CN102147511B - 制造聚合物微型透镜的方法及具有该聚合物透镜的准直器 - Google Patents

制造聚合物微型透镜的方法及具有该聚合物透镜的准直器 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种在基底上制造聚合物微型透镜的方法，该方法包括：在所述基底的表面上形成透镜成型图样，所述透镜成型图样包括周边区域及内部区域，大部分所述周边区域具有限制液体聚合物的性能，而所述内部区域具有至少一个部分使所述基底的表面显露出来；在所述透镜成型图样上施加液体聚合物；以及在所述液体聚合物达到平衡状态并限制于所述周边区域内后，固化所述液体聚合物；由此，所述聚合物微型透镜的周边由所述周边区域限定，而且所述聚合物微型透镜通过所述内部区域直接接触所述基底的表面。本发明还公开了具有该聚合物微型透镜的准直器。

Description

制造聚合物微型透镜的方法及具有该聚合物透镜的准直器
技术领域
本发明涉及光学成像领域，尤其涉及一种制造聚合物微型透镜的方法以及具有该聚合物透镜的准直器。
背景技术
先进的光电子(OE)收发器为了支持高速通信，其必然包括半导体光激射器、光电探测器以及小型封装形式的电子产品。通常的收发器模块包括数个上述的OE部件，该OE部件精确地对准透镜或者透镜阵列与外部光学器件耦合，例如光纤连接器，来发送和接收光线。所述OE部件要求高精准的组装工序以改善产品的制造以及符合预期成本。OE部件设计的内在挑战在于维持外部光学器件、光电子发射器与接收器之间的光线对准，以及产品的可靠性。光学设计上采用瞄准光束的准直器来传送光线，便能有效地克服该挑战。其优点是可降低OE部件的光电子发射器和接收器与外部光学器件之间的对准容差。因此，可避免使用通常用于确保光路对准的传统昂贵精密光纤连接器。
参考图1-2，图1a展示了小型封装件1包括数个用于对准光束的OE部件11。图1b显示了单独的OE部件11，如图1b所示的箭头代表了光学光束的进/出方向。图2是设置于OE部件11内的准直器的示意图。该准直器21用于将激光二级管22发射出来的发散光转换成平行光线，该准直器21的尺寸通常为100-1000微米。
传统地微型透镜的制造方法为将微型透镜直接形成于光电子晶片上或者透明的基底上来整合成最终产品。随着玻璃材料科学和工序控制的进步，包括高温玻璃成型以及蚀刻玻璃或半导体基底的方法可用于将微型透镜形成于玻璃基底上以耐受高温组装工序，例如锡焊和SMT回流焊接工序。然而，上述两种技术的材料成本和制造成本相当高。此外回流技术亦不适合生产匹配OE部件的大尺寸精确准直器。
近来，喷墨列印技术应用于将微型透镜阵列通过直接分配制造在基底上。该方法通过微机械控制或者压电控制来精确控制分配量。虽然采用喷墨列印方法制造的微型透镜的定位具有高准确度，但是微型透镜的尺寸和定位还取决于由分配量以及其在基底上达到平衡状态的表面张力等因素。一种制造微型透镜的方法采用在基底上设置一个层体，由此为微型透镜形成一个较好的形状图样，但是其缺点是微型透镜的边缘不光滑。另一种制造微型透镜的方法是将液体分配至基底上可被浸润的区域。也就是说，在基底上设置圆盘形的可浸润层体，继而将微型透镜安装在该层体上。然而，上述方法的缺点是微型透镜没有直接与基底接触，因而该微型透镜不能牢靠地安装在基底上，且微型透镜的透明度不高。再者，上述方法因其工作原理对基底材料、表面处理以及透镜成型材料须满足各方面的要求，因而大大限制了工序与材料的选择范围。
因此，急需提供一种用于准直器的改进的在基底上制造聚合物微型透镜的方法，以克服上述缺陷。
发明内容
本发明的目的在于提供一种在基底上制造聚合物微型透镜的方法，该方法通过在基底上形成透镜成型图样，且该透镜成型图样能限定液体聚合物并使聚合物牢靠地接触基底表面，因而聚合物微型透镜的定位及形状得到精确控制，并改善了聚合物微型透镜的牢靠性和透明度。
