JP5178726B2 - 粘着シート及び電子部品の製造方法 - Google Patents
粘着シート及び電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5178726B2 JP5178726B2 JP2009529917A JP2009529917A JP5178726B2 JP 5178726 B2 JP5178726 B2 JP 5178726B2 JP 2009529917 A JP2009529917 A JP 2009529917A JP 2009529917 A JP2009529917 A JP 2009529917A JP 5178726 B2 JP5178726 B2 JP 5178726B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive adhesive
- adhesive sheet
- semiconductor wafer
- grinding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims description 84
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 93
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 66
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 57
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 49
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 37
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 35
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 25
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 22
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 claims description 21
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 16
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 13
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 claims description 12
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 11
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 claims description 11
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 8
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 claims description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical group O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 64
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 23
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 19
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 15
- -1 Si 3 N 4 Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 7
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 3
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 3
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 3
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ROHUXHMNZLHBSF-UHFFFAOYSA-N 1,4-bis(isocyanatomethyl)cyclohexane Chemical compound O=C=NCC1CCC(CN=C=O)CC1 ROHUXHMNZLHBSF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZCLIABJNNBEIBM-UHFFFAOYSA-N 2-(oxiran-2-ylmethoxy)-n-(oxiran-2-ylmethyl)aniline Chemical compound C1OC1CNC1=CC=CC=C1OCC1CO1 ZCLIABJNNBEIBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000789 Aluminium-silicon alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M .beta-Phenylacrylic acid Natural products [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- ZGDSDWSIFQBAJS-UHFFFAOYSA-N 1,2-diisocyanatopropane Chemical compound O=C=NC(C)CN=C=O ZGDSDWSIFQBAJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(oxiran-2-ylmethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1N(CC2OC2)C(=O)N(CC2OC2)C(=O)N1CC1CO1 OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGHSXKTVMPXHNG-UHFFFAOYSA-N 1,3-diisocyanatobenzene Chemical compound O=C=NC1=CC=CC(N=C=O)=C1 VGHSXKTVMPXHNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFXYYTWJETZVHG-UHFFFAOYSA-N 1,3-diisocyanatobutane Chemical compound O=C=NC(C)CCN=C=O UFXYYTWJETZVHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKYNWXNXXHWHLL-UHFFFAOYSA-N 1,3-diisocyanatopropane Chemical compound O=C=NCCCN=C=O IKYNWXNXXHWHLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ALQLPWJFHRMHIU-UHFFFAOYSA-N 1,4-diisocyanatobenzene Chemical compound O=C=NC1=CC=C(N=C=O)C=C1 ALQLPWJFHRMHIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVBFMUAFNIIQAL-UHFFFAOYSA-N 1,4-diisocyanatobutane Chemical compound O=C=NCCCCN=C=O OVBFMUAFNIIQAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDMDQYCEEKCBGR-UHFFFAOYSA-N 1,4-diisocyanatocyclohexane Chemical compound O=C=NC1CCC(N=C=O)CC1 CDMDQYCEEKCBGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFPJRUKWEPYFJT-UHFFFAOYSA-N 1,5-diisocyanatopentane Chemical compound O=C=NCCCCCN=C=O DFPJRUKWEPYFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGLRLXLDMZCFBP-UHFFFAOYSA-N 1,6-diisocyanato-2,4,4-trimethylhexane Chemical compound O=C=NCC(C)CC(C)(C)CCN=C=O QGLRLXLDMZCFBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHNAURKRXGPVDW-UHFFFAOYSA-N 2,3-diisocyanatobutane Chemical compound O=C=NC(C)C(C)N=C=O LHNAURKRXGPVDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZKPAGIWPCLTTAD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-(oxiran-2-ylmethyl)aniline Chemical compound CC1=CC=CC=C1NCC1OC1 ZKPAGIWPCLTTAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZWKEPYTBWZJJA-UHFFFAOYSA-N 3,3'-Dimethoxybenzidine-4,4'-diisocyanate Chemical compound C1=C(N=C=O)C(OC)=CC(C=2C=C(OC)C(N=C=O)=CC=2)=C1 QZWKEPYTBWZJJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N Cinnamic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N 0.000 description 1
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDLQZKYLHJJBHD-UHFFFAOYSA-N [3-(aminomethyl)phenyl]methanamine Chemical compound NCC1=CC=CC(CN)=C1 FDLQZKYLHJJBHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229930016911 cinnamic acid Natural products 0.000 description 1
- 235000013985 cinnamic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- KORSJDCBLAPZEQ-UHFFFAOYSA-N dicyclohexylmethane-4,4'-diisocyanate Chemical compound C1CC(N=C=O)CCC1CC1CCC(N=C=O)CC1 KORSJDCBLAPZEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Natural products C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N methyl p-hydroxycinnamate Natural products OC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 125000001421 myristyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- VAUOPRZOGIRSMI-UHFFFAOYSA-N n-(oxiran-2-ylmethyl)aniline Chemical compound C1OC1CNC1=CC=CC=C1 VAUOPRZOGIRSMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000913 palmityl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- OJMIONKXNSYLSR-UHFFFAOYSA-N phosphorous acid Chemical compound OP(O)O OJMIONKXNSYLSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- IIACRCGMVDHOTQ-UHFFFAOYSA-N sulfamic acid group Chemical group S(N)(O)(=O)=O IIACRCGMVDHOTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUELTTOHQODFPA-UHFFFAOYSA-N toluene 2,6-diisocyanate Chemical compound CC1=C(N=C=O)C=CC=C1N=C=O RUELTTOHQODFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002889 tridecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J133/00—Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
- C09J133/04—Homopolymers or copolymers of esters
- C09J133/06—Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical
- C09J133/062—Copolymers with monomers not covered by C09J133/06
- C09J133/066—Copolymers with monomers not covered by C09J133/06 containing -OH groups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/20—Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
- C09J7/22—Plastics; Metallised plastics
- C09J7/24—Plastics; Metallised plastics based on macromolecular compounds obtained by reactions involving only carbon-to-carbon unsaturated bonds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/20—Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
- C09J7/29—Laminated material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L21/6836—Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2203/00—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
- C09J2203/326—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for bonding electronic components such as wafers, chips or semiconductors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/30—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier
- C09J2301/302—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier the adhesive being pressure-sensitive, i.e. tacky at temperatures inferior to 30°C
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2423/00—Presence of polyolefin
- C09J2423/006—Presence of polyolefin in the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2431/00—Presence of polyvinyl acetate
- C09J2431/006—Presence of polyvinyl acetate in the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2433/00—Presence of (meth)acrylic polymer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68327—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used during dicing or grinding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/6834—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used to protect an active side of a device or wafer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/28—Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
- Y10T428/2852—Adhesive compositions
- Y10T428/287—Adhesive compositions including epoxy group or epoxy polymer
Description
102 真空チャックテーブル
103 粘着剤層
104 剥離用フィルム
105 剥離ライナー
106 基材フィルム
108 巻き取られた剥離ライナー付粘着シート
110 粘着シート
本明細書において、単量体単位とは単量体に由来する構造単位を意味する。本発明における部及び%は、特に規定しない限り質量基準で示す。
図1は、粘着シートを用いたウエハのバック・グラインディングについて説明するための工程断面図である。本実施形態の粘着シート110は、図1(a)に示すように、シート状の基材106と、基材106の一方の面に積層された粘着剤層103と、を有する。
本実施形態の粘着シート110では、シート状の基材106の一方の面(粘着剤が塗布される側の面)における平均表面粗さ(Ra1)は、0.1μm以上であることが好ましく、特に1.0μm以上であることがさらに好ましい。この平均表面粗さ(Ra1)がこれらの下限以上であると、粘着シート110を構成する基材106のみを巻き取る際に基材106同士のブロッキングの発生を抑制できる。一方、この平均表面粗さ(Ra1)は、3.5μm以下であることが好ましく、特に3.0μm以下であれば好ましい。この平均表面粗さ(Ra1)がこれらの上限以下であると、透明性を維持することができ、さらに研削後の半導体ウエハ101表面に微少な凹凸(波うち)が発生することを抑制することができる。
本実施形態の粘着シート110では、粘着剤層103に用いる粘着剤は、粘着力を設計しやすいアクリル重合体がよく、硬化剤を含有することによって、粘着力をより精密に調整することができる。そして、アクリル重合体を構成するアクリルモノマーの少なくとも一つは、官能基含有単量体を含むものが好ましい。この官能基含有単量体は、アクリル重合体中に0.01質量%以上10質量%以下配合され重合されていることが好ましい。この官能基含有単量体の配合比が0.01質量%以上であれば、被着体への粘着力が充分強く水周りの発生が抑制される傾向にあり、この官能基含有単量体の配合比が10質量%以下であれば、被着体への粘着力が高くなりすぎないため、糊残りが発生することを抑制できる傾向にある。
本実施形態の粘着シート110は、基材106上に粘着剤層103を形成して製造する。基材106上に粘着剤層103を形成する方法は、特に限定されず、例えば一般的なコンマ塗工、リップ塗工、グラビア塗工、ロール塗工、スクリーン塗工などの塗工方式を用いることができる。粘着剤層103は直接基材106上に形成しても良く、表面に剥離処理を行った剥離紙等に粘着剤層103を形成した後、基材フィルム(基材106)に転写しても良い。
本実施形態の粘着シート110は、半導体ウエハ裏面研削用である。すなわち、本実施形態の粘着シート110は、半導体電子部品集合体固定用のバック・グラインディングに好適に用いられる。粘着シート110の被加工物は特に限定されないが、通称ワークと呼ばれる電子部品集合体が被加工物として好適に用いられる。バック・グラインディングに使用する場合は、電子部品集合体上に形成された回路面を粘着シート110に貼り付けて使用する。
バック・グラインディングのやり方としては、粘着シート110を電子部品集合体の回路側に固定し、回路の裏面を研削すること以外は特に限定されず、例えば図1に示す次の手順で好適に行うことができる。
(2)第二の工程では、粘着シート110を回路面に貼り合せ電子部品集合体の外周部に沿って粘着シート110をカッティングする。
(3)第三の工程では、電子部品集合体を所望の厚みまで研削する。
(4)第四の工程では、チャックテーブルの吸着を解除し、粘着シート110に固定された電子部品集合体を機械加工テーブルから取り外す。
(5)第五の工程では、粘着シート110と電子部品集合体を剥がし、電子部品集合体を回収する。
(2)第二の工程では、粘着シート110側に、通称「剥がしテープ」と呼ばれる剥離用粘着フィルム104を貼り付ける。
(3)第三の工程では、剥離用粘着フィルム104を剥がす。粘着シート110は剥離用粘着フィルム104に付着し、電子部品集合体から剥がれる。
(4)第四の工程では、チャックテーブル102の吸着を解除し、電子部品集合体を回収する。
(2)第二の工程では、粘着シート110側に、通称「剥がしテープ」と呼ばれる剥離用粘着フィルム104を貼付ける。
(3)第三の工程では、剥離用粘着フィルム104を剥がす。粘着シート110は剥離用粘着フィルム104に付着し、電子部品集合体(又は半導体ウエハ101)から剥がされる。
以下、本実施形態の作用効果について説明する。
本実施形態の粘着シート110は、シート状の基材106と、基材106の一方の面に積層された粘着剤層103と、を有する。そして、この粘着シート110では、基材106の一方の面における平均表面粗さが0.1μm以上3.5μm以下であり、基材106の他方の面における平均表面粗さが0.05μm以上0.7μm以下であるため、巻き取った粘着シート110を巻き戻す際に生じるブロッキングを抑制することができ、研削後の半導体ウエハ101表面に微少な凹凸(波うち)が発生することも抑制することができることに加え、さらに粘着シート110の透明性を維持することができる。
実施例1に係る粘着シートの製造処方を示す。
エチレンビニルアセテート基材:酢酸ビニル含有量が8%のエチレンビニルアセテートを主体とした市販のペレット(東ソー社製、商品名:ウルトラセン520F)を溶融し、Tダイ共押出法により成形してフィルムとした。成形時のシボロールをコントロールすることにより、基材片面の平均表面粗さ(Ra1)が2.0μm、もう一方の基材側の平均表面粗さ(Ra2)が0.3μmになるように設定した。また、フィルムの厚みを120μmとした。
ブチルアクリレート80%、メチル(メタ)アクリレート19%、2−ヒドロキシエチルアクリレート1%(官能基含有単量体)を共重合して得られる共重合体からなる合成品を得た。なお、得られた合成品のガラス転移点は−53.3℃であった。
実施例2〜4及び比較例1〜2は、粘着剤とは反対側の基材の平均表面粗さ(Ra2)を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様とした。
実施例5〜8及び比較例3〜4は、粘着剤が塗布される側の基材の平均表面粗さ(Ra1)を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様とした。
(1)研削性:図1に示すように、5インチミラーウエハ(半導体ウエハ101)に粘着シート110を貼り付けて(図1(a))、厚み300μmまで研削し(図1(b))、ミラーウエハ(半導体ウエハ101)の研削面を真空チャックテーブル102に固定し(図1(c))、剥離用フィルム104で粘着シート110を剥離した(図1(d))。研削したシリコンウエハ(半導体ウエハ101)を平坦度測定器(フラットネステスター;ADE−9500)を用いて測定した。面内の凹凸の差が5μm以下であった場合を○、5μ以上であった場合を×とした。評価結果を下記の表1に示す。
マウンター:株式会社タカトリ製マウンターATM−1100
研削機:株式会社ディスコ製バックグラインダーDFG−850
表に示した実験結果からわかるように、この粘着シートによれば、粘着シートを構成する基材の両面の平均表面粗さが特定範囲内にそれぞれ調整されているため、巻き取った粘着シートを巻き戻す際に生じるブロッキングを抑制することができ、研削後のウエハ表面に微少な凹凸(波うち)が発生することも抑制することができることに加え、さらに粘着シートの透明性を維持することができる。
Claims (12)
- シート状の基材と、該基材の一方の面に積層された粘着剤層と、を有する半導体ウエハ裏面研削用粘着シートであって、
該基材の少なくとも一部がエチレンビニルアセテートを含有し、該エチレンビニルアセテート中の酢酸ビニル含有量が3質量%以上20質量%以下であり、
該基材の該一方の面における平均表面粗さが1.0μm以上3.3μm以下であり、該基材の他方の面における平均表面粗さが0.08μm以上0.6μm以下であり、
該粘着剤層がアクリル重合体を含有し、該アクリル重合体を構成する複数のアクリルモノマーの少なくとも一つがヒドロキシル基を有する単量体である半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。 - 前記基材が複数層で形成されており、該複数層のうちの少なくとも一層がエチレンビニルアセテートを含有する、請求項1記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- 前記ヒドロキシル基を有する単量体が前記アクリル重合体中、0.01質量%以上10質量%以下である、請求項1又は2記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- 前記粘着剤層が硬化剤をさらに含有する、請求項1記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- 前記粘着剤層が前記アクリル重合体100質量部に対して、前記硬化剤0.1質量部以上20質量部以下を含有する、請求項4記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- 前記硬化剤の少なくとも一部が多官能イソシアネート硬化剤である、請求項4記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- 前記多官能イソシアネート硬化剤がヘキサメチレンジイソシアネート硬化剤である、請求項6記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- 前記硬化剤の少なくとも一部が多官能エポキシ硬化剤である、請求項4記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- 前記アクリル重合体および前記硬化剤を反応させて前記粘着剤層を硬化させた後において、該アクリル重合体を構成するカルボキシル基を含む単量体が該アクリル重合体中1質量%以下である、請求項4記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- 半導体ウエハ裏面研削用である、請求項1記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シート。
- ウエハを研削して得られる電子部品の製造方法であって、請求項1記載の半導体ウエハ裏面研削用粘着シートの前記粘着剤層表面に該ウエハを貼り合わせる工程と、該粘着シートに張り合わされた状態で、該ウエハの露出面を平滑に研削する工程と、を含む、電子部品の製造方法。
- 前記研削後に、前記ウエハおよび前記粘着剤層を剥離する工程をさらに含む、請求項11記載の電子部品の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2007/066884 WO2009028068A1 (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 粘着シート及び電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009028068A1 JPWO2009028068A1 (ja) | 2010-11-25 |
JP5178726B2 true JP5178726B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=40386812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009529917A Active JP5178726B2 (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 粘着シート及び電子部品の製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8651919B2 (ja) |
EP (1) | EP2184331A4 (ja) |
JP (1) | JP5178726B2 (ja) |
KR (1) | KR20100075442A (ja) |
CN (1) | CN101802120B (ja) |
TW (1) | TWI425067B (ja) |
WO (1) | WO2009028068A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5546204B2 (ja) * | 2009-10-23 | 2014-07-09 | グンゼ株式会社 | 表面保護フィルム |
JP5586928B2 (ja) * | 2009-12-01 | 2014-09-10 | 日東電工株式会社 | 表面保護シート |
JP5881391B2 (ja) * | 2011-01-25 | 2016-03-09 | 日立マクセル株式会社 | 防水用両面粘着テープ |
KR101936449B1 (ko) * | 2011-03-28 | 2019-01-08 | 히타치가세이가부시끼가이샤 | 다층 수지 시트, 수지 시트 적층체, 다층 수지 시트 경화물 및 그 제조 방법, 금속박이 형성된 다층 수지 시트, 그리고 반도체 장치 |
JP2013023526A (ja) * | 2011-07-19 | 2013-02-04 | Nitto Denko Corp | 貼り合わされた板の剥離方法および剥離装置 |
JP5610642B2 (ja) | 2012-02-28 | 2014-10-22 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ用フィルムおよび粘着テープ |
JP6005952B2 (ja) * | 2012-02-28 | 2016-10-12 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ用フィルムおよび粘着テープ |
WO2013183389A1 (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 日本ゼオン株式会社 | 熱伝導性感圧接着剤組成物、熱伝導性感圧接着性シート状成形体、これらの製造方法、及び電子機器 |
JP6334223B2 (ja) * | 2014-03-26 | 2018-05-30 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
JP5871098B1 (ja) * | 2015-07-16 | 2016-03-01 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 導電性接着剤層、導電性接着シートおよびプリント配線板 |
JP7008620B2 (ja) * | 2016-03-04 | 2022-01-25 | リンテック株式会社 | 半導体加工用シート |
WO2017149925A1 (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-08 | リンテック株式会社 | 半導体加工用シート |
CN117317348A (zh) * | 2017-12-28 | 2023-12-29 | 日本瑞翁株式会社 | 非水系二次电池用层叠体及其制造方法、以及非水系二次电池 |
CN112585733A (zh) * | 2018-08-10 | 2021-03-30 | 琳得科株式会社 | 粘合片用基材及电子部件加工用粘合片 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0789468A (ja) * | 1993-09-22 | 1995-04-04 | Nissan Motor Co Ltd | 自動車用塗膜保護フィルム |
JPH07196991A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Oji Kako Kk | フッ素樹脂粘着テープとその製造方法 |
JPH08259914A (ja) * | 1995-03-22 | 1996-10-08 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面保護フィルム |
JP2002338911A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハ加工用保護シート |
JP2003173994A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-06-20 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウエハ表面保護用粘着フィルム及びそれを用いる半導体ウエハの保護方法 |
JP2004006746A (ja) * | 2002-03-27 | 2004-01-08 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウェハの保護方法 |
JP2007027474A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Denki Kagaku Kogyo Kk | ウエハフルカット用ダイシングテープの基材フィルム及びそれを有するウエハフルカット用ダイシングテープ |
JP2007051201A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 粘着シート及びそれを用いた電子部品製造方法。 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0618190B2 (ja) | 1984-05-29 | 1994-03-09 | 三井東圧化学株式会社 | ウエハ加工用フイルム |
JPH0618190A (ja) | 1992-07-01 | 1994-01-25 | Sadayuki Amiya | 玩具空気銃の銃身 |
JP3729584B2 (ja) | 1996-12-26 | 2005-12-21 | 三井化学株式会社 | 半導体ウエハの裏面研削方法及びその方法に用いる粘着フィルム |
JP4054113B2 (ja) | 1998-06-25 | 2008-02-27 | 三井化学株式会社 | 半導体ウエハの裏面研削用粘着フィルム及びそれを用いる半導体ウエハの裏面研削方法 |
US7201969B2 (en) | 2002-03-27 | 2007-04-10 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pressure-sensitive adhesive film for the surface protection of semiconductor wafers and method for protection of semiconductor wafers with the film |
JP2003309088A (ja) | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハ加工用保護シート及び該シートの使用方法 |
WO2004096483A1 (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-11 | Nitto Denko Corporation | レーザー加工品の製造方法、およびそれに用いるレーザー加工用粘着シート |
JP5165829B2 (ja) * | 2004-02-26 | 2013-03-21 | 日東電工株式会社 | ロール状ウエハ加工用粘着シート |
US20060252234A1 (en) * | 2004-07-07 | 2006-11-09 | Lintec Corporation | Hardenable pressure sensitive adhesive sheet for dicing/die-bonding and method for manufacturing semiconductor device |
TW200800584A (en) * | 2006-04-03 | 2008-01-01 | Gunze Kk | Surface protective tape used for back grinding of semiconductor wafer and base film for the surface protective tape |
KR101370245B1 (ko) * | 2006-05-23 | 2014-03-05 | 린텍 가부시키가이샤 | 점접착제 조성물, 점접착 시트 및 반도체장치의 제조방법 |
JP2008117945A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Nitto Denko Corp | ウォータージェットレーザダイシング用粘着シート |
-
2007
- 2007-08-30 WO PCT/JP2007/066884 patent/WO2009028068A1/ja active Application Filing
- 2007-08-30 JP JP2009529917A patent/JP5178726B2/ja active Active
- 2007-08-30 CN CN2007801004436A patent/CN101802120B/zh active Active
- 2007-08-30 US US12/675,652 patent/US8651919B2/en active Active
- 2007-08-30 KR KR1020107005909A patent/KR20100075442A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-08-30 EP EP07806361.7A patent/EP2184331A4/en not_active Withdrawn
- 2007-08-31 TW TW096132427A patent/TWI425067B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0789468A (ja) * | 1993-09-22 | 1995-04-04 | Nissan Motor Co Ltd | 自動車用塗膜保護フィルム |
JPH07196991A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Oji Kako Kk | フッ素樹脂粘着テープとその製造方法 |
JPH08259914A (ja) * | 1995-03-22 | 1996-10-08 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面保護フィルム |
JP2002338911A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハ加工用保護シート |
JP2003173994A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-06-20 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウエハ表面保護用粘着フィルム及びそれを用いる半導体ウエハの保護方法 |
JP2004006746A (ja) * | 2002-03-27 | 2004-01-08 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウェハの保護方法 |
JP2007027474A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Denki Kagaku Kogyo Kk | ウエハフルカット用ダイシングテープの基材フィルム及びそれを有するウエハフルカット用ダイシングテープ |
JP2007051201A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 粘着シート及びそれを用いた電子部品製造方法。 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101802120B (zh) | 2013-10-16 |
JPWO2009028068A1 (ja) | 2010-11-25 |
EP2184331A4 (en) | 2013-10-02 |
US8651919B2 (en) | 2014-02-18 |
WO2009028068A1 (ja) | 2009-03-05 |
KR20100075442A (ko) | 2010-07-02 |
TWI425067B (zh) | 2014-02-01 |
US20110059682A1 (en) | 2011-03-10 |
CN101802120A (zh) | 2010-08-11 |
EP2184331A1 (en) | 2010-05-12 |
TW200909554A (en) | 2009-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5178726B2 (ja) | 粘着シート及び電子部品の製造方法 | |
TWI754674B (zh) | 半導體加工用黏著膠帶以及半導體裝置之製造方法 | |
JP3383227B2 (ja) | 半導体ウエハの裏面研削方法 | |
KR102152605B1 (ko) | 보호막 형성용 필름 | |
TWI671379B (zh) | 背面研磨膠帶用基材、及背面研磨膠帶 | |
WO2011078193A1 (ja) | 半導体ウエハ表面保護用粘着テープ | |
KR102085533B1 (ko) | 필름, 워크 가공용 시트 기재 및 워크 가공용 시트 | |
TW201638264A (zh) | 切割片與半導體晶片之製造方法 | |
TWI625376B (zh) | 黏著片 | |
TWI471400B (zh) | 黏著片及半導體晶圓之背面研磨方法 | |
KR102647059B1 (ko) | 백그라인드 테이프 | |
CN107236473B (zh) | 玻璃切割用粘着片材及其制造方法 | |
JP2011155270A (ja) | ダイシングテープ | |
TW201734168A (zh) | 玻璃切割用黏著板片及其製造方法 | |
TWI818053B (zh) | 背面研磨帶 | |
TW201842560A (zh) | 附剝離襯墊之遮罩一體型表面保護帶 | |
KR102642079B1 (ko) | 반도체 가공용 점착 테이프 | |
TW202031856A (zh) | 工件加工用片材 | |
JP2011129605A (ja) | 感圧型半導体ウエハ表面保護用粘着テープ | |
TWI770000B (zh) | 玻璃切割用黏著板片及其製造方法 | |
TWI605502B (zh) | Semiconductor wafer surface protection adhesive tape and semiconductor wafer processing method | |
JP7296944B2 (ja) | ワーク加工用シート | |
JP2022157810A (ja) | 支持シート、樹脂膜形成用複合シート、キット、及び、樹脂膜付きチップの製造方法 | |
CN116941017A (zh) | 半导体加工用粘着胶带及半导体装置的制造方法 | |
CN115703949A (zh) | 晶圆处理用粘结膜 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5178726 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |