JP5206120B2 - 金属の分析方法および半導体ウェーハの製造方法 - Google Patents
金属の分析方法および半導体ウェーハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5206120B2 JP5206120B2 JP2008139934A JP2008139934A JP5206120B2 JP 5206120 B2 JP5206120 B2 JP 5206120B2 JP 2008139934 A JP2008139934 A JP 2008139934A JP 2008139934 A JP2008139934 A JP 2008139934A JP 5206120 B2 JP5206120 B2 JP 5206120B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- solution
- column
- complex
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 157
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 157
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 66
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 60
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 claims description 37
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 31
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 27
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 27
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 27
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 17
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 14
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 12
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 claims description 11
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims description 7
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 7
- QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N N,N-bis{2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl}glycine Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(=O)O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 6
- 229960003330 pentetic acid Drugs 0.000 claims description 6
- URDCARMUOSMFFI-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl-(2-hydroxyethyl)amino]acetic acid Chemical compound OCCN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O URDCARMUOSMFFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims description 5
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- FSVCELGFZIQNCK-UHFFFAOYSA-N N,N-bis(2-hydroxyethyl)glycine Chemical compound OCCN(CCO)CC(O)=O FSVCELGFZIQNCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JYXGIOKAKDAARW-UHFFFAOYSA-N N-(2-hydroxyethyl)iminodiacetic acid Chemical compound OCCN(CC(O)=O)CC(O)=O JYXGIOKAKDAARW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 4
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 3
- MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N nitrilotriacetic acid Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 104
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 37
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 18
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 17
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 17
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000001479 atomic absorption spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 230000009918 complex formation Effects 0.000 description 4
