JP2010085954A - 露光描画装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】容積65mm3以下の石英ガラス製のバルブ2に、270mg/ccの割合で水銀を封入し、170Torrの圧力でガスを封入する。電極の背面5とバルブ2の内面6との間に、0.4mmないし0.42mmの空隙7を設ける。一対の電極4を結ぶ軸が水平となる状態で放電ランプ1を保持する。このようにすると、放電ランプ1のh線の発光効率が高まり、台形断面のレジストパターンに形成できる。
【選択図】図1
Description
2 バルブ
3 発光空間
4 電極
5 背面
6 内面
7 空隙
8 楕円ミラー
9 コンデンサーレンズ
10 全反射ミラー
11 フライアイレンズ
12 露光描画部
14 筐体側部
15 移動テーブル
16 筐体底部
18 アパーチャ
19 ミラー
20 光源部
30 露光描画部
32 投影レンズ
34 DMD素子
35 投影レンズ群
90 露光描画制御部
100 露光描画装置
AC アライメント・カメラ
SW 基板
Claims (2)
- 光線を被照射物に照射するための放電ランプと、前記放電ランプを保持する保持手段とを具備する露光描画装置において、前記放電ランプは、内容積が65mm3以下の石英ガラス製のバルブと、前記バルブ内に配置された一対の電極と、270mg/ccの割合で前記バルブ内に封入された水銀と、170Torrの圧力で封入されたガスとを有し、前記一対の電極は、電極背面とバルブ内面との間に0.4mmないし0.42mmの空隙があり互いに対峙しており、前記保持手段は、前記一対の電極を結ぶ軸が水平となる状態で前記ランプを保持する手段であることを特徴とする露光描画装置。
- 放電ランプ点灯手段と、前記放電ランプの光線を前記被照射物に導く光学系と、前記被照射物を移動する移動ステージとを備え、前記被照射物は、フォトレジストを塗った基板であり、前記放電ランプ点灯手段は、前記放電ランプに、台形断面のレジストパターンを形成する発光スペクトルの光線を放射させる手段であることを特徴とする請求項1に記載した露光描画装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140061305A (ko) | 2011-03-30 | 2014-05-21 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53678A (en) * | 1976-06-23 | 1978-01-06 | Hitachi Ltd | Metal steam discharge lamp |
JPS5397279A (en) * | 1977-02-04 | 1978-08-25 | Toshiba Corp | Metal halide lamp |
JPH03171546A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-25 | Iwasaki Electric Co Ltd | メタルハライドランプ |
JP2000340171A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-08 | Matsushita Electronics Industry Corp | 金属蒸気放電ランプ |
JP2005050576A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ点灯装置 |
JP2005063817A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Ushio Inc | 高圧水銀ランプ装置 |
JP2006073538A (ja) * | 2005-09-14 | 2006-03-16 | Harison Toshiba Lighting Corp | メタルハライドランプ、メタルハライドランプ点灯装置および自動車用前照灯装置 |
JP2006344383A (ja) * | 2003-06-24 | 2006-12-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光照射装置 |
JP2007026675A (ja) * | 2003-06-24 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光照射装置、光照射装置用ランプおよび光照射方法 |
JP2008191252A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Phoenix Denki Kk | 露光用光源ならびにこれを用いた露光装置 |
-
2008
- 2008-10-03 JP JP2008258110A patent/JP5320006B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53678A (en) * | 1976-06-23 | 1978-01-06 | Hitachi Ltd | Metal steam discharge lamp |
JPS5397279A (en) * | 1977-02-04 | 1978-08-25 | Toshiba Corp | Metal halide lamp |
JPH03171546A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-25 | Iwasaki Electric Co Ltd | メタルハライドランプ |
JP2000340171A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-08 | Matsushita Electronics Industry Corp | 金属蒸気放電ランプ |
JP2006344383A (ja) * | 2003-06-24 | 2006-12-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光照射装置 |
JP2007026675A (ja) * | 2003-06-24 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光照射装置、光照射装置用ランプおよび光照射方法 |
JP2005050576A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ点灯装置 |
JP2005063817A (ja) * | 2003-08-13 | 2005-03-10 | Ushio Inc | 高圧水銀ランプ装置 |
JP2006073538A (ja) * | 2005-09-14 | 2006-03-16 | Harison Toshiba Lighting Corp | メタルハライドランプ、メタルハライドランプ点灯装置および自動車用前照灯装置 |
JP2008191252A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Phoenix Denki Kk | 露光用光源ならびにこれを用いた露光装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140061305A (ko) | 2011-03-30 | 2014-05-21 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 |
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