JP3929017B2 - 半導体層成長方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばGaNまたは他の(Ga,Al,In)N系材料等のIII族窒化物半導体材料をエピタキシャル成長させるための分子線エピタキシー(MBE)方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
基板上でのIII族窒化物半導体材料のエピタキシャル成長は、分子線エピタキシー(MBE)、または気相エピキタシー(VPE)として知られる化学蒸着(CVD)によって達成され得る。
【0003】
通常、CVD(またはVPE)は常圧であるが、しばしば、僅かに真空に低減された、典型的には約10kPaの圧力を有する装置内で行われる。エピタキシャル成長で用いられる、アンモニアおよび1つ以上のIII族元素を提供する化学種は、エピタキシャル成長が行われる基板表面と実質的に平行に供給されて、基板表面に隣接する境界層を形成し、基板表面に沿って流れる。エピタキシャル堆積される窒素および他の元素を形成するために分解が行われるのは、このガスの境界層であり、エピタキシャル成長は気相平衡によって駆動される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
CVDとは対照的に、MBEは、高真空環境において実施される。MBEがGaNシステムに適用される場合、典型的には約1×10-3Pa付近の超高真空(UHV)環境が用いられる。アンモニアまたは他の窒素前駆体は、供給配管によってMBEチャンバに供給され、エピタキシャル成長期間の間、ガリウム、ならびに多分、インジウム、および/またはアルミニウムを提供する化学種が、MBEチャンバに供給される化学種の量を制御する制御可能シャッターが装着された、加熱された噴出セル内の適切なソースから供給される。噴出セルからのシャッター制御出口および窒素供給配管は、エピタキシャル成長が行われる基板の表面と向かい合う。噴出セルから供給されるアンモニアおよび化学種は、MBEチャンバ内を飛散し、堆積力学によって駆動される様態でエピタキシャル成長が行われる基板に達する。
【0005】
現在では、高品質なGaN層の成長の多くは、有機金属化学蒸着(MOCVD)プロセスを用いて実施される。MOCVDプロセスによって、核生成層の成長および核生成層のアニーリングを良好に制御することが可能になる。さらに、MOCVDプロセスによって、1000:1を十分に越えるV/III比で成長が行うことが可能になる。V/III比は、成長プロセスの間での、V族元素のIII族元素に対するモル比である。高V/III比によって、用いられる基板の温度がより高くなり、より高品質なGaN層を得ることが可能になるため好適である。
【0006】
現在では、MOCVDによる高品質GaN層の成長と比較すると、MBEによる高品質GaN層の成長は、より困難である。主な困難性は、成長プロセスの間、十分な窒素を供給することにある。10:1以上のV/III比を得ることは困難である。MBE成長において通常用いられる2つの窒素源は、プラズマ励起分子窒素またはアンモニアである。
【0007】
GaNは、約0.45nmの格子定数を有する。GaNに格子整合する適切な基板がないため、概してGaNは、サファイア基板または炭化ケイ素基板のいずれかの基板上で成長する。GaNの格子定数と、サファイアまたは炭化ケイ素の格子定数との間には、大きな不整合があり、さらにGaN層と基板との間に、熱膨脹係数のような熱特性の大幅な相違が存在する。従って、サファイアまたは炭化ケイ素基板上に高品質GaN層を成長させるために、基板上に薄い初期核生成薄層を設ける必要がある。
【0008】
I.AkasakiおよびI.Amanoは、「Japanese Journal of Applied Physics」、Vol.36、5393〜5408頁、(1997年)において、低い成長温度で堆積されたAlN薄層が、有機金属化学蒸着(MOCVD)プロセスによるサファイアまたは炭化ケイ素基板上でのGaN層の成長を促進する核生成層として用いられ得ることを報告している。米国特許第5,290,393号は、MOCVDを用いるGaN層の成長を促進するために、低い成長温度で堆積されたGaN核生成層の使用を開示している。
【0009】
米国特許第5,385,862号は、MBEを用いてサファイア基板上に単結晶GaN膜を成長させるさらなる方法を開示している。この方法において、核生成層が、400℃以下の成長温度で、基板上に成長する。さらに、この方法のV/III比は、非常に小さく、5:1より小さいので、後に続くGaN層は、900℃より低い成長温度に制限される。この方法によって成長したGaN層は、室温で、100cm2V-1s-1より低い電子移動度を有する。
【0010】
従来技術による、サファイアまたは炭化ケイ素基板上にGaNを成長させるさらなる方法は、Z.Yangらによる「Applied Physics Letters」,Vol 67,1686〜1688頁(1995年)、およびN.Grandjeanらにる「Applied Physics Letters」,Vol 71,240〜242頁(1997年)において報告されている。これらの方法の両方において、GaN核生成層が基板上で初期的に成長した後、GaN層が成長する。
【0011】
核生成層を備えることによって、GaN層とサファイアまたは炭化ケイ素基板との間の格子および熱不整合の影響が低減されるが、格子および熱不整合の影響が完全に除去されるわけではない。しかも、可能な限り最も高品質のGaNを得るように核生成層を最適化することは、困難で時間がかかり、核生成層を成長させる工程によって成長プロセスの複雑さが増す。従って、エピタキシャルGaN層の成長には、GaN基板を用いることが所望される。
【0012】
GaNのエピタキシャル成長に用いられるGaN基板には、2つの可能な形態がある。GaN基板は、「自立型」基板であってもよいし、「テンプレート」基板であってもよい。自立型GaN基板はGaNのみからなり、例えばGaN結晶によって形成される。テンプレートGaN基板は、例えば、サファイアまたは炭化ケイ素の、基礎となる基板上に成長するGaNの厚いエピタキシャル層からなる。厚いエピタキシャル層は、金属−化学気相エピタキシー(MOVPE)または水素化気相エピタキシー(HVPE)のような任意の適切な技術によって、基礎となる基板上で成長する。上記の核生成層と比較すると、GaNテンプレート基板のエピタキシャル層は核生成層よりずっと厚く、例えば厚さの範囲は、5μm〜100μmである。
【0013】
M.Kampらは、「Mat Res Soc Proc」,Vol 449,161頁(1997年)において、MBEによる自立型GaN層上でのGaN層の成長について報告している。FWHMが0.5meVの光ルミネセンス(PL)線幅および102〜103cm-2の範囲内の転位密度を有する良好な品質のGaNが得られている。しかしながら、Kampらは、唯一750℃の成長温度のみで達成している。
【0014】
WO97/13891は、単結晶GaNまたはGa(Al,In)N上の窒化物半導体層(GaNまたはGa(Al,In)N)のエピタキシャル成長方法を開示している。主にこの文献は、基板が製造される方法を示し、GaまたはGa,Al,Inの溶液を、加熱された窒素雰囲気下で配置して、GaNまたはGa(Al,In)Nのバルク結晶を成長させることを教示している。
【0015】
バルク結晶は、成長後にエピタキシャル成長プロセスにおいて基板として用いられ得る。この文献において、500〜900℃の温度範囲で、MBEによってエピタキシャル層を基板上で成長させることが可能であると推測されている。しかしこの文献は、900℃というGaNのMBE成長温度が、どのようにして得られるかについての教示を含んでいない。
【0016】
GaNテンプレート基板上のGaNの成長は、例えば、W.C.Hughesらが、「J.Vac.Sci.Technol B」、Vol.13,1571頁(1995年)において報告されている。この報告において、GaNは、MBE成長プロセスの窒素源としてプラズマ励起分子窒素を用いるMBEによって成長する。GaNテンプレート基板上のGaNのMBE成長についての他の報告は、E.J.Tarsaらによる「Journal of Applied Physics」,Vol.82,5472頁(1997年)、H.Sakaiらによる「Japanese Journal of Applied Physics」,Vol.34,L1429(1995年)、M.A.Sanchez−Garciaらによる、「Phys.Stat.Sol.(a)」,Vol.176,447頁(1999年)、S.Kuraiらによる「Phys.Stat.Sol.(a)」,Vol.176,459頁(1999年)、およびA.Rinta−Moykkyらによる「Phys.Stat.Sol.(a)」,Vol.176,465頁(1999年)において報告されている。これらの各報告において、MBE成長プロセスの窒素源として、プラズマ励起分子窒素が用いられる。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明の方法は、分子線エピタキシーによって窒化物半導体層を成長させる方法であって、a)成長チャンバ(10)内に配置されるGaN基板(S)を少なくとも850℃の基板温度まで加熱する工程と、b)分子線エピタキシーによって、少なくとも850℃の基板温度で、窒化物半導体層を該GaN基板上に成長させる工程であって、該窒化物半導体層の成長の間、アンモニアガスが該成長チャンバ(10)に供給される工程とを包含し、工程(a)の間、該基板温度が800℃に達する前に該アンモニアガスの成長チャンバへの供給を開始する工程をさらに包含する。
