JP5324110B2 - 積層体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
(A) 不活性ガス中800℃において実質的に分解しない無機物質であって、800〜1600℃で還元性ガスと接触することにより分解して揮発性物質を生成する無機物質の単結晶からなるベース基板上に、単結晶Al系III族窒化物、又は単結晶Al系III族窒化物と非晶質Al系III族窒化物との混合物からなる厚さ3〜200nmのAl系III族窒化物薄膜層が形成された原料積層基板を準備する工程、及び
(B) 前記原料積層基板を還元性ガス及びアンモニアガスを含む雰囲気中で800〜1600℃に加熱することにより、該原料積層基板の前記ベース基板と前記Al系III族窒化物薄膜層との界面において前記ベース基板を選択的に分解し、該界面に空隙を形成する工程
を含んでなることを特徴とする前記方法。
前記〔4〕に記載の方法により、不活性ガス中800℃において実質的に分解しない無機物質であって、800〜1600℃で還元性ガスと接触することにより分解して揮発性物質を生成する無機物質の単結晶からなるベース基板上に、単結晶Al系III族窒化物、又は単結晶Al系III族窒化物と非晶質Al系III族窒化物の混合物からなる厚さ3〜200nmのAl系III族窒化物薄膜層が形成された積層体であって、該積層体の前記ベース基板と前記Al系III族窒化物薄膜層との界面に複数の空隙を有する積層体を得る工程、及び
該工程で得られた積層体から、前記Al系III族窒化物薄膜層および前記III族窒化物単結晶層を一体として分離する分離工程を含んでなることを特徴とする方法。
(A) 不活性ガス中800℃において実質的に分解しない無機物質であって、800〜1600℃で還元性ガスと接触することにより分解して揮発性物質を生成する無機物質の単結晶からなるベース基板上に、単結晶Al系III族窒化物、又は単結晶Al系III族窒化物と非晶質Al系III族窒化物との混合物からなる厚さ3〜200nmのAl系III族窒化物薄膜層が形成された原料積層基板を準備する工程
(B) 前記原料積層基板を還元性ガス及びアンモニアガスを含む雰囲気中で800〜1600℃に加熱することにより、該原料積層基板の前記ベース基板と前記Al系III族窒化物薄膜層との界面において前記ベース基板を選択的に分解し、該界面に空隙を形成する工程。
(式中、I0は入射光の強度、Iは透過光の強度、Lは窒化アルミニウム単結晶自立基板の厚さを示す。)
なお、吸収スペクトルの測定に際しては、AlNの表面における乱反射が起こる場合には、予め表面研磨を行うことが好ましい。
なお、実施例及び比較例で使用した気相成長装置は、前記した特開2006−290662号公報に示される構造のHVPE反応装置であり、アルミニウム源となる原料ガスとしては、特開2003−303774号公報に記載された方法に従って金属アルミニウムと塩化水素ガスを反応させて得た三塩化アルミニウムガスを使用している。また、該装置は、ヒーター機能を有するサセプタ(基板支持台)の他に、「三塩化アルミニウムガスを発生させる領域の温度」と「発生した三塩化アルミニウムガスと窒素源ガスを反応させて窒化アルミニウムを反応させる領域の温度」とを同時に制御することができるホットウォールタイプの抵抗加熱装置を有している。
工程(A): 前記HVPE反応装置のサセプタ上にベース基板として7×11mmの長方形で厚さが400μmのサファイア(0001)基板を設置した後、反応管内の雰囲気を、水素(分圧:0.70atm)と窒素(分圧:0.30atm)との混合ガス流通雰囲気とした。その後、サセプタのヒーターに徐々に電力を投入してベース基板を加熱した。このとき、外部加熱装置の側面よりサセプタの温度を放射温度計により測定したところ、1065℃であった。サセプタ温度が1065℃に到達後、10分間保持して基板のサーマルクリーニングを行った。
サーマルクリーン終了後、反応管内に三塩化アルミニウムガス及びアンモニアガスをそれぞれ三塩化アルミニウムガス分圧:5.0×10−4atm及びアンモニアガス分圧:1.3×10−3atmで供給し、窒化アルミニウム単結晶の成長を開始した。この状態を保持して、サファイア基板上に窒化アルミニウム単結晶を成長させた後、三塩化アルミニウムの供給を停止することにより結晶成長を終了させた。なお、該窒化アルミニウム単結晶成長工程に於いては、最初に三塩化アルミニウムガスを導入し、加熱された基板と三塩化アルミニウムガスとを接触させるようにした後に、更にアンモニアガスを導入した。
上記操作によってサファイア基板上に形成されたAlN単結晶膜の性状を調べるために、本実施例終了後に参照実験1として、同一の操作を行って得られた基板を分析したところ、断面走査電子顕微鏡(SEM)写真から求めたAlN単結晶膜の膜厚は100nmであり、X線ロッキングカーブ測定によるAlN(002)及びAlN(100)の半値幅は、それぞれ18.6min、58.8minであった。また、サファイア基板とAlN単結晶膜との界面に空隙は見られなかった。
上記熱処理によってサファイア基板と工程(A)で形成したAlN単結晶膜との界面に空隙が形成されることを確認するために、本実施例終了後に別途、同一条件で工程(A)および工程(B)を行った(参照実験2)。該参照実験によって得られた基板の断面SEM写真を図1に示す。サファイア基板と工程(A)で形成したAlN単結晶膜との界面のサファイア基板側に空隙が形成されていることが確認できる。この写真に基づき空隙の横方向の長さを測定し、空隙率を求めたところ、空隙率は約55%であった。
このようにして得られた自立基板をへき開し、その断面をSEM観察(図3参照)したところ窒化アルミニウム単結晶膜の平均膜厚は約85μmであった。この膜厚は、予定した膜厚とほぼ同じであることから、ベース基板と窒化アルミニウム単結晶膜との分離は、結晶成長後の冷却過程に起こったものと思われる。また、得られた自立基板についてX線ロッキングカーブ測定によるAlN(002)及びAlN(100)の半値幅を求めたところ、AlN(002)の半値幅は36.8minでありAlN(100)の半値幅は25.8minであった。さらに、X線ロッキングカーブ測定により(001)結晶面の曲率半径を算出したところ8mであった。また、分光光度計で1.59〜5.9eVのエネルギーを有する光に対して透過率スペクトルを測定し、その結果から該領域の光に対する吸収係数を求めたところ、120cm−1であった。
これとは別に、分離されたサファイア基板の表面についてSEM観察を行ったところ、図4のSEM写真に示されるように、その上に窒化アルミニウム単結晶膜が形成されていた表面に、六角形の扁平な空隙が多数形成されていることが確認された。この写真に基づき空隙の個数を測定し、空隙の密度(個/μm2)を算出したところ、空隙の密度は、0.2個/μm2であった。
工程(B)における1450℃での熱処理時間を60分とし、工程(C)における成長時間を60分とした以外は実施例1と同様にして工程(A)、(B)及び(C)を行い窒化アルミニウム単結晶の成長を行った。結晶成長終了後、実施例1と同様にして基板の回収を行ったところ、実施例1と同様にサファイア基板と窒化アルミニウム成長膜は分離していた。
得られた窒化アルミニウム単結晶の自立基板について実施例1と同様にして平均膜厚を測定したところ、平均膜厚は約30μmであった。また、上記自立基板について実施例1と同様にしてAlN(002)及びAlN(100)の半値幅、(001)結晶面の曲率半径、並びに1.59〜5.9eVのエネルギーを有する光に対する吸収係数を求めたところ、AlN(002)の半値幅は130minであり、AlN(100)の半値幅は24.0minであり、曲率半径は5mであり、吸収係数は1000cm−1であった。
なお、本実施例終了後に別途実施例2と同一条件で工程(A)及び(B)を行い(参照実験3)、得られた基板の断面SEM写真から空隙率を求めたところ、空隙率は85%であった。本実施例においては、空隙率が85%と大きかったために工程(C)における結晶成長中にサファイア基板と窒化アルミニウム単結晶層とが剥離してしまったものと思われる。
本実施例は、GaNの自立基板を製造した例である。なお、GaN単結晶成長装置としては、石英ガラス製の横型反応管からなり、外部からの電気炉加熱によって2ゾーンに分けて温度制御が可能であり、第一ゾーンでIII族元素源ガス(GaCl)を発生させ、第二ゾーンで積層体とIII族源ガス及び窒素源ガスとを接触させて結晶成長を行うタイプの装置を使用した。
先ず、実施例1と同様にして工程(A)及び(B)を行い、サファイア基板上に窒化アルミニウム単結晶層が形成された積層体であって、界面のサファイア部分に空隙が形成された積層体を製造した。次いで、上記積層体を窒化アルミニウム成長装置から取り出し、窒化アルミニウム面を上にして該積層体をGaN単結晶成長装置内の第二ゾーンに設置した。その後、Journal of Crystal Growth Vol.237-239 (2002) p.912-921に記載されている方法に準じて、次のようにして厚さ300μmのGaN単結晶層を形成した。即ち、第一ゾーンの内部に金属Ga配置し、該ゾーンを850℃に加熱すると共に窒素および水素混合キャリアガスで希釈されたHClガスを供給してGaClガスを生成させた。そして、該GaClガスおよび別ラインで供給したアンモニアガスを1030℃に加熱された第二ゾーン内に導入し6時間保持することによって、該ゾーンに設置された積層体の窒化アルミニウム層上に膜厚300μmのGaN単結晶を成長させた。
成長終了後、基板が室温付近まで冷却したことを確認し、反応器から積層体を取り出したところ、サファイア基板と窒化アルミニウム層との界面で剥離が起こっており、一方の面に薄い窒化アルミニウム層が付着したGaN単結晶の自立基板が得られた。
得られたGaN自立基板について曲率半径及び結晶性を調べたところ、曲率半径は11mであり、GaN(002)およびGaN(100)回折角のX線ロッキングカーブは、それぞれ12min、3.9minであった。また、分光光度計で1.59〜3.6eVのエネルギーを有する光に対して吸収スペクトルを測定し、その結果から該領域の光に対する吸収係数を求めたところ、150cm−1であった。
工程(B)における1450℃での熱処理を行なわず、工程(A)に引続き工程(C)の結晶成長を行った以外は実施例1と同様にして窒化アルミニウム単結晶及びの成長を行った。結晶成長終了後実施例1と同様にして基板の回収を行ったところ、サファイア基板と窒化アルミニウムは分離していなかった。
回収された基板を観察したところ、サファイア基板、窒化アルミニウム結晶層の両方にクラックが多数存在していた。また、基板上に成長した窒化アルミニウム結晶層(クラックあり)の平均膜厚を断面のSEM像より求めたところ、約85μmであった。また、該窒化アルミニウム結晶層のX線ロッキングカーブ測定によりAlN(002)及びAlN(100)の半値幅を求めたところ、AlN(002)の半値幅は74.4minであり、AlN(100)の半値幅は35.4minであった。
工程(A)におけるサーマルクリーン終了後、直ちに工程(C)の結晶成長を行った以外は実施例1と同様にして、窒化アルミニウム単結晶の成長及び基板の回収を行ったところ、サファイア基板と成長膜が割れており、評価不能であった。
ベース基板にSiを使用し、工程(B)における1450℃での熱処理を行わず、更に工程(C)における結晶成長温度を1250℃とした以外は実施例1と同様にして、窒化アルミニウム単結晶の成長及び基板の回収を行い、表面に窒化アルミニウム単結晶層を有するSi基板を回収した。回収された上記基板のSiベース基板をフッ硝酢酸にて溶解させて窒化アルミニウムの自立基板を得、得られた該自立基板について実施例1と同様にして曲率半径を測定したところ、曲率半径は0.1mであった。
Claims (7)
- 不活性ガス中800℃において実質的に分解しない無機物質であって、800〜1600℃で還元性ガスと接触することにより分解して揮発性物質を生成する無機物質の単結晶からなるベース基板上に、単結晶Al系III族窒化物、又は単結晶Al系III族窒化物と非晶質Al系III族窒化物との混合物からなる厚さ3〜200nmのAl系III族窒化物薄膜層が形成された積層構造を含む積層体であって、該積層体の前記ベース基板と前記Al系III族窒化物薄膜層との界面に複数の空隙を有することを特徴とする積層体を製造する方法であって、
(A) 不活性ガス中800℃において実質的に分解しない無機物質であって、800〜1600℃で還元性ガスと接触することにより分解して揮発性物質を生成する無機物質の単結晶からなるベース基板上に、単結晶Al系III族窒化物、又は単結晶Al系III族窒化物と非晶質Al系III族窒化物との混合物からなる厚さ3〜200nmのAl系III族窒化物薄膜層が形成された原料積層基板を準備する工程、及び
(B) 前記原料積層基板を還元性ガス及びアンモニアガスを含む雰囲気中で800〜1600℃に加熱することにより、該原料積層基板の前記ベース基板と前記Al系III族窒化物薄膜層との界面において前記ベース基板を選択的に分解し、該界面に空隙を形成する工程を含んでなることを特徴とする前記方法。 - 前記工程(A)が、加熱された前記ベース基板と、III族元素源ガス及び窒素源ガスと接触させる気相成長法によってAl系III族窒化物薄膜層を形成する工程を含み、且つ該工程における気相成長の開始時において、加熱された前記ベース基板とIII族元素源ガスとを接触させてからベース基板とIII族元素源ガス及び窒素源ガスとの接触を開始することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- (C)前記工程(B)で得られた原料積層基板の前記Al系III族窒化物薄膜層上にIII族窒化物単結晶を成長させてIII族窒化物単結晶層を形成する工程を更に含む請求項1又は2に記載の方法。
- III族窒化物単結晶からなる自立基板を製造する方法であって、
前記請求項3に記載の方法により、不活性ガス中800℃において実質的に分解しない無機物質であって、800〜1600℃で還元性ガスと接触することにより分解して揮発性物質を生成する無機物質の単結晶からなるベース基板上に、単結晶Al系III族窒化物又は単結晶Al系III族窒化物と非晶質Al系III族窒化物との混合物からなる厚さ3〜200nmのAl系III族窒化物薄膜層が形成され、該Al系III族窒化物薄膜層上に更にIII族窒化物単結晶層が形成された積層体であって、該積層体の前記ベース基板と前記Al系III族窒化物薄膜層との界面に複数の空隙を有する積層体を得る工程、及び
該工程で得られた積層体から、前記Al系III族窒化物薄膜層および前記III族窒化物単結晶層を一体として分離する分離工程
を含んでなることを特徴とする方法。 - 前記III族窒化物単結晶層の形成を、500〜1600℃の温度領域における気相成長法により行い、該気相成長後の冷却時における自然分離として前記分離工程を行うことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記III族窒化物単結晶層の形成を、気相成長法により行い、該気相成長中における自然分離として前記分離工程を行い、更に該自然分離後にも上記気相成長を継続することを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記III族窒化物単結晶層として窒化アルミニウム単結晶層を形成する請求項4乃至6の何れかに記載の方法。
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