JP5373578B2 - 光モジュール製造方法及び検査方法 - Google Patents
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TO−CAN型パッケージは、配線ピン19やフォトダイオード12を取り付けたステム11と、ステム11に覆いかぶせて密封するレンズ13b付きのキャップ13とからなり、フォトダイオード12を動作させながら、レンズ13bの光軸をフォトダイオード12に合わせこみ、この状態で、YAGレーザ溶接等により、ステム11にキャップ13を固定する、というアクティブ調芯の工程を行っている。
光素子が搭載された光素子搭載基板と、前記光素子と光学結合させる第1の光学部品を保持する第1の光学部品保持部材とを、前記光素子と前記第1の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第1の参照用光モジュールを作製し、
前記第1の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第1の参照用光モジュールの作製後に、前記第1の参照用光モジュールの外形に嵌合する第1の組立用外形治具を当該組立用外形治具の内部が見える複数の窓を具備するように作製し、
前記光素子搭載基板と同等の他の光素子搭載基板と、前記第1の光学部品保持部材と同等の他の第1の光学部品保持部材とを、前記第1の組立用外形治具に嵌合させ、前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、
前記複数の窓からレーザ光を照射して、前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材との接合を、前記第1の組立用外形治具に嵌合したままで、レーザ溶接により行うことを特徴とする。
上記課題を解決する第2の発明に係る光モジュール製造方法は、
光素子が搭載された光素子搭載基板と、前記光素子と光学結合させる第1の光学部品を保持する第1の光学部品保持部材とを、前記光素子と前記第1の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第1の参照用光モジュールを作製し、
前記第1の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第1の参照用光モジュールの作製後に、前記第1の参照用光モジュールの外形に嵌合する第1の組立用外形治具を当該組立用外形治具の内部が見える複数の窓を具備するように作製し、
前記光素子搭載基板と同等の他の光素子搭載基板及び前記第1の光学部品保持部材と同等の他の第1の光学部品保持部材のいずれか一方に、接着剤が注入される注入孔と当該注入孔に連通した溝とを設け、
前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材とを前記第1の組立用外形治具に嵌合させ、前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、
前記複数の窓から前記注入孔に接着剤を注入し、注入した前記接着剤で前記溝を充填し、前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材との接合を、前記第1の組立用外形治具に嵌合したままで、前記接着剤により行うことを特徴とする。
上記第1又は第2の発明に記載の光モジュール製造方法の後、
前記第1の参照用光モジュールと、前記第1の参照用光モジュールの光素子と光学結合させる第2の光学部品を保持する第2の光学部品保持部材とを、前記第1の参照用光モジュールの光素子と前記第2の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第2の参照用光モジュールを作製し、
前記第2の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第2の参照用光モジュールの作製後に、前記第2の参照用光モジュールの外形に嵌合する第2の組立用外形治具を作製し、
作製した前記光モジュールと、前記第2の光学部品保持部材と同等の他の第2の光学部品保持部材とを、前記第2の組立用外形治具に嵌合させ、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、前記第2の組立用外形治具に嵌合したままで、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを接合することを特徴とする。
上記第3の発明に記載の光モジュール製造方法において、
前記第2の光学部品及び前記第2の光学部品保持部材を、任意の光学部品及び任意の光学部品保持部材とし、当該任意の光学部品保持部材に対応する任意の参照用光モジュール及び任意の組立用外形治具を作製し、
作製した前記光モジュールと、前記任意の光学部品保持部材と同等の他の任意の光学部品保持部材とを、前記任意の組立用外形治具に嵌合させ、作製した前記光モジュールと前記他の任意の光学部品保持部材とを接合し、
複数の任意の光学部品保持部材に対して、前記手順を繰り返すことにより、作製した前記光モジュールに複数の任意の光学部品保持部材を多段に接合して、光モジュールの組立てを行うことを特徴とする。
上記課題を解決する第5の発明に係る光モジュール製造方法は、
上記第1又は第2の発明に記載の光モジュール製造方法の後、
前記第1の参照用光モジュールと、前記第1の参照用光モジュールの光素子と光学結合させる第2の光学部品を保持する第2の光学部品保持部材とを、前記第1の参照用光モジュールの光素子と前記第2の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第2の参照用光モジュールを作製し、
前記第2の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第2の参照用光モジュールの作製後に、前記第2の参照用光モジュールの外形に嵌合する第2の組立用外形治具を当該組立用外形治具の内部が見える複数の他の窓を具備するように作製し、
作製した前記光モジュールと、前記第2の光学部品保持部材と同等の他の第2の光学部品保持部材とを、前記第2の組立用外形治具に嵌合させ、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、
前記複数の他の窓からレーザ光を照射して、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材との接合を、前記第2の組立用外形治具に嵌合したままで、レーザ溶接により行うことを特徴とする。
上記課題を解決する第6の発明に係る光モジュール製造方法は、
上記第1又は第2の発明に記載の光モジュール製造方法の後、
前記第1の参照用光モジュールと、前記第1の参照用光モジュールの光素子と光学結合させる第2の光学部品を保持する第2の光学部品保持部材とを、前記第1の参照用光モジュールの光素子と前記第2の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第2の参照用光モジュールを作製し、
前記第2の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第2の参照用光モジュールの作製後に、前記第2の参照用光モジュールの外形に嵌合する第2の組立用外形治具を当該組立用外形治具の内部が見える複数の他の窓を具備するように作製し、
作製した前記光モジュール及び前記第2の光学部品保持部材と同等の他の第2の光学部品保持部材のいずれか一方に、接着剤が注入される他の注入孔と当該他の注入孔に連通した他の溝を設け、
作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを前記第2の組立用外形治具に嵌合させ、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、
前記複数の他の窓から前記他の注入孔に接着剤を注入し、注入した前記接着剤で前記他の溝を充填し、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材との接合を、前記第2の組立用外形治具に嵌合したままで、前記接着剤により行うことを特徴とする。
上記第1〜第6のいずれか1つの発明に記載の光モジュール製造方法において、
前記光素子搭載基板、前記第1の光学部品保持部材、前記第2の光学部品保持部材又は前記任意の光学部品保持部材は、回転方向の位置決めを行うための突起を有し、当該突起を用いて、光学調芯を行い、
前記第1の組立用外形治具、前記第2の組立用外形治具又は前記任意の組立用外形治具は、前記突起に対応する溝部を有し、前記突起を前記溝部に嵌合することを特徴とする。
上記課題を解決する第8の発明に係る光モジュール製造方法は、
上記第7の発明に記載の光モジュール製造方法において、
前記突起に対応する前記溝部が、前記複数の窓又は前記複数の他の窓を兼用していることを特徴とする。
上記第1〜第8のいずれか1つの発明に記載の光モジュール製造方法において、
前記光素子搭載基板、前記第1の光学部品保持部材、前記第2の光学部品保持部材又は前記任意の光学部品保持部材は、金型プレス加工又はメタルインジェクションモールドを用いて形成することを特徴とする。
上記第1〜第9のいずれか1つの発明に記載の光モジュール製造方法の際、
前記第1の組立用外形治具、前記第2の組立用外形治具又は前記任意の組立用外形治具に、製造中の光モジュールとの光学結合を行う光学系と光検出装置とを取り付け、
製造中の光モジュールに、当該光モジュールの電気入出力を検出する電気検出装置を取り付け、
製造中の光モジュールに搭載された光素子の動作の良否を判定することを特徴とする。
第2の発明によれば、光学調芯を行うことなく、光モジュールの組立を行うことができ、光モジュールを低コストで量産製造することが可能となる。又、高価な溶接装置が不要で低コストで光モジュールを製造することが可能となる。
第5の発明によれば、光素子との光学結合を劣化させることなく、光モジュールを製造することが可能となる。
第6の発明によれば、高価な溶接装置が不要で低コストで光モジュールを製造することが可能となる。
図1〜図4は、本実施例の光モジュール製造方法を説明する図である。又、図5〜図7は、本実施例の光モジュール製造方法の第1〜第3の変形例を説明する図である。なお、図1〜図7において、符号10はリファレンスモジュール(第1の参照用光モジュール)、11はステム(光素子搭載基板)、12はフォトダイオード(光素子)、13はキャップ(第1の光学部品保持部材)、13bはレンズ(第1の光学部品)、14、15は型枠(第1の組立用外形治具)、16、17は電極、18はメタルマーカ、19は配線ピン、20は光モジュール、21はステム(他の光素子搭載基板)、23はレンズ付きキャップ(他の第1の光学部品保持部材)を示している。
