JP3998921B2

JP3998921B2 - マイクロレンズ形成方法

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Publication number: JP3998921B2
Application number: JP2001141431A
Authority: JP
Inventors: 雄三石井
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2001-05-11
Filing date: 2001-05-11
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2021-05-11
Also published as: JP2002331532A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光学装置のマイクロレンズ製造技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は、特開２０００−１８０６０５号公報（特願平１０−３５８９５６号）に記載された従来のマイクロレンズ製造方法の一例を示す。
この従来の方法は、液状の紫外線（ＵＶ光）硬化樹脂を、インクジェットヘッド１３によリ、レンズ用液状樹脂１４として基板１２上に射出し、表面張力により球状化させたところを、ＵＶ光照射１５により硬化させて、マイクロレンズ２１を形成するものである。ピエゾ駆動素子などを用いて、液状の紫外線（ＵＶ光）硬化樹脂の射出量を正確に制御することができ、再現性と制御性の高いマイクロレンズアレイを作製することが可能である。また、任意の基板１２上にダイレクトにレンズを形成することができるため、半導体レーザや、受光素子、光導波路などの光部品にマイクロレンズを一体化することが容易である。
滴下された液状樹脂が基板となす角、すなわち接触角は、液状樹脂と基板の表面張力の関係に大きく依存する。液状樹脂と基板の表面張力の関係は、樹脂の粘度、樹脂と基板のそれぞれの温度、基板の表面形状などによって決定されるが、それらの条件が同一であれば接触角は一意的に決定されるため、マイクロレンズの製造方法として適用することは可能である。
マイクロレンズのレンズ特性を表わすパラメータとしては、焦点距離、Ｆ数、レンズ直径（開口径）などが挙げられる。これらのレンズパラメータにおいて、Ｆ数は、樹脂の接触角と樹脂の屈折率とから容易に導くことができる。すなわち、所定の接触角を形成する樹脂（屈折率は既知）と基板の組み合わせを用意すれば、所望のＦ数をもつマイクロレンズを作製することができる。また、レンズ直径に関しては、接触角が射出量に因らず一定であることから、射出量のみで制御することができる。
【０００３】
上記従来技術においては、さまざまなレンズ特性を持つマイクロレンズを簡便に作製することが可能である。しかしながら、この従来技術はマイクロレンズを一つずつ作製する方式であり、インクジェットヘッドをマルチノズル化することにより、マイクロレンズアレイを一括して作製することも可能であるが、ターゲット位置と射出ヘッドのアライメント精度は、装置のステージ駆動精度および観察系の分解能などに大きく依存する。つまり、マイクロレンズの形成位置確度を高めるためには、装置の高精度化をはかる必要がある。
装置の高精度化は、装置の高価格化を意味しており、マイクロレンズの製造コストを増加させることになる。したがって、マイクロレンズを低コストで製造するためには、マイクロレンズの形成位置確度が装置精度に影響されない製造方法とすることが必要となる。
【０００４】
図７に、上記マイクロレンズの形成位置確度が装置精度に影響されない製造方法として提案されたマイクロレンズの製造方法の一例を示す〔例えば、特開昭６２−８３３３７号公報（特願昭６０−２２０３７５号）〕。
これは、基板１２上に設けた感光性樹脂２３をフォトマスク２２を用い、露光６、現像してパターニングにより、基板１２上のマイクロレンズを形成すべき部分に、感光性樹脂２３よりなる円盤状の透明樹脂（以下、凸型レンズマーカ用膜と呼ぶ）２４を形成する方法である。この凸型レンズマーカである円盤状の透明樹脂２４は、マイクロレンズパタンを有する上記フォトマスク２２を用いたフォトリソグラフィー技術によって作製されるため、凸型レンズマーカ用膜２４の形状、配列ピッチの正確性、および再現性は共に高い。
【０００５】
このような凸型レンズマーカ用膜２４がターゲット基板上に形成されている場合には、液状ＵＶ光硬化樹脂２５の液滴の射出位置は、上記凸型レンズマーカ用膜２４上であればよいので、位置精度は大幅に緩和される。凸型レンズマーカ用膜２４上に射出された液滴は、凸型レンズマーカ用膜２４上を濡れ広がるが、その周縁部で広がりは止まり、おのずと球形状を形成する。凸型レンズマーカ用膜２４が円形であるために、レンズ中心はレンズマーカの中心と正確に一致し、さらには、マイクロレンズ２６の直径は凸型レンズマーカ用膜２４の径によって正確に保持される。
【０００６】
ここで、フォトマスク２２のアライメントは、通常、マスクに形成しておいたアライメントマークを用いて行われる。このアライメントマークは、マスクのマイクロレンズパタン以外の部分に形成されるが、これを夕ーゲット面に設けられたアライメントマークとしてアライメントされる。ターゲット面に設けられるアライメントマークパタンとしては、配線層に形成された微細パターンであることが多いが、光素子などのチップ部品や光導波路などの光部品（まとめて光部品と呼ぶ）上にアライメントマークパタンが作製されることもある。
【０００７】
光部品が搭載された配線層上にアライメントマークが形成されている場合には、光部品の搭載精度を高めなければ、光部品とマイクロレンズとの光軸はずれることになる。したがって、光軸を合わせるためには、高精度の光部品の実装技術が必要となり、実装コストの増加を招いてしまうことになる。
また、光部品にアライメントマークを形成する場合には、フォトマスク２２側のアライメントマークと一致させるためには、光部品のサイズがマイクロレンズのサイズよりも十分大きくなければならない。アライメントマークをマイクロレンズ内に設けることもできるが、光透過部分にマークパターンを形成することは、透過光に対して反射・散乱・減衰などの影響をもたらすために、好ましくない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のマイクロレンズの製造方法において、紫外線硬化樹脂を滴下する位置確度は装置精度に依存するため、高精度なマイクロレンズの形成を行うためには、装置の高精度化を図らなければならず、装置の高コスト化、ひいてはマイクロレンズの製造コストの増加を招いていた。
また、液状樹脂の滴下位置の精度を緩和するために、あらかじめ夕ーゲット基板上に円盤状のレンズマーカを形成しておく手法が提案されているが、レンズマーカと光部品（光学装置）とのアライメントマークの形成について幾つかの課題があった。
例えば、正確に光部品を搭載するための高価な搭載装置が必要であったり、光部品の表面にアライメントマークを形成しておかねばならないことであったり、アライメントマークを形成するためには光部品がマイクロレンズよりも大きいことが必要であったり、アライメントマークをマイクロレンズ内に設けると光透過特性に影響を及ぼしレンズ効果が劣化するなどの問題があった。
【０００９】
本発明の目的は、上記従来技術の問題を解決して、光学装置（光素子、光部品等）とマイクロレンズとの光軸合わせを、簡易に低コストでアライメントすることができるマイクロレンズ形成方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は特許請求の範囲に記載のような構成とするものである。すなわち、
光信号光が透過する基板を介して光信号が光素子に入出力する光学装置（光素子、光部品等）の上記基板表面にマイクロレンズを形成する方法であって、
上記マイクロレンズを形成する部分を規定するマイクロレンズパタンと、該パタンの内部に形成されたアライメントマークパタンとを有するフォトマスクを用い、
他方、光学装置のアライメントマークを、上記光素子の発光または受光中心とするか、もしくは光素子上に別に形成したアライメントマークを設け、上記フォトマスクのアライメントマークと、上記光学装置のアライメントマークとを位置合わせすることにより、上記フォトマスクと上記光学装置の位置を合わせ、上記マイクロレンズを形成する基板上に、上記マイクロレンズ材料と屈折率の等しい感光性材料膜を形成する工程と、
上記感光性材料膜上に、上記フォトマスクを用い露光、および現像することにより、中心にアライメントマークを有するマイクロレンズパタンを転写したレンズマーカ用膜を形成する工程と、
上記レンズマーカ用膜のマイクロレンズパタン上に、レンズ用液状樹脂を射出して、液状のマイクロレンズを形成する工程と、
