JP7018384B2 - ローレンツアクチュエータ、オブジェクト位置決めシステム、リソグラフィ装置、及びローレンツアクチュエータ動作方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2015年8月27日出願の欧州出願第15182657.5号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
磁石アレンジメント(arrangement)、
コイルアレンジメント、
コイルアレンジメントに電流を供給するための電流コントローラ、
を備えるローレンツアクチュエータが提供され、
磁石アレンジメント及びコイルアレンジメントは、主方向に相互に関連して移動可能であり、
コイルアレンジメントは、電流コントローラによって別々に動作可能な第1のコイル部分及び第2のコイル部分を備え、
電流コントローラは、主方向に対して垂直な補助方向における寄生リラクタンス及び/又はローレンツ力を補償するために、第1のコイル部分に第1の電流を、及び第2のコイル部分に第2の電流を供給するように、並びに、第1の電流及び/又は第2の電流に位相差を適用するように、構成される。
磁石アレンジメント、
コイルアレンジメント、
コイルアレンジメントに電流を供給するための電流コントローラ、
を備えるローレンツアクチュエータが提供され、
磁石アレンジメント及びコイルアレンジメントは、主方向に相互に関連して移動可能であり、
アクチュエータは、補償コイルを介して電流を供給することによって磁石アレンジメントとコイルアレンジメントとの間に補助方向に力を印加するための、補償コイルを備え、
電流コントローラは、例えばスキャン方向などの主方向に対して垂直な補助方向の寄生リラクタンス及び/又はローレンツ力を補償するために、補償コイルを介して電流を供給するように構成される。
主方向のオブジェクトの所望の位置を表すセットポイントを生成するための、セットポイントジェネレータ、
主方向のオブジェクトの実際の位置を表す測定信号を出力するための、測定システム、
-本発明に従った、主方向にオブジェクトに力を印加するためのローレンツアクチュエータ、及び、
セットポイントと測定信号との差に依存して、ローレンツアクチュエータの、例えば電流増幅器を含む電流コントローラを制御するための、例えば位置決めコントローラなどの制御ユニット、
を備える、オブジェクト位置決めシステムが提供される。
放射ビームB(例えばUV放射又はEUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTa又はWTbと、
パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを備える。
1.ステップモードでは、放射ビームに付与されたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される間、支持構造MT及び基板テーブルWTa/WTbは本質的に定常に維持される(すなわち単一静的露光)。次いで基板テーブルWTa/WTbがX及び/又はY方向にシフトされるため、異なるターゲット部分Cを露光することができる。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズが単一静的露光で結像されるターゲット部分Cのサイズを限定する。
2.スキャンモードでは、放射ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影される間、支持構造MT及び基板テーブルWTa/WTbは同期的にスキャンされる(すなわち単一動的露光)。支持構造MTに対する基板テーブルWTa/WTbの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特徴によって決定され得る。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズが単一動的露光におけるターゲット部分の幅(非スキャニング方向)を限定する一方で、スキャニングモーションの長さがターゲット部分の高さ(スキャニング方向)を決定する。
3.他のモードでは、支持構造MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持しながら本質的に定常に維持され、放射ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影される間、基板テーブルWTa/WTbは移動又はスキャンされる。このモードでは、一般にパルス放射源が使用され、プログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTa/WTbの各動きの後、又はスキャン中の連続する放射パルス間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述のようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用可能である。
Claims (9)
- 磁石配置と、
コイル配置と、
前記コイル配置に電流を供給するための電流コントローラと、
を備えるローレンツアクチュエータであって、
前記磁石配置または前記コイル配置は、主方向に互いに対して移動可能であり、
前記コイル配置は、前記電流コントローラによって別々に動作可能な第1のコイル部分及び第2のコイル部分を備え、
前記電流コントローラは、前記磁石配置の上面に対して垂直な補助方向における寄生リラクタンス力及び/又は寄生ローレンツ力を補償するために、前記第1のコイル部分に第1の電流を、及び前記第2のコイル部分に第2の電流を供給して、前記第1の電流と前記第2の電流との間の位相差を適用するように構成され、
前記電流コントローラは、前記磁石配置の上面に対して垂直な補助方向における前記磁石配置に関連した前記コイル配置の、測定された位置と所望の位置との差に基づいて、前記第1及び第2のコイル部分に供給される前記第1の電流と第2の電流との間の前記位相差を決定するように構成される、
ローレンツアクチュエータ。 - 前記第1のコイル部分及び前記第2のコイル部分は、前記第1のコイル部分及び前記第2のコイル部分にほぼ同じ前記電流が提供される時、前記主方向にほぼ同じローレンツ力を生成するように構成される、請求項1に記載のローレンツアクチュエータ。
- 前記磁石配置は静止しており、前記コイル配置は前記磁石配置に関連して移動可能である、請求項1に記載のローレンツアクチュエータ。
- 前記コイル配置は静止しており、前記磁石配置は前記コイル配置に関連して移動可能である、請求項1に記載のローレンツアクチュエータ。
- 前記磁石配置は、2つの平行面内に配置された複数の永久磁石を備え、前記コイル配置は、多相コイル配置を形成するために前記永久磁石の2つの平行面間で移動可能な複数のコイルを備え、前記多相コイル配置の各位相は、前記2つの平行面に対して垂直な前記補助方向に相互に隣り合って配置された2つのコイルを備え、一方のコイルは前記第1のコイル部分の一部であり、他方のコイルは前記第2のコイル部分の一部である、請求項3に記載のローレンツアクチュエータ。
- 前記コイル配置は、2つの平行面内に配置された複数のコイルを備え、前記磁石配置は、多相コイル配置を形成するために前記コイルの2つの平行面間で移動可能な複数の磁石を備え、前記多相コイル配置の各位相は2つのコイルを備え、一方のコイルは前記2つの平行面のうちの一方に配置され、前記第1のコイル部分の一部であり、他方のコイルは前記一方のコイルとは反対に前記2つの平行面のうちの他方に配置され、前記第2のコイル部分の一部である、請求項4に記載のローレンツアクチュエータ。
- オブジェクト位置決めシステムであって、
主方向および前記補助方向のオブジェクトの前記所望の位置を表すセットポイントを生成するための、セットポイントジェネレータ、
前記主方向および前記補助方向の前記オブジェクトの実際の位置を表す測定信号を出力するための、測定システム、
請求項1に記載の、前記主方向に前記オブジェクトに力を印加するためのローレンツアクチュエータ、及び、
セットポイントと測定信号との差に依存して、前記ローレンツアクチュエータの前記電流コントローラを制御するための制御ユニット、
を備える、オブジェクト位置決めシステム。 - 請求項7に記載のオブジェクト位置決めシステムを備える、リソグラフィ装置。
- 磁石配置及びコイル配置を備えるローレンツアクチュエータを動作させるための方法であって、前記コイル配置または磁石配置は主方向に互いに対して移動可能であり、前記コイル配置は第1のコイル部分及び第2のコイル部分を備え、前記方法は、前記磁石配置の上面に対して垂直な補助方向における寄生リラクタンス力及び/又は寄生ローレンツ力を補償するために、前記第1のコイル部分に第1の電流を、及び前記第2のコイル部分に第2の電流を供給して、前記第1の電流と前記第2の電流との間の位相差を適用するステップと、前記磁石配置の上面に対して垂直な補助方向における前記磁石配置に関連した前記コイル配置の、測定された位置と所望の位置との差に基づいて、前記第1及び第2のコイル部分に供給される前記第1の電流と第2の電流との間の前記位相差を決定するステップとを含む、方法。
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C13 | Notice of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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C13 | Notice of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
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C23 | Notice of termination of proceedings |
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C03 | Trial/appeal decision taken |
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C30A | Notification sent |
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