JP5197122B2 - トレンチ金属酸化物半導体 - Google Patents
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Description
要約すると、本明細書は、少なくとも以下に記載する広い概念を開示している。
複数の第1のトレンチが形成され、前記第1のトレンチ内に導電性材料が堆積されている基板と、
ソース金属層と、を含み、
前記TMBSデバイスは、活性領域を有し、当該活性領域内において、前記ソース金属層は、前記基板と電気的に接触するが、前記第1のトレンチ内に配置された前記導電性材料から絶縁されており、前記第1のトレンチ内の前記導電性材料は、前記TMBSデバイスの前記活性領域外にあるコンタクトに電気的に結合されている、半導体装置。
前記基板内に形成され、内部に前記導電性材料が配置された複数の第2のトレンチと、
各第2のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって前記第2のトレンチ内の前記導電性材料から分離されたソース・インプラントと、を含み、
前記MOSFETは、活性領域を有し、当該活性領域では、前記ソース金属層が前記第2のトレンチを覆って配置されるとともに、前記第2のトレンチ間の前記基板中に形成されたpボディ・インプラントと電気的に接触しており、
前記第2のトレンチ内の前記導電性材料とゲート金属との電気コンタクトは、前記MOSFETの前記活性領域外で行なわれる、概念8に記載の半導体装置。
メサによって分離されており、第1の高さの側壁を有する複数の第1のトレンチを形成する工程;
前記第1のトレンチ内に、前記第1の高さ未満の高さまで導電性材料を堆積する工程;
前記導電性材料を覆って絶縁材料からなる層を形成する工程;
前記第1のトレンチおよび前記メサを包含する第1の領域を覆ってソース金属層を形成する工程であって、前記第1の領域内では、前記ソース金属層は、前記絶縁材料によって前記導電性材料から分離されており;
前記ソース金属層と前記第1のトレンチ内の前記導電性材料との間の第1の電気コンタクトを形成する工程であって、前記第1の電気コンタクトは、前記第1の領域の外にある;
を含む方法。
前記メサおよび前記第1のトレンチを覆って誘電体層を形成する工程;
前記ソース金属層がその後で形成された時に、当該ソース金属層が前記メサと接触するように、前記誘電体層の部分をエッチング除去し、前記メサを露出させる工程であって、前記エッチングが行われた後、前記絶縁材料は、前記導電性材料を覆って残っている;
をさらに含む、概念10に記載の方法。
前記第2のトレンチ間にpボディ・インプラントを形成する工程であって、前記ソース金属層は、前記第2のトレンチおよび前記pボディ・インプラントを含む第2の領域を覆って配置されており;
各第2のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって前記第2のトレンチ内の前記導電性材料からは分離されているソース・インプラントを形成する工程;
前記第2のトレンチ内の前記導電性材料とゲート金属との間の第2の電気コンタクトを形成する工程であって、前記第2の電気コンタクトは、前記第2の領域外にある;
をさらに含む、概念14に記載の方法。
第1の高さの側壁を有する複数のメサが形成された基板と、
前記メサ間に位置する複数の第1のトレンチ内に配置され、前記第1のトレンチを前記第1の高さ未満の第2の高さまで充填する導電性材料と、
前記基板から、および前記メサおよび前記第1のトレンチを覆って配置されたソース金属層から、前記導電性材料を分離する絶縁材料と、を含み、
前記TMBSデバイスの活性領域内では、前記ソース金属層は、前記メサと電気接触しており、前記第1のトレンチ内の前記導電性材料と前記ソース金属層との電気コンタクトは、前記TMBSデバイスの前記活性領域外で行なわれる、半導体装置。
前記MOSFETの活性領域内では、前記ソース金属層は、前記第2のトレンチを覆って、および前記第2のトレンチ間の前記基板中に形成されたpボディ・インプラントを覆って配置されており、前記第2のトレンチ内の前記導電性材料と、ゲート金属との電気コンタクトは、前記MOSFETの前記活性領域外で行なわれ、前記ソース金属層は、前記pボディ・インプラントと電気接触するが、前記第2のトレンチ内の前記導電性材料と電気接触しない、概念18に記載の半導体装置。
Claims (12)
- トレンチ金属酸化物半導体(MOS)バリアショットキー(TMBS)デバイスを含む半導体装置であって、前記TMBSデバイスは、
複数の第1のトレンチが形成され、前記第1のトレンチ内に導電性材料が堆積されている基板を含み、
前記TMBSデバイスは、
前記複数の第1のトレンチ間の領域を含む活性領域と、
前記活性領域及び前記複数の第1のトレンチを覆うように形成されたソース金属層であって、当該活性領域内において、前記ソース金属層は、前記基板と電気的に接触するが、前記第1のトレンチ内に堆積された前記導電性材料から絶縁されており、前記第1のトレンチ内の前記導電性材料は、前記TMBSデバイスの前記活性領域外にある第1のコンタクトに電気的に結合されている、ソース金属層と、
前記基板および前記ソース金属層から前記導電性材料を分離する絶縁材料と、を有し、
前記半導体装置は、MOSFETをさらに含み、当該MOSFETおよび前記TMBSデバイスは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成しており、
前記MOSFETは、
前記基板内に形成され、内部に導電性材料が堆積された複数の第2のトレンチと、
各第2のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって前記第2のトレンチ内の前記導電性材料から分離されたソース・インプラントと、を含み、
前記MOSFETは、活性領域を有し、当該活性領域では、前記ソース金属層が前記第2のトレンチを覆って堆積されるとともに、前記第2のトレンチ間で前記基板中に形成されたpボディ・インプラントと電気的に接触しており、
前記第2のトレンチ内の前記導電性材料とゲート金属との第2のコンタクトは、前記MOSFETの前記活性領域外で行なわれ、
前記半導体装置は、さらに、前記第2のトレンチを覆って堆積されるが、ギャップによって分離されており、前記ソース金属層と前記pボディ・インプラントとの前記電気接触を許容する誘電体層をさらに含み、前記誘電体層は、テトラエチルオルトシリケート(TEOS)の層およびボロンリンシリケートガラス(BPSG)の層を含む誘電体スタックを含んでいる、半導体装置。 - 前記TMBSデバイスの前記活性領域は、前記複数の第1のトレンチ間に形成された複数のメサを含み、前記メサは、第1の高さの側壁を有しており、前記導電性材料は、前記第1のトレンチを前記第1の高さ未満の第2の高さまで充填している、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記導電性材料は、前記基板内を、前記メサを越えてある距離だけ延出しており、前記導電性材料は、前記TMBSデバイスの前記活性領域外で前記第1のコンタクトまで延出している、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含む、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記基板は、p型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含む、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、請求項1に記載の半導体装置。
- トレンチ金属酸化物半導体(MOS)バリアショットキー(TMBS)デバイスを含む半導体装置を製造する方法であって、
基板に複数の第1のトレンチを形成する工程であって、前記複数の第1のトレンチはメサによって分離されており、第1の高さの側壁を有している、工程と、
前記第1のトレンチ内に、前記第1の高さ未満の高さまで導電性材料を堆積する工程と、
前記導電性材料を覆って絶縁材料からなる層を形成する工程と、
前記メサおよび前記第1のトレンチを覆って誘電体層を形成する工程であって、前記誘電体層は、テトラエチルオルトシリケート(TEOS)の層およびボロンリンシリケートガラス(BPSG)の層を含む誘電体スタックを含む、工程と、
前記第1のトレンチおよび前記メサを包含する第1の領域を覆ってソース金属層を形成する工程であって、前記第1の領域内では、前記ソース金属層は、前記絶縁材料によって前記第1のトレンチ内の前記導電性材料から分離されている、工程と、
前記ソース金属層が前記メサと接触するように、前記誘電体層の部分をエッチング除去し、前記メサを露出させる工程であって、当該エッチングが行われた後、前記絶縁材料は、前記導電性材料を覆って残っている、工程と、
前記ソース金属層と前記第1のトレンチ内の前記導電性材料との間の第1のコンタクトを形成する工程であって、前記第1のコンタクトは、前記第1の領域の外にある、工程と、
を含み、
