CN219320648U - 一种紫外激光和uvled混合光照明系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，包括UVLED光源、光纤激光光源、二向色镜和共用镜组系统，所述UVLED光源、光纤激光光源相垂直，所述二向色镜倾斜设置，所述UVLED光源和光纤激光光源分别朝向二向色镜的两侧壁发射光束，所述UVLED光源发射的光束透过二向色镜射向共用镜组系统，所述光纤激光光源发射的光束经二向色镜反射向共用镜组系统，本实用新型提供的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统中UVLED光源和光纤激光光源所发射出的光束经由二向色镜的透射与反射最终在共用镜组系统中汇聚，从而得到混合的不同波长的光源，均匀性高，有效降低对紫外短波激光的依赖，大大节约光源成本。

Description

一种紫外激光和UVLED混合光照明系统

技术领域

本申请涉及紫外曝光照明领域的领域，尤其是涉及一种紫外激光和UVLED混合光照明系统。

背景技术

紫外线是电磁波谱中频率为750THz～30PHz，对应真空中波长为400nm～10nm辐射的总称，不能引起人们的视觉，是频率比蓝紫光高的不可见光。紫外曝光机，也称光刻机、掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是印刷线路板(PCB)制作工艺中的重要设备。直写曝光机是通过可编程逻辑器件进行独立寻址和像素阵列的控制，将数字微镜器件(DMD)以一定的放大倍率投影到光敏感元件衬底上产生特征的构图，从而省去了传统的曝光工艺中所需制造及使用的掩膜，降低了时间和成本。

照明系统是直写数字曝光机光学系统中重要组成部分之一，为DMD数字微镜器件提供高功率、高均匀性的光辐射。一般地，曝光光源用紫外激光二极管或者紫外发光二极管，目前的印刷线路板、面板、IC载板及太阳能光伏曝光领域，用到的紫外波长范围为350nm-450nm，紫外发光二极管(LED)做到的波长范围较广，但受限于LED光源的发散角及散热问题，很难为DMD提供很大辐射功率，而激光二极管因方向性好、亮度高而备受设备厂商青睐，但390nm以下波长的激光二极管成本太高，性能不稳定而未得到大批量应用，所以，本实用新型在此基础上提出用激光二极管加发光二极管混合的方式作为曝光光源，在保证曝光效率效果的同时，大大降低使用成本。

实用新型内容

为了提高照明效果，本申请提供一种紫外激光和UVLED混合光照明系统。

本申请提供的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统采用如下的技术方案：

一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，包括UVLED光源、光纤激光光源、二向色镜和共用镜组系统，所述UVLED光源、光纤激光光源相垂直，所述二向色镜倾斜设置，所述UVLED光源和光纤激光光源分别朝向二向色镜的两侧壁发射光束，所述UVLED光源发射的光束透过二向色镜射向共用镜组系统，所述光纤激光光源发射的光束经二向色镜通过反射的方式射向共用镜组系统。

通过采用上述技术方案，UVLED光源和光纤激光光源所发射出的光束经由二向色镜的透射与反射最终在共用镜组系统中汇聚，从而得到混合的不同波长的激光，均匀性高，可有效降低对紫外短波激光的依赖，大大节约光源成本。

可选的，所述UVLED光源中波长365nm-395nm的光源透过二向色镜射向至共用镜组系统。

通过采用上述技术方案，二向色镜对光源的透过率＞95％，UVLED光源中波长365nm-395nm的光在共用镜组系统中汇聚。

可选的，所述光纤激光光源中波长405nm-435nm的光通过二向色镜反射至共用镜组系统。

通过采用上述技术方案，二向色镜对激光光源的反射率＞95％激光光源波长405nm-435nm的光和UVLED光源波长365nm-395nm的光在共用镜组系统中汇聚。

可选的，所述UVLED光源包括UVLED发射器和第一散光镜，所述第一散光镜位于UVLED发射器与二向色镜之间。

可选的，所述UVLED光源还包括第一匀光镜，所述第一匀光镜位于第一散光镜和二向色镜之间，所述第一匀光镜使得UVLED发射器发出的光束均匀的照射在二向色镜上。

可选的，所述光纤激光光源包括激光发射器和第二散光镜，所述第二散光镜位于激光发射器与二向色镜之间。

可选的，所述光纤激光光源还包括第二匀光镜，所述第二匀光镜于第二散光镜和二向色镜之间，所述第二匀光镜使得激光发射器发出的光束均匀的照射在二向色镜上。

可选的，所述二向色镜四十五度倾斜设置。

可选的，所述共用镜组包括第三散光镜和第三匀光镜，所述第三散光镜位于第三匀光镜和二向色镜之间，所述第一散光镜、第一匀光镜和第三散光镜和第三匀光镜位于同一直线上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置了二向色镜，UVLED发射器和激光发射器所发射出的光束经由二向色镜的透射与反射最终在第三散光镜和第三匀光镜中汇聚，从而得到混合的不同波长的激光，均匀性高，有效降低对紫外短波激光的依赖，大大节约光源成本。

附图说明

图1为本实用新型一种紫外激光和UVLED混合光照明系统中壳体的示意图；

图2为本实用新型一种紫外激光和UVLED混合光照明系统的结构示意图。

图中：1、壳体；2、UVLED光源；21、UVLED发射器；22、第一散光镜；23、第一匀光镜；3、光纤激光光源；31、激光发射器；32、第二散光镜；33、第二匀光镜；4、二向色镜；5、共用镜组系统；51、第三散光镜；52、第三匀光镜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1和图2，本实用新型提供的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统的实施例，紫外激光和UVLED混合光照明系统，包括壳体1、UVLED光源2、光纤激光光源3、二向色镜4和共用镜组系统5，UVLED光源2、光纤激光光源3、二向色镜4和共用镜组系统5均设置在壳体1内，UVLED光源2、光纤激光光源3相垂直，二向色镜4倾斜设置，UVLED光源2和光纤激光光源3分别朝向二向色镜4的两侧壁发射光束，UVLED光源2发射的光束穿过二向色镜4射向共用镜组系统5，光纤激光光源3发射的光束经二向色镜4反射向共用镜组系统5，二向色镜4四十五度倾斜设置。

UVLED光源2中波长365nm-395nm的光源透过二向色镜4射向至共用镜组系统5。二向色镜4对光源的透过率＞95％，UVLED光源2中波长365nm-395nm的光在共用镜组系统5中汇聚。

光纤激光光源3中波长405nm-435nm的光通过二向色镜4反射至共用镜组系统5。二向色镜4对光纤激光光源3的反射率＞95％，光纤激光光源3中波长405nm-435nm的光和UVLED光源2中波长365nm-395nm的光在共用镜组系统5中汇聚。

UVLED光源2包括UVLED发射器21和第一散光镜22，第一散光镜22位于UVLED发射器21与二向色镜4之间。UVLED光源2还包括第一匀光镜23，第一匀光镜23位于第一散光镜22和二向色镜4之间，第一匀光镜23使得UVLED发射器21发出的光束均匀的照射在二向色镜4上。

光纤激光光源3包括激光发射器31和第二散光镜32，第二散光镜32位于激光发射器31与二向色镜4之间。光纤激光光源3还包括第二匀光镜33，第二匀光镜33于第二散光镜32和二向色镜4之间，第二匀光镜33使得激光发射器31发出的光束均匀的照射在二向色镜4上。

共用镜组包括第三散光镜51和第三匀光镜52，第三散光镜51位于第三匀光镜52和二向色镜4之间，第一散光镜22、第一匀光镜23和、第三散光镜51和第三匀光镜52位于同一直线上。

工作原理：

UVLED发射器21和激光发射器31所发射出的光束经由二向色镜4的反射与投射最终在第三散光镜51和第三匀光镜52中汇聚，从而得到混合的不同波长的激光，均匀性高，有效降低了对紫外短波激光的依赖，大大节约光源成本。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (9)

1.一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：包括UVLED光源(2)、光纤激光光源(3)、二向色镜(4)和共用镜组系统(5)，所述UVLED光源(2)、光纤激光光源(3)相垂直，所述二向色镜(4)倾斜设置，所述UVLED光源(2)和光纤激光光源(3)分别朝向二向色镜(4)的两侧壁发射光束，所述UVLED光源(2)发射的光束透过二向色镜(4)射向共用镜组系统(5)，所述光纤激光光源(3)发射的光束经二向色镜(4)反射向共用镜组系统(5)。

2.根据权利要求1所述的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：所述UVLED光源(2)中波长365nm-395nm的光源透过二向色镜(4)射向至共用镜组系统(5)。

3.根据权利要求1所述的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：所述光纤激光光源(3)中波长405nm-435nm的光由二向色镜(4)反射至共用镜组系统(5)。

4.根据权利要求1所述的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：所述UVLED光源(2)包括UVLED发射器(21)和第一散光镜(22)，所述第一散光镜(22)位于UVLED发射器(21)与二向色镜(4)之间。

5.根据权利要求4所述的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：所述UVLED光源(2)还包括第一匀光镜(23)，所述第一匀光镜(23)位于第一散光镜(22)和二向色镜(4)之间，所述第一匀光镜(23)使得UVLED发射器(21)发出的光束均匀的照射在二向色镜(4)上。

6.根据权利要求1所述的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：所述光纤激光光源(3)包括激光发射器(31)和第二散光镜(32)，所述第二散光镜(32)位于激光发射器(31)与二向色镜(4)之间。

7.根据权利要求6所述的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：所述光纤激光光源(3)还包括第二匀光镜(33)，所述第二匀光镜(33)于第二散光镜(32)和二向色镜(4)之间，所述第二匀光镜(33)使得激光发射器(31)发出的光束均匀的照射在二向色镜(4)上。

8.根据权利要求1所述的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：所述二向色镜(4)四十五度倾斜设置。

9.根据权利要求5所述的一种紫外激光和UVLED混合光照明系统，其特征在于：所述共用镜组包括第三散光镜(51)和第三匀光镜(52)，所述第三散光镜(51)位于第三匀光镜(52)和二向色镜(4)之间，所述第一散光镜(22)、第一匀光镜(23)和、第三散光镜(51)和第三匀光镜(52)位于同一直线上。

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