ＵＶ光を照射して、上記液状のマイクロレンズを硬化させてマイクロレンズを形成する工程とを少なくとも含むマイクロレンズ形成方法とするものである。
【００１１】
このような請求項１に記載の工程でマイクロレンズを作製すると、光学装置（光素子あるいは光部品等）とマイクロレンズとの光軸合わせが、従来に比べて格段に容易となり、位置精度の高いマイクロレンズを低コストで形成することが可能となる。
【００１２】
また、請求項２に記載のように、光信号光が透過する基板を介して光信号が光素子に入出力する光学装置の上記基板表面にマイクロレンズを形成する方法であって、
上記マイクロレンズを形成する部分を規定するマイクロレンズパタンと、該パタンの内部に形成されたアライメントマークパタンとを有するフォトマスクを用い、
他方、光学装置のアライメントマークを、上記光素子の発光または受光中心とするか、もしくは光素子上に別に形成したアライメントマークを設け、上記フォトマスクのアライメントマークと、上記光学装置のアライメントマークとを位置合わせすることにより、上記フォトマスクと上記光学装置の位置を合わせ、上記マイクロレンズを形成する基板上に、感光性材料膜を形成する工程と、
上記基板上に形成した感光性材料膜に、上記フォトマスクを用いて、上記マイクロレンズを形成する部分を規定するマイクロレンズパタンと、該パタンの内部に形成したアライメントマークパタンとを転写する工程と、
上記感光性材料膜を過現像して、該感光性材料膜に転写された上記アライメントマークを消去し、上記マイクロレンズを形成する部分を残したレンズマーカ用膜を形成する工程と、
上記マイクロレンズを形成する部分に、レンズ用液状樹脂を射出し、液状のマイクロレンズを形成する工程と、
ＵＶ光を照射して、上記液状のマイクロレンズを硬化させてマイクロレンズを形成する工程とを少なくとも含むマイクロレンズ形成方法とするものである。
【００１３】
このように請求項２に記載の過現像を行い、アライメントマークを消去し、マイクロレンズを形成する部分を残す工程を用いることにより、レンズマーカとマイクロレンズの樹脂材料の屈折率を整合させる必要がなくなり、マイクロレンズ用樹脂材料の選択の幅が広くなる効果がある。
【００１４】
また、請求項３に記載のように、請求項２において、上記感光性材料膜を過現像して、アライメントマークを消去し、マイクロレンズを形成する部分を残したレンズマーカ用膜は、上記基板表面上の上記マイクロレンズを形成する部分に近接して、該マイクロレンズを形成する部分の外側の領域に形成され、かつ上記光信号光の波長に対して吸収性を有する材料よりなるマイクロレンズ形成方法とするものである。
【００１５】
上記請求項３のようなマイクロレンズ形成方法とすることにより、レンズマーカ用樹脂材料は、使用波長に対して透明である必要がなく、光素子がアレイ状に配置されている場合には、あえて着色した材料を用いることにより、隣接チャネル間の光学的クロストークを低減し得る効果がある。
【００１６】
【発明の実施の形態】
〈実施の形態１〉
図１に本発明の第１の実施の形態を示す。図１において、マイクロレンズの製造方法は、光信号光が透過する基板１２を介してダイボンドされた光素子３に入出力する光学装置における上記基板１２の表面にマイクロレンズを形成する方法である。
【００１７】
マイクロレンズを形成する部分を規定するマイクロレンズパタンと、該パタンの内部に形成したアライメントマークパタン（中心アライメント用微小マーク）５を有するフォトマスク１〔図１（ａ）〕を用い、
上記光素子３上のアライメントマーク（光素子の発光または受光中心）４と、上記フォトマスク１のアライメントマーク５とを位置合わせすることにより、フォトマスク１と光学装置３の位置を合わせて、光学装置３とマイクロレンズとの光軸合わせを行う〔図１（ｂ）〕。
マイクロレンズを形成する基板１２上に、マイクロレンズ材料と屈折率の等しい感光性材料膜２を形成し、上記感光性材料膜２を、フォトマスク１を用い、露光した後、現像することにより、中心に凹型アライメントマーク８を有する凸型レンズマーカ用膜（マイクロレンズパタンを転写したレンズマーカ用膜）９を形成する〔図１（ｃ）〕。
レンズマーカ用膜９のマイクロレンズパタン上に、インクジェットヘッド１３〔図１（ｄ）〕を用い、
レンズ用液状樹脂１４を射出／吐出して〔図１（ｅ）〕、液状のマイクロレンズ１６を形成し、ＵＶ光照射１５して、該液状のマイクロレンズ１６を硬化させて〔図１（ｆ）〕、マイクロレンズ１７〔図１（ｇ）〕を形成する。