- 238000010206 sensitivity analysis Methods 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 229910021654 trace metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 239000012086 standard solution Substances 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 229920001429 chelating resin Polymers 0.000 description 2
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000004094 preconcentration Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 230000000536 complexating effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000586 desensitisation Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011491 glass wool Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- YTJSFYQNRXLOIC-UHFFFAOYSA-N octadecylsilane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[SiH3] YTJSFYQNRXLOIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002572 peristaltic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Description
[1]溶液中の金属濃度を分析する方法であって、
前記溶液は、分析対象の金属と錯体を形成し得るキレート剤を含み、但し、前記金属が含まれている場合、前記キレート剤は前記金属と錯体を形成し、
前記溶液を、前記錯体を捕獲し得る充填剤を含むカラムに通液する第一工程、
前記カラムに金属分離用溶液を通液する第二工程、および、
前記カラムを通過した金属分離用溶液中の分析対象の金属濃度を測定する第三工程、
を含み、
前記第一工程は、通液される溶液に前記錯体が含まれている場合に該錯体がカラム内に保持される条件で行われ、
前記第二工程は、第一工程においてカラム内に錯体が保持された場合に該錯体から金属が放出する条件で行われ、
前記金属濃度の測定は、誘導結合プラズマ質量分析法によって行われる、前記方法。
[2]前記金属は、Cu、Ni、Co、Mn、Zn、AlおよびFeからなる群から選ばれる少なくとも一種である[1]に記載の方法。
[3]前記金属は、Cuおよび/またはNiである[2]に記載の方法。
[4]前記充填剤は、有機材料からなる充填剤および/または表面が有機物処理された充填剤である[1]〜[3]のいずれかに記載の方法。
[5]前記充填剤は、C18シリカゲルおよび/またはポリスチレン非イオン物質重合吸着剤である[4]に記載の方法。
[6]前記キレート剤は、ジエチレントリアミン五酢酸、エチレンジアミン四酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、トリエチレントリアミン六酢酸、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸およびジヒドロキシエチルグリシンからなる群から選ばれる少なくとも一種である[1]〜[5]のいずれかに記載の方法。
[7]前記金属分離用溶液は、pH4以下の溶液である[1]〜[6]のいずれかに記載の方法。
[8]インゴットを所定の厚みにスライシングして半導体ウェーハを得ること、および、
得られた半導体ウェーハの表面をエッチング液を用いてエッチングすること、
を含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記エッチング液として、金属不純物量が所定量以下であると判定されたエッチング液を用い、かつ、
前記判定を、前記エッチング液の一部を採取し、採取した液を、[1]〜[7]のいずれかに記載の方法によって分析することによって行う、前記方法。
[9]インゴットを所定の厚みにスライシングして半導体ウェーハを得ること、および、
得られた半導体ウェーハの表面を研磨液により研磨すること、
を含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記研磨液として、金属不純物量が所定量以下であると判定された研磨液を用い、かつ、
前記判定を、前記研磨液の一部を採取し、採取した液を、[1]〜[7]のいずれかに記載の方法によって分析することによって行う、前記方法。
[10]インゴットを所定の厚みにスライシングして半導体ウェーハを得ること、および、
得られた半導体ウェーハの表面を洗浄液により洗浄すること、
を含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記洗浄液として、金属不純物量が所定量以下であると判定された洗浄液を用い、かつ、
前記判定を、前記洗浄液の一部を採取し、採取した液を、[1]〜[7]のいずれかに記載の方法によって分析することによって行う、前記方法。
更に、本発明によれば、処理液中の金属不純物濃度を高感度分析し、汚染の少ない処理液を用いてウェーハ処理を行うことにより、高品質ウェーハを提供することができる。
本発明は、溶液中の金属濃度を分析する方法に関する。下記分析方法IIは、参考態様である。
溶液中の金属濃度を分析する方法であって、
前記溶液は、分析対象の金属と錯体を形成し得るキレート剤を含み、但し、前記金属が含まれている場合、前記キレート剤の少なくとも一部は前記金属と錯体を形成し、
前記溶液を、前記錯体を捕獲し得る充填剤を含むカラムに通液する第一工程、
前記カラムに金属分離用溶液を通液する第二工程、および、
前記カラムを通過した金属分離用溶液中の分析対象の金属濃度を測定する第三工程、
を含み、
前記第一工程は、通液される溶液に前記錯体が含まれている場合に該錯体の少なくとも一部がカラム内に保持される条件で行われ、
前記第二工程は、第一工程においてカラム内に錯体が保持された場合に該錯体の少なくとも一部から金属が放出する条件で行われる。
溶液中の金属濃度を分析する方法であって、
前記溶液を、分析対象の金属と錯体を形成し得るキレート剤および前記錯体を捕獲し得る充填剤を含むカラムに通液する第一工程、
前記カラムに金属分離用溶液を通液する第二工程、および、
前記カラムを通過した金属分離用溶液中の分析対象の金属濃度を測定する第三工程、
を含み、
前記第一工程は、通液される溶液に分析対象の金属が含まれている場合に前記金属が前記キレート剤と錯体を形成するとともに、形成された錯体の少なくとも一部がカラム内に保持される条件で行われ、
前記第二工程は、第一工程においてカラム内に錯体が保持された場合に該錯体の少なくとも一部から金属が放出する条件で行われる。
