JP5103859B2 - 積層圧電セラミックス素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
そこで、例えば内部電極に共材として圧電セラミックスと同組成の材料を添加することが行われていた(非特許文献1参照)。これにより、内部電極と圧電セラミックスとの収縮率を整合させることができる。
これらの技術を用いることにより、内部電極と圧電セラミックスとの接合強度を向上させることができる。
上記圧電セラミックス層は、上記内部電極層近傍に、該内部電極層から拡散した上記遷移金属元素Mを含有する遷移金属元素M含有領域を有し、
上記遷移金属元素Mは、Mn及び/又はCrであることを特徴とする積層圧電セラミックス素子にある(請求項1)。
このように、上記内部電極層に上記Bサイト置換型PZT系材料を用い、圧電セラミックス層には、上記Bサイト元素が置換されていないPZT系材料を用いると、例えば160℃以上という高温で使用したときにおいても、内部電極からの漏れ電流を抑制することができる。そのため、上記積層圧電セラミックス素子においては、高温使用時における上記圧電セラミックスの絶縁性を向上させることができる。また、上記内部電極層は、0.1〜1mol%という特定量のBサイト元素が置換された上記Bサイト置換型PZT系材料を含有する。そのため、上記積層圧電セラミックス素子においては、Bサイト元素が置換されていないPZT系材料が本来有する変位量をほとんど低下させることなく、上記のごとく、絶縁性を向上させることができる。
温度160℃で電界強度を2.5kV/mm印加して30分経過した後の絶縁抵抗値が20GΩ・m以上であり、温度25℃で電界強度を2kV/mm印加したときの伸び率が0.15%以上であり、
上記積層圧電セラミックス素子は、燃料噴射用のインジェクタに用いられることを特徴とする積層圧電セラミックス素子にある。
焼成後に上記圧電セラミックス層の上記PZT系材料を形成する第1セラミックス原料からなるグリーンシートを作製するグリーンシート作製工程と、
焼成後に上記内部電極層の上記Bサイト置換型PZT系材料を形成する第2セラミックス原料と、導電性金属粉末とを混合して電極材料を作製する電極材料作製工程と、
上記グリーンシート上に上記電極材料を塗布する電極形成工程と、
上記電極材料が塗布された上記グリーンシートを積層して、中間積層体を作製する積層工程と、
上記中間積層体を焼成することにより、上記積層圧電セラミックス素子を得る焼成工程とを有し、
上記遷移金属元素Mは、Mn及び/又はCrであり、
上記電極材料作製工程において、上記第2セラミックス原料は、焼成後に目的組成の上記PZT系材料を形成するような配合割合でセラミックス原料を混合してなる原料混合物と、上記遷移金属元素Mの酸化物とを、上記PZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が上記遷移金属元素Mで置換されるような配合割合で混合してなる複合材料又は該複合材料を仮焼及び粉砕してなる複合材仮焼粉、あるいは上記原料混合物を仮焼及び粉砕してなる原料仮焼粉と上記遷移金属元素Mの酸化物とを、上記PZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が上記遷移金属元素Mで置換されるような配合割合で混合してなる原料仮焼粉複合材料からなることを特徴とする積層圧電セラミックス素子の製造方法にある(請求項5)。
本発明の積層圧電セラミックス素子は、上記内部電極層と上記圧電セラミックス層が交互に積層されてなる。
上記内部電極層は、基本組成式ABO3で表されるPZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が少なくとも2価又は3価となりうる遷移金属元素Mで置換されてなるBサイト置換型PZT系材料及び導電性金属を含有する。
6配位イオン半径が0.5Å未満の場合には、上記遷移金属元素Mが上記Bサイトに置換されにくくなるおそれがある。一方、1Åを越える場合には、上記遷移金属元素MがAサイトに置換されやすくなるおそれがある。
6配位イオン半径は、6個のイオンに囲まれた位置に存在するイオンのイオン半径である。例えば図6にペロブスカイト型構造の結晶構造の一例を示す。同図において、B種イオンは、6個のイオン(X種イオン)に囲まれた位置に存在する。この位置にあるイオンを6配位イオンといい、6配位イオンの半径が6配位イオン半径である。一般式ABO3で表されるペロブスカイト型構造においては、Aサイトイオンは12個のイオンに囲まれた12配位イオンであり、Bサイトイオンは6個のイオンに囲まれた6配位イオンである。
