JP5320006B2 - 露光描画装置 - Google Patents
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Description
2 バルブ
3 発光空間
4 電極
5 背面
6 内面
7 空隙
8 楕円ミラー
9 コンデンサーレンズ
10 全反射ミラー
11 フライアイレンズ
12 露光描画部
14 筐体側部
15 移動テーブル
16 筐体底部
18 アパーチャ
19 ミラー
20 光源部
30 露光描画部
32 投影レンズ
34 DMD素子
35 投影レンズ群
90 露光描画制御部
100 露光描画装置
AC アライメント・カメラ
SW 基板
Claims (3)
- 水平状態で保持されて点灯する放電ランプを具備し、
前記放電ランプによりi線(365nm)付近からg線(436nm)付近までの照射光を照射する露光装置において、
前記放電ランプは、少なくとも水銀が封入された内容積65mm 3 以下のバルブと、前記バルブ内に配置された一対の電極とを有し、
前記電極の背面と前記バルブ内面との電極軸方向に沿った間隔が0.33mmないし0.45mmであることを特徴とする露光装置。 - 前記間隔が0.40mmないし0.42mmであることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記照射光は、g線からi線までのブロードな範囲で強く、前記ランプのh線(405nm)付近の発光強度が、i線(365nm)付近やg線(436nm)付近の発光強度より高く、被照射物において台形断面のパターンを形成することを特徴とする請求項1または請求項2の何れかに記載の露光装置。
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JP2008258110A JP5320006B2 (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 露光描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008258110A JP5320006B2 (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 露光描画装置 |
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JP2010085954A JP2010085954A (ja) | 2010-04-15 |
JP2010085954A5 JP2010085954A5 (ja) | 2011-11-04 |
JP5320006B2 true JP5320006B2 (ja) | 2013-10-23 |
Family
ID=42249932
Family Applications (1)
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JP2008258110A Active JP5320006B2 (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 露光描画装置 |
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