【００１８】
マイクロレンズ１７を形成する部分を規定するマイクロレンズパタン（以後、レンズマーカ用膜と呼ぶ）は、露光した箇所が硬化するネガ型の感光性材料膜２を用いているので、その中心部に十字、または円盤状等の形をしたアライメントマークが形成される。このアライメントマークは、遮光部分であるため、凸型レンズマーカ用膜９の中心部には、アライメントマークパタンに対応した凹み（窪み）のある凹型アライメントマーク８が形成される。
しかしながら、この凹型アライメントマーク８の凹みの部分は、続いて行われるレンズ用液状樹脂１４の液滴の射出／吐出の工程で塞がれ、凸型レンズマーカ用膜９と全く同じ固相となり、均質なマイクロレンズを形成することができる。
ここで、凸型レンズマーカ用膜およびマイクロレンズ用樹脂材料の屈折率を整合させておけば、レンズマーカ用膜９と凹型アライメントマーク８間の凹みは光学的には界面とはならず、均質で透明なマイクロレンズを得ることができた。
【００１９】
〈実施の形態２〉
図２に本発明の第２の実施の形態を示す。図２において、露光した部分が除去されるポジ型の感光性樹脂を用いて、レンズマーカを形成するものである。
ポジ型の感光性樹脂を用いることで、上記実施の形態１とは反対に、マイクロレンズ部分が凹んだ（窪んだ）形状のレンズマーカ用膜（凹型レンズマーカ用膜）１０が形成される。
マイクロレンズを形成する部分を規定するマイクロレンズパタンと、該パタンの内部に形成したアライメントマークパタン５とを有するフォトマスク１〔図２（ａ）〕を用い、
光素子３のアライメントマークパタンを光素子（光学装置）３の発光または受光中心とし、フォトマスク１のアライメントマークパタン５とを位置合わせすることにより、フォトマスク１と光学装置３の位置を合わせ、ポジ型の感光性材料膜２′を形成した基板１２を、上記マイクロレンズパタンを有するフォトマスク１を用いて露光６する〔図２（ｂ）〕。
現像して、内部に、凸型アライメントマーク７を有する凹型レンズマーカ用膜１０を形成する〔図２（ｃ）〕。
以下、インクジェットヘット１３〔図２（ｄ）〕を用いて、レンズ用液状樹脂１４を射出〔図２（ｅ）〕し、液状マイクロレンズ１６形成し、ＵＶ光照射１５〔図２（ｆ）〕して、マイクロレンズ１７を形成する工程〔図２（ｇ）〕は、上記実施の形態１とほぼ同様である。
【００２０】
本実施の形態２においも、上述の実施の形態１と同様に光素子の発光／受光中心とマイクロレンズの位置を合わせるために、マイクロレンズの中心部にアライメントマークが形成されている。このアライメントマークは現像処理工程において、エッチングされずに残るため、図２に示すように微小な凸型アライメントマーク７となる。しかしながら、続いて行われる液体樹脂の射出工程によって、微小凸部は覆われるので、上記実施の形態１と同様に、レンズマーカ用樹脂材料とマイクロレンズ用樹脂材料との屈折率を整合させることにより、この微小凸部は光学的に透明となる。なお、凹型レンズマーカ用膜におては、レンズマーカ用樹脂材料として、撥水性の高い材料を用いることが好ましい。
【００２１】
〈実施の形態３〉
本実施の形態３では、図３に示すごとく、図２の場合において凹型レンズマーカ用膜１０の内部に形成された凸型アライメントマーク７を除去し、凹型レンズマーカ用膜とマイクロレンズの樹脂材料の屈折率を整合させる必要がなく、マイクロレンズ用樹脂材料の選択幅を広くすることができるマイクロレンズの形成方法について述べる。
【００２２】
図３（ｃ）に示すように、ポジ型の感光性材料膜２′を形成した基板１２を用い、フォトマスク１のアライメントマークパタン５と光素子３上のアライメントマークパタン（発光／受光中心）４とを位置合わせすることにより、フォトマスク１と光素子（光学装置）３の位置合わせをした後、露光６して現像する工程において過現像を行い、ポジ型の感光性材料膜２′に転写された凸型アライメントマーク７を除去し、マイクロレンズ形成部分の外周側の縁を規定する凹型レンズマーカ用膜１０′を形成する。
次に、マイクロレンズを形成する部分である凹型レンズマーカ用膜１０′上に、レンズ用液状樹脂１４を射出して〔図３（ｅ）〕、液状のマイクロレンズ１６を形成し、ＵＶ光照射１５して、硬化させ〔図３（ｆ）〕、マイクロレンズ１７をを形成する工程〔図３（ｇ）〕は、上記実施の形態１〜２と同様である。
【００２３】
このようなマイクロレンズ形成方法とすることにより、レンズマーカとマイクロレンズの樹脂材料の屈折率を整合する必要がなくなり、マイクロレンズ用樹脂材料の選択の幅を広くすることができる。