また、イオン半径は、イオン結晶中の隣接する+イオンと−イオン間の距離をX線回折法等で測定し、この値をイオンに割当てて求められる。実際には、いくつかの化合物についての測定値を元に決めることができる。経験的なイオン半径の値として、シャノン(shannon;1976)やポーリング(Pauling;1960)の値が一般的に知られているが、本発明においては、シャノンのイオン半径値を採用することができる。
この場合には、上記積層圧電セラミックス素子は、高い変位量を維持しつつ絶縁性に優れるという本発明の上記作用効果をより顕著に発揮することができる。
この場合にも、上記積層圧電セラミックス素子は、高い変位量を維持しつつ絶縁性に優れるという本発明の上記作用効果をより顕著に発揮することができる。なお、PbZrO3−PbTiO3−Pb(Y1/2Nb1/2)O3からなる上記PZT材料は、上記圧電セラミックス層の主成分についても、上記内部電極層に含まれる上記Bサイト置換型PZT系材料のPZT系材料についても適用できる。
上記導電性金属が50wt%未満の場合又は上記Bサイト置換型PZT系材料が50wt%を越える場合には、上記内部電極層中の導電性金属の割合が小さくなり、上記内部電極層の導電性を十分に得ることが困難になる。一方、上記導電性金属が65wt%を越える場合又は上記Bサイト置換型PZT系材料が35wt%未満の場合には、上記遷移金属元素量が不充分になり、絶縁性を十分に向上させることが困難になるおそれがある。
また、上記導電性金属としては、例えばAg−Pd合金等がある。
上記遷移金属元素M含有領域について図7を用いて説明する。図7は、圧電セラミックス層11と内部電極層12、13とを交互に積層してなる積層圧電セラミックス素子1の断面の部分拡大図を示す。
同図に示すごとく、遷移金属元素M含有領域16は、内部電極層13から遷移金属元素Mが拡散し、圧電セラミックス層11における内部電極層12、13近傍に形成された遷移金属元素Mを含有する領域である。
上記遷移金属元素M含有領域16を有する場合には、該遷移金属元素M含有領域16において、上記遷移金属元素Mがアクセプタとして働き、電気的中性を保つために空孔(酸素欠陥)を形成することができる。この酸素欠陥によって電荷の移動が抑制され、上記積層圧電セラミックス素子の絶縁性をより向上させることができる。
上記絶縁抵抗値が20GΩ・m未満の場合には、作動時の繰り返し疲労により絶縁破壊を起こすおそれがある。また、上記伸び率が0.15%未満の場合には、例えば燃料噴射要のインクジェット等の用途として所定量の変位を得るために、素子自体を大型化させなければならなくなるおそれがある。
また、上記絶縁抵抗値として、温度160℃で電界強度を2.5kV/mm印加して30分経過した後の絶縁抵抗値を採用した理由は、十分に分極を飽和させると共に、素子事態が安定領域に達した場合の抵抗値となるためである。上記伸び率として温度25℃で電界強度を2kV/mm印加したときの伸び率を採用した理由は、例えば燃料噴射用インジェクタとして用いる場合において、その使用時にかけられる電界強度の範囲内にあるとともに、素子の伸びが飽和に達するのに十分な電界強度となるからである。
上記第2の発明においては、上記グリーンシート作製工程と、上記電極材料作製工程と、上記電極形成工程と、上記積層工程と、上記焼成工程とを行うことにより、上記積層圧電セラミックス素子を作製する。
上記グリーンシート作製工程においては、焼成後に上記圧電セラミックス層の上記PZT系材料を形成する第1セラミックス原料からなるグリーンシートを作製する。上記第1セラミックス原料としては、例えば焼成後に目的組成の上記PZT系材料を形成するような配合割合でセラミックス原料を混合して得られる原料混合物を用いることができる。また、該原料混合物を仮焼及び粉砕してなる混合物仮焼粉を用いることもできる。
上記第2セラミックス原料としては、焼成後に目的組成の上記PZT系材料を形成するような配合割合でセラミックス原料を混合してなる原料混合物と、上記遷移金属元素Mの酸化物とを、上記PZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が上記遷移金属元素Mで置換されるような配合割合で混合してなる複合材料を用いることができる。また、該複合材料を仮焼及び粉砕してなる複合材仮焼粉を用いることもできる。また、上記原料混合物を仮焼及び粉砕してなる原料仮焼粉と上記遷移金属元素Mの酸化物とを、上記PZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が上記遷移金属元素Mで置換されるような配合割合で混合してなる原料仮焼粉複合材料を用いることもできる。
上記導電性金属粉末が50wt%未満の場合又は上記第2セラミックス原料が50wt%を越える場合には、焼成後に形成される上記内部電極層中の導電性金属の割合が小さくなり、上記内部電極層の導電性を十分に得ることが困難になる。一方、上記導電性金属粉末が65wt%を越える場合又は上記第2セラミックス原料が35wt%未満の場合には、上記遷移金属元素Mの量が不充分になり、焼成後の上記積層圧電セラミックス素子の絶縁性を十分に向上させることが困難になるおそれがある。
また、上記積層工程においては、上記電極材料が塗布された上記グリーンシートを積層して、中間積層体を作製する。
また、上記積層工程と上記焼成工程との間に、上記中間積層体を脱脂する脱脂工程を行うことができる。
次に、本発明の実施例につき、図1〜図5を用いて説明する。
本例は、積層圧電セラミックス素子を作製し、その変位量及び絶縁性を調べる例である。
図1及び図2に示すごとく、本例の積層圧電セラミックス素子1は、圧電セラミックス層11と内部電極層12、13とが交互に積層されてなる。内部電極層12、13は、基本組成式ABO3で表されるPZT系材料のBサイト元素の0.1mol%が少なくとも2価又は3価となりうる遷移金属元素Mで置換されてなるBサイト置換型PZT系材料及び導電性金属を含有する。また、圧電セラミックス層11は、Bサイト元素が置換されていないPZT系材料を主成分とする。
本例において、圧電セラミックス層11のPZT系材料は、PbZrO3−PbTiO3−Pb(Y1/2Nb1/2)O3からなり、内部電極層12、13のBサイト置換型PZT系材料は、上記圧電セラミックス層11と同組成のPZT系材料のBサイトをマンガン(Mn)で置換してなる。
グリーンシート作製工程においては、焼成後に上記圧電セラミックス層の上記PZT系材料を形成する第1セラミックス原料からなるグリーンシートを作製する。
また、電極材料作製工程においては、焼成後に上記内部電極層の上記Bサイト置換型PZT系材料を形成する第2セラミックス原料と、導電性金属粉末とを混合して電極材料を作製する。
また、積層工程においては、図4及び図5に示すごとく、電極材料22、23が塗布されたグリーンシート15を積層して、中間積層体3を作製する。
焼成工程においては、中間積層体3を焼成することにより、図1及び図2に示すごとく、積層圧電セラミックス素子1を得る。
まず、PZT系材料の出発原料(セラミックス原料)として、Pb3O4、SrCO3、ZrO2、TiO2、Y2O3、及びNb2O5を準備し、これらの出発原料を目的組成PbZrO3−PbTiO3−Pb(Y1/2Nb1/2)O3となるような化学量論比で秤量し、湿式混合し、乾燥、整粒後、850℃で5時間仮焼した。得られた仮焼粉をパールミルにより湿式粉砕し、粒径(D50値)0.7±0.05μmの混合物仮焼粉(第1セラミックス原料)を得た。
次いで、この第1セラミックス原料に、溶剤、バインダー、可塑剤、分散材等を加えてボールミルにより混合し、得られたスラリーをドクターブレード装置により厚み95μmのグリーンシートに成形した(グリーンシート作製工程)。
試料E2の積層圧電セラミックス素子は、内部電極層中に、PZT系材料のBサイト元素の0.5mol%がMnで置換されてなるBサイト置換型PZT系材料を含有する点を除いては、上記試料E1と同様の素子である。即ち、試料E2は、PZT系材料のBサイトのMnによる置換量を0.1mol%から0.5mol%に変更した点を除いては試料E1と同様である。この試料E2は、電極材料作製工程において、出発原料と、Mnの酸化物(Mn2O3)とを目的組成PbZrO3−PbTiO3−Pb(Y1/2Nb1/2)O3のPZT系材料のBサイト元素の0.5mol%がMnで置換されるような配合割合で秤量した点を除いては上記試料E1と同様にして作製した。
即ち、まず、各試料に、温度160℃の条件下で2.5kV/mmの電界を30分間印加して分極させた。次いで、抵抗値が既知の抵抗と各試料とを直列につないだ回路を形成し、この回路において、抵抗にかかる電圧(漏れ電流値)をデジタルメータで読み取ることにより各試料の絶縁抵抗を算出した。
その結果を表1に示す。
具体的には、各試料に500Nの荷重をかけながら150Vの電圧を印加し、このときの各試料の変位(伸び量)をレーザー変位計により測定した。測定点は2点であり、これら2点における変位の平均値を変位量とした。次いで、この変位量を有効駆動層の長さで割ることにより伸び率(%)を算出した。なお、測定は、室温(25℃)で行った。その結果を表1に示す。
これに対し、Bサイト元素を置換していないPZT系材料を内部電極層に含有する試料C1は、0.17%という高い伸び率を示したが、その反面、絶縁抵抗値が低下し、10GΩ・mという非常に低い値を示した。
また、Bサイト元素を1.5mol%のMnで置換してなるPZT系材料を内部電極層に含有する試料C2は、25GΩ・mという高い絶縁抵抗値を示したが、その反面、伸び率が低下し、0.14%という非常に低い値を示した。
実施例1においては、上記第2セラミックス原料として、セラミックス原料を混合してなる原料混合物と、遷移金属元素Mの酸化物とを特定の配合割合で混合してなる複合材料を仮焼及び粉砕してなる複合材仮焼粉を用いたが、本例は、上記原料混合物を仮焼及び粉砕してなる原料仮焼粉と上記遷移金属元素Mの酸化物とを、PZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が上記遷移金属元素Mで置換されるような配合割合で混合してなる原料仮焼粉複合材料を用いて、実施例1と同様の積層圧電セラミックス素子を作製する例である。
11 圧電セラミックス層
12 内部電極層
13 内部電極層
Claims (7)
- 基本組成式ABO3で表されるPZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が少なくとも2価又は3価となりうる遷移金属元素Mで置換されてなるBサイト置換型PZT系材料及び導電性金属を含有する内部電極層と、上記Bサイト元素が置換されていないPZT系材料を主成分とする圧電セラミックス層とが交互に積層されてなり、
上記圧電セラミックス層は、上記内部電極層近傍に、該内部電極層から拡散した上記遷移金属元素Mを含有する遷移金属元素M含有領域を有し、
上記遷移金属元素Mは、Mn及び/又はCrであることを特徴とする積層圧電セラミックス素子。 - 請求項1において、上記PZT系材料は、PbZrO3−PbTiO3−Pb(Y1/2Nb1/2)O3からなることを特徴とする積層圧電セラミックス素子。
- 請求項1又は2において、上記内部電極層は、上記導電性金属50wt%〜65wt%と、上記Bサイト置換型PZT系材料50wt%〜35wt%とを含有することを特徴とする積層圧電セラミックス素子。
- 請求項1〜3のいずれか一項において、温度160℃で電界強度を2.5kV/mm印加して30分経過した後の絶縁抵抗値が20GΩ・m以上であり、温度25℃で電界強度を2kV/mm印加したときの伸び率が0.15%以上であり、燃料噴射用のインジェクタに用いられることを特徴とする積層圧電セラミックス素子。
- 基本組成式ABO3で表されるPZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が少なくとも2価又は3価となりうる遷移金属元素Mで置換されてなるBサイト置換型PZT系材料及び導電性金属を含有する内部電極層と、上記Bサイト元素が置換されていないPZT系材料を主成分とする圧電セラミックス層とが交互に積層されてなり、上記圧電セラミックス層の上記内部電極層近傍に、該内部電極層から拡散した上記遷移金属元素Mを含有する遷移金属元素M含有領域を有する積層圧電セラミックス素子の製造方法であって、
焼成後に上記圧電セラミックス層の上記PZT系材料を形成する第1セラミックス原料からなるグリーンシートを作製するグリーンシート作製工程と、
焼成後に上記内部電極層の上記Bサイト置換型PZT系材料を形成する第2セラミックス原料と、導電性金属粉末とを混合して電極材料を作製する電極材料作製工程と、
上記グリーンシート上に上記電極材料を塗布する電極形成工程と、
上記電極材料が塗布された上記グリーンシートを積層して、中間積層体を作製する積層工程と、
上記中間積層体を焼成することにより、上記積層圧電セラミックス素子を得る焼成工程とを有し、
上記遷移金属元素Mは、Mn及び/又はCrであり、
上記電極材料作製工程において、上記第2セラミックス原料は、焼成後に目的組成の上記PZT系材料を形成するような配合割合でセラミックス原料を混合してなる原料混合物と、上記遷移金属元素Mの酸化物とを、上記PZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が上記遷移金属元素Mで置換されるような配合割合で混合してなる複合材料又は該複合材料を仮焼及び粉砕してなる複合材仮焼粉、あるいは上記原料混合物を仮焼及び粉砕してなる原料仮焼粉と上記遷移金属元素Mの酸化物とを、上記PZT系材料のBサイト元素の0.1〜1mol%が上記遷移金属元素Mで置換されるような配合割合で混合してなる原料仮焼粉複合材料からなることを特徴とする積層圧電セラミックス素子の製造方法。 - 請求項5において、上記PZT系材料は、PbZrO3−PbTiO3−Pb(Y1/2Nb1/2)O3からなることを特徴とする積層圧電セラミックス素子の製造方法。
- 請求項5又は6において、上記電極材料は、導電性金属粉末50wt%〜65wt%と、第2セラミックス原料50wt%〜35wt%とを混合してなることを特徴とする積層圧電セラミックス素子の製造方法。
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