JP5147556B2 - カーボンナノチューブ製造装置 - Google Patents
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Description
22 生成部
32 可動容器
44 基板収容凹所
51 CVDガス入口管
52 CVDガス出口管
P 基板
Claims (5)
- 生成部に一方向のCVDガス流れを生じさせるCVDガス手段を備えており、生成部に保持された基板の表面にカーボンナノチューブが生成されるようになされているカーボンナノチューブ製造装置において、
生成部に、基板を載せるための支持体が配置されており、支持体の上方に、下向き基板収容凹所を有する可動容器が上下動しうるように配置されており、上昇時の可動容器の基板収容凹所下方に対し、カーボンナノチューブ生成前の基板が搬入され、カーボンナノチューブ生成後の基板が搬出されるようになされており、
生成部の基板搬送方向上流に、予熱部が設けられ、生成部の基板搬送方向下流に、冷却部が設けられている、
ことを特徴とするカーボンナノチューブ製造装置。 - CVDガス手段によって、下降時の可動容器の基板収容凹所内にCVDガスの流れが生じさせられるようになされており、基板収容凹所内のCVDガス流れ方向下流に多孔質体が配置されている請求項1に記載のカーボンナノチューブ製造装置。
- 基板収容凹所内のCVDガス流れ方向上流に多孔質体が配置されている請求項2に記載のカーボンナノチューブ製造装置。
- 多孔質体のCVDガス流れ方向下流にCVDガスの未反応ガスを燃焼させるための燃焼ガスを供給する燃焼ガス手段を備えている請求項1または2に記載のカーボンナノチューブ製造装置。
- CVDガス手段が、多孔質体のCVDガス流れ方向下流に設けられたガス出口を有しており、燃焼ガス手段が、ガス出口に対し間隔をおいて相対させられているガス供給口を有している請求項4に記載のカーボンナノチューブ製造装置。
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