JP5357269B2 - ゲート・スタックを形成する方法 - Google Patents
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Description
100A:第1の領域
100B:第2の領域
101:化学酸化物層
102:酸化ハフニウム(HfO2)層
103:第1の窒化チタン(TiN)層
104:金属含有層
105:第2のTiN層(TiNキャッピング層)
106:フォトレジスト層
107:第3のTiN層
Claims (27)
- 電界効果トランジスタのためのゲート・スタックを形成する方法であって、
第1及び第2の型の電界効果トランジスタに対して指定された半導体基板(100)の領域を覆う第1の窒化チタン(TiN)層(103)の上に直接、金属含有層(104)を形成することと、
前記金属含有層の上に、第2のTiN層のキャッピング層(105)を形成することと、
前記第1の型の電界効果トランジスタに対して指定された領域(100A)を覆う前記第1のTiN層の第1の部分のみを覆うように、前記第2のTiN層及び前記金属含有層をパターン形成することと、
前記第1のTiN層の前記第1の部分を前記パターン形成された金属含有層の厚さの少なくとも一部で覆うことによりエッチングから保護する一方で、前記パターン形成によって露出された前記第1のTiN層の第2の部分をエッチング除去することと、
前記第2の型の電界効果トランジスタ(100B)に対して指定された前記半導体基板の領域を覆う第3のTiN層(107)を形成することと、を含む方法。 - 前記金属含有層を形成することが、少なくとも1つの金属元素を含有する金属シリサイド層(104)を形成することを含み、前記金属元素が、チタン(Ti)、コバルト(Co)及びニッケル(Ni)から成る群から選択される、請求項1に記載の方法。
- 前記金属シリサイド層を形成することが、
交互の薄い金属/非晶質シリコン層のスタック層を形成することと、
前記スタック層を、前記金属シリサイド層の形成に適した温度でアニールすることと
を含む、請求項2に記載の方法。 - 前記金属シリサイド層を形成することが、
各々が3nmから4nmまでの厚さを有し、前記スタック層の合計厚さが12nmから16nmまでである、交互の薄いコバルト/非晶質シリコン層のスタック層を形成することと、
前記スタック層を、400℃から500℃までの温度範囲で、30秒から5分までの時間にわたってアニールすることと
によってコバルトシリサイド層を形成することを含む、請求項3に記載の方法。 - 前記金属シリサイド層を形成することが、
各々が3nmから4nmまでの厚さを有し、前記スタック層の合計厚さが12nmから16nmまでである、交互の薄いニッケル/非晶質シリコン層のスタック層を形成することと、
前記スタック層を、350℃から450℃までの温度範囲で、5秒から2分までの時間にわたってアニールすることと
によってニッケルシリサイド層を形成することを含む、請求項3に記載の方法。 - 前記エッチングすることが、前記第1のTiN層の前記第2の部分にSC1溶液を適用することを含み、前記SC1溶液は、水(H2O)、NH4OH及びH2O2の混合物であり、前記金属シリサイド層に対して選択的である、請求項1に記載の方法。
- 前記SC1溶液を適用することが、前記第1のTiN層の前記第2の部分をエッチングする際に、5:1:1から50:1:1までの範囲の容量比を有する水(H2O)、NH4OH及びH2O2の混合物を適用することを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記SC1溶液を適用することが、前記第1のTiN層の前記第2の部分に、25℃から65℃までの温度範囲で、水(H2O)、NH4OH及びH2O2の前記混合物を適用することを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記SC1溶液を適用することが、前記第1のTiN層の前記第2の部分に、45℃から55℃までの温度範囲で、水(H2O)、NH4OH及びH2O2の前記混合物を適用することを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記金属含有層の上に前記第3のTiN層を形成することと、前記金属含有層を含むゲート・スタックを形成することとを含み、前記金属含有層が金属シリサイド層である、請求項1に記載の方法。
- 前記金属含有層を形成することが、スパッタリングによりタングステン(W)金属の層を形成することを含み、前記タングステン金属層が4nmから20nmまでの厚さを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記第2の型の電界効果トランジスタに対して指定された半導体基板の前記領域から前記第1のTiN層の前記第2の部分をエッチング除去して、それにより下層の酸化ハフニウム(HfO2)層を露出させた後に、前記タングステン金属層を除去することをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記タングステン金属層を除去することが、化学エッチング液を前記タングステンに適用することを含み、前記化学エッチング液は、TiN及びHfO2の両方に対して、20:1よりも大きい選択性で、選択的である、請求項12に記載の方法。
