JP5281545B2 - 半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施例においては、有機金属気相成長法(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)によりAlxInyGazN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)からなる半導体成長層を形成することができる基板(成長用基板)としてC面サファイア基板11(以下、単にサファイア基板11と称する)を準備する。なお、成長用基板としては、本実施例のC面サファイア基板に限らず、R面サファイア基板、MgAl2O4又はSiC等の基板を用いることもできる。
次に、MOCVDにより、成長用基板11の第1主面上に、AlxInyGazN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)からなる半導体成長層12を形成する(図1(a)、図2)。ここで、半導体成長層12を構成する各半導体層は、MOCVD法によりウルツ鉱型結晶構造のC軸方向に沿って、サファイア基板11の上に順次積層される。具体的には、以下のような処理を経て半導体成長層12が形成される。
次に、p型半導体層15の表面の所望の領域に、p電極(接合電極)16及び絶縁保護層17を形成する(図1(b))。より具体的には、p電極16の周囲を絶縁保護層17が包囲するように、p電極16及び絶縁保護層17を形成する。具体的な工程としては、先ず、p型半導体層15の上にレジストを塗布する。続いて、フォトリソグラフィによって当該レジストをパターニングする。パターニングされたレジストの開口部分に真空蒸着法又はスパッタ法等の公知の成膜技術により、SiO2を堆積する。その後、当該レジストを除去し、絶縁保護層17を形成する(リフトオフ法)。次に、p型半導体層15及び絶縁保護層17を覆うようにレジストを塗布する。続いて、フォトリソグラフィによって当該レジストをパターニングする。パターニングされたレジストの開口部分に電子ビーム蒸着により、Pt(1nm)、Ag(150nm)、Ti(100nm)、Pt(100nm)、Ti(25nm)、W(100nm)、Ti(25nm)、Pt(10nm)、Au(200nm)を順次堆積する。その後、当該レジストを除去し、p電極16を形成する。なお、本実施例においては、p電極16の周囲を絶縁保護層17が包囲するように各レジストのパターニングが施される。また、p電極16は、上述した構造により、p型半導体層15との優れた密着性及びオーミック性、後述する支持体との優れた接合特性を備えている。更に、p電極16は、活性層14からの放出される光を効率よく反射し、堆積した金属の拡散を高精度で防止(特に、半導体成長層12への混入防止)することができる。
次に、p型半導体層15の表面に、幅が約5μm、深さが約100nmの誘導溝18を形成する(図1(c))。具体的な工程としては、先ず、p電極16及び絶縁保護層17を覆うようにレジスト19を塗布する。続いて、フォトリソグラフィによってレジスト19をパターニングする。次に、レジスト19が塗布された状態のサファイア基板11を、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)装置に投入する。続いて、Cl2とArの混合ガスをエッチングガスに用いたドライエッチングにより、p型半導体層15の表面に誘導溝18を形成する。その後、レジスト19を除去する。
誘導溝18が形成された後に、上記工程で経て得られたウエハ(すなわち、半導体成長層12が形成された状態のサファイア基板11)と、準備した支持体20と、を貼り合わす(図1(d))。
次に、レーザリフトオフ(Laser Lift Off:LLO)により、サファイア基板11を半導体成長層12から剥離する(図4(a))。より具体的には、サファイア基板11の第2主面(半導体成長層12が形成されていない面)側からレーザを照射することにより、レーザ光のエネルギーがサファイア基板11と半導体成長層12との間で吸収される。更に、吸収されたエネルギーが熱に変換されることにより、サファイア基板11の上に形成されているGaN層が金属Ga及びN2ガスに分解される。このため、n型半導体層13又は下地GaN層13B内で上記分解が起り、サファイア基板11を剥離した後には、n型半導体層13又は下地GaN層13Bが表出する。いずれの場合においても、サファイア基板11の剥離後に表出する最表面はC−面(N面)になる。また、発生した金属Ga及びN2ガスによる圧力により、誘導溝18に沿い且つ誘導溝18から半導体成長層12を貫く方向にクラック41が発生する。クラック41は、誘導溝18に連なって、誘導溝18の直下に形成される。なお、このようにクラック41が発生する理由は後述する。本実施例におけるレーザリフトオフにおいて使用されるレーザは、エキシマレーザ(波長:266nm)である。
次に、n型半導体層13を覆うようにレジストを塗布する。続いて、フォトリソグラフィによって当該レジストをパターニングする。パターニングされたレジストの開口部分に電子ビーム蒸着により、Ti(25nm)、Pt(100nm)、Au(800nm)を順次堆積する。その後、当該レジストを除去し、n電極42を形成する。n型半導体層13の露出面は光放出面となるため、n電極42が半導体発光素子の実装時におけるワイヤボンディングに最低限必要な面積を有するように、n電極42を形成することが好ましい。本実施例においては、n電極42が各半導体発光素子のn型半導体層13の中央部に位置するようにレジストがパターニングされている。なお、半導体発光素子の光取り出し効率を向上させるために、本工程の前後のいずれかにおいて、n型半導体層13の露出面をKOH等のアルカリ溶液でエッチング処理を施し、その露出面に凹凸構造を形成しても良い。
次に、ウエットエッチングにより半導体成長層12を個々の半導体発光素子ごとに分割する(区画する)。より具体的には、n型半導体層13及びn電極42を覆うようにレジスト43を塗布する。続いて、フォトリソグラフィによってレジスト43をパターニングする。更に、上述した工程を経たウエハ(すなわち、p電極16、半導体成長層12、n電極42及びレジスト43が積層された状態の支持体20)を水酸化カリウム(KOH)等のアルカリ溶液に浸し、レジスト43の開口部分にウエットエッチングを施す。これにより、レジスト43の開口部分に対応する半導体成長層12が除去され、半導体成長層12が個々の半導体発光素子ごとに分割される。半導体成長層12の除去領域は、誘導溝18の形成領域に沿って、誘導溝18の形成領域を包含する領域に設定される。そのため、半導体成長層12の除去後には、誘導溝18及びクラック41も残存していない。
次に、ダイシングにより支持体20を切断し、半導体成長層12が分割された状態のウエハを半導体発光素子ごとに個片化(チップ化)する。個片化の方法はダイシングに限らず、ポイントスクライブ/ブレイキング、レーザスクライブ等を用いることができる。
12 半導体成長層
13 n型半導体層
14 活性層
15 p型半導体層
16 p電極
17 絶縁保護層
18 誘導溝
41 クラック
90 開口溝
100 半導体発光素子
Claims (6)
- 半導体発光素子の製造方法であって、
成長用基板の第1主面上に第1の導電型を有する第1半導体層、活性層及び第2の導電型を有する第2半導体層を順次積層して半導体成長層を形成する工程と、
前記第2半導体層の上に互いに離間した複数の接合電極と、前記第2半導体層に前記接合電極の各々を囲む格子状の誘導溝と、を形成する工程と、
前記接合電極を介して支持体と前記半導体成長層とを接合する工程と、
前記成長用基板の第2主面側からレーザを照射して前記成長用基板を剥離する工程と、
前記半導体成長層の一部を前記半導体成長層を貫通するように除去して前記半導体成長層を前記半導体発光素子の素子領域ごとに分割する工程と、
前記半導体成長層の除去領域に沿って前記支持体を切断して前記半導体発光素子ごとに分離する工程と、有し、
前記除去領域は前記誘導溝が形成された領域を含み、
前記誘導溝によって形成される前記第2半導体層の側壁は、前記誘導溝の交差部において面取りされた形状を有することを特徴とする製造方法。 - 前記面取りされた形状は、曲面状であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記半導体成長層の除去には、アルカリ溶液を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の製造方法。
- 前記誘導溝を形成した後に、前記交差部の中央に前記誘導溝よりも深い開口溝を更に形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1に記載の製造方法。
- 前記開口溝は、前記半導体成長層を貫通することを特徴とする請求項4に記載の製造方法。
- 前記開口溝は、前記第2半導体層の表面に平行な面内における断面が四角形の形状を有し、その対角線が前記誘導溝の伸長方向に沿っていることを特徴とする請求項4又は5に記載の製造方法。
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JP3933592B2 (ja) * | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 三洋電機株式会社 | 窒化物系半導体素子 |
CN1241253C (zh) * | 2002-06-24 | 2006-02-08 | 丰田合成株式会社 | 半导体元件的制造方法 |
JP4280056B2 (ja) * | 2002-12-03 | 2009-06-17 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体ウェーハのダイシング方法 |
KR100483049B1 (ko) * | 2003-06-03 | 2005-04-15 | 삼성전기주식회사 | 수직구조 질화갈륨계 발광다이오드의 제조방법 |
JP5194334B2 (ja) * | 2004-05-18 | 2013-05-08 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体デバイスの製造方法 |
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KR100638732B1 (ko) * | 2005-04-15 | 2006-10-30 | 삼성전기주식회사 | 수직구조 질화물 반도체 발광소자의 제조방법 |
KR101166922B1 (ko) * | 2005-05-27 | 2012-07-19 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 다이오드의 제조 방법 |
KR100706951B1 (ko) * | 2005-08-17 | 2007-04-12 | 삼성전기주식회사 | 수직구조 질화갈륨계 led 소자의 제조방법 |
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