JP5080061B2 - 中性コロイダルシリカの製造方法 - Google Patents
中性コロイダルシリカの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5080061B2 JP5080061B2 JP2006303507A JP2006303507A JP5080061B2 JP 5080061 B2 JP5080061 B2 JP 5080061B2 JP 2006303507 A JP2006303507 A JP 2006303507A JP 2006303507 A JP2006303507 A JP 2006303507A JP 5080061 B2 JP5080061 B2 JP 5080061B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- colloidal silica
- reaction
- organosilicate
- hydrolysis
- catalyst
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Description
攪拌機、温度計、コンデンサー付留出管及びオルガノシリケート導入管を備えた5Lのガラス製反応容器に、金属不純物含有量0.1ppb以下の純水3474gと金属不純物含有量10ppb以下の25wt%-TMAH水溶液16.0gとを仕込み、マントルヒーターを用いて反応容器内液温を80℃に保ちながら、金属不純物含有量10ppb以下のテトラメチルシリケート(多摩化学工業株式会社製)1850gを攪拌下に4時間かけて連続的に供給した。反応終了時において、反応容器内(反応系内)の反応混合物中におけるシリカ(B)に対するTMAH(A)の割合{触媒残存モル比(A/B)}は0.0036であった。
金属不純物含有量0.1ppb以下の純水3387gと金属不純物含有量10ppb以下の5wt%-コリン水溶液104.8gとを用い、反応容器内に生成した反応混合物(コロイダルシリカ)を5670gまで濃縮した以外は、上記実施例1と同様にして、コロイダルシリカを得た。
実施例1で用いたと同じ反応容器に、実施例1で得られたシリカ濃度13.2重量%のコロイダルシリカ293.2gと金属不純物含有量0.1ppb以下の純水2981gとを仕込み、マントルヒーターを用いて反応容器内液温を80℃に保ちながら、金属不純物含有量10ppb以下のテトラメチルシリケート(多摩化学工業株式会社製)1694gと金属不純物含有量10ppb以下の25wt%-TMAH水溶液14.7gとを攪拌下に4時間かけて連続的に供給した。反応終了時において、反応容器内(反応系内)の反応混合物中におけるシリカ(B)に対するTMAH(A)の割合{触媒残存モル比(A/B)}は0.0036であった。
オルガノシリケートとして金属不純物含有量10ppb以下のテトラエチルシリケート(多摩化学工業株式会社製商品名:TEOS)2528gを用いた以外は、上記実施例1と同様にして加水分解反応を行った。
反応容器内には水相と油相とが混在したままで、その後に88℃で1時間加熱したが、反応容器内の水相と油相は透明のまま変化がなく、粒子成長は認められなかった。
オルガノシリケートとして上記比較例1で用いたテトラエチルシリケートを使用すると共に、加水分解触媒として28wt%-アンモニア水溶液2.66gを使用し、上記実施例1と同様にして加水分解反応を行った。
反応容器内には水相と油相とが混在したままで、その後に88℃で1時間加熱したが、反応容器内の水相と油相は透明のまま変化がなく、粒子成長は認められなかった。
実施例1と同じ反応容器中に金属不純物含有量0.1ppb以下の純水3484gと重炭酸テトラメチルアンモニウム(多摩化学工業株式会社製商品名:TMAC)8.25gとを仕込み、マントルヒーターで反応容器内液温を80℃に保ちながら、テトラメチルシリケート(多摩化学工業株式会社製)1850gを攪拌下に4時間かけて連続的に供給した。反応終了時において、反応容器内(反応系内)の反応混合物中におけるシリカ(B)に対する重炭酸テトラメチルアンモニウム(A)の割合{触媒残存モル比(A/B)}は0.010であった。
実施例1と同じ反応容器中に金属不純物含有量0.1ppb以下の純水3423gと珪酸テトラメチルアンモニウム{多摩化学工業株式会社製商品名:TMAシリケート(6wt%-TMAH、2.4wt%シリカ含有)}66.7gとを仕込み、マントルヒーターで反応容器内液温を80℃に保ちながら、テトラメチルシリケート(多摩化学工業株式会社製)1850gを攪拌下に4時間かけて連続的に供給した。反応終了時において、反応容器内(反応系内)の反応混合物中におけるシリカ(B)に対する珪酸テトラメチルアンモニウム(A)の割合{触媒残存モル比(A/B)}は0.010であった。
攪拌機、温度計、コンデンサー付留出管及びオルガノシリケート導入管を備えた20Lのガラス容器中に金属不純物含有量0.1ppb以下の純水18984gと金属不純物含有量10ppb以下のトリエタノールアミン(bp:361℃)6.55gとを仕込み、マントルヒーターを用いて反応容器内液温を80℃に保ちながら、金属不純物含有量10ppb以下のテトラメチルシリケート(多摩化学工業株式会社製)3407gを攪拌下に3時間かけて連続的に供給した。反応終了時において、反応容器内(反応系内)の反応混合物中におけるシリカ(B)に対するトリエタノールアミン(A)の割合{触媒残存モル比(A/B)}は0.00250であった。
実施例6で用いたと同じ反応容器に、実施例6で得られたシリカ濃度12.2重量%のコロイダルシリカ1410gと、金属不純物含有量0.1ppb以下の純水14598gと、金属不純物含有量10ppb以下のトリエタノールアミン15.49gとを仕込み、マントルヒーターを用いて反応容器内の液温を80℃に保ちながら、金属不純物含有量10ppb以下のテトラメチルシリケート(多摩化学工業株式会社製)6370gを攪拌下に3時間かけて連続的に供給した。反応終了時において、反応容器内(反応系内)の反応混合物中におけるシリカ(B)に対するエタノールアミン(A)の割合{触媒残存モル比(A/B)}は0.00250であった。
攪拌機、温度計、コンデンサー付き留出管及びオルガノシリケート導入管を備えた5L容量のガラス製反応容器に、539.4gの純水、2,922gのメタノール、及び122.6gの28wt%−アンモニア水溶液を仕込み、次いでこの反応容器内の溶液を23℃に維持しながらこの溶液中に686gのテトラメチルシリケート(多摩化学工業社製)を攪拌下に2時間かけて連続的に供給し、テトラメチルシリケートの加水分解・縮合反応を行った。
上記比較例3、実施例3及び実施例7で得られたコロイダルシリカについて、その粒子像を20万倍の透過型電子顕微鏡及び20万倍の走査型電子顕微鏡で観察すると共に、以下のようにしてそのSEM平均粒子径、BET比表面積、及び真比重を測定し、また、得られたBET比表面積と真比重とから比表面積換算粒子径を求めた。
上記比較例3、実施例3及び実施例7で得られたコロイダルシリカについて、以下の方法で研磨速度の測定を行った。
コロイダルシリカの試料を、水酸化カリウムと純水を用いてpH10.0に調整すると共に、シリカ濃度を5.0重量%に調整して試料研磨剤を調製した。また、膜厚約1μmの珪素酸化膜を有するシリコンウェ―ハを被研磨体とし、研磨パッド(ロデール社製Suba 600)を備えた研磨機(日本エンギス社製EJW-400IFN)を用い、得られた試料研磨剤を流量30ml/minの速度で研磨パッド上に供給し、研磨パッド回転数120rpm、キャリア回転数60rpm、研磨加重150g/cm2、及び研磨時間5分間の研磨条件で珪素酸化膜を研磨し、このときの研磨前後の珪素酸化膜の膜厚を、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いた反射電子組成像観察によりSiO2部分を計測して求め、研磨速度を計算式{研磨速度=(研磨前厚さ−研磨後厚さ)/研磨時間}から算出した。
結果を表1に示す。
Claims (8)
- 加水分解触媒の存在下にオルガノシリケートを加水分解してコロイダルシリカを製造するコロイダルシリカの製造方法において、オルガノシリケートとして易加水分解性オルガノシリケートを用い、また、加水分解触媒として第四級アンモニウム類、アミノアルコール類、モルホリン類及びピペラジン類から選ばれた1種又は2種以上の混合物を用い、この加水分解触媒を、少なくとも反応終了時の反応混合物中におけるシリカ(B)に対する加水分解触媒(A)の割合{触媒残存モル比(A/B)}が0.012以下となるように、添加して反応させ、酸処理及びイオン交換処理を行うことなくpH5〜8の中性コロイダルシリカを製造することを特徴とする中性コロイダルシリカの製造方法。
- 易加水分解性オルガノシリケートが、トリメチルシリケート、テトラメチルシリケート、トリエチルシリケート、又はメチルトリメチルシリケートである請求項1に記載の中性コロイダルシリカの製造方法。
- 第四級アンモニウム類が、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)、コリン及びテトラエチルアンモニウムヒドロキシド(TEAH)、並びにこれらの炭酸塩、重炭酸塩及びケイ酸塩から選ばれた1種又は2種以上の混合物である請求項1又は2に記載の中性コロイダルシリカの製造方法。
- アミノアルコール類が、エタノールアミン誘導体である請求項1〜3のいずれかに記載の中性コロイダルシリカの製造方法。
- 触媒残存モル比(A/B)が0.00035〜0.012の範囲になるように、加水分解触媒の水溶液中にオルガノシリケートを導入する請求項1〜4のいずれかに記載の中性コロイダルシリカの製造方法。
- 加水分解反応の反応系内にはオルガノシリケートの加水分解反応に先駆けて粒子成長性能を有するコロイダルシリカの種子を仕込み、この反応系内にオルガノシリケート及び加水分解触媒を徐々に添加することにより均一な粒子のコロイダルシリカを製造する請求項1〜5のいずれかに記載の中性コロイダルシリカの製造方法。
- 金属不純物含有量が1ppm以下であるオルガノシリケート、第四級アンモニウム触媒及び水を原料とし、金属不純物含有量が1ppm以下の高純度コロイダルシリカを製造する請求項1〜6のいずれかに記載の中性コロイダルシリカの製造方法。
- 製造されるコロイダルシリカが、電子顕微鏡による粒度分布分析で求められる平均粒子径5〜500nm、標準偏差20以下及び多分散度指数0.15以下の球状コロイダルシリカである請求項1〜7のいずれかに記載の中性コロイダルシリカの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006303507A JP5080061B2 (ja) | 2005-11-10 | 2006-11-09 | 中性コロイダルシリカの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005325861 | 2005-11-10 | ||
JP2005325861 | 2005-11-10 | ||
JP2006303507A JP5080061B2 (ja) | 2005-11-10 | 2006-11-09 | 中性コロイダルシリカの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007153732A JP2007153732A (ja) | 2007-06-21 |
JP5080061B2 true JP5080061B2 (ja) | 2012-11-21 |
Family
ID=38238541
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006303507A Active JP5080061B2 (ja) | 2005-11-10 | 2006-11-09 | 中性コロイダルシリカの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5080061B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105283413A (zh) * | 2013-06-10 | 2016-01-27 | 日产化学工业株式会社 | 二氧化硅溶胶及二氧化硅溶胶的制造方法 |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010052945A1 (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-14 | 日揮触媒化成株式会社 | 非球状シリカゾル、その製造方法および研磨用組成物 |
JP5602358B2 (ja) | 2007-11-30 | 2014-10-08 | 日揮触媒化成株式会社 | 非球状シリカゾル、その製造方法および研磨用組成物 |
JP5346167B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2013-11-20 | 日揮触媒化成株式会社 | 粒子連結型アルミナ−シリカ複合ゾルおよびその製造方法 |
JP5188175B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2013-04-24 | 日揮触媒化成株式会社 | シリカゾルおよびその製造方法 |
JP5365766B2 (ja) * | 2008-02-01 | 2013-12-11 | 株式会社リコー | トナー、現像剤、画像形成方法及び画像形成装置 |
JP2009263484A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカおよびその製造方法 |
EP2587526A1 (en) * | 2010-06-23 | 2013-05-01 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Composition for polishing silicon carbide substrate and method for polishing silicon carbide substrate |
JP5564461B2 (ja) | 2010-10-12 | 2014-07-30 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
JP5838083B2 (ja) | 2011-12-09 | 2015-12-24 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物並びにそれを用いた研磨方法及び基板の製造方法 |
JP5905767B2 (ja) * | 2012-04-17 | 2016-04-20 | 多摩化学工業株式会社 | 中性コロイダルシリカ分散液の分散安定化方法及び分散安定性に優れた中性コロイダルシリカ分散液 |
JP2013227168A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 表面に凹凸のあるシリカ粒子を有するコロイダルシリカ、その製造方法及びそれを用いた研磨剤 |
KR20150081267A (ko) | 2012-10-31 | 2015-07-13 | 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 | 연마용 조성물 |
JP5534094B2 (ja) * | 2013-09-10 | 2014-06-25 | 株式会社リコー | トナー、現像剤、画像形成方法及び画像形成装置 |
CN107207268A (zh) * | 2015-01-19 | 2017-09-26 | 福吉米株式会社 | 改性胶体二氧化硅及其制造方法、以及使用其的研磨剂 |
JP6256775B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2018-01-10 | 東レ・ファインケミカル株式会社 | シリコーン重合体の製造方法 |
US10894901B2 (en) | 2016-07-15 | 2021-01-19 | Fujimi Incorporated | Method for producing polishing composition and polishing method |
WO2018012176A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物、研磨用組成物の製造方法および研磨方法 |
US11111412B2 (en) * | 2016-07-15 | 2021-09-07 | Fujimi Incorporated | Polishing composition, method for producing polishing composition, and polishing method |
JPWO2018012174A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2019-06-13 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物、研磨用組成物の製造方法および研磨方法 |
KR102647949B1 (ko) | 2017-11-16 | 2024-03-14 | 닛키 쇼쿠바이카세이 가부시키가이샤 | 실리카 입자의 분산액 및 그 제조 방법 |
KR20210132177A (ko) * | 2019-03-06 | 2021-11-03 | 후소카가쿠코교 가부시키가이샤 | 콜로이달 실리카 및 그의 제조 방법 |
KR20210133286A (ko) | 2019-03-06 | 2021-11-05 | 후소카가쿠코교 가부시키가이샤 | 콜로이달 실리카 및 그의 제조 방법 |
JP7164702B2 (ja) | 2019-03-06 | 2022-11-01 | 扶桑化学工業株式会社 | コロイダルシリカ及びその製造方法 |
JP7331435B2 (ja) * | 2019-04-23 | 2023-08-23 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子、シリカゾル、研磨組成物、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
KR20220131926A (ko) * | 2020-01-28 | 2022-09-29 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 실리카 입자, 실리카 졸, 연마 조성물, 연마 방법, 반도체 웨이퍼의 제조 방법 및 반도체 디바이스의 제조 방법 |
TWI792315B (zh) * | 2020-06-09 | 2023-02-11 | 日商Jsr股份有限公司 | 化學機械研磨用組成物及研磨方法 |
WO2023219004A1 (ja) * | 2022-05-13 | 2023-11-16 | 多摩化学工業株式会社 | コロイダルシリカ及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61209910A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-18 | Tama Kagaku Kogyo Kk | ポリツシング用コロイダルシリカの製造方法 |
JP3746301B2 (ja) * | 1991-11-14 | 2006-02-15 | 触媒化成工業株式会社 | 球状シリカ粒子の製造方法 |
US6090448A (en) * | 1997-10-31 | 2000-07-18 | Alliedsignal Inc. | Polyol-based precursors for producing nanoporous silica thin films |
JP2001023938A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Tama Kagaku Kogyo Kk | Cmp用研磨剤 |
JP4566645B2 (ja) * | 2003-07-25 | 2010-10-20 | 扶桑化学工業株式会社 | シリカゾル及びその製造方法 |
JP4577755B2 (ja) * | 2003-12-02 | 2010-11-10 | 扶桑化学工業株式会社 | 変性コロイダルシリカの製造方法 |
-
2006
- 2006-11-09 JP JP2006303507A patent/JP5080061B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105283413A (zh) * | 2013-06-10 | 2016-01-27 | 日产化学工业株式会社 | 二氧化硅溶胶及二氧化硅溶胶的制造方法 |
CN105283413B (zh) * | 2013-06-10 | 2018-06-22 | 日产化学工业株式会社 | 二氧化硅溶胶及二氧化硅溶胶的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007153732A (ja) | 2007-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5080061B2 (ja) | 中性コロイダルシリカの製造方法 | |
JP5599440B2 (ja) | 異形シリカゾル | |
US10160894B2 (en) | Non-spherical silica sol, process for producing the same, and composition for polishing | |
JP4577755B2 (ja) | 変性コロイダルシリカの製造方法 | |
JP6854683B2 (ja) | シリカゾルの製造方法 | |
JPH10309660A (ja) | 仕上げ研磨剤 | |
JP6284443B2 (ja) | コアシェル型シリカ粒子を含有するコロイダルシリカの製造方法 | |
JP7213234B2 (ja) | シリカ粒子分散液、研磨組成物及びシリカ粒子分散液の製造方法 | |
JP6756423B1 (ja) | シリカ粒子とその製造方法、シリカゾル、研磨組成物、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP3584485B2 (ja) | シリカゾルの製造方法 | |
JP2021116225A (ja) | シリカ粒子の製造方法、シリカゾルの製造方法、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP2926915B2 (ja) | 細長い形状のシリカゾル及びその製法 | |
TW202112666A (zh) | 含螯合劑之水玻璃及二氧化矽凝膠之製造方法 | |
JP2018108924A (ja) | シリカ粒子分散液及びその製造方法 | |
JP4458396B2 (ja) | 高純度親水性有機溶媒分散シリカゾルの製造方法及びその方法で得られる高純度親水性有機溶媒分散シリカゾル並びに高純度有機溶媒分散シリカゾルの製造方法及びその方法で得られる高純度有機溶媒分散シリカゾル | |
JP7021194B2 (ja) | シリカ粒子分散液の製造方法 | |
JP2007277025A (ja) | 酸性で安定なコロイダルシリカの製造方法 | |
JP5905767B2 (ja) | 中性コロイダルシリカ分散液の分散安定化方法及び分散安定性に優れた中性コロイダルシリカ分散液 | |
JP2021054684A (ja) | シリカ粒子分散液及びその製造方法 | |
CN113454024A (zh) | 二氧化硅粒子及其制造方法、硅溶胶、研磨组合物、研磨方法、半导体晶片的制造方法和半导体器件的制造方法 | |
WO2018135585A1 (ja) | シリカ粒子分散液及びその製造方法 | |
JP5341613B2 (ja) | コロイダルシリカおよびその製造方法 | |
JP7464201B2 (ja) | シリカ粒子とその製造方法、シリカゾル、研磨組成物、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 | |
WO2023219004A1 (ja) | コロイダルシリカ及びその製造方法 | |
JP5377134B2 (ja) | コロイダルシリカの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110704 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120627 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120814 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120830 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150907 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5080061 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |