。
図1は、本発明の実施形態について説明するための図である。以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
11 未修正半透過膜
12 欠陥
12a 白欠陥
12b 黒欠陥
13 修正半透過膜
14 トリミング処理後の修正半透過膜
L レーザー光
C1 クラック
C2 膜剥がれ
A レーザーザッピングの起点(遮光膜と修正半透過膜のオーバーラップ部)
B レーザーザッピングの終点(遮光膜と修正半透過膜の他のオーバーラップ部)
d 余剰部の離間距離
Claims (4)
- 透明基板の上に少なくとも遮光膜のパターンと半透過膜のパターンとが形成された多階調フォトマスクの前記半透過膜に欠陥が含まれている場合に適用される多階調フォトマスクの欠陥修正方法であって、
欠陥を含む前記半透過膜を前記欠陥と共に除去する工程と、
前記除去された半透過膜に代えて、前記遮光膜のパターンとの境界部を覆い全周に余剰部が存在するように修正半透過膜を堆積する工程と、
前記修正半透過膜の余剰部の一部をレーザー光で除去して整形する工程とを含み、
前記除去されるべき余剰部は前記遮光膜のパターンとのオーバーラップ部を含まず、かつ
前記整形する工程は、前記オーバーラップ部以外の他の余剰部に対しては露光装置の解像限界以下の部分が残るように除去することを特徴とする多階調フォトマスクの欠陥修正方法。 - 前記遮光膜はクロム原子を含む請求項1記載の多階調フォトマスクの欠陥修正方法。
- 前記修正半透過膜を堆積する工程は光CVD法である請求項1又は2記載の多階調フォトマスクの欠陥修正方法。
- 透明基板の上に少なくとも遮光膜のパターンと修正半透過膜のパターンとが形成された多階調フォトマスクであって、
前記遮光膜のパターンとの境界部を覆うようにかつ全周に余剰部が存在するように前記修正半透過膜が形成され、前記遮光膜のパターンと前記修正半透過膜のパターンとのオーバーラップ部を有すると共に
前記オーバーラップ部以外の他の余剰部は露光装置の解像限界以下の部分が残るようにレーザー光で除去されて整形された
ことを特徴とする欠陥が修正された多階調フォトマスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007271516A JP5376791B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 多階調フォトマスクの欠陥修正方法及び欠陥が修正された多階調フォトマスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007271516A JP5376791B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 多階調フォトマスクの欠陥修正方法及び欠陥が修正された多階調フォトマスク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009098517A JP2009098517A (ja) | 2009-05-07 |
JP5376791B2 true JP5376791B2 (ja) | 2013-12-25 |
Family
ID=40701563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007271516A Active JP5376791B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 多階調フォトマスクの欠陥修正方法及び欠陥が修正された多階調フォトマスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5376791B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6960741B2 (ja) * | 2017-02-02 | 2021-11-05 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | 位相シフトマスクの欠陥修正方法 |
JP6741893B1 (ja) * | 2020-03-04 | 2020-08-19 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | ハーフトーンマスクの欠陥修正方法、ハーフトーンマスクの製造方法及びハーフトーンマスク |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62260155A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-12 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜パタ−ンの補修方法 |
JPH0980741A (ja) * | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Toppan Printing Co Ltd | ハーフトーン位相シフトマスクの欠陥修正方法およびハーフトーン位相シフトマスク |
JP4122563B2 (ja) * | 1998-04-21 | 2008-07-23 | 沖電気工業株式会社 | フォトマスクの回路パターン部の修正方法 |
JP4442962B2 (ja) * | 1999-10-19 | 2010-03-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | フォトマスクの製造方法 |
JP2003302744A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Dainippon Printing Co Ltd | エマルジョンマスクパターン欠陥修正方法及び装置 |
JP2003302747A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Mitsubishi Electric Corp | 位相シフトマスクの修正方法と位相シフトマスク及びパターン転写方法並びにウェハー |
JP4297693B2 (ja) * | 2003-01-31 | 2009-07-15 | 株式会社ルネサステクノロジ | フォトマスク、フォトマスクの製造方法、およびフォトマスクの製造装置 |
JP2007057747A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Toppan Printing Co Ltd | フォトマスクの修正方法 |
JP4752495B2 (ja) * | 2005-12-22 | 2011-08-17 | 大日本印刷株式会社 | 階調をもつフォトマスクの欠陥修正方法 |
JP4446395B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2010-04-07 | Hoya株式会社 | グレートーンマスクの欠陥修正方法、及びグレートーンマスク |
JP5057866B2 (ja) * | 2007-07-03 | 2012-10-24 | Hoya株式会社 | グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 |
-
2007
- 2007-10-18 JP JP2007271516A patent/JP5376791B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009098517A (ja) | 2009-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100524109B1 (ko) | 그레이톤 마스크에 있어서의 그레이톤부의 결함 수정 방법 | |
JP4752495B2 (ja) | 階調をもつフォトマスクの欠陥修正方法 | |
JP5376791B2 (ja) | 多階調フォトマスクの欠陥修正方法及び欠陥が修正された多階調フォトマスク | |
JP5035537B2 (ja) | 階調マスクの欠陥修正方法および階調マスク | |
JP5037231B2 (ja) | ハーフトーンマスクの欠陥修正方法及び欠陥が修正されたハーフトーンマスク | |
TWI232488B (en) | Method of checking a defect and evaluating the repaired defect in a graytone mask | |
CN108388078B (zh) | 相移掩模的缺陷修正方法 | |
JP2010079112A (ja) | フォトマスクの製造方法、及びパターン転写方法 | |
JP2018124466A5 (ja) | ||
US7771900B2 (en) | Manufacturing method for photo mask | |
JP5045394B2 (ja) | 階調マスクの欠陥修正方法 | |
KR101179000B1 (ko) | 다계조 광마스크 및 그 수정방법 | |
JP5283440B2 (ja) | 多階調フォトマスク及びその修正方法 | |
JP5283441B2 (ja) | 多階調フォトマスク及びその修正方法 | |
JP5296432B2 (ja) | 多階調フォトマスク及びその修正方法 | |
JP4661146B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 | |
JP7449187B2 (ja) | 位相シフトマスクの製造方法、位相シフトマスク、および、表示装置の製造方法 | |
JP4543840B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 | |
JP4806877B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクの修正方法 | |
JP2010061020A (ja) | 多階調フォトマスクの製造方法及び多階調フォトマスク | |
JP2005043793A (ja) | フォトマスク及びそれを用いたパターン転写方法 | |
JPS63218959A (ja) | ホトマスクパタ−ンの修正方法 | |
JP4251009B2 (ja) | レベンソン型位相シフトマスク及びその製造方法 | |
JP2003121987A (ja) | フォトマスクの製造方法 | |
JP2009122295A (ja) | フォトマスク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130618 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130917 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130924 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5376791 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |