JP5051168B2 - 窒化物分散Ti−Al系ターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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- Ti及びAlからなる金属間化合物とTi及びAlを含む窒化物とが含まれ、前記Ti及びAlからなる金属間化合物はTi3Al,TiAl,TiAl2,TiAl3のいずれか1種以上であり、前記Ti及びAlを含む窒化物がTi2AlNであり、さらにSi,W,B,V,Zr,Nb,Crの1種または2種以上を15原子%以下含有しており、
前記Ti 2 AlNは、前記Ti及びAlからなる金属間化合物を含む混合粉を非酸化性雰囲気中で、アルミニウムの融点より高くチタンの融点より低い温度で加熱して形成したことを特徴とする窒化物分散Ti−Al系ターゲット。 - 請求項1記載の窒化物分散Ti−Al系ターゲットにおいて、Al/(Ti+Al)により算出されるAlの含有率が45〜65原子%であることを特徴とする窒化物分散Ti−Al系ターゲット。
- Ti粉末とAl粉末と窒化物粉末との混合粉をアルミニウムの融点未満の温度で加熱し、前記混合粉中のAlをTiと反応させ、Ti及びAlからなる金属間化合物としてTi3Al,TiAl,TiAl2,TiAl3のいずれか1種以上を形成させる熱処理工程と、
前記Ti及びAlからなる金属間化合物を含む混合粉を非酸化性雰囲気中で、アルミニウムの融点より高くチタンの融点より低い温度で加熱して、Ti及びAlを含む窒化物としてTi2AlNを前記金属間化合物と共存させて形成させるとともに加圧焼結する加圧焼結工程と、
を有することを特徴とする窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法。 - 請求項3記載の窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法において、前記加圧焼結工程は、ホットプレス焼結または熱間等方圧焼結であることを特徴とする窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法。
- 請求項3または請求項4記載の窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法において、前記非酸化性雰囲気は、アルゴン雰囲気、窒素雰囲気または真空中のうちのいずれかであることを特徴とする窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法。
- 請求項3から請求項5のいずれか一項に記載の窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法において、前記窒化物粉末が、TiN粉末、およびまたはAlN粉末であることを特徴とする窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法。
- 請求項3から請求項6のいずれか1項に記載の窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法において、前記窒化物粉末が、Si3N4,VN,ZrN,NbN,Cr2N,CrNのいずれか1種以上を含有していることを特徴とする窒化物分散Ti−Al系ターゲットの製造方法。
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