(1)近年エッチング液として使用されているKOH、NaOH溶液や研磨剤スラリーには、Na、K、SiO2等の主成分であるマトリックスが多量に含まれる。そのため、マトリックスの影響を受けずに上記微量成分を分析するためには処理液を希釈する必要がある。しかし、希釈すると液中の微量金属成分量は検出限界(detection limit)以下となってしまうため、定量できなくなる。
(2)マトリックスを除くためにイオン交換樹脂や溶媒抽出による前処理を行うと、ブランクレベルが悪くなったり、マトリックスを完全に取り除くことができないという問題がある。
(3)仮にマトリックスを除去できたとしても、Fe、Al等の比較的多量に含まれる金属不純物が液中に残留していると、分析装置内に分析対象の金属とともにそれら金属不純物も導入され、それら金属により装置の検出感度が悪くなり分析対象の金属(特に微量金属)の定量に悪影響を与えるという問題がある。更に、同一装置を使用して新たにFe、Al等の金属を測定する場合に装置にメモリーが残り正確な分析が困難になるという問題もある。
しかし、近年、Cu、Ni等の微量成分によって半導体ウェーハが汚染されると、デバイス特性に悪影響を与えることが問題となっている。そのため、上記微量成分を高感度に分析し得る手段が求められていた。
以下に、第一、第二、第三工程の詳細を順次説明する。
(1)分析方法I
分析方法Iでは、分析対象の金属と錯体を形成し得るキレート剤を含む溶液を、該錯体を捕獲し得る充填剤を含むカラムに通液する。試料溶液が前記キレート剤を含む場合は、該溶液をそのままカラム内に導入してもよく、または、更にキレート剤を添加した後にカラム内に導入してもよい。一方、試料溶液がキレート剤を含まない場合は、適量のキレート剤を添加した後にカラム内に導入すればよい。
分析方法IIでは、分析対象の金属と錯体を形成し得るキレート剤と、前記錯体を捕獲し得る充填剤を含むカラム内へ試料溶液を導入する。この工程は、前記溶液に分析対象の金属が含まれている場合、前記金属が前記キレート剤と錯体を形成するとともに、形成された錯体の少なくとも一部がカラム内に保持される条件で行われる。これにより、溶液中に分析対象の金属が含まれている場合、その金属を錯体の状態でカラム内に捕獲することができる。
前記第一工程は、分析対象の金属を予備濃縮するとともにマトリックスを除去するために行われる工程である。そして、第二工程は、第一工程後のカラムに金属分離用溶液を通液することにより、カラム内に錯体が保持されている場合、その錯体を破壊し金属を放出させる工程である。これにより、分析対象の金属を金属分離用溶液中に選択的に捕集することができるため、その後この溶液中の分析対象金属の濃度を測定すれば、試料溶液中の金属濃度を分析することができる。
本工程は、第二工程後の金属分離用溶液中の分析対象の金属の濃度を測定する工程である。試料溶液中に分析対象金属が含まれている場合、その金属は第一工程においてカラム内に錯体の状態で捕獲されているため、この金属を金属分離用溶液に捕集し、定量することにより、試料溶液中の分析対象金属濃度を分析することができる。特に、第一および第二工程を、錯体形成と錯体破壊が良好に進行する条件において行えば、金属分離用溶液中の分析対象金属濃度と試料溶液中の分析対象金属濃度は同一とみなすことができる。
また、本発明では、インリッチアイソトープ(Enriched isotope)を含む標準溶液を内部標準(internal standard)として使用することも可能である。Niは、58Ni、60Ni、61Ni、62Ni、64Niが存在する。また、Cuは、63Cu、65Cuが存在する。例えば、天然とは異なる組成で60Niまたは65Cu(スパイク)を含む標準溶液を試料溶液へ添加して前記分析を行い、下記式(1)により、試料溶液中のNi、Cu濃度を求めることができる。この方法によれば、カラム内に保持されたすべての錯体から金属を放出させなくても、目的金属を定量することができる。
C=MsK/V×(As-BsRm)/(BRm-A) ・・・(1)
[C:60Niまたは65Cu濃度(pg/ml)、Ms:安定同位体のスパイクの質量(pg)、V:同位体スパイクを加えた試料量 (ml)、A:リファレンス同位体の天然存在量、B:スパイク同位体の天然存在量、As:スパイク中リファレンス同位体の存在量、Bs:スパイク中スパイク同位体存在量、K:天然とスパイク原子量の比、Rm:測定した比率(リファレンス同位体/スパイク同位体)]
更に、本発明は、半導体ウェーハの製造方法に関する。本発明の半導体ウェーハの製造方法は、以下の3つの態様を含む。
エッチング液を用いて表面をエッチングすることを含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記エッチング液として、金属不純物量が所定量以下であると判定されたエッチング液を用い、かつ、
前記判定を、前記エッチング液の一部を採取し、採取した液を、本発明の分析方法によって分析することによって行う。
研磨液により表面を研磨することを含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記研磨液として、金属不純物量が所定量以下であると判定された研磨液を用い、かつ、
前記判定を、前記研磨液の一部を採取し、採取した液を、本発明の分析方法によって分析することによって行う。
洗浄液により表面を洗浄することを含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記洗浄液として、金属不純物量が所定量以下であると判定された洗浄液を用い、かつ、
前記判定を、前記洗浄液の一部を採取し、採取した液を、本発明の分析方法によって分析することによって行う。
以下、製造方法I、II、IIIを併せて本発明の製造方法ということもある。
図1に示すオンラインICP-MS装置を用いて、1ppbのCu、Niを標準添加したKOH溶液中のCu、Ni濃度の分析を行った。カラムは、長さ15mm、内径2mmであり、その中にC18-bonded silica gel(ミリポア(Millpore)製)を30gおよびキレート剤(DTPA)を10mg充填した。カラムの両側にガラスウールを詰めテフロン(登録商標)チューブの管を付けた。
図1に示すカラムに純水で10倍希釈したKOH溶液を10ml/minの速度で通液させた。このとき、バルブ1を試料溶液側、バルブ2をドレイン側として試料溶液がカラムに導入され、カラムから排出された液が排液管に流れるように設定した。なお、通液速度は、ペリスタックポンプの回転速さおよびチューブの太さによって調整することができる。
次いで、バルブ1を切り替えて、カラム内のKOHを除去するために1〜5ml程度の純水をカラムに通液させた。その後、錯体を破壊し金属を放出させるためにpH1のHNO3を50〜100μl、またはpH2のHNO3を100〜500μlカラムに通液した。バルブ2を切り替えてカラム通過後の溶液をICP-MSに導入した。pH1のHNO3を用いた場合、pH2のHNO3を用いた場合のクロマトグラムの概略を図2に示す。
また、試料溶液に5ppb、10ppbのCu、Niを標準添加して同様の分析を5回行った結果も併せて表1に示す。
Claims (10)
- 溶液中の金属濃度を分析する方法であって、
前記溶液は、分析対象の金属と錯体を形成し得るキレート剤を含み、但し、前記金属が含まれている場合、前記キレート剤は前記金属と錯体を形成し、
前記溶液を、前記錯体を捕獲し得る充填剤を含むカラムに通液する第一工程、
前記カラムに金属分離用溶液を通液する第二工程、および、
前記カラムを通過した金属分離用溶液中の分析対象の金属濃度を測定する第三工程、
を含み、
前記第一工程は、通液される溶液に前記錯体が含まれている場合に該錯体がカラム内に保持される条件で行われ、
前記第二工程は、第一工程においてカラム内に錯体が保持された場合に該錯体から金属が放出する条件で行われ、
前記金属濃度の測定は、誘導結合プラズマ質量分析法によって行われる、前記方法。 - 前記金属は、Cu、Ni、Co、Mn、Zn、AlおよびFeからなる群から選ばれる少なくとも一種である請求項1に記載の方法。
- 前記金属は、Cuおよび/またはNiである請求項2に記載の方法。
- 前記充填剤は、有機材料からなる充填剤および/または表面が有機物処理された充填剤である請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記充填剤は、C18シリカゲルおよび/またはポリスチレン非イオン物質重合吸着剤である請求項4に記載の方法。
- 前記キレート剤は、ジエチレントリアミン五酢酸、エチレンジアミン四酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、トリエチレントリアミン六酢酸、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸およびジヒドロキシエチルグリシンからなる群から選ばれる少なくとも一種である請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属分離用溶液は、pH4以下の溶液である請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- インゴットを所定の厚みにスライシングして半導体ウェーハを得ること、および、
得られた半導体ウェーハの表面をエッチング液を用いてエッチングすること、
を含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記エッチング液として、金属不純物量が所定量以下であると判定されたエッチング液を用い、かつ、
前記判定を、前記エッチング液の一部を採取し、採取した液を、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法によって分析することによって行う、前記方法。 - インゴットを所定の厚みにスライシングして半導体ウェーハを得ること、および、
得られた半導体ウェーハの表面を研磨液により研磨すること、
を含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記研磨液として、金属不純物量が所定量以下であると判定された研磨液を用い、かつ、
前記判定を、前記研磨液の一部を採取し、採取した液を、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法によって分析することによって行う、前記方法。 - インゴットを所定の厚みにスライシングして半導体ウェーハを得ること、および、
得られた半導体ウェーハの表面を洗浄液により洗浄すること、
を含む半導体ウェーハの製造方法であって、
前記洗浄液として、金属不純物量が所定量以下であると判定された洗浄液を用い、かつ、
前記判定を、前記洗浄液の一部を採取し、採取した液を、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法によって分析することによって行う、前記方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008139934A JP5206120B2 (ja) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | 金属の分析方法および半導体ウェーハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008139934A JP5206120B2 (ja) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | 金属の分析方法および半導体ウェーハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009288021A JP2009288021A (ja) | 2009-12-10 |
JP5206120B2 true JP5206120B2 (ja) | 2013-06-12 |
Family
ID=41457385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008139934A Active JP5206120B2 (ja) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | 金属の分析方法および半導体ウェーハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5206120B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6134892B2 (ja) * | 2012-07-26 | 2017-05-31 | 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 | シリカ/ポリマー複合型イミノ二酢酸系キレート吸着材の製造方法及びシリカ/ポリマー複合型イミノ二酢酸系キレート吸着材を用いた定量分析法、微量金属元素の回収方法 |
EP2905618A1 (en) | 2014-02-05 | 2015-08-12 | Roche Diagnostics GmbH | Use of rare metals as key components |
JP2016039241A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 株式会社Joled | 薄膜トランジスタ素子の製造方法、有機el表示パネルの製造方法、エッチング装置及びウェットエッチング方法 |
JP6626686B2 (ja) * | 2015-10-27 | 2019-12-25 | 三菱重工エンジニアリング株式会社 | 酸性ガス回収方法及びシステム並びに鉄イオン分析方法及びシステム |