前記半導体装置は、前記基板上に形成されたMOSFETをさらに含み、当該MOSFETおよび前記TMBSは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成しており、前記方法はさらに、
前記基板内に複数の第2のトレンチを形成する工程であって、導電性材料が前記第2のトレンチ内に堆積されている、工程と、
前記第2のトレンチ間にpボディ・インプラントを形成する工程であって、前記ソース金属層は、前記第2のトレンチおよび前記pボディ・インプラントを含む第2の領域を覆って堆積されている、工程と、
各第2のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって前記第2のトレンチ内の前記導電性材料からは分離されているソース・インプラントを形成する工程と、
前記第2のトレンチ内の前記導電性材料とゲート金属との間の第2のコンタクトを形成する工程であって、前記第2のコンタクトは、前記第2の領域外にある、工程と、
を含む方法。 - 前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含み、前記基板は、p型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含み、前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、請求項7に記載の方法。
- トレンチ金属酸化物半導体(MOS)バリアショットキー(TMBS)デバイスを含む半導体装置であって、前記TMBSデバイスは、
第1の高さの側壁を有する複数のメサが形成された基板と、
前記メサ間に位置する複数の第1のトレンチ内に堆積され、前記第1のトレンチを前記第1の高さ未満の第2の高さまで充填する導電性材料と、
前記基板から、および前記メサおよび前記第1のトレンチを覆って堆積されたソース金属層から、前記第1のトレンチ内の前記導電性材料を分離する絶縁材料と、を含み、
前記TMBSデバイスの活性領域内では、前記ソース金属層は、前記メサと電気接触しており、前記TMBSデバイスの前記活性領域は、前記第1のトレンチ間の領域を含み、前記第1のトレンチ内の前記導電性材料と前記ソース金属層との電気接触は、前記TMBSデバイスの前記活性領域外で行なわれ、
前記半導体装置は、前記基板上に形成されたMOSFETをさらに含み、当該MOSFETおよび前記TMBSデバイスは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成しており、
前記MOSFETは、前記基板内に形成されており、内部に堆積された導電性材料を有する複数の第2のトレンチを含み、前記MOSFETの活性領域内では、前記ソース金属層は、前記第2のトレンチおよび前記第2のトレンチ間で前記基板中に形成されたpボディ・インプラントを覆って堆積されており、前記第2のトレンチ内の前記導電性材料と、ゲート金属と、の電気接触は、前記MOSFETの前記活性領域外で行なわれ、前記ソース金属層は、前記pボディ・インプラントと電気接触するが、前記第2のトレンチ内の前記導電性材料と電気接触しておらず、
前記半導体装置は、さらに、前記第2のトレンチを覆って堆積されるが、ギャップによって分離されており、前記ソース金属層と前記pボディ・インプラントとの前記電気接触を許容する誘電体層をさらに含み、前記誘電体層は、テトラエチルオルトシリケート(TEOS)の層およびボロンリンシリケートガラス(BPSG)の層を含む誘電体スタックを含んでいる、半導体装置。 - 前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含み、前記基板は、p型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含み、前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、請求項9に記載の半導体装置。
- 前記各第2のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって、前記第2のトレンチ内の前記導電性材料から分離されているソース・インプラントをさらに含む、請求項9に記載の半導体装置。
- 前記MOSFETデバイスの前記活性領域は、前記複数の第2のトレンチ間に形成された複数のメサを含み、前記メサは、第1の高さの側壁を有しており、前記導電性材料は、前記第2のトレンチを前記第1の高さ未満の第2の高さまで充填している、請求項1に記載の半導体装置。
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