JP5210354B2 - コイル、位置決めデバイス、アクチュエータ、及びリソグラフィ投影装置 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- シート状導電性材料の巻付ストリップを備える、プレーナモータ又はアクチュエータのコイルであって、
前記巻付ストリップが、
最外周の外側巻き線を含む1以上の外側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部外縁及び下部外縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、及び/又は、
最内周の内側巻き線を含む1以上の内側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部内縁及び下部内縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、を備え、
前記外側巻き線及び/又は前記内側巻き線が、前記丸い輪郭を獲得するために機械加工される、コイル。 - 前記外側巻き線及び/又は前記内側巻き線が、前記機械加工後に所定の処理によって絶縁特性が回復される、請求項1に記載のコイル。
- 前記巻付ストリップが実質的に円筒の形状を有し、前記外縁及び/又は前記内縁が前記円筒の形状の基部の外周長にて画定される、請求項1又は2に記載のコイル。
- 前記巻付ストリップの上側面及び/又は下側面は、冷却要素の平坦面が接触可能なように平坦に形成される、請求項1〜3のいずれかに記載のコイル。
- オブジェクトを位置決めし、固定子及びトランスレータを有するプレーナモータを備える位置決めデバイスであって、
前記固定子及び前記トランスレータの一方が周期的磁石構造を備え、前記固定子及び前記トランスレータの他方が、電流を伝えるコイルを備え、
前記コイルが、シート状導電性材料の巻付ストリップを備え、
前記巻付ストリップが、
最外周の外側巻き線を含む1以上の外側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部外縁及び下部外縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、及び/又は、
最内周の内側巻き線を含む1以上の内側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部内縁及び下部内縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、を備え、
前記外側巻き線及び/又は前記内側巻き線が、前記丸い輪郭を獲得するために機械加工される、位置決めデバイス。 - 前記プレーナモータが、前記コイルに隣接して前記コイルと熱接触する冷却要素をさらに備え、前記丸い輪郭が前記冷却要素に隣接して配置構成される、請求項5に記載の位置決めデバイス。
- 前記巻付ストリップの上側面及び/又は下側面は、前記冷却要素の平坦面が接触可能なように平坦に形成される、請求項6に記載の位置決めデバイス。
- コイルに電流が流れると2つの部分間に力を生成するアクチュエータであって、
前記コイルは、シート状導電性材料の巻付ストリップを備え、
前記巻付ストリップが、
最外周の外側巻き線を含む1以上の外側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部外縁及び下部外縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、及び/又は、
最内周の内側巻き線を含む1以上の内側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部内縁及び下部内縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、を備え、
前記外側巻き線及び/又は前記内側巻き線が、前記丸い輪郭を獲得するために機械加工される、アクチュエータ。 - 所望のパターンに従って投影ビームにパターンを与えて、パターン付きビームを形成するパターニング構造を支持するパターニングデバイス支持体と、
基板を保持する基板テーブルと、
前記パターン付きビームを前記基板のターゲット部分に投影する投影システムと、
前記支持構造及び前記基板テーブルのうち一方を位置決めする位置決めデバイスであって、固定子及びトランスレータを有するプレーナモータを備え、前記固定子及び前記トランスレータの一方が周期的磁石構造を備え、前記固定子及び前記トランスレータの他方が電流を伝えるコイルを備える前記位置決めデバイスと、を備え、
前記コイルが、シート状導電性材料の巻付ストリップを備え、
前記巻付ストリップが、
最外周の外側巻き線を含む1以上の外側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部外縁及び下部外縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、及び/又は、
最内周の内側巻き線を含む1以上の内側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部内縁及び下部内縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、を備え、
前記外側巻き線及び/又は前記内側巻き線が、前記丸い輪郭を獲得するために機械加工される、リソグラフィ投影装置。 - リソグラフィ投影装置であって、
所望のパターンに従って投影ビームにパターンを与えて、パターン付きビームを形成するパターニング構造を支持するパターニングデバイス支持体と、
基板を保持する基板テーブルと、
前記パターン付きビームを前記基板のターゲット部分に投影する投影システムと、
シート状導電性材料の巻付ストリップを備える自身のコイルに電流が流れると、前記リソグラフィ投影装置の2つのコンポーネント間に力を生成するアクチュエータと、を備え、
前記巻付ストリップが、
最外周の外側巻き線を含む1以上の外側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部外縁及び下部外縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、及び/又は、
最内周の内側巻き線を含む1以上の内側巻き線が寸法調整されることによって前記巻付ストリップの上部内縁及び下部内縁の少なくともいずれか一方が丸められて形成される丸い輪郭、を備え、
前記外側巻き線及び/又は前記内側巻き線が、前記丸い輪郭を獲得するために機械加工される、リソグラフィ投影装置。
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