JP5248551B2 - 高さ検出装置 - Google Patents
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Description
しかし、平均効果では性能悪化要因を完全に取り除くことができないため、誤差が残存するという問題がある。
図1は、実施の形態1における高さ検出装置の構成を示す概念図である。
図1において、高さ検出装置100は、照明光学系200、偏光ビームスプリッタ214、1/4波長板(λ/4板)216、対物レンズ218、結像レンズ220、ビームスプリッタ222、照明スリット210、前側検出スリット230、後側検出スリット240、複数の前側検出光量センサ252、複数の後側検出光量センサ254、及び演算回路260を備えている。そして、実際の対象物面の高さをz0とする。
照明光学系200は、光源201、ビームエキスパンダ202、分割レンズ204、回転位相板206、コリメータレンズ208、及び照明レンズ212を有している。
高さ検出装置100では、照明光学系200、偏光ビームスプリッタ214、波長(λ)/4板216、対物レンズ218、結像レンズ220、及びビームスプリッタ222を用いて光学系を構成する。この光学系は、照明スリット210を通過した照明光104を対象物101面に照明し、対象物101面からの反射光を結像する。
光源201から発せられた光102をビームエキスパンダ202で拡大し、分割レンズ204で面光源を生成する。その後、回転位相板206を通すことによって空間コヒーレンシーが低減される。その後、コリメータレンズ208によって面光源のフーリエ面を生成し、このフーリエ面の位置に照明スリット210を設置する。照明スリット210を通過した光102は、照明レンズ212及び対物レンズ218によって対象物101面上に結像される。照明光学系200は、光源201から発した光102を対物レンズ218と組み合わせて対象物101面に均一に照明する。照明スリット210と対象物101面とが共役関係になるようにレンズ系を配置する。照明スリット210を通過した照明光104は、偏光ビームスプリッタ214によって対象物101面側に導かれる。すなわち、偏光ビームスプリッタ214は、照明光104を光路内に導入する。また、偏光ビームスプリッタ214に対し対象物101面側には、λ/4板216が配置される。偏光ビームスプリッタ214とλ/4板216によって、対象物101面に入射する光を円偏光とする。このように構成することで、対象物101から反射した光104を損失無く結像系に導くことができる。ここでは、対物レンズ218直前に偏光ビームスプリッタ214とλ/4板216を配置しているが、偏光ビームスプリッタ214の配置位置はここに限らず、照明スリット210以降で配置できるところがあれば、どこであっても構わない。
まず、それぞれのスリットについて、説明する。
照明スリット210には、それぞれ異なる角度に開口した複数の長方形開口部が形成されている。例えば、図2Aの概念図に示すように、照明スリット210には、照明スリット210の縦方向に平行(0度)な第1の開口部210Aと、第1の開口部に対して90度の角度をなす第2の開口部210Bと、第1の開口部に対して45度の角度をなす第3の開口部210Cと、第1の開口部に対して135度の角度をなす第4の開口部210Dとが形成されている。
前側検出スリット230には、照明スリット210と同じ角度に開口した複数の長方形開口部が形成されている。例えば、図2Bの概念図に示すように、照明スリット230には、照明スリット230の縦方向に平行(0度)な第5の開口部230Aと、第5の開口部に対して90度の角度をなす第6の開口部230Bと、第5の開口部に対して45度の角度をなす第7の開口部230Cと、第5の開口部に対して135度の角度をなす第8の開口部230Dとが形成されている。
後側検出スリット240には、照明スリット210及び前側検出スリット230と同じ角度に開口した長方形開口部が形成されている。例えば、図2Cの概念図に示すように、照明スリット240には、照明スリット240の縦方向に平行(0度)な第9の開口部240Aと、第9の開口部に対して90度の角度をなす第10の開口部240Bと、第9の開口部に対して45度の角度をなす第11の開口部240Cと、第9の開口部に対して135度の角度をなす第12の開口部240Dとが形成されている。
前側検出スリット230と後側検出スリット240の長方形開口部の長辺は照明スリット210の長方形開口部の長辺と比較して、長くなっている。一方、前側検出スリット230と後側検出スリット240の長方形開口部の短辺は照明スリット210の長方形開口部の短辺と比較して、短くなっており、このような形状にすることで、通過光量を制限して、対象物101の高さ位置zの動きに応じた検出を行うことができる。
そこで、検出誤差について説明する。
対象物上にパターンがあるとき、回折光が検出誤差を発生させる。この検出誤差はスリットがパターンと直交するときに最小化される。その理由を、図4の十字型の開口部を有するスリットを用いて高さ検出した場合の投影図(図4(A))、受光スリットのa位置での光量強度分布(図4(B))、受光スリットのb位置での光量強度分布(図4(C))を引用して説明する。本高さ検出装置の原理上、検出側のスリットは結像点からデフォーカスした位置に配置される。従って、対象物に縦方向のパターンがある場合、図4(A)から明らかなように、回折光が0次光から分離し、パターンと直行する方向の強度プロファイルが複雑化する。この方向を制限するようなスリットAは、この複雑化したプロファイルの影響を受けるため、対象物高さを精度良く算出することができない(図4(B)参照)。一方、パターンと平行な方向の強度プロファイルは単純であり、この方向を制限するようなスリットBは、対象物高さ検出に誤差を有しない或いは誤差が少ない(図4(C)参照)。従って、スリットBのようにマスクパターンと直交する方向のスリットで制限された信号のみを使用することにより、誤差を最小にすることができる。また、複雑化したプロファイルは中心強度が低いため、スリットで制限するとスリット通過光量が低くなる。そのため、相対的に光量が大きなスリットの開口部を選択するという単純なアルゴリズムにより、高さ検出精度を大きく改善することが可能になる。対象物が、例えば半導体製造用フォトマスクである場合、パターンの方向は主に0度、90度、45度、135度であるため、スリットの開口部の方向も0度、90度、45度、135度を搭載し、4つの信号から1つを選択して出力することで大幅な性能向上が期待できる。また、これらの中間の角度を持ったパターンであったとしても、最適開口部方向からのズレは最大で22.5度以下に収まるため、誤差はかなりのレベルで低減されると期待できる。
前側検出光量センサ252と後側検出光量センサ254のセンサ出力値の内、同じ角度の長方形開口部を通過した出力値の和である光量信号IA、IB、ICとIDを次の式(1)のように演算する。
