JP5156090B2 - Cis系太陽電池の集積構造 - Google Patents
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Description
特許文献1には、溶液から化学的にCdS薄膜を製膜する溶液成長法は、CuInSe2薄膜光吸収層を溶液中へ浸漬することにより、薄膜光吸収層と高品質なヘテロ接合を形成し、且つシャント抵抗を高める効果を有するとしている。
一方で、このリーク抑制のために、リーク抑制の主体であるCBDバッファ層を厚くしてリーク抑制を行うことも考えられるが、CBDバッファ層を厚くすると直列抵抗増加という不具合が発生し、かつ、結果的にリーク抑制は不十分になってしまうという問題があった。また、生成する廃棄物の量も増大するため製造コストの増大にも繋がってしまうという問題があった。
また、このドーピング不純物元素がアルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、ホウ素(B)であってもよい。
このドーピング不純物元素が、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、ホウ素(B)であってもよい。
また、第2のバッファ層の抵抗率を上げることで、リーク抑制の強化を図ることができる。このため、第1のバッファ層の膜厚を低減することができ、pn接合部における直列抵抗を低減させることができる。
図1に示すように、本実施形態に係るCIS系薄膜太陽電池1は、ガラス基板11、金属裏面電極層12、p型CIS系光吸収層(以下、単に「光吸収層」という。)13、高抵抗バッファ層14、n型透明導電膜、(以下、単に「窓層」という。)15の順に積層されたサブストレート構造のpn型へテロ接合デバイスを構成している。
光吸収層13は代表的には2種の製法があり、一つがセレン化/硫化法であり、一つが多元同時蒸着法である。
セレン化/硫化法では、裏面電極層12上に、銅(Cu)、インジウム(In)、ガリウム(Ga)を含む積層構造または混晶の金属プリカーサー膜(Cu/In、Cu/Ga、Cu−Ga合金/In、Cu−Ga−In合金等)を、スパッタ法や蒸着法等により製膜した後、セレン及び/又は硫黄含有雰囲気中で熱処理することによって光吸収層13を製膜することができる。
また多元同時蒸着法では、500℃程度以上に加熱した裏面電極層12が形成されたガラス基板11上に、銅(Cu)、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、セレン(Se)を含む原料を適当な組合せで同時に蒸着することによって光吸収層13を製膜することができる。
この光吸収層13の表面(概ね表面より100nmまで)における硫黄濃度が0.5atoms%以上、より好ましくは3atoms%以上とすることで光入射側での光学的禁制帯幅を増大させることができるため、より効果的に光を吸収させることができる。また、後述のCBDバッファ層との接合界面特性が向上する効果がある。
この窓層15は、酸化亜鉛系薄膜の場合、周期律表III族元素、例えば、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、ホウ素(B)のいずれか1つ、又はこれらを組み合わせてドーパントとする。
このCBDバッファ層141の膜厚は、20nm以下、より好ましくは10nm以下に形成されている。
CBDバッファ層141は、溶液成長法(CBD法)により製膜されている。溶液成長法(CBD法)とは前駆体となる化学種を含む溶液に基材を浸し、溶液と基材表面との間で不均一反応を進行させることによって薄膜を基材上に析出させるという方法である。
具体的には、例えば、光吸収層13上に、酢酸亜鉛を液温80℃の水酸化アンモニウムに溶解して亜鉛アンモニウム錯塩を形成させ、その溶液中に硫黄含有塩であるチオリアを溶解し、この溶液を光吸収層13に10分間接触させて、光吸収層13上に当該溶液から硫黄含有亜鉛混晶化合物半導体薄膜を化学的に成長させる。さらに成長した硫黄含有亜鉛混晶化合物半導体薄膜を大気中で設定温度200
℃で15分間アニールすることで乾燥し、かつ膜中の水酸化亜鉛の一部を酸化亜鉛に転化すると同時に硫黄により改質を促進することにより、硫黄含有亜鉛混晶化合物を高品質化させることができる。
なお、このCBDバッファ層141は、溶液を調整することによりCdxSy、ZnxSy、ZnxOy、Znx(OH)y、InxSy、Inx(OH)y、InxOy(ここで、x、yは自然数)が含まれてもよい。
MOCVDバッファ層142に含まれるドーピング不純物元素としては、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、ホウ素(B)などのいずれかであり、そのドーピング不純物元素濃度を1×1019atoms/cm3以下、より好ましくは1×1018atoms/cm3以下となるように調整することによりバッファ層として好適な高抵抗な膜とすることができる。
そして、このMOCVDバッファ層142の抵抗率は、0.1Ωcm以上、より好ましくは1Ωcm以上となっている。
このMOCVDバッファ層142は、例えば、亜鉛(Zn)の有機金属化物(例えば、ジエチル亜鉛、ジメチル亜鉛)と純水を原料として、これをバブラー等に充填し、ヘリウム(He)、アルゴン(Ar)等の不活性ガスで泡立てて、同伴させてMOCVD装置内にて成膜する。
具体的には、第2のバッファ層であるMOCVDバッファ層142の抵抗率は0.1Ωcm以上、好ましくは1Ωcm以上、より好ましくは10Ωcm以上となっており、第3のバッファ層であるMOCVDバッファ層143の抵抗率は0.1〜100Ωcm、好ましくは0.1〜10Ωcmとなっている。
これにより、第3のバッファ層であるMOCVDバッファ層143は、第2のバッファ層であるMOCVDバッファ層142よりも抵抗率が低くなっている。
図2〜図7に示した結果はいずれも、30cm×30cm基板サイズの集積構造となっている。
図2にMOCVDバッファ層142の膜厚(nm)と、太陽電池の変換効率の特性のグラフを示し、図3にMOCVDバッファ層142の膜厚(nm)と、太陽電池の曲線因子(FF)の関係を示す。
図4にMOCVDバッファ層142/CBDバッファ層141の膜厚比と、変換効率(%)の関係を示し、図5にMOCVDバッファ層142/CBDバッファ層141の膜厚比と、曲線因子(FF)との関係を示す。
また、図6にMOCVDバッファ層143の膜厚と太陽電池の変換効率の特性のグラフを示し、図7にMOCVDバッファ層143の膜厚(nm)と、太陽電池の曲線因子(FF)の関係をそれぞれ示す。
図4のグラフでは、横軸にMOCVDバッファ層142/Cホウ素(B)Dバッファ層141の膜厚比、縦軸に変換効率(%)、図5のグラフでは、横軸にMOCVDバッファ層142/CBDバッファ層141の膜厚比、縦軸に変換効率(%)を示している。
そして、それぞれのグラフにおいて、CBDバッファ層141の膜厚に応じた変換効率、曲線因子(FF)の変化を表している。また、図2〜図5においては、MOCVDバッファ層143の膜厚は70nm、抵抗率は0.5Ωcmである。
そして、それぞれのグラフにおいて、MOCVDバッファ層143の抵抗率に応じた変換効率、曲線因子(FF)の変化を表している。
まず、ガラス基板11上に金属裏面電極層12の電極パターンP1を形成し、その上に光吸収層13及びCBDバッファ層141、MOCVDバッファ層142を製膜する。
そして、MOCVDバッファ層142を製膜した時点で、メカニカルスクライブ装置又はレーザスクライブ装置により光吸収層13及びCBDバッファ層141、MOCVDバッファ層142を削ることによりパターン2を形成し、その上にさらに有機金属化学的気相成長法(MOCVD法)により第3のバッファ層としてMOCVDバッファ層143を製膜したものである。
また、MOCVDバッファ層143は、配線パターンの端面という製膜しにくい部分であるが、有機金属化学的気相成長法(MOCVD法)により製膜することで、カバーレッジよく製膜することができる。
12 金属裏面電極層
13 光吸収層
14 高抵抗バッファ層
15 窓層
141 CBDバッファ層(第1のバッファ層)
142 MOCVDバッファ層(第2のバッファ層)
143 MOCVDバッファ層(第3のバッファ層)
P1 パターン1
P2 パターン2
P3 パターン3
Claims (15)
- p型CIS系光吸収層、バッファ層、n型透明導電膜の順に積層されたCIS系薄膜太陽電池において、
前記バッファ層は3層以上の積層構造であり、
前記p型CIS系光吸収層と接する第1のバッファ層は、カドミウム(Cd)、又は、亜鉛(Zn)、又は、インジウム(In)を含む化合物からなり、
前記第1のバッファ層と接する第2のバッファ層は酸化亜鉛系薄膜からなり、
前記p型CIS系光吸収層、前記第1のバッファ層及び第2のバッファ層に配線パターンを形成することにより露出した端面及び、前記第2のバッファ層の前記n型透明導電膜との間の端面を覆う第3のバッファ層が形成されており、
前記第3のバッファ層は、酸化亜鉛系薄膜からなり、抵抗率が0.1〜100Ωcmの範囲内である、
ことを特徴とするCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第3のバッファ層の抵抗率が、前記第2のバッファ層の抵抗率より小さい、
請求項1記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第3のバッファ層の膜厚が10〜300nmの範囲内である、
請求項1又は2記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第3のバッファ層が有機金属化学的気相成長法(MOCVD法)により形成される、
請求項1〜3のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第3のバッファ層に含まれるドーピング不純物元素濃度が1×1019atoms/cm3以下である、
請求項1〜4のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記ドーピング不純物元素が、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、ホウ素(B)のいずれかである、
請求項5記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第1のバッファ層の膜厚が20nm以下、かつ、前記第2のバッファ層の膜厚が100nm以上である、
請求項1〜6のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第1のバッファ層の膜厚と、前記第2のバッファ層の膜厚の比(第2のバッファ層の膜厚/第1のバッファ層の膜厚)が5以上である、
請求項1〜7のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第1のバッファ層が、溶液成長法(CBD法)により形成される、
請求項1〜8のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第2のバッファ層が、有機金属化学的気相成長法(MOCVD法)により形成される、
請求項1〜9のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第2のバッファ層に含まれるドーピング不純物元素濃度が、1×1019atoms/cm3以下である、
請求項1〜10のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記ドーピング不純物元素が、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、ホウ素(B)のいずれかである、
請求項11記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第1のバッファ層が、CdxSy、ZnxSy、ZnxOy、Znx(OH)y、InxSy、Inx(OH)y、InxOy(x、yは自然数)のいずれかを含む化合物である、
請求項1〜12のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記CIS系光吸収層表面における硫黄濃度が、0.5atoms%以上である、
請求項1〜13のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。 - 前記第2のバッファ層の抵抗率が0.1Ωcm以上である、
請求項1〜14のいずれかに記載のCIS系薄膜太陽電池の集積構造。
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