JP5084015B2 - 発光ダイオードの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、パーソナルコンピューター、プリンター、PDA、ファクシミリ、携帯電話などの民生機器に使用される発光ダイオードに係わり、更に詳しくは、ボンディングワイヤーを1つの電極から2本出るようにボンディングするダブルボンディングワイヤー実装した発光ダイオード及びその製造方法に関する。
従来、軽薄短小を追求する電子機器向けに提供される表面実装型の発光ダイオードで、一般的な構造としては、ガラスエポキシ樹脂基板の表面に形成された一対の電極パターンを形成し、基板上に導電接着剤によってLEDチップを固着すると共に、前記LEDチップの電極を基板上の電極パターンとを通常1本のボンディングワイヤーで接続し、このボンディングワイヤーとLEDチップを封止樹脂で封止する構造のものがある。(例えば、特許文献1参照)
特開2002−280614号(第2頁、図4)
上記した特許文献1に開示されている発光ダイオードについて説明する。図11及び図12に示すように、発光ダイオード21は、ガラスエポキシ樹脂よりなる絶縁性を有する回路基板22の上面にダイパターン23と、上下面には一対の上面電極24a、24bと下面電極25a、25bがパターン形成されている。前記回路基板22に形成されたダイパターン23の上面にLEDチップ26を固着すると共に、ボンディングワイヤー27でワイヤーボンディング実装する。前記LEDチップ26とボンディングワイヤー27を覆うように透光性封止樹脂28で封止する。
上記した発光ダイオードの一般的なボンディングワイヤー実装方法について説明する。図13に示すように、(a)でボンディングワイヤー27の先端にボール27aが形成された状態で、キャピラリー29が降下し、(b)でボール27aがLED素子電極26aに接触したときに、熱・荷重・超音波がボール27aに伝わり、ボンディングワイヤー27を接合させる1stボンド工程と、(c)で前記キャピラリー29が一定の高さまで上昇し、(d)で2ndボンドを打つ位置まで移動し、キャピラリー29の軌跡でボンディングワイヤー27の通常ループ形状を決め、キャピラリー29が降下し、ボンディングワイヤー27を上面電極24a(24b)上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えてボンディングワイヤー27を接合させる2ndボンド工程と、その後、キャピラリー29は上昇し、キャピラリー29の先端に一定の長さのボンディングワイヤー27を確保した後、引っ張ることで2ndボンド接合部でボンディングワイヤー27を切断する切断工程と、次に、キャピラリー29の先端に一定の長さのボンディングワイヤー27の先端部分に高電圧をかけて火花を飛ばし、その熱で金を溶かし、ボンディングワイヤー27の先端に表面張力によりボール27aを形成して、(a)の状態に戻る。これで1サイクルが完了する。継続してボンディングすることができる。
解決しようとする問題点は、上記した特許文献1に開示されている発光ダイオードの一般的なボンディングワイヤーの実装方法は、製品の熱衝撃や温度サイクルなどの信頼性試験によって、ボンディングされた金ワイヤーが断線してしまい機能不全(不灯)になる。などの問題があった。
本発明は、上述の欠点を解消するもので、その目的は、ボンディングワイヤーを2本使用するダブルボンディング実装構造にすることにより、製品の熱衝撃や温度サイクルなどの信頼性試験によっても金ワイヤーが断線しない信頼性に優れた発光ダイオード及びその製造方法を提供するものである。
上記目的を達成するために、発光ダイオードのボンディングワイヤー実装方法は、絶縁性を有する回路基板の上面にLEDチップを搭載するダイパターンと、一対の上下電極パターンと、該上下電極パターンを連通する一対の側面電極パターンとを形成し、前記ダイパターン上に一対の素子電極を備えたLEDチップを固着すると共に、前記上面電極と前記素子電極とをワイヤーボンディング実装し、前記LEDチップとボンディングワイヤーを透光性封止樹脂により封止してなる発光ダイオードの製造方法において、前記ボンディングワイヤーを1つの前記素子電極から2本出るように配設するため、第1のボンディングワイヤーの先端に第1のボールが形成された状態で、キャピラリーが降下し、前記第1のボールが前記素子電極に接触したときに、熱・荷重・超音波が前記第1のボールに伝わり、前記第1のボンディングワイヤーを接合させる第1の1stボンド工程と、前記第1のボンディングワイヤーの付け根部分を寝かした状態になるよう前記キャピラリーを一定の高さまで上昇させ、前記上面電極のパターン位置まで移動し、前記キャピラリーの軌跡で前記第1のボンディングワイヤーの低ループ形状を決め、前記キャピラリーが降下し、前記第1のボンディングワイヤーを前記上面電極パターン上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて前記第1のボンディングワイヤーを接合させる第1の2ndボンド工程と、その後、前記キャピラリーは上昇し、前記キャピラリーの先端に一定の長さのワイヤーを確保した後、引っ張ることで前記第1の2ndボンド接合部で前記第1のボンディングワイヤーを切断する第1の切断工程と、次に、前記キャピラリーの先端に一定の長さの前記ワイヤーの先端部分に高電圧をかけて火花を飛ばし、その熱で金を溶かし、前記ワイヤーの先端に表面張力により第2のボールを形成し、前記第1のボンディングワイヤーの前記素子電極の第1の1stボンド位置上に重なり合うように第2のボンディングワイヤーを接合する第2の1stボンド工程と、前記第2のボンディングワイヤーの付け根部分を曲げることなく前記キャピラリーを一定の高さまで上昇させ、前記第1と前記第2の2本のボンディングワイヤーは平面的に重なるように方向が同一で長さが異なるよう前記上面電極のパターン位置まで移動し、前記キャピラリーの軌跡で前記ワイヤーの通常ループ形状を決め、前記上面電極のパターン上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて前記第2のボンディングワイヤーを接合させる第2の2ndボンド工程と、その後、前記キャピラリーは上昇し、前記キャピラリーの先端に一定の長さの前記ワイヤーを確保した後、引っ張ることで前記第2の2ndボンド接合部で前記第2のボンディングワイヤーを切断する第2の切断工程と、よりなることを特徴とするものである。
また、絶縁性を有する回路基板の上面にLEDチップを搭載するダイパターンと、一対の上下電極パターンと、該上下電極パターンを連通する一対の側面電極パターンとを形成し、前記ダイパターン上に一対の素子電極を備えたLEDチップを固着すると共に、前記上面電極と前記素子電極とをワイヤーボンディング実装し、前記LEDチップとボンディングワイヤーを透光性封止樹脂により封止してなる発光ダイオードの製造方法において、前記ボンディングワイヤーを1つの前記素子電極から2本出るように配設するため、第1のボンディングワイヤーの先端に第1のボールが形成された状態で、キャピラリーが降下し、前記第1のボールが前記素子電極に接触したときに、熱・荷重・超音波が前記第1のボールに伝わり、前記第1のボンディングワイヤーを接合させる第1の1stボンド工程と、前記第1のボンディングワイヤーの付け根部分を寝かした状態になるよう前記キャピラリーを一定の高さまで上昇させ、前記上面電極のパターン位置まで移動し、前記キャピラリーの軌跡で前記第1のボンディングワイヤーの低ループ形状を決め、前記キャピラリーが降下し、前記第1のボンディングワイヤーを前記上面電極パターン上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて前記第1のボンディングワイヤーを接合させる第1の2ndボンド工程と、その後、前記キャピラリーは上昇し、前記キャピラリーの先端に一定の長さのワイヤーを確保した後、引っ張ることで前記第1の2ndボンド接合部で前記第1のボンディングワイヤーを切断する第1の切断工程と、次に、前記キャピラリーの先端に一定の長さの前記ワイヤーの先端部分に高電圧をかけて火花を飛ばし、その熱で金を溶かし、前記ワイヤーの先端に表面張力により第2のボールを形成し、前記第1のボンディングワイヤーの前記素子電極の第1の1stボンド位置上に重なり合うように第2のボンディングワイヤーを接合する第2の1stボンド工程と、前記第2のボンディングワイヤーの付け根部分を曲げることなく前記キャピラリーを一定の高さまで上昇させ、前記第1と前記第2の2本のボンディングワイヤーは平面的に見て長さが同じで方向がずれているように前記上面電極のパターン位置まで移動し、前記キャピラリーの軌跡で前記ワイヤーの通常ループ形状を決め、前記上面電極のパターン上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて前記第2のボンディングワイヤーを接合させる第2の2ndボンド工程と、その後、前記キャピラリーは上昇し、前記キャピラリーの先端に一定の長さの前記ワイヤーを確保した後、引っ張ることで前記第2の2ndボンド接合部で前記第2のボンディングワイヤーを切断する第2の切断工程と、よりなることを特徴とするものである。
本発明の発光ダイオードは、ボンディングワイヤーを2本使用することで、LED素子電極上の1stボンド部が重なり合って接合部の肉厚が厚くなり、接合強度が大きくなりボンディングワイヤーの断線を生じ難くなる。また、1stボンド部の肉厚が厚くなるので、ボンディングワイヤーが封止樹脂から受ける応力は、第1のボンディングワイヤーと第2のボンディングワイヤー相互に依存する。従って、応力が分散しボンディングワイヤーの断線が生じ難くなる。仮に、どちらか1本のボンディングワイヤーが断線したとしても、もう1本のボンディングワイヤーで電気的接続はとれるので、結果的にLEDの不灯には至らない。また、素子の発熱量が増えても、2本のワイヤーから熱が逃がせる。製品の熱衝撃や温度サイクルなどの信頼性試験によっても金ワイヤが断線しない信頼性に優れた発光ダイオード及びボンディングワイヤー実装方法を提供することが可能である。
本発明の発光ダイオードについて、図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施例1に係わる表面実装型発光ダイオードの断面図、図2は、図1のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。図1において、発光ダイオード1の構成について説明する。ガラスエポキシ樹脂よりなる絶縁性を有する回路基板2の上面にダイパターン3と、上下面には一対の上面電極パターン4a、4bと下面電極パターン5a、5bと、該上下電極パターン4a、4b、5a、5bとを連通する側面電極パターン6a、6bを形成する。前記ダイパターン3上にLEDチップ7を固着すると共に、2本のボンディングワイヤー8、9が1つのLED素子電極7aから出るように後述する実装方法でワイヤーボンディング実装し、前記LEDチップ7とボンディングワイヤー8、9を透光性封止樹脂10により封止する。
前記2本のボンディングワイヤーの実装高さは、第1のボンディングワイヤー8は低ループに、第2のボンディングワイヤー9は通常ループに設定し、LED素子電極7a上の第1および第2のボンディングワイヤー8、9の1stボンド位置は重ね合わせ、上面電極パターン4a、4b上の第1および第2のボンディングワイヤー8、9の2ndボンド位置は平面的に見て、水平距離で長さが違い、方向が同一である。即ち、第1のボンディングワイヤー8は短く、第2のボンディングワイヤー9が長くなっている。
上記した発光ダイオードのボンディングワイヤー実装方法について説明する。図3はボンディングワイヤー実装工程を示し、(a)〜(d)は、従来技術と同様であり、ボンディングワイヤー8の先端にボール8aが形成された状態で、キャピラリー11が降下し、(b)でボール8aがLED素子電極7aに接触したときに、熱・荷重・超音波がボール8aに伝わり、第1のボンディングワイヤー8を接合させる第1の1stボンド工程と、(c)で前記キャピラリー11が一定の高さまで上昇し、(d)で2ndボンドを打つ位置まで移動し、キャピラリー11の軌跡で第1のボンディングワイヤー8の低ループ形状を決め、キャピラリー11が降下し、第1のボンディングワイヤー8を上面電極パターン4a、4b上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて第1のボンディングワイヤー8を接合させる第1の2ndボンド工程と、その後、キャピラリー11は上昇し、キャピラリー11の先端に一定の長さのワイヤーを確保した後、引っ張ることで第1の2ndボンド接合部で第1のボンディングワイヤー8を切断する第1の切断工程と、次に、キャピラリー11の先端に形成されている一定の長さの第2のボンディングワイヤー9の先端部分に高電圧をかけて火花を飛ばし、その熱で金を溶かし、ワイヤーの先端に表面張力によりボール9aを形成する
次に、(e)でボール9aが第1のボンディングワイヤー8の素子電極上の第1の1stボンド位置に重なり合うようにキャピラリー11が降下し、接触したときに、熱・荷重・超音波がボール9aに伝わり、(f)で第2のボンディングワイヤー9を接合させる第2の1stボンド工程と、(g)で前記キャピラリー11が一定の高さまで上昇し、2本のボンディングワイヤー8、9が平面的に重なるように方向が同一で、水平距離で長さが異なる2ndボンドを打つ位置まで移動し、キャピラリー11の軌跡でワイヤーの通常ループ形状を決め、(h)で上面電極パターン4a、4b上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて第2のボンディングワイヤー9を接合させる第2の2ndボンド工程と、その後、キャピラリー11は上昇し、キャピラリー11の先端に一定の長さのワイヤーを確保した後、引っ張ることで第2の2ndボンド接合部で第2のボンディングワイヤーを切断する第2の切断工程とを経て、これで1サイクルが完了する。継続してボンディングすることができる。
上記した構成によるダブルボンディング実装された発光ダイオードの作用・効果について説明する。第1のボンディングワイヤーの第1の1stボンドの条件は、低ループにするため、付け根部分は最初から寝かした状態に形成する。第2のボンディングワイヤーの第2の1stボンドの条件は、通常ループにするため、付け根部分はあまり曲げなくて済む。曲げられた第1のボンディングワイヤーの第1の1stボンドの付け根部分は、2つのボールに挟まれるので、接合強度がアップする。また、2本のボンディングワイヤー8、9の第1および第2の1stボンド部が重なりあっているので、封止樹脂から受ける応力が分散し、明らかにワイヤーの断線が発生し難い。更に、2本のワイヤーの長さを変えて位置をずらして打つことにより、ワイヤーの断線が発生しにくくなる。
また、LEDチップの場合には、1つの電極から2本のワイヤーが出るので、大電流を流すことができるので、輝度が明るくできる。大電流を流して発熱量が増えても、2本のワイヤーから熱を逃がせる。
また、仮にどちらか1本のワイヤーが切断しても、もう1本のワイヤーで電気的接続はとれるので、結果的にLEDの不灯には至らない。
図4は、本発明の実施例2に係わる発光ダイオードの断面図、図5は、図4のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。図4及び図5において、上記した実施例1と異なるところは、上面電極パターン4a、4b上の第1および第2のボンディングワイヤー8、9の2ndボンド位置が設計的にみて長さが確保できないときには、第1および第2のボンディングワイヤー8、9は平面的に見て水平距離で長さが同じで、図5に示すように、2ndボンド位置を若干回転方向にずらして打つことにより、前記第1および第2のボンディングワイヤーの2ndボンド位置を異なるようにすることができる。実施例2の作用・効果については前述した実施例1と同様であるので説明は省略する。
上記した発光ダイオードのボンディングワイヤー実装方法について説明する。図6はボンディングワイヤー実装工程を示し、(a)〜(h)において、実施例1と異なるところは、第1のおよび第2のボンディングワイヤー8、9の第1および第2の2ndボンド位置を若干回転方向にずらして打ち、第1と第2の2ndボンド位置を異なるようにするものである。実施例2の作用・効果については前述した実施例1と同様であるので説明は省略する。
図7は、本発明の実施例3に係わる発光ダイオードの断面図、図8は、図7のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。図7及び図8において、上記した実施例1と異なるところについて説明する。発光ダイオード1は、ガラスエポキシ樹脂よりなる絶縁性を有する回路基板2の略中央部に貫通孔2aが形成され、該貫通孔2aの底面に形成されたダイパターン3上にLEDチップ7を固着するものである。
前記2本のボンディングワイヤー8、9の1stボンドの高さは、LED素子電極7aの表面が回路基板2より低くなっている場合には、1stボンドの付け根部分に応力が集中し、断線し易くなるが、ボール部分が重なって段になった分だけ1stボンドの付け根部分が高くなるので、応力の影響が弱くなり、断線し難くなる。LEDチップ7を回路基板2の貫通孔2a内に実装することにより、その分薄型の発光ダイオードが実現できる。
前記2本のワイヤーの実装高さは、実施例1と同様に、第1のボンディングワイヤー8は低ループに、第2のボンディングワイヤー9は通常ループに設定し、LED素子電極7a上の第1および第2のボンディングワイヤー8、9の1stボンド位置は重ね合わせ、上面電極パターン4a、4b上の第1および第2のボンディングワイヤー8、9の2ndボンド位置は平面的に見て、水平距離で長さが違い、方向が同一である。即ち、第1のボンディングワイヤー8は短く、第2のボンディングワイヤー9が長くなっている。上記した発光ダイオードのボンディングワイヤー実装方法及びその作用・効果については、上記した実施例1、2と同様であるので説明は省略する。
図9は、本発明の実施例4に係わる発光ダイオードの断面図、図10は、図9のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。図9及び図10において、上記した実施例2と異なるところについて説明する。実施例3と同様に、ガラスエポキシ樹脂よりなる絶縁性を有する回路基板2の略中央部に貫通孔2aが形成され、該貫通孔の底面に形成されたダイパターン3上にLEDチップ7を固着するものである。
上記した実施例3と異なるところは、前記2本のボンディングワイヤー8、9の2ndボンドの位置とその方向である。即ち、LED素子電極7a上の第1および第2のボンディングワイヤー8、9の1stボンド位置は重ね合わせ、上面電極パターン4a、4b上の第1および第2のボンディングワイヤー8、9の2ndボンド位置は平面的に見て、水平距離で長さが同じで、図10に示すように、2ndボンド位置を若干回転方向にずらして打つことにより、前記第1および第2のボンディングワイヤーの2ndボンド位置を異なるようにすることができる。上記した発光ダイオードのボンディングワイヤー実装方法及びその作用・効果については、上記した実施例1、2及び実施例3と同様であるので説明は省略する。
上述したように、本発明の発光ダイオードは、2本のボンディングワイヤーが1つのLED素子電極から出るようにワイヤーボンディング実装することで、1stボンド部が重なり合って、接合強度が大きくなりボンディングワイヤーの断線を生じ難くなると同時にボンディングワイヤーが封止樹脂から受ける応力は、2本のワイヤーに分散しボンディングワイヤーの断線が生じ難くなる。また、2ndボンド位置をずれた位置に打つことにより、断線がし難くなる。さらに、1つの電極から2本のワイヤーが出るので、大電流を流すことができるので、輝度が明るくできる。大電流を流して発熱量が増えても、2本のワイヤーから熱を逃がせる。仮に、どちらか1本のボンディングワイヤーが断線したとしても、もう1本のボンディングワイヤーで電気的接続はとれるので、結果的にLEDの不灯には至らない。製品の熱衝撃や温度サイクルなどの信頼性試験によっても金ワイヤーが断線しない信頼性に優れた発光ダイオード及びその製造方法を提供することが可能である。
本発明の実装方法では、2本のボンディングワイヤーが1つのLED素子電極から出るようにワイヤーボンディング実装したが、LEDなどの発光素子の場合、2本のワイヤーの1stボンド部を隣り合って打つ場合でも、大電流と放熱性upはできるが、素子上の電極サイズが2倍必要になるため、光を遮ることとなり、輝度を明るくすることは困難である。
以上、発光ダイオード及びその製造方法について説明したが、本実装方法については、他の半導体においても実施できることは云うまでもない。
本発明の実施例1に係る発光ダイオードの断面図である。 図1のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。 本発明の実施例1に係るボンディングワイヤー実装工程説明図である。 本発明の実施例2に係る発光ダイオードの断面図である。 図4のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。 本発明の実施例2に係るボンディングワイヤー実装工程説明図である。 本発明の実施例3に係わる発光ダイオードの断面図である。 図7のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。 本発明の実施例4に係わる発光ダイオードの断面図である。 図9のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。 従来の発光ダイオードの断面図である。 図11のワイヤーボンディング実装部の部分平面図である。 従来のボンディングワイヤー実装工程説明図である。
符号の説明
1 発光ダイオード
2 回路基板
2a 貫通孔
3 ダイパターン
4a、4b 上面電極パターン
5a、5b 下面電極パターン
6a、6b 側面電極パターン
7 LEDチップ
7a LED素子電極
8 第1のボンディングワイヤー
8a、9a ボール
9 第2のボンディングワイヤー
10 透光性封止樹脂
11 キャピラリー

Claims (2)

  1. 絶縁性を有する回路基板の上面にLEDチップを搭載するダイパターンと、一対の上下電極パターンと、該上下電極パターンを連通する一対の側面電極パターンとを形成し、前記ダイパターン上に一対の素子電極を備えたLEDチップを固着すると共に、前記上面電極と前記素子電極とをワイヤーボンディング実装し、前記LEDチップとボンディングワイヤーを透光性封止樹脂により封止してなる発光ダイオードの製造方法において、
    前記ボンディングワイヤーを1つの前記素子電極から2本出るように配設するため、第1のボンディングワイヤーの先端に第1のボールが形成された状態で、キャピラリーが降下し、前記第1のボールが前記素子電極に接触したときに、熱・荷重・超音波が前記第1のボールに伝わり、前記第1のボンディングワイヤーを接合させる第1の1stボンド工程と、前記第1のボンディングワイヤーの付け根部分を寝かした状態になるよう前記キャピラリーを一定の高さまで上昇させ、前記上面電極のパターン位置まで移動し、前記キャピラリーの軌跡で前記第1のボンディングワイヤーの低ループ形状を決め、前記キャピラリーが降下し、前記第1のボンディングワイヤーを前記上面電極パターン上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて前記第1のボンディングワイヤーを接合させる第1の2ndボンド工程と、その後、前記キャピラリーは上昇し、前記キャピラリーの先端に一定の長さのワイヤーを確保した後、引っ張ることで前記第1の2ndボンド接合部で前記第1のボンディングワイヤーを切断する第1の切断工程と、次に、前記キャピラリーの先端に一定の長さの前記ワイヤーの先端部分に高電圧をかけて火花を飛ばし、その熱で金を溶かし、前記ワイヤーの先端に表面張力により第2のボールを形成し、前記第1のボンディングワイヤーの前記素子電極の第1の1stボンド位置上に重なり合うように第2のボンディングワイヤーを接合する第2の1stボンド工程と、前記第2のボンディングワイヤーの付け根部分を曲げることなく前記キャピラリーを一定の高さまで上昇させ、前記第1と前記第2の2本のボンディングワイヤーは平面的に重なるように方向が同一で長さが異なるよう前記上面電極のパターン位置まで移動し、前記キャピラリーの軌跡で前記ワイヤーの通常ループ形状を決め、前記上面電極のパターン上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて前記第2のボンディングワイヤーを接合させる第2の2ndボンド工程と、その後、前記キャピラリーは上昇し、前記キャピラリーの先端に一定の長さの前記ワイヤーを確保した後、引っ張ることで前記第2の2ndボンド接合部で前記第2のボンディングワイヤーを切断する第2の切断工程と、よりなることを特徴とする発光ダイオードの製造方法。
  2. 絶縁性を有する回路基板の上面にLEDチップを搭載するダイパターンと、一対の上下電極パターンと、該上下電極パターンを連通する一対の側面電極パターンとを形成し、前記ダイパターン上に一対の素子電極を備えたLEDチップを固着すると共に、前記上面電極と前記素子電極とをワイヤーボンディング実装し、前記LEDチップとボンディングワイヤーを透光性封止樹脂により封止してなる発光ダイオードの製造方法において、
    前記ボンディングワイヤーを1つの前記素子電極から2本出るように配設するため、第1のボンディングワイヤーの先端に第1のボールが形成された状態で、キャピラリーが降下し、前記第1のボールが前記素子電極に接触したときに、熱・荷重・超音波が前記第1のボールに伝わり、前記第1のボンディングワイヤーを接合させる第1の1stボンド工程と、前記第1のボンディングワイヤーの付け根部分を寝かした状態になるよう前記キャピラリーを一定の高さまで上昇させ、前記上面電極のパターン位置まで移動し、前記キャピラリーの軌跡で前記第1のボンディングワイヤーの低ループ形状を決め、前記キャピラリーが降下し、前記第1のボンディングワイヤーを前記上面電極パターン上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて前記第1のボンディングワイヤーを接合させる第1の2ndボンド工程と、その後、前記キャピラリーは上昇し、前記キャピラリーの先端に一定の長さのワイヤーを確保した後、引っ張ることで前記第1の2ndボンド接合部で前記第1のボンディングワイヤーを切断する第1の切断工程と、次に、前記キャピラリーの先端に一定の長さの前記ワイヤーの先端部分に高電圧をかけて火花を飛ばし、その熱で金を溶かし、前記ワイヤーの先端に表面張力により第2のボールを形成し、前記第1のボンディングワイヤーの前記素子電極の第1の1stボンド位置上に重なり合うように第2のボンディングワイヤーを接合する第2の1stボンド工程と、前記第2のボンディングワイヤーの付け根部分を曲げることなく前記キャピラリーを一定の高さまで上昇させ、前記第1と前記第2の2本のボンディングワイヤーは平面的に見て長さが同じで方向がずれているように前記上面電極のパターン位置まで移動し、前記キャピラリーの軌跡で前記ワイヤーの通常ループ形状を決め、前記上面電極のパターン上に押し付け、熱・荷重・超音波を加えて前記第2のボンディングワイヤーを接合させる第2の2ndボンド工程と、その後、前記キャピラリーは上昇し、前記キャピラリーの先端に一定の長さの前記ワイヤーを確保した後、引っ張ることで前記第2の2ndボンド接合部で前記第2のボンディングワイヤーを切断する第2の切断工程と、よりなることを特徴とする発光ダイオードの製造方法。
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