式(1)
次に、上記に説明した理由により、IA、IB、ICとIDのうち、最も値の大きな値となった検出光量センサを最も誤差の少ないデータが出力されるセンサとする。
式(2)
実際の対象物面の高さz0と上記zの関係は図5のグラフのようになり、0近傍で直線性が確保できる。
そして、センサ出力値、検出された結果等は、図示しない記憶装置或いはモニタ、プリンタ等に出力されていてもよい。
実施の形態1における高さ検出装置を用いると、1回の撮影で、単純なアルゴリズムによる演算で対象物高さを検出することが可能になる。
また、実施の形態で説明した高さ検出装置は、反射光を用いているが、透過光を用いる構成にしてもよい。また、高さ検出装置は、半導体素子や液晶ディスプレイ(LCD)を製作する際に使用するリソグラフィ用マスクの欠陥を検査するためのパターン検査装置に用いることができる。その際のパターン検査装置は、検査基準パタンデータとなる参照画像を設計データから生成するdie to database検査装置でも、フォトダイオードアレイ等のセンサにより撮像した同一パターンのデータを用いるdie to die検査装置でも構わない。また、パターン検査装置は、透過光を用いて検査する装置しても、反射光あるいは、透過光と反射光を同時に用いて検査する装置でもよい。
101 対象物
102,104,106,108 光
200 照明光学系
201 光源
202 ビームエキスパンダ
204 分割レンズ
206 回転位相板
208 コリメータレンズ
210,310,312 照明スリット
212 照明レンズ
214 偏光ビームスプリッタ
216 λ/4板
218 対物レンズ
220 結像レンズ
222 ビームスプリッタ
230,240 検出スリット
252,254 光量センサ
260 演算回路
Claims (2)
- 光源を有し、前記光源から発せられた光を対象物面に照明する照明光学系と、
前記対象物に前記照明光学系からの照明光を照明して、前記対象物からの反射光を集光する対物レンズと、
前記対物レンズを通過した前記反射光を結像する結像光学系と、
前記対象物と共役な、前記照明光学系内の点に設置した複数の長方形開口部が形成された照明スリットと、
結像光学系内において光線を2つに分岐するビームスプリッタと、
前記2つに分岐された光線の一方の結像点より前に設置された複数の長方形開口部が形成された前側検出スリットと、
前記2つに分岐された光線の他方の結像点より後に設置された複数の長方形開口部が形成された後側検出スリットと、
前記前側検出スリットの複数の長方形開口部を通過したそれぞれの透過光をそれぞれ独立に受光する複数の前側検出光量センサと、
前記後側検出スリットの複数の長方形開口部を通過したそれぞれの透過光をそれぞれ独立に受光する複数の後側検出光量センサと、
演算回路部と、を少なくとも備え、
前記照明スリットの複数の長方形開口部は、互いに重ならず、いずれも異なる角度になるように形成され、
前記前側検出スリット及び前記後側検出スリットの複数の長方形開口部は、互いに重ならず、前記照明スリットの複数の長方形開口部と同じ角度になるように形成され、
前記前側検出スリット及び前記後側検出スリットの各長方形開口部の短辺方向の長さは、前記照明スリットの各長方形開口部の短辺方向の長さより短く、
前記演算回路部は、前記複数の前側検出光量センサの各センサ出力値及び前記複数の後側検出光量センサの各センサ出力値のうち、同じ角度の長方形開口部の透過光のセンサ出力値同士の和を演算して長方形開口部の角度ごとに光量信号を算出し、
前記演算回路部は、長方形開口部の角度ごとに算出された各光量信号のうち、光量信号が最大値になる角度の長方形開口部に対応する前側検出光量センサのセンサ出力値と後側検出光量センサのセンサ出力値とを用いて演算することにより前記対象物高さを検出することを特徴とする高さ検出装置。 - 前記照明スリット、前記前側検出スリット及び前記後側検出スリットは、4つの長方形開口部が形成され、
前記4つの長方形開口部のうちいずれか1つの長方形開口部を基準として
、残りの3つの長方形開口部の角度は、前記基準となる長方形開口部に対し、それぞれ4
5度、90度、135度ずれていること特徴とする請求項1記載の高さ検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010138006A JP5248551B2 (ja) | 2010-06-17 | 2010-06-17 | 高さ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010138006A JP5248551B2 (ja) | 2010-06-17 | 2010-06-17 | 高さ検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012002670A JP2012002670A (ja) | 2012-01-05 |
JP5248551B2 true JP5248551B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=45534819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010138006A Active JP5248551B2 (ja) | 2010-06-17 | 2010-06-17 | 高さ検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5248551B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5674050B2 (ja) * | 2012-08-28 | 2015-02-18 | 横河電機株式会社 | 光学式変位計 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3908079A (en) * | 1974-02-15 | 1975-09-23 | Gen Electric | Surface roughness measurement instrument |
JPS63298034A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Ricoh Co Ltd | 欠陥検出装置 |
EP0485803B1 (de) * | 1990-11-10 | 1996-05-01 | Grosskopf, Rudolf, Dr.-Ing. | Optische Abtastvorrichtung mit konfokalem Strahlengang, in der Lichtquellen- und Detektormatrix verwendet werden |
JP3186799B2 (ja) * | 1991-09-17 | 2001-07-11 | 興和株式会社 | 立体形状測定装置 |
JP2783070B2 (ja) * | 1992-07-28 | 1998-08-06 | 日本電気株式会社 | 光ヘッド装置のピンホール板及びメインビーム検出器 |
JPH0675169A (ja) * | 1992-08-27 | 1994-03-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レーザ顕微鏡 |
JPH07106243A (ja) * | 1993-03-15 | 1995-04-21 | Nikon Corp | 水平位置検出装置 |
JPH07128025A (ja) * | 1993-11-08 | 1995-05-19 | Omron Corp | レーザ走査式高さ測定装置 |
JPH08340475A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式角度検出装置 |
JP3438855B2 (ja) * | 1997-01-23 | 2003-08-18 | 横河電機株式会社 | 共焦点装置 |
JP3414975B2 (ja) * | 1997-03-06 | 2003-06-09 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 位置ずれ量測定装置 |
JP3661353B2 (ja) * | 1997-06-16 | 2005-06-15 | 横河電機株式会社 | 共焦点顕微鏡 |
JPH1123953A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-01-29 | Nikon Corp | 焦点検出装置を備えた顕微鏡および変位計測装置 |
JP2000275027A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | スリット共焦点顕微鏡とそれを用いた表面形状計測装置 |
JP3736213B2 (ja) * | 1999-07-15 | 2006-01-18 | 横河電機株式会社 | 共焦点光スキャナ |
JP3685667B2 (ja) * | 1999-10-27 | 2005-08-24 | 株式会社日立製作所 | 立体形状検出方法及び装置、並びに検査方法及び装置 |
JP3631069B2 (ja) * | 1999-11-12 | 2005-03-23 | 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社 | ディスク表面欠陥検査装置 |
JP4519987B2 (ja) * | 2000-04-13 | 2010-08-04 | オリンパス株式会社 | 焦点検出装置 |
JP2001304838A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Fujitsu Ltd | 表面検査装置及び表面検査方法 |
JP2003247817A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-05 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | リニアスキャン型共焦点表面形状計測装置 |
US7092093B2 (en) * | 2002-03-07 | 2006-08-15 | Takaoka Electric Mfg. Co., Ltd. | Polarization bearing detection type two-dimensional light reception timing detecting device and surface form measuring device using the same |
JP2004037317A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | Murata Mfg Co Ltd | 三次元形状測定方法、三次元形状測定装置 |
JP3708929B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2005-10-19 | 株式会社東芝 | パターン欠陥検査方法及びパターン欠陥検査装置 |
JP2004309514A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-11-04 | Pulstec Industrial Co Ltd | ピンホール素子および同素子を用いた光学装置 |
JP2005106797A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-04-21 | Univ Of Fukui | 測定装置、測定システムおよび測定方法 |
JP2005201672A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Nikon Corp | 面位置検出装置、露光装置及び露光方法 |
JP4829055B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2011-11-30 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 微小高さ測定方法及び微小高さ測定装置 |
JP4888127B2 (ja) * | 2007-01-17 | 2012-02-29 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 三次元測定装置及び携帯型計測器 |
JP2008215886A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Univ Of Fukui | 表面変位測定システム及び表面変位測定方法 |
JP4358872B2 (ja) * | 2007-03-19 | 2009-11-04 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | 高さ検出装置 |
-
2010
- 2010-06-17 JP JP2010138006A patent/JP5248551B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012002670A (ja) | 2012-01-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5248551 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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