本发明的另一目的在于提供一种准直器，该准直器在其基底上形成透镜成型图样，且该透镜成型图样能限定液体聚合物并使聚合物牢靠地接触基底表面，因而聚合物微型透镜的定位及形状得到精确控制，并改善了聚合物微型透镜的牢靠性和透明度。
为了达到上述目的，本发明提供了一种在基底上制造聚合物微型透镜的方法，其包括用于液体聚合物的透镜成型图样，所述透镜成型图样包括周边区域以及显露基底的内部区域。在所述透镜成型图样上施加液体聚合物；以及在所述液体聚合物达到平衡状态并限制所述周边区域内后，固化所述液体聚合物；由此，所述聚合物微型透镜的周边由所述周边区域限定。显露基底表面的内部区域形成了牢靠的接触聚合物微型透镜的表面，实现其更高的光传输性能以及透镜更加牢靠的吸附基底性能。
在本发明的一个实施例中，所述透镜成型图样是一个光刻胶圆环，且所述光刻胶圆环包括外边界、内边界以及由所述内边界限定的开孔，所述周边区域为所述外边界与所述内边界之间的区域，所述内部区域为所述开孔。
在本发明的另一个实施例中，所述透镜成型图样还包括在所述透镜成型图样的所述开孔中形成半透明图样或空间滤波图样，以使透镜具有附加功能，即使其传播的光衰减和选择性地滤除。
在本发明的另一个实施例中，所述液体聚合物包括第一种液体聚合物和第二种液体聚合物，所述在所述透镜成型图样上施加液体聚合物以及固化所述液体聚合物的步骤执行如下：在所述光刻胶圆环的所述开孔中施加所述第一种液体聚合物；在所述第一种液体聚合物达到平衡状态并限定于所述内边界后，固化所述第一种液体聚合物；在所述第一种液体聚合物及整个所述光刻胶圆环上施加所述第二种液体聚合物；以及在所述第二种液体聚合物达到平衡状态并限定于所述外边界后，固化所述第二种液体聚合物。所述第一种液体聚合物的折射率与所述第二种液体聚合物的折射率不同，与具有一种曲面的透镜相比，圆环的两种曲面减少了综合透镜的球面相差，故实现更好的校准光。
在本发明的另一个实施例中，所述透镜成型图样为具有至少一个缺口的圆环。
在本发明的另一个实施例中，所述透镜成型图样为具有若干个通孔的圆盘。
在本发明的另一个实施例中，所述透镜成型图样是通过改变所述基底的表面的纹理或者改变所述基底的表面相对所述液体聚合物的浸润性而形成的。
在本发明的又一个实施例中，所述透镜成型图样是一个物料层并通过平版印刷、模板印刷、丝网印刷或者冲压印刷形成于所述基底的表面。
在本发明的又一个实施例中，所述聚合物是光固化环氧树脂、硅有机树脂或者人造橡胶。
本发明还提供一种准直器，所述准直器包括：基底，所述基底的表面面对液体聚合物；至少一个透镜成型图样，所述透镜成型图样形成于所述基底的表面上，每一所述透镜成型图样包括周边区域及内部区域，大部分所述周边区域具有限制液体聚合物的性能，所述内部区域具有至少一个部分将所述基底的表面显露出来；至少一个聚合物微型透镜，所述聚合物微型透镜分别形成于所述透镜成型图样上，所述聚合物微型透镜的周边由所述周边区域限定，所述聚合物微型透镜通过所述内部区域直接接触所述基底的表面。
与现有技术相比，本发明的透镜具有形成于基底上的透镜成型图样，且该透镜成型图样能限定液体聚合物并具有一部分使所述基底的表面显露出来，因而聚合物微型透镜的定位及形状得到精确控制，并改善了聚合物微型透镜的牢靠性和透明度。
通过以下的描述并结合附图，本发明的技术内容、构造特征、所达目的及效果将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。
附图说明
图1a是传统的包括数个单独OE部件的小型封装件的示意图。
图1b是图1a所示传统收发器模块的单独OE部件的示意图。
图2是OE部件内的准直器的示意图。
图3是本发明实施例中在基底上制造聚合物微型透镜的方法流程图。
图4a是形成透镜成型图样至基底的工序流程图。
图4b是施加液体聚合物至透镜成型图样上以及固化该液体聚合物的工序流程图。
图4c是施加液体聚合物至透镜成型图样上以及固化该液体聚合物的示意图。
图5a是圆环状的透镜成型图样的示意图。
图5b是具有一个缺口的透镜成型图样的示意图。
图5c是具有多个缺口的透镜成型图样的示意图。
图5d是具有多个通孔的透镜成型图样的示意图。
图6a是具有半透明图样的透镜成型图样的示意图。
图6b是具有空间滤波图样的透镜成型图样的示意图。
图7a是本发明一个实施例中具有透镜成型图样的聚合物微型透镜的示意图。
图7b是本发明另一个实施例中具有透镜成型图样的聚合物微型透镜的示意图。
图7c是本发明又一个实施例中具有透镜成型图样的聚合物微型透镜的示意图。
图8是具有两种聚合物的聚合物微型透镜的工序流程图。
图9a是本发明一个实施例中具有两种聚合物的聚合物微型透镜的示意图。
图9b是本发明另一个实施例中具有两种聚合物的聚合物微型透镜的示意图。
图10是本发明实施例中聚合物微型透镜的光线跟踪的示意图。
图11是本发明实施例中具有两种聚合物的聚合物微型透镜的光线跟踪模型的参数表。
图12是本发明实施例中准直器的示意图。
图13是准直器中聚合物微型透镜与透镜成型图样的直径偏差的参数表。
图14是准直器中聚合物微型透镜在回流焊工序之前与之后的参数表。
具体实施方式
以下将结合附图描述本发明的各个实施例，其中，各个附图中相同的标记表示相同的元件。
如上所述，本发明提供了一种在基底上制造聚合物微型透镜的方法。参考图3，所述制造聚合物微型透镜的方法包括如下步骤：在所述基底的表面上形成透镜成型图样，所述透镜成型图样包括周边区域及内部区域，大部分所述周边区域具有限制液体聚合物的性能，而所述内部区域具有至少一个部分使所述基底的表面显露出来(步骤301)；在所述透镜成型图样上施加液体聚合物(步骤302)；在所述液体聚合物达到平衡状态并限制于所述周边区域内后，固化所述液体聚合物(步骤303)。
图4a-4c所示的工序流程图展示了本发明实施例中上述步骤301-303中的详细流程，该流程用于通过平版印刷工艺制作聚合物微型透镜。参考图4a-4b，在步骤1中，提供一个透明玻璃晶片的基底41。所述基底41通过氧气等离子、臭氧或酸的水溶液清洗处理，从而所述基底41的表面适用于层压透镜成型图样。在步骤2中，光刻胶材料40是一种负性光刻胶且是液体状态，该光刻胶材料40通过旋转涂布工序提供至基底41的基底表面411。较佳地，光刻胶材料40是一种负性光刻胶。继而，软性烘烤该光刻胶材料40直至光刻胶材料40从液体变成固体。在步骤3中，圆盘形的光掩模43直接放置于光刻胶材料40上，光掩膜43是金属掩膜。之后光刻胶材料40和光掩膜43均暴晒于光下。在图4中，使光刻胶材料40显影直至该光刻胶材料40变成透镜成型图样42，硬性烘烤该透镜成型图样42；从而得到圆环形的在其中央具有开孔421的透镜成型图样42。该透镜成型图样42形成于基底41的基底表面411上。圆环形的且厚度为13微米的透镜成型图样42有利于限制设置其上的液体聚合物。在本发明的其它实施例中，透镜成型图样可为固体的光刻胶材料层，其通过平版印刷、模板印刷、丝网印刷或者冲压印刷形成于所述基底的表面上。
结合图5a，在本发明实施例中，透镜成型图样42包括周边区域422和内部区域，大部分周边区域422可限制液体聚合物，而内部区域为使基底41的基底表面411显露出来的开孔421。详细地，透镜成型图样42是光刻胶圆环，其包括外边界424和内边界423。开孔421由内边界423所限定，周边区域422为该外边界424与内边界423之间的区域。
参考图4a-4c，在步骤5中，步骤5中精确控制液体状态的聚合物44a以使其设置于透镜成型图样42上。聚合物44a具有低缩水性且是透明的光固化热凝聚合物，其施加于透镜成型图样42的开孔421中且覆盖开孔421。开孔421使聚合物44a能直接接触基底41的基底表面411。聚合物44a受所述透镜成型图样42的限定，也就是说，聚合物44a只存在于透镜成型图样42上，而不超出所述透镜成型图样42的周边范围。可选地，聚合物44a可为环氧树脂、硅有机树脂或者人造橡胶。通过控制工序参数，以及优化光刻胶的厚度与液体的黏性，聚合物44a的周边由所述周边区域422限定，且聚合物44a通过内部区域的开孔421直接接触所述基底41的基底表面411。详细地，聚合物44a的分配工序包括两个步骤，即提取步骤和冲压步骤。提取步骤为用圆棒45提取一小滴聚合物44a，该圆棒45的直径小于该透镜成型图样42。且聚合物44a粘附在圆棒45的尖端上。冲压步骤为：圆棒45暂时接触基底41的基底表面411且在透镜成型图样42的开孔421中，继而将粘附在圆棒45尖端上的聚合物44a转移到透镜成型图样42上。在步骤6中，在球状的小液滴聚合物44a随着其表面张力达到平衡状态时，用光照射该聚合物44a直至其变成固体。至此，聚合物44a已转变成聚合物微型透镜44。在本实施例中，聚合物微型透镜44的折射率的范围是1.4至1.6。
在上述的步骤1至步骤6之后，参考图4b-4c及5a，聚合物微型透镜44的周边由透镜成型图样42的周边区域422所限定。因为精确地设定了透镜成型图样42，聚合物微型透镜44的定位与形状得到精确地控制。再者，聚合物微型透镜44具有良好地与基底表面411的黏合性，故改善了聚合物微型透镜44的牢靠性与其透明度。
图5a-5d展示了包括如图4所示的透镜成型图样42在内的不同形状的透镜成型图样。参考图5a，透镜成型图样42是其上形成有一个圆盘形开孔421的圆环。参考图5b，透镜成型图样42a是其上形成有一个缺口422a以及一个圆盘形开孔421a的圆环。参考图5c，透镜成型图样42b是其上形成有三个缺口422b以及一个圆盘形开孔421b的圆环。参考图5d，透镜成型图样42c是其上形成有三个通孔422c的圆盘。参考图4-5，聚合物微型透镜44安装在透镜形成图样42c上，且通过三个通孔422c直接接触基底41的基底表面411。
图6a描述了聚合物微型透镜54形成于基底51上，其限定于透镜成型图样52。透镜成型图样52是具有圆盘形开孔521的圆环。聚合物微型透镜54和透镜成型图样52的结构与聚合物微型透镜44和透镜成型图样42的结构相似，除了透镜成型图样52具有半透明图样55。设置于透镜成型图样52中央且位于圆盘形的开孔521中的半透明图样55显露出基底56，形成于基底51的基底表面511上。当从光源发射出来的光束照射于聚合物54上时，光束经过半透明图样55，因而该光束转换成衰减光束。
图6b描述了聚合物微型透镜64形成于基底61上，其限定于透镜成型图样62。透镜成型图样62是具有圆盘形开孔621的圆环。聚合物微型透镜64和透镜成型图样62的结构与聚合物微型透镜54和透镜成型图样52的结构相似，除了透镜成型图样62具有空间滤波图样65。设置于透镜成型图样62中央且位于圆盘形的开孔621中的空间滤波图样65形成于基底61的基底表面611上。当从光源发射出来的光束照射于聚合物64上时，光束经过空间滤波图样65，因而该光束转换成空间调制光束。
图7a-7c描述了本发明实施例中三种形成于基底上的聚合物微型透镜。参考图7a，聚合物微型透镜74的结构与聚合物微型透镜44的结构相同，透镜成型图样72是在基底71的表面上承载聚合物微型透镜74的凸台。参考图7b，聚合物微型透镜84的结构与聚合物微型透镜74的结构相同，但是透镜成型图样82形成于基底81上且是通过改变基底81的表面相对于聚合物微型透镜84的纹理。参考图7c，聚合物微型透镜94与聚合物微型透镜74的结构相同，除了透镜成型图样92是通过改变基底91的表面相对于聚合物微型透镜94的浸润性而形成于基底91上的。
图8展示了具有两种聚合物的聚合物微型透镜的制造工序。参考图8，聚合物微型透镜具有两种聚合物，分别为第一种聚合物104以及第二种聚合物105。首先，将液体状的第一种聚合物104施加于光刻胶圆环102的开孔1021中，从而所述第一种聚合物104能直接接触基底101的基底表面1011。其次，当所述第一种聚合物104达到平衡状态时且限定于内边界1023时，固化所述第一种聚合物104，光束照射于第一种聚合物104直至所述第一种聚合物转变成固体。再次，在第一种聚合物104及整个光刻胶圆环102上施加呈液体状的第二种聚合物105；在所述第二种聚合物105达到平衡状态并限定于所述外边界1024后，固化所述第二种液体聚合物105。光束照射于第二种聚合物105直至所述第二种聚合物105转变成固体。
图9a展示了图8所示的具有两种聚合物的聚合物微型透镜，所述第一种聚合物104形成了一个凹曲表面且第二种聚合物105层压于第一种聚合物104上。图9b展示了另一种聚合物微型透镜。图9b所示的聚合物微型透镜的制造方法与图8所示的聚合物微型透镜的制造方法相似，除了微型透镜200的第一种聚合物204形成了凸曲表面，且第二种聚合物205层压其上。优选地，参考图9a，所述第一种聚合物104的折射率小于所述第二种聚合物105的折射率；参考图9b，所述第一种聚合物204的折射率大于所述第二种聚合物205的折射率。因此，如图9a-9b所示的本发明实施例中的具有两种聚合物的微型透镜减少了聚合物微型透镜的球面相差，因而得到更佳的平行光束。
图10是图9a所示的聚合物微型透镜的光线跟踪的示意图。左边的图示展示了仅具有一种聚合物的聚合物微型透镜的光线跟踪。右边的图示展示了具有两种聚合物的聚合物微型透镜的光线跟踪，该光束穿过两个不同球面曲率的界面，所述两个界面分别在空气与第二种聚合物之间，以及在第二种聚合物与第一种聚合物之间，使球面相差得以减少，且获得了比左边图示的平行光束更佳的平行光。
图11是图10所示的具有两种聚合物的聚合物微型透镜的光线跟踪模型的参数表。相应的数值参量及结果归结于所述参数表中。理想的校准光线具有等于零的准直误差。从参数表上可知，单一的聚合物微型透镜上的最小聚合物微型透镜误差是1.55度，而改进型的具有两种聚合物的聚合物微型透镜的误差减少至1.04度。
图12是本发明实施例中准直器的示意图。准直器300包括一个具有基底表面3011的基底301；若干个透镜成型图样(图未示)，其形成于所述基底表面3011上，每一所述透镜成型图样包括周边区域及内部区域，大部分所述周边区域具有限制液体聚合物的性能，所述内部区域具有至少一个部分将所述基底301的基底表面3011显露出来；若干个聚合物微型透镜304，所述聚合物微型透镜304分别形成于所述透镜成型图样上，所述聚合物微型透镜304的周边由所述周边区域限定，所述聚合物微型透镜304通过所述内部区域直接接触所述基底301的所述基底表面3011。
图13是图12所示的准直器300中微型透镜的直径偏差的参数表。准直器300中的十个聚合物微型透镜归结于该参数表中。在液体聚合物分配之前，具有图像识别功能的光学显微镜测量所述透镜成型图样的尺寸。透镜成型图样的测量直径稍大于光掩膜，而聚合物微型透镜的测量直径接近于图13所示的透镜成型图样。该测量参数显示了通过本发明实施例中的方法可制造出精确的微型透镜。
图14是图12所示的准直器300中微型透镜在回流焊工序之前与之后的参数表。在最高温度为260摄氏度(持续时间为10秒)的表面贴装技术(SMT)回流焊之前与之后，通过比较聚合物微型透镜的外形测量聚合物微型透镜的高温耐受度。结果归结于所述参数表中，参数表显示在回流工序之前与之后该聚合物微型透镜的外形没有明显的变化。
以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。

Claims (16)

1.在基底上制造聚合物微型透镜的方法，其特征在于，所述方法包括：
在所述基底的表面上形成透镜成型图样，所述透镜成型图样包括周边区域及内部区域，大部分所述周边区域具有限制液体聚合物的性能，而所述内部区域具有至少一个部分使所述基底的表面显露出来；所述透镜成型图样是一个光刻胶环，且所述光刻胶环具有外边界、内边界以及由所述内边界限定的开孔，所述周边区域为所述外边界与所述内边界之间的区域，所述内部区域为所述开孔；
在所述透镜成型图样上施加液体聚合物；以及
在所述液体聚合物达到平衡状态并限制于所述周边区域内后，固化所述液体聚合物；
由此，所述聚合物微型透镜的周边由所述周边区域限定，而且所述聚合物微型透镜通过所述内部区域直接接触所述基底的表面；
所述液体聚合物包括第一种液体聚合物和第二种液体聚合物，所述在所述透镜成型图样上施加液体聚合物以及固化所述液体聚合物的步骤通过以下步骤进行：
在所述光刻胶环的所述开孔中施加所述第一种液体聚合物；
在所述第一种液体聚合物达到平衡状态并限定于所述内边界后，固化所述第一种液体聚合物；
在所述第一种聚合物及整个所述光刻胶环上施加所述第二种液体聚合物；以及
在所述第二种液体聚合物达到平衡状态并限定于所述外边界后，固化所述第二种液体聚合物。
2.如权利要求1所述的制造聚合物微型透镜的方法，其特征在于，所述第一种聚合物的折射率与所述第二种聚合物的折射率不同。
3.如权利要求1所述的制造聚合物微型透镜的方法，其特征在于，还包括在所述基底的表面上形成半透明图样或空间滤波图样，所述半透明图样或所述空间滤波图样设置于所述透镜成型图样的所述开孔中。
4.如权利要求1所述的制造聚合物微型透镜的方法，其特征在于，所述透镜成型图样为具有至少一个缺口的圆环。
5.如权利要求1所述的制造聚合物微型透镜的方法，其特征在于，所述透镜成型图样为具有若干个通孔的圆盘。
6.如权利要求1所述的制造聚合物微型透镜的方法，其特征在于，所述透镜成型图样是通过改变所述基底的表面的纹理或者改变所述基底的表面相对所述液体聚合物的浸润性而形成的。
7.如权利要求1所述的制造聚合物微型透镜的方法，其特征在于，所述透镜成型图样是一个物料层并通过平版印刷、模板印刷、丝网印刷或者冲压印刷形成于所述基底的表面。
8.如权利要求1所述的制造聚合物微型透镜的方法，其特征在于，所述聚合物是光固化环氧树脂、硅有机树脂或者人造橡胶。
9.一种准直器，其特征在于，所述准直器包括：
基底，所述基底的表面面对液体聚合物；
至少一个透镜成型图样，所述透镜成型图样形成于所述基底的表面上，每一所述透镜成型图样包括周边区域及内部区域，大部分所述周边区域具有限制液体聚合物的性能，所述内部区域具有至少一个部分使所述基底的表面显露出来；所述透镜成型图样是一个光刻胶圆环，且所述透镜成型图样包括外边界、内边界以及由所述内边界限定的开孔，所述周边区域为所述外边界与所述内边界之间的区域，所述内部区域为所述开孔；
至少一个聚合物微型透镜，所述聚合物微型透镜分别形成于所述透镜成型图样上，所述聚合物微型透镜的周边由所述周边区域限定，所述聚合物微型透镜通过所述内部区域直接接触所述基底的表面；所述聚合物微型透镜包括第一种聚合物和第二种聚合物，所述第一种聚合物形成于所述开孔中并限定在所述内边界内，所述第二种聚合物形成于所述第一种聚合物以及整个所述光刻胶圆环上且限定于所述周边所述外边界。
10.如权利要求9所述的准直器，其特征在于，所述第一种聚合物的折射率与所述第二种聚合物的折射率不同。
11.如权利要求9所述的准直器，其特征在于，还包括半透明图样或空间滤波图样，所述半透明图样或所述空间滤波图样形成于所述基底的表面上并且设置于所述透镜成型图样的所述开孔中。
12.如权利要求9所述的准直器，其特征在于，所述透镜成型图样为具有至少一个缺口的圆环。
13.如权利要求9所述的准直器，其特征在于，所述透镜成型图样为具有若干个通孔的圆盘。
14.如权利要求9所述的准直器，其特征在于，所述透镜成型图样是通过改变所述基底的表面的纹理或者改变所述基底的表面相对所述液体聚合物的浸润性而形成的。
15.如权利要求9所述的准直器，其特征在于，所述透镜成型图样是一个物料层并通过平版印刷、模板印刷、丝网印刷或者冲压印刷形成于所述基底的表面。
16.如权利要求9所述的准直器，其特征在于，所述聚合物是光固化环氧树脂、硅有机树脂或者人造橡胶。
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