工程1では、図1に示すように、ステム11上に位置決め用の十字のメタルマーカ18が4つ形成されており、十字のメタルマーカ18の中心とフォトダイオード12の角とが合うように、ステム11上にフォトダイオード12を実装する。なお、位置決め用のメタルマーカ18は、フォトリソグラフィー技術と金属蒸着技術により形成されている。ステム11には、光軸方向の回転ずれが生じないように、回転方向のマーカとして突起11aが設けられている。又、後述の図2に示すように、キャップ13にも、同様に、光軸方向の回転ずれが生じないように、回転方向のマーカとして13aが設けられている。
工程2では、図2に示すように、ステム11上のフォトダイオード12と、レンズ13bを保持するキャップ13とを、アクティブアライメント法により調芯する。このとき、フォトダイオード12とキャップ13のレンズ13bとが同一光軸上に実装される。この状態で、YAGレーザ溶接技術や抵抗溶接(例えば、シーム溶接等)やエポキシ半田等の接着手段を用いて、ステム11とキャップ13とを接着する。完成した光モジュールを、フォトダイオード12とキャップ13のレンズ13bとの光軸が同一線上に並んだ「リファレンスモジュール」(符号10)とする。
工程3では、図3に示すように、リファレンスモジュール10の外形と嵌合するように、型枠14を、例えば、金属の切削により作製する。型枠14は、リファレンスモジュール10の外形をかたどったものである。リファレンスモジュール10が略円筒形であることから、この型枠14の中心部には、略円柱形の空洞部14aが形成されると共に、突起11a、13aに対応した溝部14b、14cが形成されることになる(後述の図4参照)。
工程4、即ち、量産工程においては、図4に示すように、作製した型枠14に、まず、キャップ23を嵌合させ、次に、ステム21を嵌合させる。このとき、空洞部14aにキャップ23本体を嵌合させると共に、溝14bに突起23aを嵌合させ、次に、空洞部14aにステム21本体を嵌合させると共に、溝14cに突起21aを嵌合させることになり、これによって、ステム21上のフォトダイオードとキャップ13のレンズの光軸とが、再度アクティブ調芯をしなくても、自動的に一致するようになる。なお、キャップ23及びステム21は、リファレンスモジュール10のキャップ13及びステム11と同じ仕様である。
図9〜図12は、本実施例の光モジュール製造方法を説明する図である。上記実施例1とは、工程1から工程3に至る工程が異なっている。なお、符号については、同等の構成については、実施例1と同じ符号を用いる。
工程1では、図9に示すように、ステム11上には、図1で示したメタルマーカ18ではなく、50ミクロン径の窪み11bを形成している。ステム11上に形成した窪み11bと、フォトダイオード12の受光面との位置を合わせてから、フォトダイオード12をステム11上に搭載することによって、精度良く搭載するようにしている。
ステム11及びキャップ13に嵌合する枠41と、キャップ13のみに嵌合する枠42とを、予め作製しておく。このとき、枠41には、突起13aに嵌合する溝部41aと突起11aに嵌合する溝部41bが形成され、枠42には、突起13aに嵌合する溝部42aが形成される。
工程3では、図11(a)、(b)に示すように、工程2でアクティブ調芯した状態で、枠41と枠42とをYAGレーザ溶接することによって、枠41と枠42とを接合した型枠40(第1の組立用外形治具)を作製する。例えば、図中の黒丸の箇所で接合を行っている。その後、リファレンスモジュール10を取り外す。この工程で作製した型枠40を、量産工程用の金型として使用する。この型枠40は、実施例1で示した型枠14と同等のものとなる。
工程4、即ち、量産工程においては、図12に示すように、型枠40に、まず、キャップ23を嵌合させ、次に、ステム21を嵌合させ、この状態で、ステム21とキャップ23とを、抵抗溶接やYAGレーザ溶接、或いは、接着剤等により接合することにより、リファレンスモジュール10と同じ光学性能を有する光モジュール20を量産することが可能となる。
図13〜図15は、本実施例の光モジュール製造方法を説明する図である。本実施例は、上記実施例1、2を用いて、より複雑な光モジュール(例えば、基本的な光モジュールに複数の光学部品を多段に組み込んだもの等)へ適用したものであり、以下の要領で、量産用の型枠を作製することにポイントがある。なお、図13〜図15において、同等の構成については、実施例1、2と同じ符号を用いる。
リファレンスモジュール10に嵌合する金属製の型枠14(又は型枠40)と、ファイバ(第2の光学部品)を保持するファイバモジュール51(第2の光学部品保持部材)に嵌合する金属枠52とを、予め作製しておく。ファイバモジュール51には、突起51aが形成されており、金属枠52には、突起51aに嵌合する溝部52aが形成されている。
工程2では、図14に示すように、調芯がとれた状態で、YAGレーザ溶接技術や抵抗溶接やエポキシ半田等の接着手段を用いて、リファレンスモジュール10とファイバモジュール51とを接合して、光学結合させる。例えば、図中の黒丸の箇所で接合を行っている。接合した光モジュールを、型枠53から取り出すことによって、新たな「リファレンスモジュール」(符号50;第2の参照用光モジュール)が完成する。上記接合と同時に、調芯がとれた状態で、更に、YAGレーザ溶接技術やエポキシ半田等の接着手段を用いて、型枠14(又は型枠40)と金属枠52とを接合し、新たな型枠53(第2の組立用外形治具)が完成する。例えば、図中の白丸の箇所で接合を行っている。
工程3では、図15に示すように、工程2で作製した量産用の型枠53を用いて、実施例1及び実施例2で量産した光モジュール20と、ファイバモジュール61(ファイバモジュール51と同じ仕様のもの)とを、例えば、図中の黒丸の箇所でYAGレーザ溶接を行い、接合することによって、工程2で完成したリファレンスモジュール50と同じ光学特性を有する光モジュールを量産することができる。
11、21 ステム
11a、21a 突起
11b 窪み
12 フォトダイオード
13、23 キャップ
13a、23a 突起
13b レンズ
14、15、40、53 型枠
14a 空洞部
14b、14c 溝部
14d 窓
16、17 電極
18 メタルマーカ
19、29 配線ピン
20 光モジュール
23b 注入孔
23c 溝
31 光ファイバ
32 コリメート光学系
33 DCプローブ
34 RFプローブ
41、42 枠
41a、41b、42a 溝部
51 ファイバモジュール
51a 突起
52 金属枠
52a 溝部
Claims (10)
- 光素子が搭載された光素子搭載基板と、前記光素子と光学結合させる第1の光学部品を保持する第1の光学部品保持部材とを、前記光素子と前記第1の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第1の参照用光モジュールを作製し、
前記第1の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第1の参照用光モジュールの作製後に、前記第1の参照用光モジュールの外形に嵌合する第1の組立用外形治具を当該組立用外形治具の内部が見える複数の窓を具備するように作製し、
前記光素子搭載基板と同等の他の光素子搭載基板と、前記第1の光学部品保持部材と同等の他の第1の光学部品保持部材とを、前記第1の組立用外形治具に嵌合させ、前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、
前記複数の窓からレーザ光を照射して、前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材との接合を、前記第1の組立用外形治具に嵌合したままで、レーザ溶接により行うことを特徴とする光モジュール製造方法。 - 光素子が搭載された光素子搭載基板と、前記光素子と光学結合させる第1の光学部品を保持する第1の光学部品保持部材とを、前記光素子と前記第1の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第1の参照用光モジュールを作製し、
前記第1の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第1の参照用光モジュールの作製後に、前記第1の参照用光モジュールの外形に嵌合する第1の組立用外形治具を当該組立用外形治具の内部が見える複数の窓を具備するように作製し、
前記光素子搭載基板と同等の他の光素子搭載基板及び前記第1の光学部品保持部材と同等の他の第1の光学部品保持部材のいずれか一方に、接着剤が注入される注入孔と当該注入孔に連通した溝とを設け、
前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材とを前記第1の組立用外形治具に嵌合させ、前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、
前記複数の窓から前記注入孔に接着剤を注入し、注入した前記接着剤で前記溝を充填し、前記他の光素子搭載基板と前記他の第1の光学部品保持部材との接合を、前記第1の組立用外形治具に嵌合したままで、前記接着剤により行うことを特徴とする光モジュール製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の光モジュール製造方法の後、
前記第1の参照用光モジュールと、前記第1の参照用光モジュールの光素子と光学結合させる第2の光学部品を保持する第2の光学部品保持部材とを、前記第1の参照用光モジュールの光素子と前記第2の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第2の参照用光モジュールを作製し、
前記第2の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第2の参照用光モジュールの作製後に、前記第2の参照用光モジュールの外形に嵌合する第2の組立用外形治具を作製し、
作製した前記光モジュールと、前記第2の光学部品保持部材と同等の他の第2の光学部品保持部材とを、前記第2の組立用外形治具に嵌合させ、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、前記第2の組立用外形治具に嵌合したままで、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを接合することを特徴とする光モジュール製造方法。 - 請求項3に記載の光モジュール製造方法において、
前記第2の光学部品及び前記第2の光学部品保持部材を、任意の光学部品及び任意の光学部品保持部材とし、当該任意の光学部品保持部材に対応する任意の参照用光モジュール及び任意の組立用外形治具を作製し、