【0018】
本発明の方法は、前記基板温度が前記窒化物半導体層の成長の間、850℃〜1050℃の範囲内であってもよい。
【0019】
本発明の方法は、前記基板温度を、前記窒化物半導体層が成長した後、前記アンモニアガスの成長チャンバへの供給を維持しながら、800℃より低い温度に低減する工程をさらに包含してもよい。
【0020】
本発明の方法は、前記基板を、前記窒化物半導体層を成長させる前に、所定の時間、850℃より高い基板温度で維持する工程であって、該所定の時間の間、アンモニアガスが前記成長チャンバに供給される工程をさらに包含してもよい。
【0021】
本発明の方法は、前記基板温度が前記所定の時間の間、850℃〜1050℃の範囲内に維持されてもよい。
【0022】
本発明の方法は、前記所定の時間が30分以下であってもよい。
【0023】
本発明の方法は、アンモニアガスが工程(a)の全継続時間の間前記成長チャンバに供給されてもよい。
【0024】
本発明の方法は、前記窒化物半導体層が、GaN層であってもよい。
【0025】
本発明の方法は、前記基板が自立型GaN基板であってもよい。
【0026】
本発明の方法は、前記基板がテンプレートGaN基板であってもよい。
【0027】
本発明の方法は、前記窒化物半導体層上に、少なくとも1つの(Al,Ga,In)N半導体層を成長させる工程をさらに包含してもよい。
【0028】
本発明の方法は、前記方法によって成長する窒化物半導体層であってもよい。
【0029】
本発明の方法は、前記窒化物半導体層を備える半導体デバイスであってもよい。
【0030】
本発明の第1の局面によって、分子線エピタキシー(MBE)によって窒化物半導体層を成長させる方法が提供され、該方法は、成長チャンバ内に配置されるGaN基板を少なくとも850℃の基板温度まで加熱する工程と、分子線エピタキシーによって、少なくとも850℃の基板温度で窒化物半導体層をGaN基板上に成長させる工程であって、窒化物半導体層の成長の間、アンモニアガスが成長チャンバに供給される工程とを包含し、該方法は、工程(a)の間、基板温度が800℃に達する前にアンモニアガスの成長チャンバへの供給を開始する工程をさらに包含する。従って本発明は、MBEによって高品質の窒化物半導体層を成長させる方法を提供する。基板を加熱する工程の間、基板温度が800℃に達する前に、アンモニアガスの基板への供給を開始する工程によって、基板の熱分解が防止される(そうでない場合には、800℃より高い基板温度で熱分解が起こる)。
【0031】
基板温度が、窒化物半導体層の成長の間、850℃〜1050℃の範囲内であってもよい。
【0032】
基板温度を、窒化物半導体層が成長した後、アンモニアガスの成長チャンバへの供給を維持しながら、800℃より低い温度に低減する工程をさらに包含してもよい。
【0033】
基板を、窒化物半導体層を成長させる前に、所定の時間、850℃より高い基板温度で維持する工程であって、所定の時間の間、アンモニアガスが成長チャンバに供給される工程をさらに包含してもよい。このため、基板のガス放出が可能になり、成長プロセスの開始の前に基板から不純物が除去される。
【0034】
基板温度が、所定の時間の間、850℃〜1050℃の範囲内に維持されてもよい。
【0035】
所定の時間が30分以下であってもよい。
【0036】
アンモニアガスが、工程(a)の全継続時間の間成長チャンバに供給されてもよい。
【0037】
窒化物半導体層が、GaN層であってもよい。基板が、自立型GaN基板であってもよいし、あるいは、GaNテンプレート基板であってもよい。GaN基板を用いることによって、例えば、GaN層がサファイアまたは炭化ケイ素基板上に成長する場合に生じる、格子不整合および熱不整合が除去される。
【0038】
前記方法は、窒化物半導体層上に、少なくとも1つの(Al,Ga,In)N半導体層を成長させる工程をさらに包含してもよい。従って、本発明によって、高品質な(Al,Ga,In)N電子デバイスまたは光電子デバイスを製造することが可能になる。
【0039】
本発明の第2の局面によって、上記の方法によって成長する窒化物半導体層が提供される。
【0040】
本発明の第3の局面によって、上記の窒化物半導体層を備える半導体デバイスが規定される。
【0041】
【発明の実施の形態】
次に、添付の図面を参照しながら、一例として本発明の好適な実施形態を説明する。
【0042】
次に、本発明の方法によるGaN層の成長を示す成長方法の一例を説明する。
【0043】
適切な基板が、従来の様態で作製され、MBE装置の成長チャンバに導入される。この基板は、好適には自立型GaN基板であるが、GaNテンプレート基板も用いられ得る。上述したように、GaNテンプレート基板は、基礎となる基板上に成長した、比較的厚いエピタキシャル層(例えば、厚さ5μm〜100μmの範囲)からなる。基礎となる基板は、例えば、サファイア、炭化ケイ素、ケイ素、酸化亜鉛、または酸化マグネシウムであり得る。
【0044】
本発明の方法において、GaN基板上の窒化物半導体層のMBE成長は、850℃以上の温度で実施される。本発明によって約5,000までのV/III比を得ることができるので、このような高い成長温度を得ることが可能である。
【0045】
実際には、使用されているMBE機器の制約によって、達成可能な成長温度が最大約1,050℃まで制限されることが分かっている。本発明の方法において、原則としてこれよりも高い成長温度を得ることができるが、窒化物半導体層を成長させるMOCVDプロセスによって、達成可能な最大成長温度と対応するので、1,050℃の最大成長温度が許容される。
【0046】
本発明の方法において、基板は、少なくとも850℃の所定の温度まで初期的に加熱される。上述のように実際に達成可能な最大温度は、1,050℃のオーダーである可能性が高い。これを、図1において工程(a)として示す。
【0047】
基板の温度を増加させる速度は、基板において熱応力を引き起こすため、不均一な温度分布が発生するような速度にならないようにする必要がある。毎分10〜120℃の温度上昇速度が適切であることが見出される。
【0048】
GaNは、800℃付近以上の温度に加熱されると分解する傾向がある。GaNの分解が開始する温度は、圧力に依存し、真空条件下では、分解が開始する温度は、750℃〜800℃の範囲内である。この分解は、窒素ガスまたはアンモニアガスを成長チャンバに供給して、過剰圧力(分解圧力より高い圧力)の窒素ガスまたはアンモニアガスがGaN基板の表面上に存在するようにすることによって防止され得る。従って、本発明によると、基板が分解しやすい温度では、アンモニアガスは、成長チャンバに供給されて、GaN基板の表面上で窒素ガスまたはアンモニアガスの過剰圧力を確立し、維持して、基板の熱分解を防止する。これは、基板の加熱工程(a)の間、基板の温度が800℃に達する前に、アンモニアガスの成長チャンバへの供給を開始することによって達成される。
【0049】
原則として、アンモニアガスは、基板の温度が実質的に800℃より低い場合、このような温度では基板の分解が起こらないので、成長チャンバに供給される必要がない。しかし、実際には、アンモニアガスを、加熱工程の全継続時間の間成長チャンバに供給することがより簡便である。従って、本発明の好適な実施形態において、アンモニアガスは、加熱工程(a)の全継続時間にわたって成長チャンバに供給され、過剰圧力のアンモニアガスが加熱工程の全継続時間にわたって基板表面に存在する。あるいは、アンモニアガスの成長チャンバへの供給は、加熱工程の間ではあるが、800℃より低い基板温度で、開始され得る。例えば、アンモニアガスの成長チャンバへの供給は、基板温度が、分解開始温度範囲の下限に達する前に(すなわち、基板温度が750℃に達する前に)、開始されてもよいし、誤差範囲を提供するために、これより低い基板温度で開始されてもよい。
【0050】
基板温度が所望の値に達した後、基板はこの温度に維持されて、基板を熱焼成(ベーキング)し、基板から汚染物が除去される。これは、図1の工程(b)である。図1において、熱焼成(ベーキング)工程は、5分を僅かに越える継続時間を有するが、熱焼成(ベーキング)工程の継続時間は、30分間までの任意の時間であり得る。
【0051】
熱焼成(ベーキング)工程の間、アンモニアガスの成長チャンバへの供給が維持されて、GaN基板の熱分解を防止する。また、アンモニアガスの供給は、熱焼成(ベーキング)工程の間、基板の表面からの汚染物の除去を促進し、窒化物である基板表面を露出させる。
【0052】
熱焼成(ベーキング)工程が完了した後、分子線エピタキシーによって、基板の上にGaN層が成長する。上述したように、アンモニアガスは、基板にすでに供給されており、MBE成長プロセスの窒素源として機能する。従って、MBE成長を開始するためには、ガリウム源を提供することしか必要でない。ガリウムが成長チャンバに供給された後、基板の上でGaN膜のMBE成長が起こる。
【0053】
この実施形態において、MBE成長プロセスのためのガリウムは、1×10-8〜1×10-5mbarの範囲のビーム等価圧力を有する、ガリウム元素ビームによって供給される。成長プロセスの間、アンモニアガス供給の適切なビーム等価圧力は、1×10-4〜1×10-2mbarである。熱焼成および成長工程において同じビーム等価圧力を用いることが必須ではないが、熱焼成工程において、成長工程と同じアンモニアのビーム等価圧力が、用いられ得る。
【0054】
MBE成長工程は、図1の工程(c)である。
【0055】
GaN層が、所望の厚さまで成長した後、元素状態で存在するガリウムの成長チャンバへの供給を停止することによって、MBE成長プロセスは停止される。その後、図1の工程(d)で示すように、基板が冷却される。アンモニアガスの基板への供給は、基板の温度が工程(d)で降下される間、少なくとも基板の温度が800℃より下がるまで継続して、GaNの熱分解を防止する。実際には、冷却工程(d)の全継続時間の間アンモニアガスを成長チャンバに供給することがより簡便である。あるいは、アンモニアガスの成長チャンバへの供給は、冷却工程の間、例えば、基板温度が750℃以下に下がった場合、中断され得る。
【0056】
基板の冷却工程の間、温度上昇速度が、基板内、または基板とGaN層との間で不適切な熱応力を引き起こさないように、再び選択される必要がある。適切な温度降下速度は、再び毎分10℃〜120℃の範囲内である。
【0057】
GaN層の成長の間、V/IIIモル比は、好適には10:1より大きく、好適には5,000:1より小さい。原則として5,000:1より大きいV/IIIモル比が用いられ得るが、5,000:1より大幅に大きいV/IIIモル比で成長が実施される場合、成長速度が遅いことが分かる。約5,000:1のV/IIIモル比が、約0.5〜1.0μm/hの範囲内の成長速度を提供する一方で、達成され得る最大値である。この高いV/IIIモル比によって、GaN層が、従来技術によるGaNのMBE成長において用いられる温度より大幅に高い850℃以上の温度で成長することが可能になる。本発明によって、より高い成長温度が用いられることが可能になるので、得られるGaN層の質が向上する。
【0058】
図2は、本発明の方法を用いるGaN層成長の断面の透過電子顕微鏡写真である。図2は、GaNテンプレート基板上に成長した、厚さ3μmの、意図してはドーピングしていないGaN層の断面を示す。GaN層における貫通転位の密度は、約1×108cm-2である。これは、Arasakiら(上記)によって報告された、MOCVDによって成長したGaNにおける転位の典型的な密度、108〜1010cm-2に匹敵する。
【0059】
図2の材料における貫通転位密度は、従来のMBEによって成長したGaNのサンプルにおける密度よりも大幅に低い。例えば、Grandjenら(上記)は、MBE成長したGaNにおける貫通転位密度が、5×109cm-2より高いことを報告している。
【0060】
本発明の方法を用いて成長させたGaN層のフリーキャリアー濃度および電子移動度が、室温のホール効果測定を用いて測定された。本発明のMBE方法によって成長した、意図的にはドープしていないGaN膜は、典型的には、n型フリーキャリアー濃度が、3×1016cm-3より低く、電子移動度が、500cm2V-1s-1より高いことが見受けられる。これらの結果は、従来のMOCVD成長方法を用いて成長した典型的なGaN層において得られるキャリアー濃度および電子移動度と比較すると有利である。
【0061】
図3に、本発明のMBE成長プロセスを用いて成長した、意図的にはドーピングをしていないGaN層のフォトルミネセンス(PL)スペクトルを示す。スペクトルが、バンド帯近くの放射によって支配され、自由励起子ピークを含むことが分かる。図3のPLスペクトルは、高品質GaN層が高品質であることを示している。
【0062】
本発明の方法によって成長したGaN層の表面は、非常に滑らかであることが分かった。粗さは、原子間力顕微鏡によって測定され、これによって、表面のRMS(自乗平均)粗さが1nmのオーダーであることが示される。
【0063】
本発明の成長プロセスの間、高いV/III比を用いることによって、従来技術によるMBE方法において用いられる温度よりずっと高い温度で、窒化物半導体層が成長することが可能になる。これは、材料の質の向上につながる。本発明のMBE成長プロセスが必要とするアンモニアガスは、従来のMOCVDプロセスが必要とするアンモニアガスより、少なくとも、0.001倍である。
【0064】
本発明は、成長プロセスの間、10:1より大きいV/IIIモル比を得ることができるMBE成長装置を必要とする。このような高いV/IIIモル比は、例えば、基板からの放射熱が供給配管の出口を局所的に過剰に加熱しない状態で、可能な限り基板の近傍に出口端部が配置される配管を通して、アンモニアガスが成長チャンバに導入されるMBE成長装置において、達成することができる。ガリウム元素が、従来の噴出セルを用いる成長チャンバに導入される。必要に応じてエピタキシャル成長材料に組み込むために、さらなる噴出セルが用いられ、アルミニウムおよび/またはインジウムおよび/またはドーパント元素が供給され得る。
【0065】
図4は、本発明の方法による、窒化物半導体材料の分子線エピタキシーによる成長に適切な装置の模式図である。この装置は、基板Sを支持し、加熱するように構成される加熱支持体12を配置する成長チャンバ10を備える。成長チャンバ10は、成長チャンバ10まで延びる排気配管16を介して超高真空ポンプ14に接続されている。排気配管16の内部端は、成長チャンバ10の真空出口18を規定する。真空出口18は、基板支持体12に隣接するように配置される。
【0066】
成長チャンバ10には、第1の供給配管20がさらに設けられ、第1の供給配管20は、成長チャンバまで延びて、第1の供給配管20の出口22が、エピタキシャル成長が行われる基板Sの表面に隣接し、向かい合う。第1の供給配管20が、チャンバに対して調節が可能なように実装されて、第1の供給配管20の出口22と基板Sのエピタキシャル成長表面との間の比較的短い距離は、エピタキシャル成長プロセスの間、変動し得る。第1の供給配管20の長手軸は、エピタキシャル成長の平面に対して実質的に垂直である。
【0067】
第1の供給配管20が用いられて、エピタキシャル成長プロセスにおいて必要な窒素の前駆物質であるアンモニアが供給される。第1の供給配管20の出口22が、基板のSの比較的近傍に位置するので、比較的高いアンモニア蒸気圧が、エピタキシャル成長材料の表面に局在する一方、成長チャンバ10内においては、ポンプ14によって得られる超高真空環境を可能にする。高いアンモニア蒸気圧によって、成長プロセスの間、高いV/III比を実現することが可能になる。
【0068】
装置は、エピタキシャル成長プロセスの間必要とされ得る、ガリウム元素および他の元素(例えば、アルミニウム、インジウム、もしくはドーパント)源を含む、独立に動作可能であり、シャッターによって制御される噴出セル24および26(このような2つのセルを図4に示す)をさらに備える。噴出セル24および26は、従来から配置されており、それぞれ、第2の、およびさらなる供給配管を規定する。
【0069】
上記のタイプのMBE装置は、欧州特許出願第98301842.5号に記載されている。この出願の内容を、本明細書中で参考として援用する。しかし、本発明が、欧州特許出願第98301842.5/0 864 472号に記載されているタイプのMBE装置に限定されるものではなく、必要なV/III比を提供し得るMBE成長装置において実行され得ることが理解されるべきである。
【0070】
上述した実施形態は、GaN層の成長に関するが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、GaxAl1-xN、GayIn1-yN、またはGaxAlyIn1-x-yNのような他の窒素半導体層の成長において用いられ得る。
【0071】
上述した実施形態において、成長したGaN層は、意図的にドーピングされていない。しかし、MBE成長プロセスの間、周知の様態で、適切なドーパントを導入することによって、GaN層をドーピングすることが可能である。適切なドーパントには、例えば、ケイ素、錫、ゲルマニウム、カルシウム、炭素、ベリリウム、およびインジウムが含まれる。
【0072】
窒化物半導体層が、本発明の分子線エピタキシー方法によって成長した後、さらなる半導体層が、(Al,Ga,In)N電子デバイスまたは光電子デバイスを製造するように、成長し得る。例えば、本発明の方法によって成長したGaN層は、380〜450nmの範囲の波長の光を放出するレーザデバイスの基礎として用いられ得る。
【0073】
窒化物半導体層を成長させる本発明による方法によって、高品質GaN層がGaN基板上で成長することが可能になる。GaN基板は、MBE装置の成長チャンバ内に位置し、少なくとも850℃まで加熱される(a)。アンモニアガスの成長チャンバへの供給は、この工程の間、基板温度が800℃に達する前に、開始される。これによって、アンモニアの過剰圧力が基板の表面上で発生して、基板の熱分解を防止する。
【0074】
その後、基板は、30分間を上限として、焼成される(b)。これによって、基板の表面から汚染物が除去される。
【0075】
その後、MBEによって、窒化物半導体層が基板上で成長する(c)。成長工程の間、基板温度は、少なくとも850℃である。
【0076】
最終的に、基板の温度は、800℃以下まで低減される(d)。アンモニアガスの基板への供給は、この冷却工程の間、少なくとも基板温度が800℃より下に下がるまで、維持される。
【0077】
本発明は、自立型GaN基板とともに用いられてもよいし、テンプレートGaN基板と共に用いられてもよい。本発明が用いられて、ドーピングされた窒化物半導体層または意図的にドーピングされていない窒化物半導体層が成長し得る。
【0078】
【発明の効果】
本発明のMBE成長方法によって、従来技術によるGaNのMBE成長において用いられる温度より大幅に高い850℃以上の温度で成長することが可能になる。従って、高い成長温度が用いられることが可能になるため、得られるGaN層の質を向上させる。
【0079】
本発明のMBE成長方法によって、必要とされるアンモニアガスの量は、MOCVD法と比較してわずか1000分の1程度に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の一実施形態による、成長プロセスの間の時間に対する基板温度の模式図である。
【図2】図2は、本発明の方法による、GaNテンプレート基板上のGaN成長の層の断面を示す透過電子顕微鏡写真である。
【図3】図3は、本発明の方法による、GaNテンプレート基板上で成長した、意図的にはドーピングしないGaN層の光ルミネセンススペクトルを示す図である。
【図4】図4は、本発明を実行するための適切なMBE装置の一例の模式図である。
【符号の説明】
10 成長チャンバ
Claims (11)
- 分子線エピタキシーによって窒化物半導体層を成長させる方法であって、
a)成長チャンバ(10)内に配置されるGaN基板(S)を少なくとも850℃の基板温度まで加熱する工程と、
b)分子線エピタキシーによって、少なくとも850℃の基板温度で、窒化物半導体層を該GaN基板上に成長させる工程であって、該窒化物半導体層の成長の間、アンモニアガスが該成長チャンバ(10)に供給される工程と、
を包含し、
工程a)の間、該基板温度が800℃に達する前に、該アンモニアガスの成長チャンバへの供給を開始する工程をさらに包含する、
方法。 - 前記基板温度が、前記窒化物半導体層の成長の間、850℃〜1050℃の範囲内である、請求項1に記載の方法。
- 前記基板温度を、前記窒化物半導体層が成長した後、前記アンモニアガスの成長チャンバへの供給を維持しながら、800℃より低い温度に低減する工程をさらに包含する、請求項1または2に記載の方法。
- 前記基板を、前記窒化物半導体層を成長させる前に、所定の時間、850℃より高い基板温度で維持する工程であって、該所定の時間の間、アンモニアガスが前記成長チャンバに供給される工程をさらに包含する、上記の請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記基板温度が、前記所定の時間の間、850℃〜1050℃の範囲内に維持される、請求項4に記載の方法。
- 前記所定の時間が30分以下である、請求項4または5に記載の方法。
- アンモニアガスが、工程a)の全継続時間の間前記成長チャンバに供給される、上記の請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記窒化物半導体層が、GaN層である、上記の請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記基板が、自立型GaN基板である、上記の請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記基板が、テンプレートGaN基板である、請求項1〜8のいずれかに記載の方法。
- 前記窒化物半導体層上に、少なくとも1つの(Al,Ga,In)N半導体層を成長させる工程をさらに包含する、上記の請求項のいずれかに記載の方法。
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