また、凹型レンズマーカ用膜の樹脂材料として、使用波長に対して透明である必要がなく、光素子がアレイ状に配置されている場合などにおいて、あえて着色した材料を用いることにより、隣接チャネル間の光学的クロストークを低減する効果も期待できる。
しかし、一般的にポジ型（光分解型）の感光性材料は種類が少ないため、樹脂の信頼性などの実績が優先する場合には、ネガ型感光性樹脂を用いる方が得策である。
なお、上記実施の形態１〜３で使用したレンズマーカ作製用マスクパタンの一例を図５に示した。図５ではアライメントマークとして微小円盤状のものを示したが、十字形状等であってもかまわない。
【００２４】
〈実施の形態４〉
図４に示すように、本実施の形態４においては、リング状のレンズマーカパターン１９を有するフォトマスク１〔図４（ａ）〕を用いて、リング状レンズマーカ用膜１１を形成することにより、マイクロレンズを作製する場合について説明する。
ポジ型の感光性樹脂を用いてパターニングする点は、上記実施の形態２と同じであるが、マイクロレンズ用の樹脂材料を滴下した際に、リング状レンズマーカ用膜１１の外側の縁でマイクロレンズの外形が決定される点が異なる。
【００２５】
凹型レンズマーカ用膜１０（図２）は、マイクロレンズ用の樹脂を滴下した際に、その広がりを止めるために、撥水性材料を用いたり、レンズマーカの厚みを厚くしたりする、などの工夫が必要であった。
これらは、作製プロセスを制限し、困難化させる要因であり、また、縁部のわずかな欠け、荒れなどによって、樹脂がレンズマーカ用膜上に広がってしまうことがある。
凹型レンズマーカ用膜１０（図２）と凸型レンズマーカ用膜９（図１）とでは、凸型レンズマーカ用膜９の方が、再現性良くマイクロレンズを形成することができる。
すなわち、本実施の形態４に示すリング状レンズマーカ用膜１１は、凸型レンズマーカ用膜９の持つマイクロレンズ作製の再現性の良さと、凹型レンズマーカ用膜１０が持つマイクロレンズ用樹脂材料の選択肢の広さの両方の良い点を併せ持つものである。
【００２６】
上記実施の形態３と同様に、リング状レンズマーカ用膜１１においても、マイクロレンズ中心部のアライメントマークは、過現像によって除去することができる。その際に、リング部分も同様に過現像されるため、リング幅の設計には注意する必要がある。
なお、上記実施の形態においては、液状樹脂を射出する方式に、インクジェット方式を取り上げてきたが、これは、インクジェット方式に限定するものではなく、微小量の液滴を制御性良く滴下することができる方式であれば適用することができ、例えば、ディスペンサ方式を用いることも可能である。
また、上記実施の形態においては、光素子としてシングルチャネルのものを取り上げてきたが、これは単チャネルに限定するものではない。一次元ないし二次元状に配列された光素子アレイにおいても、全く同様に、上記本発明のマイクロレンズ形成方法を適用することができる。
【００２７】
【発明の効果】
本発明の微小量の液滴が基板上で球形状となる性質を利用したマイクロレンズ形成方法によれば、マイクロレンズの直径とアレイ配列の正確性・再現性を高めるために用いられるレンズマーカのマスクパターンにおいて、マイクロレンズの中心部に微小なアライメントパターンを形成し、これと光素子（光学装置）の発光／受光中心とをアライメントすることによって、それらの光軸を容易に合わせることが可能となる。
光素子とマイクロレンズとの光軸を合わせるために用いられ、その形成位置精度を高めるために使用されるレンズマーカとして、特別なアライメントマークを形成する必要がなく、光素子をフリップチップなどの高級な実装方法を用いて搭載する必要もなく、また、チップ表面に新たにアライメントマークを設ける必要もない。さらに、チップ外形が小さく、マイクロレンズの投影サイズ内に収まってしまうために、アライメントマークを形成することのできない場合においても、光素子と光軸が合ったマイクロレンズを低コストで作製することができる。また、マイクロレンズと光素子のアライメントに用いられるレンズマーカが、光透過領域内にあるにもかかわらず、光学的もしくは物理的に除去することができ、不要な境界面の増加を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１で例示したマイクロレンズ形成方法を説明する図。
【図２】本発明の実施の形態２で例示したマイクロレンズ形成方法を説明する図。
【図３】本発明の実施の形態３で例示したマイクロレンズ形成方法を説明する図。
【図４】本発明の実施の形態４で例示したマイクロレンズ形成方法を説明する図。
【図５】本発明の実施の形態１〜３で使用したレンズマーカ作製用マスクパタンの一例を示す平面図。
【図６】従来の微小量の液滴の表面張力を利用したマイクロレンズの製造方法を示す説明図。
【図７】従来のレンズマーカを用いたマイクロレンズの製造方法を示す説明図。
【符号の説明】
１…フォトマスク（マイクロレンズパタン）
２…感光性材料膜
２′…感光性材料膜
３…光学装置（光素子）
４…光素子上のアライメントマーク
（例えば発光／受光中心）
５…マイクロレンズのアライメントマーク
（例えば中心アライメント用微小マーク）
６…露光
７…凸型アライメントマーク
８…凹型アライメントマーク
９…凸型レンズマーカ用膜
１０…凹型レンズマーカ用膜
１０′…凹型レンズマーカ用膜
１１…リング状レンズマーカ用膜
１２…基板
１３…インクジェットヘッド
１４…レンズ用液状樹脂
１５…ＵＶ光照射
１６…液状マイクロレンズ
１７…マイクロレンズ
１８…レンズマーカ作製用マスクパタン
１９…リング状レンズマーカパタン
２０…ステージ
２１…マイクロレンズ
２２…フォトマスク（マイクロレンズパタン）
２３…感光性樹脂
２４…円盤状の透明樹脂
（凸型レンズマーカ用膜）
２５…液状ＵＶ光硬化樹脂
２６…マイクロレンズ

Claims

光信号光が透過する基板を介して光信号が光素子に入出力する光学装置の上記基板表面にマイクロレンズを形成する方法であって、
上記マイクロレンズを形成する部分を規定するマイクロレンズパタンと、該パタンの内部に形成されたアライメントマークパタンとを有するフォトマスクを用い、
他方、光学装置のアライメントマークを、上記光素子の発光または受光中心とするか、もしくは光素子上に別に形成したアライメントマークを設け、上記フォトマスクのアライメントマークと、上記光学装置のアライメントマークとを位置合わせすることにより、上記フォトマスクと上記光学装置の位置を合わせ、上記マイクロレンズを形成する基板上に、上記マイクロレンズ材料と屈折率の等しい感光性材料膜を形成する工程と、
上記感光性材料膜上に、上記フォトマスクを用い露光、および現像することにより、中心にアライメントマークを有するマイクロレンズパタンを転写したレンズマーカ用膜を形成する工程と、
上記レンズマーカ用膜のマイクロレンズパタン上に、レンズ用液状樹脂を射出して、液状のマイクロレンズを形成する工程と、
ＵＶ光を照射して、上記液状のマイクロレンズを硬化させてマイクロレンズを形成する工程とを少なくとも含むことを特徴とするマイクロレンズ形成方法。
光信号光が透過する基板を介して光信号が光素子に入出力する光学装置の上記基板表面にマイクロレンズを形成する方法であって、
上記マイクロレンズを形成する部分を規定するマイクロレンズパタンと、該パタンの内部に形成されたアライメントマークパタンとを有するフォトマスクを用い、
他方、光学装置のアライメントマークを、上記光素子の発光または受光中心とするか、もしくは光素子上に別に形成したアライメントマークを設け、上記フォトマスクのアライメントマークと、上記光学装置のアライメントマークとを位置合わせすることにより、上記フォトマスクと上記光学装置の位置を合わせ、上記マイクロレンズを形成する基板上に、感光性材料膜を形成する工程と、
上記基板上に形成した感光性材料膜に、上記フォトマスクを用いて、上記マイクロレンズを形成する部分を規定するマイクロレンズパタンと、該パタンの内部に形成したアライメントマークパタンとを転写する工程と、
上記感光性材料膜を過現像して、該感光性材料膜に転写された上記アライメントマークを消去し、上記マイクロレンズを形成する部分を残したレンズマーカ用膜を形成する工程と、
上記マイクロレンズを形成する部分に、レンズ用液状樹脂を射出して、液状のマイクロレンズを形成する工程と、
ＵＶ光を照射して、上記液状のマイクロレンズを硬化させてマイクロレンズを形成する工程とを少なくとも含むことを特徴とするマイクロレンズ形成方法。
請求項２において、上記感光性材料膜を過現像して、アライメントマークを消去し、マイクロレンズを形成する部分を残したレンズマーカ用膜は、上記基板表面上の上記マイクロレンズを形成する部分に近接して、該マイクロレンズを形成する部分の外側の領域に形成され、かつ上記光信号光の波長に対して吸収性を有する材料よりなることを特徴とするマイクロレンズ形成方法。