JP5295945B2 - 圧電/電歪素子 - Google Patents
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Description
を備える。
本発明では、白金又は白金を主成分とする合金の電極膜であって膜厚が2.0μm以下のものと圧電/電歪膜とを積層した積層型の圧電/電歪素子の製造にあたって、電極膜又は圧電/電歪膜に酸化イットリウム(Y2O3)又は酸化カルシウム(CaO)(以下では、「第1の添加物」という)及び酸化セリウム(CeO2)(以下では、「第2の添加物」という)の両方又は一方を添加しておき、電極膜と圧電/電歪膜とを同時焼成する。これにより、電極膜の膜厚を薄くすること、電極膜の耐熱性を向上すること及び圧電/電歪特性の経時変化を小さくすることを同時に実現することができ、初期圧電/電歪特性が良好で圧電/電歪特性の経時変化が小さい圧電/電歪素子を得ることができる。
図1及び図2は、本発明の望ましい実施形態に係る積層型の圧電/電歪素子の構造例を示す図である。図1は、圧電/電歪素子の断面図であり、図2は、図1の一部を拡大した断面図である。なお、図1及び図2に構造を示す圧電/電歪素子は、インクジェットプリンタのヘッドに用いられる圧電/電歪アクチュエータであるが、本発明は、これ以外の積層型の圧電/電歪素子にも適用することができる。
以下では、第1の添加物の種類、第1の添加物及び第2の添加物の添加量及び添加方法、電極膜73の膜厚並びに圧電/電歪材料を様々に変更しながら図1及び図2に示す圧電/電歪素子を作製し、作製した圧電/電歪素子を評価した結果について説明する。
図3は、酸化イットリウム及び酸化セリウムの添加の有無並びに電極膜73の膜厚を様々に変更した実験試料1〜11の変位量の測定結果を一覧表示している。実験試料1〜11では、圧電/電歪材料Aを使用し、酸化イットリウムを添加する場合には、0.1重量部の酸化イットリウムを同時焼成前に電極膜73に添加し、酸化セリウムを添加する場合には、0.6重量部の酸化セリウムを同時焼成前の電極膜73に添加している。
図4は、酸化イットリウム及び酸化セリウムの添加方法並びに電極膜73の膜厚を様々に変更した実験試料12〜18の変位量の測定結果を一覧表示している。実験試料12〜18では、圧電/電歪材料Aを使用し、0.1重量部の酸化イットリウムを同時焼成前に電極膜73又は圧電/電歪体膜9に添加し、0.6重量部の酸化セリウムを同時焼成前に電極膜73又は圧電/電歪体膜9に添加している。
図5は、酸化イットリウム及び酸化セリウムの添加量を様々に変更した実験試料19〜29の変位量の測定結果を一覧表示している。実験試料19〜29では、圧電/電歪材料Aを使用し、酸化イットリウム及び酸化セリウムを同時焼成前に電極膜73に添加し、電極膜73の膜厚は1.1〜1.3μmとした。
図6は、使用する圧電/電歪材料を様々に変更した実験試料30〜34の変位量の測定結果を一覧表示している。実験試料30〜34では、0.1重量部の酸化イットリウムを同時焼成前に電極膜73に添加し、0.6重量部の酸化セリウムを同時焼成前の電極膜73に添加し、電極膜73の膜厚は1.1〜1.2μmとした。
図7は、酸化カルシウム及び酸化セリウムの添加量を様々に変更した実験試料35〜42の変位量の測定結果を一覧表示している。実験試料35〜42では、圧電/電歪材料Aを使用し、酸化カルシウム及び酸化セリウムを同時焼成前に電極膜73に添加し、電極膜73の膜厚は1.1〜1.3μmとした。
上記の実験試料12〜42にイオンエッチングを施して断面を露出させ、電子プルーブマイクロアナリシス(EPMA;Electron Probe Micro Analysis)法で酸化イットリウム、酸化カルシウム及び酸化セリウムの分布を調べたところ、電極膜73の近傍や圧電/電歪膜79の中に酸化セリウム、酸化カルシウム及び酸化イットリウムの偏析は確認されなかった。
この発明は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
Claims (7)
- 積層型の圧電/電歪素子であって、
白金又は白金を主成分とする合金の焼結体である、膜厚が2.0μm以下の内層電極膜と、
前記内層電極膜に含まれる100重量部の白金に対して0.01重量部以上0.60重量部以下の酸化イットリウムを含有し、0.1重量部の酸化イットリウムに対して0.1重量部以上1.2重量部以下のCeO 2 を含有する圧電/電歪材料の焼結体である圧電/電歪膜と、
を備え、
前記圧電/電歪材料が、Pb(Mg 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Ni 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Zn 1/2 Nb 1/2 )O 3 及びPb(Yb 1/2 Nb 1/2 )O 3 からなる群から選択される1種類以上とチタン酸ジルコン酸鉛との複合材料を主成分とする圧電/電歪素子。 - 積層型の圧電/電歪素子であって、
圧電/電歪材料を含有する圧電/電歪膜を形成する工程と、
白金又は白金を主成分とする合金と酸化イットリウム及び酸化セリウムの少なくとも一方とを含有する内層電極膜を形成する工程と、
隣接する前記内層電極膜と前記圧電/電歪膜とを1200℃以上の温度で同時焼成する工程と、
により製造され、
前記圧電/電歪素子において、前記内層電極膜に含まれる100重量部の白金に対する酸化イットリウムの含有量が0.01重量部以上0.60重量部以下であり、0.1重量部の酸化イットリウムに対するCeO 2 の含有量が0.1重量部以上1.2重量部以下であり、同時焼成後の前記内層電極膜の膜厚が2.0μm以下であり、
前記圧電/電歪材料が、Pb(Mg 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Ni 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Zn 1/2 Nb 1/2 )O 3 及びPb(Yb 1/2 Nb 1/2 )O 3 からなる群から選択される1種類以上とチタン酸ジルコン酸鉛との複合材料を主成分とする圧電/電歪素子。 - 積層型の圧電/電歪素子であって、
圧電/電歪材料を含有する圧電/電歪膜を形成する工程と、
白金又は白金を主成分とする合金と酸化イットリウムとCeO 2 とを含有し、100重量部の白金に対する酸化イットリウムの含有量が0.01重量部以上0.60重量部以下であり、0.1重量部の酸化イットリウムに対するCeO 2 の含有量が0.1重量部以上1.2重量部以下である内層電極膜を形成する工程と、
隣接する前記内層電極膜と前記圧電/電歪膜とを1200℃以上の温度で同時焼成する工程と、
により製造され、
前記圧電/電歪素子において、同時焼成後の前記内層電極膜の膜厚が2.0μm以下であり、
前記圧電/電歪材料が、Pb(Mg 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Ni 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Zn 1/2 Nb 1/2 )O 3 及びPb(Yb 1/2 Nb 1/2 )O 3 からなる群から選択される1種類以上とチタン酸ジルコン酸鉛との複合材料を主成分とする圧電/電歪素子。 - 積層型の圧電/電歪素子であって、
白金又は白金を主成分とする合金の焼結体である、膜厚が2.0μm以下の内層電極膜と、
前記内層電極膜に含まれる100重量部の白金に対して0.1重量部以上0.5重量部以下の酸化カルシウムを含有し、0.1重量部の酸化カルシウムに対して0.1重量部以上1.2重量部以下のCeO 2 を含有する圧電/電歪材料の焼結体である圧電/電歪膜と、
を備え、
前記圧電/電歪材料が、Pb(Mg 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Ni 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Zn 1/2 Nb 1/2 )O 3 及びPb(Yb 1/2 Nb 1/2 )O 3 からなる群から選択される1種類以上とチタン酸ジルコン酸鉛との複合材料を主成分とする圧電/電歪素子。 - 積層型の圧電/電歪素子であって、
圧電/電歪材料を含有する圧電/電歪膜を形成する工程と、
白金又は白金を主成分とする合金と酸化カルシウム及びCeO 2 の少なくとも一方とを含有する内層電極膜を形成する工程と、
隣接する前記内層電極膜と前記圧電/電歪膜とを1200℃以上の温度で同時焼成する工程と、
により製造され、
前記圧電/電歪素子において、前記内層電極膜に含まれる100重量部の白金に対する酸化カルシウムの含有量が0.1重量部以上0.5重量部以下であり、0.1重量部の酸化カルシウムに対するCeO 2 の含有量が0.1重量部以上1.2重量部以下であり、同時焼成後の前記内層電極膜の膜厚が2.0μm以下であり、
前記圧電/電歪材料が、Pb(Mg 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Ni 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Zn 1/2 Nb 1/2 )O 3 及びPb(Yb 1/2 Nb 1/2 )O 3 からなる群から選択される1種類以上とチタン酸ジルコン酸鉛との複合材料を主成分とする圧電/電歪素子。 - 積層型の圧電/電歪素子であって、
圧電/電歪材料を含有する圧電/電歪膜を形成する工程と、
白金又は白金を主成分とする合金と酸化カルシウムとCeO 2 とを含有し、100重量部の白金に対する酸化カルシウムの含有量が0.1重量部以上0.5重量部以下であり、0.1重量部の酸化カルシウムに対するCeO 2 の含有量が0.1重量部以上1.2重量部以下である内層電極膜を形成する工程と、
隣接する前記内層電極膜と前記圧電/電歪膜とを1200℃以上の温度で同時焼成する工程と、
により製造され、
前記圧電/電歪素子において、同時焼成後の前記内層電極膜の膜厚が2.0μm以下であり、
前記圧電/電歪材料が、Pb(Mg 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Ni 1/3 Nb 2/3 )O 3 ,Pb(Zn 1/2 Nb 1/2 )O 3 及びPb(Yb 1/2 Nb 1/2 )O 3 からなる群から選択される1種類以上とチタン酸ジルコン酸鉛との複合材料を主成分とする圧電/電歪素子。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の圧電/電歪素子において、
前記圧電/電歪材料の結晶系が室温において正方晶である圧電/電歪素子。
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