作製した前記光モジュールと、前記任意の光学部品保持部材と同等の他の任意の光学部品保持部材とを、前記任意の組立用外形治具に嵌合させ、作製した前記光モジュールと前記他の任意の光学部品保持部材とを接合し、
複数の任意の光学部品保持部材に対して、前記手順を繰り返すことにより、作製した前記光モジュールに複数の任意の光学部品保持部材を多段に接合して、光モジュールの組立てを行うことを特徴とする光モジュール製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の光モジュール製造方法の後、
前記第1の参照用光モジュールと、前記第1の参照用光モジュールの光素子と光学結合させる第2の光学部品を保持する第2の光学部品保持部材とを、前記第1の参照用光モジュールの光素子と前記第2の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第2の参照用光モジュールを作製し、
前記第2の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第2の参照用光モジュールの作製後に、前記第2の参照用光モジュールの外形に嵌合する第2の組立用外形治具を当該組立用外形治具の内部が見える複数の他の窓を具備するように作製し、
作製した前記光モジュールと、前記第2の光学部品保持部材と同等の他の第2の光学部品保持部材とを、前記第2の組立用外形治具に嵌合させ、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、
前記複数の他の窓からレーザ光を照射して、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材との接合を、前記第2の組立用外形治具に嵌合したままで、レーザ溶接により行うことを特徴とする光モジュール製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の光モジュール製造方法の後、
前記第1の参照用光モジュールと、前記第1の参照用光モジュールの光素子と光学結合させる第2の光学部品を保持する第2の光学部品保持部材とを、前記第1の参照用光モジュールの光素子と前記第2の光学部品との光学調芯を行った状態で接合して、第2の参照用光モジュールを作製し、
前記第2の参照用光モジュールの作製時と同時に、又は、前記第2の参照用光モジュールの作製後に、前記第2の参照用光モジュールの外形に嵌合する第2の組立用外形治具を当該組立用外形治具の内部が見える複数の他の窓を具備するように作製し、
作製した前記光モジュール及び前記第2の光学部品保持部材と同等の他の第2の光学部品保持部材のいずれか一方に、接着剤が注入される他の注入孔と当該他の注入孔に連通した他の溝を設け、
作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを前記第2の組立用外形治具に嵌合させ、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材とを嵌合させるだけで、光モジュールの組み立てを行い、
前記複数の他の窓から前記他の注入孔に接着剤を注入し、注入した前記接着剤で前記他の溝を充填し、作製した前記光モジュールと前記他の第2の光学部品保持部材との接合を、前記第2の組立用外形治具に嵌合したままで、前記接着剤により行うことを特徴とする光モジュール製造方法。 - 請求項1から請求項6のいずれか1つに記載の光モジュール製造方法において、
前記光素子搭載基板、前記第1の光学部品保持部材、前記第2の光学部品保持部材又は前記任意の光学部品保持部材は、回転方向の位置決めを行うための突起を有し、当該突起を用いて、光学調芯を行い、
前記第1の組立用外形治具、前記第2の組立用外形治具又は前記任意の組立用外形治具は、前記突起に対応する溝部を有し、前記突起を前記溝部に嵌合することを特徴とする光モジュール製造方法。 - 請求項7に記載の光モジュール製造方法において、
前記突起に対応する前記溝部が、前記複数の窓又は前記複数の他の窓を兼用していることを特徴とする光モジュール製造方法。 - 請求項1から請求項8のいずれか1つの発明に記載の光モジュール製造方法において、
前記光素子搭載基板、前記第1の光学部品保持部材、前記第2の光学部品保持部材又は前記任意の光学部品保持部材は、金型プレス加工又はメタルインジェクションモールドを用いて形成することを特徴とする光モジュール製造方法。 - 請求項1から請求項9のいずれか1つの発明に記載の光モジュール製造方法の際、
前記第1の組立用外形治具、前記第2の組立用外形治具又は前記任意の組立用外形治具に、製造中の光モジュールとの光学結合を行う光学系と光検出装置とを取り付け、
製造中の光モジュールに、当該光モジュールの電気入出力を検出する電気検出装置を取り付け、
製造中の光モジュールに搭載された光素子の動作の良否を判定することを特徴とする光モジュール検査方法。
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JP2009283565A JP5373578B2 (ja) | 2009-12-15 | 2009-12-15 | 光モジュール製造方法及び検査方法 |
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