JP5147776B2 - 位置決めシステム、およびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
h1×F1=l1×F214−l2×F212
によって計算することができる。
Claims (11)
- サポートを位置決めするための位置決めシステムであって、
前記サポートに重力の方向に対して垂直な方向に作動力を加えるように構成された第1のアクチュエータと、
前記第1のアクチュエータに結合され、前記第1のアクチュエータによって生成された前記作動力に起因する反力を吸収するように配置された第1のバランスマスと、
前記サポート、前記第1のバランスマス、および前記第1のアクチュエータを移動可能に支持するベースフレームと、
重力の方向に平行な方向における前記第1のバランスマスと前記サポートとの質量中心の位置の違いに基づいて、前記第1のアクチュエータにより前記第1のバランスマスに加えられた前記作動力によって引き起こされた前記ベースフレームのトルクを補償するために前記ベースフレームに補償トルクを加えるための補償力を加えるように構築され配置された第2のアクチュエータと、
前記補償力を計算するコントローラと、
を備える位置決めシステム。 - 前記第1のアクチュエータが、磁石プレートおよびコイルシステムを含む平面モータである、
請求項1に記載の位置決めシステム。 - 前記磁石プレートが前記第1のバランスマスに設けられ、
前記コイルシステムが前記サポートに設けられる、
請求項2に記載の位置決めシステム。 - 前記第2のアクチュエータが、前記ベースフレームに連結された第2のバランスマスに前記補償力を加えるように構築され配置される、
請求項1から3いずれか1項に記載の位置決めシステム。 - 前記第2のアクチュエータが、前記ベースフレームと、前記ベースフレームを支持するグランドフロアとの間に前記補償力を加えるように構成される、
請求項1から3いずれか1項に記載の位置決めシステム。 - 前記第2のバランスマスが、前記補償トルクを加えるために前記第2のアクチュエータによって回転方向に作動されるように構成される、
請求項4に記載の位置決めシステム。 - 前記第2のバランスマスが前記ベースフレームから移動可能につり下げられ、
前記第2のアクチュエータが前記第2のバランスマスと前記ベースフレームとの間に前記補償力を加えるように構成される、
請求項4に記載の位置決めシステム。 - 前記コントローラが、前記第1のアクチュエータによって加えられた前記作動力を表す入力と、前記作動力に基づいて前記補償力を計算するように構築され配置された計算器とを含む、
請求項1から7いずれか1項に記載の位置決めシステム。 - 前記コントローラが、前記作動力の位置および方向に基づいた前記補償力と、前記補償力の位置および方向とを計算するように構築され配置される、
請求項1から8いずれか1項に記載の位置決めシステム。 - 前記重力の方向に対して垂直な方向は、実質的に水平面内にある、請求項1から9いずれか1項に記載の位置決めシステム。
- 放射ビームを調整するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構築されたパターニングデバイスサポートであって、パターン付き放射ビームを形成するために前記パターニングデバイスが前記放射ビームの断面にパターンを付与することができるパターニングデバイスサポートと、
基板を保持するように構築された基板サポートと、
前記基板のターゲット部分上に前記パターン付き放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
前記サポートのうちの少なくとも1つを位置決めするように構築され配置された位置決めシステムであって、
前記サポートに重力の方向に対して垂直な方向に作動力を加えるように構成された第1のアクチュエータと、
前記第1のアクチュエータに結合され、前記第1のアクチュエータによって生成された前記作動力に起因する反力を吸収するように配置された第1のバランスマスと、
前記サポート、前記第1のバランスマス、および前記第1のアクチュエータを移動可能に支持するベースフレームと、
重力の方向に平行な方向における前記第1のバランスマスと前記サポートとの質量中心の位置の違いに基づいて、前記第1のアクチュエータにより前記第1のバランスマスに加えられた前記作動力によって引き起こされた前記ベースフレームのトルクを補償するために前記ベースフレームに補償トルクを加えるための補償力を加えるように構築され配置された第2のアクチュエータと、
前記補償力を計算するコントローラと、
を含む位置決めシステムと、
を備えるリソグラフィ装置。
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