JP5135710B2 - 成膜方法及び成膜装置 - Google Patents
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Description
また、上記H2 ガスの還元性を補う目的で、プラズマにより活性化されたH2 ガスを処理容器内へ導入する、いわゆるリモートプラズマ方式や、処理容器内でプラズマを立ててガスを活性化するプラズマ活性化方式を採用することも考えられる。しかし、上記リモートプラズマ方式の場合には、活性化されたガスが処理容器までの輸送経路を構成する材料と衝突することにより失活してしまうので、効率が非常に低下してしまう。またプラズマ活性化方式では、処理容器内のウエハの上方でプラズマを形成するので、ウエハ自体がプラズマダメージを受け易くなって好ましくない。
またタングステン窒化膜を形成する場合には、例えばNH4 F等の反応副生成物が多量に発生し、メンテナンス頻度が著しく上昇してしまう、という問題があった。
本発明の他の目的は、窒化ガスを選択的に活性化することにより、反応副生成物の発生を抑制しつつタングステン窒化膜を効率的に形成することができる成膜方法及び成膜装置を提供することにある。
このように、真空排気が可能になされた処理容器内へタングステン含有ガスと還元ガスとを供給すると共に、還元ガスを加熱された触媒体により活性化させるようにしたので、不純物元素の混入が抑制された低抵抗のタングステン膜を効率的に形成することができる。
本発明の関連技術は、被処理体の表面にタングステン窒化膜を形成する成膜方法において、真空排気が可能になされた処理容器内へタングステン含有ガスと窒化ガスとを供給すると共に、前記窒化ガスを加熱された触媒体により活性化させるようにしたことを特徴とする成膜方法である。
このように、真空排気が可能になされた処理容器内へタングステン含有ガスと窒化ガスとを供給すると共に、窒化ガスを加熱された触媒体により活性化させるようにしたので、窒化ガスを選択的に活性化することにより、反応副生成物の発生を抑制しつつタングステン窒化膜を効率的に形成することができる。
また例えば前記窒化ガスはN2 ガスである。
また例えば請求項3に記載のように、前記触媒体は、通電によって加熱されると共に、前記選択的活性化を温度制御により行う。
また例えば請求項4に記載のように、前記選択的活性化は、前記触媒体の材料の選択によって行う。
また例えば請求項6に記載のように、前記触媒体は、W、Ir、Ru、Re、Pt、カーボンワイヤよりなる群より選択される1以上の材料よりなる。
また例えば請求項7に記載のように、前記成膜は、前記2種類のガスを同時に供給してCVD法により行われる。
また例えば請求項9に記載のように、前記成膜処理の後に、クリーニングガスを供給しつつ該クリーニングガスを前記触媒体により活性化してクリーニング処理を行うようにする。
本発明の他の関連技術は、被処理体の表面に薄膜を形成する成膜装置において、真空引き可能になされた処理容器と、前記処理容器内で前記被処理体を載置する載置台と、前記被処理体を加熱する加熱手段と、前記処理容器内へタングステン含有ガスと窒化ガスとを供給するガス供給手段と、前記還元ガスを活性化するために通電により発熱する触媒体と、前記触媒体に通電を行うために接続された触媒用電源と、を備えたことを特徴とする成膜装置である。
また例えば請求項13に記載のように、前記ライン材は、前記載置台の上方において複数本配列されている。
また例えば請求項14に記載のように、前記ライン材は、前記載置台の外周側の上方において前記載置台を囲むように設けられる。
また例えば請求項16に記載のように、前記触媒体は、W、Ir、Ru、Re、Pt、カーボンワイヤよりなる群より選択される1以上の材料よりなる。
本発明の第1の実施例によれば、真空排気が可能になされた処理容器内へタングステン含有ガスと還元ガスとを供給すると共に、還元ガスを加熱された触媒体により活性化させるようにしたので、不純物元素の混入が抑制された低抵抗のタングステン膜を効率的に形成することができる。
本発明の関連技術によれば、真空排気が可能になされた処理容器内へタングステン含有ガスと窒化ガスとを供給すると共に、窒化ガスを加熱された触媒体により活性化させるようにしたので、窒化ガスを選択的に活性化することにより、反応副生成物の発生を抑制しつつタングステン窒化膜を効率的に形成することができる。
<第1の実施例>
図1は本発明に係る成膜装置の第1の実施例を示す構成図、図2は触媒体の配設状況を示す平面図である。ここでは成膜装置の第1の実施例としてタングステン(W)膜を形成する場合を例にとって説明する。
上記載置台20の周縁部には、ウエハSの周縁部を保持してこれを載置台20側へ固定するためのリング状のセラミック製クランプリング34が設けられており、このクランプリング34は、支持棒36を介してリフタピン22側に連結されており、このリフタピン22と一体的に昇降するようになっている。これらのリフタピン22、支持棒36及び保持部材18も石英等の熱線透過部材により構成されている。
そして、このシャワーヘッド部72内には、多数のガス分散孔90Aを有する拡散板90が配設されており、このシャワーヘッド部72内へ導入されたガスを拡散してウエハ面に、より均等にガスを供給するようになっている。
図3は本発明方法における各ガスの供給形態と触媒体への電力の供給態様を示すタイミングチャート、図4は各ガス種の分解反応(活性化)エネルギーの計算値と実験値とを示すグラフである。
また、これと同時に、上記処理容器14内を真空引きしつつ成膜用の各ガス源78、80から所定のタイミングで各ガスを供給し、しかも、触媒用電源106をオンして触媒体94の各ライン材96に電流を流してこれをジュール熱によって所定の温度に加熱する。
また各ライン材96の温度が低過ぎると、H2 ガスが活性化しなくなるので、タングステン膜の成膜がほとんど見られなくなってしまう。
このように、真空排気が可能になされた処理容器内へタングステン含有ガスであるWF6 ガスと還元ガスであるH2 ガスとを供給すると共に、還元ガスを加熱された触媒体94により活性化させるようにしたので、不純物元素の混入が抑制された低抵抗のタングステン膜を効率的に形成することができる。
またここでは、図3(A)及び図3(B)に示すように、WF6 ガスとH2 ガスとを互いにタイミングをずらして交互に供給するようにしたが、これに限定されず、WF6 ガスとH2 ガスの両ガスを同時に連続的に供給し、CVD法によりタングステン膜を形成するようにしてもよい。
この場合、図1に示すように、ここではクリーニングガス源82からクリーニングガスとしてNF3 ガスを処理容器14内へ供給し、上記したクリーニング処理を行う。この際、このNF3 ガスが十分に分解して活性化するように、上記触媒体94の各ライン材96を所定の温度以上に加熱しておく。この場合、このNF3 ガスの活性化エネルギーに関して図4を参照すると、NF3 ガスは3〜4eVの比較的低い活性化エネルギーで分解するので、上記タングステン膜の成膜時よりも低い温度で活性化させることができる。また、このクリーニングガスとしては、NF3 ガスよりも更に低い活性化エネルギーで分解する他のガス、例えばClF3 等を用いてもよい。
この結果、CVD法を用いた従来方法1は、比抵抗は50Ω・cmであって小さく、F、S、Bの各元素の濃度も少なく、或いは”N.D.”であって良好であるが、ステップカバレッジが30以上であって非常に劣り、微細な凹部を十分に埋め込こむことができず、好ましくない。
これに対して、ALD法を用いた本発明方法の場合には、比抵抗は50Ω・cm以下であって非常に低く、しかもF濃度は0.1%以下であると共に、Si濃度とB濃度は共に”N.D.”であってほとんど含まれておらず、しかも、ステップカバレッジも90%以上であって非常に高く、全体的に良好な結果が得られることを確認することができた。
上記実施例では、図2(A)に示すように、蝕媒体94としては、複数の線状、或いはロッド状のライン材96を、載置台20の上方に複数本平行に配列した場合を例にとって説明したが、これに限定されず、どのように配列してもよい。例えば図2(B)に示すように、載置台20の上方において複数のライン材96を短絡しないように相互に直交させて格子状に配列するようにして、その両端から触媒用電源106により給電するようにしてもよい。或いは図2(C)に示すように、載置台20の外周側の上方において、この載置台20の周囲を囲むようにしてライン材96を例えば多角形(図示例では六角形)に配置するようにし、その両端から触媒用電源106により給電するようにしてもよい。
また図2(C)に示す触媒体94の場合には、ライン材96を載置台20の上方に位置させないで、その外周側に配置させるようにしているので、例えばライン材96よりパーティクル等が万一発生して落下してきても、このパーティクルがウエハ上に落下することを防止することができるので、パーティクル対策上、効果を上げることができる。
以上説明した第1の実施例では、タングステン膜を形成する場合を例にとって説明したが、第2の実施例として、上記タングステン膜に代えて、タングステン窒化膜(WN)を形成する場合にも、本発明を適用することができる。
この場合には、図1に示す成膜装置において還元ガスに代えて窒化ガスを用いればよいので、H2 を貯留する還元ガス源80に代えて窒化ガスを貯留する窒化ガス源(図示せず)を設ければよい。この場合、窒化ガスとしてN2 ガスを用いることができるので、パージ用のN2 ガスを用いれば、別途、窒化ガス源を設ける必要がない。
この場合、図4に示すように、N2 ガスの分解反応(活性化)エネルギーは、先の第1実施例で用いたH2 ガスよりも少し高く、10eV程度になっている。従って、触媒体94を形成するライン材96の温度に関しては、N2 ガスは活性化するが、WF6 ガスは活性化しないようなエネルギー、例えば10〜17eVの範囲内を供給できるような温度に設定することになる。
また触媒体94のライン材96を構成する材料としてはカーボンワイヤを用いた場合を例にとって説明したが、これに限定されず、他の材料、例えばW(タングステン)、Ir(イリジウム)、Ru(ルテニウム)、Re(レニウム)、Pt(プラチナ)等も用いることができ、このような触媒体94の材料の選択によってガスの選択活性化を行うようにしてもよい。
また、ここでは被処理体として半導体ウエハを例にとって説明したが、これに限定されず、ガラス基板、LCD基板、セラミック基板等にも本発明を適用することができる。
14 処理容器
20 載置台
44 加熱ランプ(加熱手段)
70 ガス供給手段
72 シャワーヘッド部
78 タングステン含有ガス源
80 還元ガス源
94 触媒体
96 ライン材
106 触媒用電源
S 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (16)
- 被処理体の表面にタングステン膜を形成する成膜方法において、
真空排気が可能になされた処理容器内へタングステン含有ガスと還元ガスとを供給すると共に、前記還元ガスは活性化するが前記タングステン含有ガスは活性化しない温度領域に加熱温度が制御された触媒体により前記還元ガスを選択的に活性化させるようにしたことを特徴とする成膜方法。 - 前記還元ガスはH2 ガスであることを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 前記触媒体は、通電によって加熱されると共に、前記選択的活性化を温度制御により行うことを特徴とする請求項1又は2記載の成膜方法。
- 前記選択的活性化は、前記触媒体の材料の選択によって行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記タングステン含有ガスは、WF6 又はW(CO)6 であることを特徴とする請求項1乃至4いずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記触媒体は、W、Ir、Ru、Re、Pt、カーボンワイヤよりなる群より選択される1以上の材料よりなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記成膜は、前記2種類のガスを同時に供給してCVD法により行われることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記成膜は、前記2種類のガスを交互に繰り返し供給することによりALD(Atomic Layered Deposition)法により行われることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記成膜処理の後に、クリーニングガスを供給しつつ該クリーニングガスを前記触媒体により活性化してクリーニング処理を行うようにしたことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 被処理体の表面に薄膜を形成する成膜装置において、
真空引き可能になされた処理容器と、
前記処理容器内で前記被処理体を載置する載置台と、
前記被処理体を加熱する加熱手段と、
前記処理容器内へタングステン含有ガスと還元ガスとを供給するガス供給手段と、
前記還元ガスを活性化するために通電により発熱すると共に前記還元ガスは活性化するが前記タングステン含有ガスは活性化しない温度領域に加熱温度が制御されて前記還元ガスを選択的に活性化させる触媒体と、
前記触媒体に通電を行うために接続された触媒用電源と、
を備えたことを特徴とする成膜装置。 - 前記還元ガスはH2 ガスであることを特徴とする請求項10記載の成膜装置。
- 前記触媒体は、線状、或いは棒状に形成されたライン材よりなることを特徴とする請求項10又は11記載の成膜装置。
- 前記ライン材は、前記載置台の上方において複数本配列されていることを特徴とする請求項12記載の成膜装置。
- 前記ライン材は、前記載置台の外周側の上方において前記載置台を囲むように設けられることを特徴とする請求項12記載の成膜装置。
- 前記タングステン含有ガスは、WF6 又はW(CO)6 であることを特徴とする請求項10乃至14いずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記触媒体は、W、Ir、Ru、Re、Pt、カーボンワイヤよりなる群より選択される1以上の材料よりなることを特徴とする請求項10乃至15のいずれか一項に記載の成膜装置。
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