- 前記タングステンに前記化学エッチング液を適用することが、過酸化水素溶液を25℃から30℃までの温度範囲で適用して前記タングステンを除去し、前記第1の型の電界効果トランジスタに対して指定された前記領域を覆う前記第1のTiN層の前記第1の部分を露出させることを含む、請求項13に記載の方法。
- 前記第1のTiN層の上に前記金属含有層を形成することの前に、前記第1のTiN層を酸化ハフニウム(HfO2)層の上に形成することをさらに含み、前記HfO2層は、前記第1及び第2の型の電界効果トランジスタに対して指定された前記半導体基板の前記領域を覆う、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のTiN層を形成することの前に、化学酸化物層の上に前記HfO2層を形成することをさらに含み、前記化学酸化物層は、窒素を含み、かつ、前記第1及び第2の型の電界効果トランジスタに対して指定された前記半導体基板の前記領域を覆う、二酸化シリコン層である、請求項15に記載の方法。
- 前記化学酸化物層を前記半導体基板の前記領域の上に直接形成することと、前記HfO2層を前記化学酸化物層の上に直接形成することと、前記第1のTiN層を前記HfO2層の上に直接形成することとをさらに含む、請求項16に記載の方法。
- 前記第3のTiN層の特性を、前記第2の型の電界効果トランジスタのためのゲート・スタックに適するように、前記第1のTiN層の特性と異なるように調整することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の型の電界効果トランジスタがp型ドープ電界効果トランジスタ(PFET)であり、前記第2の型の電界効果トランジスタがn型ドープ電界効果トランジスタ(NFET)である、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の型の電界効果トランジスタがn型ドープ電界効果トランジスタ(NFET)であり、前記第2の型の電界効果トランジスタがp型ドープ電界効果トランジスタ(PFET)である、請求項1に記載の方法。
- 電界効果トランジスタのためのゲート・スタックを形成する方法であって、
第1及び第2の型の電界効果トランジスタに関連する半導体基板(100)の領域を覆う第1の窒化チタン(TiN)層(103)の上に、金属シリサイド層(104)を形成することと、
前記金属シリサイド層の上に、第2のTiN層のキャッピング層(105)を形成することと、
前記第1の型の電界効果トランジスタに関連する領域(100A)を覆う前記第1のTiN層の第1の部分のみを覆うように、前記第2のTiN層及び前記金属シリサイド層をパターン形成することと、
前記パターン形成によって露出された前記第1のTiN層の第2の部分をエッチング除去して、下層の酸化ハフニウム(HfO2)層(102)を露出させることと、 前記露出されたHfO2層を覆う第3のTiN層(107)を、前記第2の型の電界効果トランジスタ(100B)のためのゲート・スタックとして形成することと、
を含む方法。 - 前記第1のTiN層を形成することの前に、化学酸化物層の上に前記HfO2層を形成することをさらに含み、前記化学酸化物層は、窒素を含み、かつ、前記第1及び第2の型の電界効果トランジスタに関連する前記半導体基板の前記領域を覆う、二酸化シリコン層である、請求項21に記載の方法。
- 前記HfO2層を形成することの前に、前記化学酸化物層を形成することをさらに含み、前記化学酸化物層は、0.5nmから2nmまでの厚さを有し、かつ、オゾンを含有する化学溶液中で形成される、請求項22記載の方法。
- 電界効果トランジスタのためのゲート・スタックを形成する方法であって、
第1及び第2の型の電界効果トランジスタに関連する半導体基板(100)の領域を覆う第1の窒化チタン(TiN)層(103)の上に、金属層(104)を形成することと、
前記金属層の上に、第2のTiN層のキャッピング層(105)を形成することと、
前記第1の型の電界効果トランジスタに関連する領域(100A)を覆う前記第1のTiN層の第1の部分のみを覆うように、前記第2のTiN層及び前記金属層をパターン形成することと、
前記パターン形成によって露出された前記第1のTiN層の第2の部分をエッチング除去して、下層のハフニウム含有層(102)を露出させることと、
前記露出されたハフニウム含有層を覆う第3のTiN層(107)を、前記第2の型の電界効果トランジスタ(100B)のためのゲート・スタックとして形成することと、を含む方法。 - 前記第3のTiN層を形成することの前に、前記第1のTiN層の前記第1の部分の上から前記金属層を除去することをさらに含む、請求項24に記載の方法。
- 前記金属層がタングステン層であり、前記ハフニウム含有層が酸化ハフニウム(HfO2)層であり、前記金属層を除去することが、化学エッチング液を前記タングステンに適用することを含み、前記化学エッチング液は、TiN及びHfO2の両方に対して、20:1よりも大きい選択性で、選択的である、請求項25に記載の方法。
- 前記ハフニウム含有層が、酸化ハフニウム、ケイ酸ハフニウム、酸窒化ハフニウム及び酸窒化ハフニウムシリコンから成る群から選択される、請求項24に記載の方法。
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