JP7134618B2 (ja) * | 2017-10-31 | 2022-09-12 | 三菱重工エンジニアリング株式会社 | 酸性ガス回収方法及びシステム |
JP7367602B2 (ja) | 2020-04-24 | 2023-10-24 | 三浦工業株式会社 | 定量方法 |
JP2022062815A (ja) * | 2020-10-09 | 2022-04-21 | 三菱重工エンジニアリング株式会社 | 分析システム及び管理システム、並びに分析方法、並びに分析プログラム |
JPWO2023013672A1 (ja) * | 2021-08-04 | 2023-02-09 | ||
CN113960155A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-01-21 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 用于检测抛光液中的金属杂质的方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0695074B2 (ja) * | 1992-03-10 | 1994-11-24 | 紀本電子工業株式会社 | 水中の微量鉄またはマンガンの分析装置 |
JP4565247B2 (ja) * | 2000-08-23 | 2010-10-20 | 学校法人日本大学 | 高速液体クロマトグラフィーシステム |
JP4591851B2 (ja) * | 2005-03-10 | 2010-12-01 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 半導体研磨スラリー中の金属の定量方法 |
-
2008
- 2008-05-28 JP JP2008139934A patent/JP5206120B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009288021A (ja) | 2009-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5206120B2 (ja) | 金属の分析方法および半導体ウェーハの製造方法 | |
JP4591851B2 (ja) | 半導体研磨スラリー中の金属の定量方法 | |
JP2001516968A (ja) | 半導体チップを製造する際の洗浄および水回収プロセスの効率を向上させるための蛍光測定法 | |
SG189051A1 (en) | Refining method for alkaline treatment fluid for semiconductor substrate and refining device | |
US7297547B2 (en) | Analysis of metals in acidic solutions | |
JP4512605B2 (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析装置を用いた微量不純物元素の定量方法 | |
JP2003021619A (ja) | 蛍石及びその分析法、製造法、光学特性評価法 | |
Benkhedda et al. | Hyphenation of flow injection on-line preconcentration and ICP-MS for the rapid determination of 226 Ra in natural waters | |
US20120077290A1 (en) | Method of etching surface layer portion of silicon wafer and method of analyzing metal contamination of silicon wafer | |
JP4450117B2 (ja) | シリコン基板洗浄用超純水の水質評価方法 | |
JP2001153854A (ja) | 不純物濃度モニター方法およびシステム | |
JP2001242052A (ja) | 半導体基板又は薬品の不純物分析方法 | |
JP4760458B2 (ja) | 半導体ウェーハ収納容器の金属汚染分析方法 | |
JP4877897B2 (ja) | シリコンウェハの不純物の除去方法及び分析方法 | |
CN106876295A (zh) | 一种硅片片盒内金属含量测试的方法 | |
JP2018173394A (ja) | 前処理機能を有する元素分析装置および元素分析方法 | |
JP2888957B2 (ja) | 水評価方法、純水製造方法及びその装置 | |
JP2008145384A (ja) | イオン交換樹脂の評価方法 | |
CN101084426A (zh) | 酸性溶液内金属的分析 | |
US6146909A (en) | Detecting trace levels of copper | |
JP4442722B2 (ja) | キレート剤添加装置、キレート剤添加方法、ウェーハ研磨システム及びウェーハ研磨方法 | |
JP7303662B2 (ja) | 多結晶シリコン塊表面の金属不純物分析方法 | |
JPH11345849A (ja) | 半導体ウエ―ハにおける金属汚染の評価方法、及び半導体ウエ―ハ | |
JP3584308B2 (ja) | 超純水製造用イオン吸着膜の破過モニタリング方法 | |
JP2002040008A (ja) | 並列型分離分析装置及び分析方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120424 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120614 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120807 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121031 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20121107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121211 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130204 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160301 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5206120 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |